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9/9NSTDA非晶硅薄膜太陽能組件生產(chǎn)工藝流程TCO涂層玻璃玻璃磨邊機(jī)玻璃清洗第一次激光刻劃玻璃清洗負(fù)載氣體箱玻璃襯底動力梯負(fù)載箱氣體箱負(fù)載箱預(yù)熱爐非晶/微晶沉積的PECVD系統(tǒng)冷卻爐涂敷薄膜硅的玻璃襯底二次激光刻劃ZnO/AlAg沉積濺射系統(tǒng)三次激光刻劃層壓
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