次配工程規(guī)范

中^稹ft甯路（事波）新建工程mt管^二次配工程燒靶CONTENTSPAGES錯誤 錯誤 !未定義書簽。錯誤 !未定義書簽。錯誤 !未定義書簽。錯誤 !未定義書簽。錯誤 !未定義書簽。錯誤 !未定義書簽。錯誤 !未定義書簽。.目的.ffiH.文件送寄.施工^明.其他^明.瞬收襟津.保固期限目的懸使段借械臺按照言十副K利裝械、逋樽，且亦能雉^ HookUp二次配管施工之品II及作渠安全。本祝乾如有任何疑ft依棠主及余恩?（冏公司解釋懸舉。ffiH裂程IS借氟醴管^Hook-up工程材料探瞞及管路安裝；Hook-upffiH,GMPN、PO、CDAg主管58留^至械臺內(nèi)部接黑占（含支管），PH、SiH4、SiH4/N2由氟醴站氧氟化器出口及SiH4、SiH4/N2氟瓶檀出口接至械臺（含VMB）其他特殊氟醴自位於氟醴房或Subfab之氟瓶檀/架至械臺內(nèi)部接黑占（含VMB/VMP）其中必要的管管件及焊接所需氧均由承包商UJI提供。GMPN、PO各支管位置及58留take-off^尺寸及數(shù)量，言青參照"FAB楝一屑大宗氟H二次配平面BT（H虢SP-211）;各VMB/VMP?：置，言青參照"FAB楝一唇特殊氟H二次配平面BT （H虢SP-212）;氟醴站至FABlWIfflS管^,言青參照”氟醴站至FA則IfflS二次配管平面HT（BI虢SP-234）;GMPN、PO、CDA自take-off至械臺所需裝段之^件，言青參照"SP-2二次配管群圄”（圄虢SP-231）;而take-off^及VMB/VMPI械臺街接黑占等相^資料，照附件一”Bulkgastake-offlist”、附件二”SpecialtygasVMB/VMPlist"及附件三"CDAtake-offlist:承包商需根表資料，段言十至械臺管^之路彳至。前^氟醴管^Hook-up工程之管路余田部段言十、施工裂、isoaaa（Auto2000或以上版本圄槽予K冏及棠主）、安裝彳電曳漏便測、各^不^物量測、^虢測材料存放及屢料清澈等SKS工程。其中施工圄及ISO圄面，需依照械臺用量流程圄（P&ID）及械臺段借外覲圄^裂，或配合材料明余田表供棠主碓本^工程懸逋工帶料施工，或包含施工中所需之施工工具、施工段借、瓢廛服、安全防器具、管支撐及sks消耗等，均由承包商me。配合”二次配工程^明"（襟虢NS-SP001）g求所需各費用。所有管路襟示，管路襟示依照”二次配工程^明”辨理。所有管路防震固定支撐架之安裝定位。高架地板K孔及收遏之工程彝包、言青款，切割K域管理。氟醴站至FABI管管^所需管槁由渠主提供，承包商需KU依棠主指示祝副氟醴管^路彳至，atme安裝所需管爽等固定裝置。文件送寄

文件名耦投檄P皆段（3份）^音十p皆段（5份）竣工P皆段（5份）1.幸艮慎表(Quotationform)X2.事案胖戢表(Projectorganization)XX3.等案鞠彳丁映程表 （Projectschedule）XX4.工程界卸清軍及位置圜 (List&locationoftie-inpoint)XXX5.系統(tǒng)管倭圜（P&IDs）XXX6.焊接的！清軍（Equipmentlist）XXX7.蓿及材料型^及資料(Vendor'scatalogsandinformationtosupporthisquotation ,includingelectricalsystem&I/Csystem)XXX8.倭表安裝官羊BE(Instrumentinstallationdrawing)XX9.送H文件清罩及 日寺程(Transmittallistandschedule)X10.品JK管制程序H (Qualitycontrolprocedure)X11.工地辨公室及物料暫存11需求(Siteofficeandwarehouserequirements)X12.瞬收及^^音十HU/幸艮告(Inspection &testplan/reports)XX13.裂造商祝幸艮告(Manufacture'sinspection&testreports/records)XX14.W(Contractor'scalculations)XX15.管^配置BE(Piperoutingplan)XXX16.管^支飾羊BE(Pipesupportdrawing)XX17.管材規(guī)格(Pipingmaterialspecification)XX18.管^施工程序H(Pipingconstructionspecification)XXt￡: 1.承包商需於得檄彳爰一周內(nèi)提出文件送寄清軍，加於施工前 2周提送言十文件及相信司管件及檄示int供塞核；送寄6I面即需在it主提出意兄彳爰 3天內(nèi)修改3t再次送富。.所有送寄文件必須以中文或英文善:W;英文送寄文件需附中文^明。.所有竣工P皆段需提送之文件均需檢附重子槽4.施工茨;明一股茨;明承包商鷹於施工前提送施工程序耆及管路測程序善,^^核通謾彳爰，方可at以施工。承st商需於工作埸所is置工程me人，需有相信在工程^^三年以上，其工作施工迤度控制。施工人管理及安排。材料數(shù)量管制。垣埸曾勘放檬。參典承fit商潢通曲湖曾St承st商需於工作埸所is置品管me人，需有相信在工作^^三年以上，其B皆屑輿工程H責(zé)人同等，其工作殿責(zé)懸:施工品控制。施工完工品1O如I攵。施工瞬收幸艮告18條恩。原料ifij?自主榜T查。承st商需於工作埸所is置物管me人，需有相信在工作^^一年以上，其工作材料數(shù)量管理。ifij?料件瞬收。承攬商需於工作埸所is置工安南me人，需有相^工作^^一年以上，其p皆屑典工程me人同等，具工作殿責(zé)懸：垣埸安全南生工作整:督。參典承fit商安全南生曲湖曾18。承38商施工人JM安全彳新生前I糠。施工人H教黜，依工程數(shù)量逾畤增加人H,但在工程期限內(nèi)最低需保留三黜，每黜人H最少三人，每黜至少有一人有焊接就照，或由一資深黜H帶所有迤JS施工之人H必iOS謾IS可且通謾工安檢定之人H。品管人H數(shù)黜，依工程數(shù)量逾畤增加人H,但在工程期限內(nèi)最低需保留一黜，每黜人H最少二人，由一資深黜H帶領(lǐng)，但不可由品管UJI人據(jù)任。承fit商有任何人H湖勤需^謾IS可，且棠主相^之人H有榷提出10!要求更換，承fit商不得有USt材料茨;明氯醴管^之分I?及其材II要求如下表規(guī)定辨理氯＞福S材a.一般大宗氯ftGNCDACDA(forburnbox)SUS316LBA/5SSUS316LAP/5SSUS304/5Sb.自燃性氟mSiH4,SiH4/N2,PH3/N2內(nèi)管SUS316LEP/外管SUS304c.其他靠iPN2,PO,SiH2c12,NH,PH,B2H6/N2,Cl2,HBr,NF3,BCl3,HF,CHF,CF4,C2F6,SF6,PAr,PHe,SS316LEP/5S;另BC屋SiH2c12之管^需提供加熱帶以碓保供氧量o氯＞福S材N2O,He/O2各I?管管件及倭表JS牌，吉青依下表規(guī)定辨理，承包商鷹以一次配退用JS牌懸便先考量，如欲退用非下表規(guī)定之JS牌，需棠主寄核同意彳爰使得退用。^目規(guī)格做（牌a. SUS316LBApipeRnax<RmSumikin/Kuzeb. SUS316LBAtubeRax< gmSumikin/Kuzec. SUS316LBAfitting(forpipe)Rnax< (LLImKitz/Kuze/Swagelok/Ham-letd. SUS316LBAfitting(fortube)Rnax< (LLImKitz/Kuze/Swagelok/Ham-lete. SUS316LEPpipeRnax< RmSumikin/Kuzef. SUS316LEPtube(注1)Rnax<(LLImSumikin/Kuzeg. SUS316LEPfitting(注1)Rnax<gmKitz/Kuze/Swagelok/Ham-leth. SUS316LBAvalve(三15A)Bellowvalve,Rmax<p,mKitz/Ohno/Motoyamai. SUS316LBAvalve(<15A)Diaphragmvalve,Rmax<gmKitz/Fujikin/Ohno/Motoyamaj. SUS316LEPvalve(三15A)Bellowvalve,Rmax<p,mKitz/Ohno/Motoyamak. SUS316LEPvalve(<15A)Diaphragmvalve,Rmax<gmKitz/Fujikin/Ohno/Motoyamal. RegulatorSUS316LEP,VCRtype,Rmax<gmAP-tech/Veriflo/ Tescom/Crownm. FilterinVMB/VMPSUS316LEP,VCRtype,poresize:Pall/Milliporemn. GasketfilterSUS316LEP,poresize:叩Pall/MilliporeB: 1.Cl2、NF3等氯it需逗用VIM+VARH材。VMB/VMP?承包商需metg言十及提供特殊氟醴供鷹所需 VMB及VMP,其安裝數(shù)量及位置者青參照”附件二SpecialtyGasVMBlist”及相信在Bl面指示辨理；VMB/VMPS管^刖直接接至使用黑占。VMB及VMP所需安裝各件及倭表言青參照"VMB/VMM意BT（B?SP-230）指示辨理。承包商於每槿氟H之VMB/VM,P均需於迤氟主管路58留3/8”隔膜^（氫氟懸1/2”）以供未來jg充用。VMBR具借差屋言十以梅附（排氟之正常典否。VMBH具借聚急^^功能，且聚急^^需能於垣埸及速端控制。所有倭霜段倩之黜裝典u就需根StNFPA70,NationalElectricalCode。得襟商J?於琪埸迤行VMB/VM吆功能^垣埸測就其氮測漏率J#=1X10-9atm-cc/sec4237各VMB所需氧H值測器由渠主提供，承包商需負責(zé)安裝及逋結(jié)各控制^路。VMB^所有^件典管件均需以 VCR5U式街接。承包商於每批材料迤畤，需檢附原JS橫瞬及^幸艮告，若懸閾外迤口品刖需附迤出口文件；所有材料iKSIt主封於外覲、瀑浮度迤行橫瞬，合格彳爰方能ifiJS;如有需要也要招所有材料檬品交由公It覃位橫瞬，費用由承包商如橫瞬未連襟舉造成延^之彳爰果，由承包商UJI。所有二次配工程所需材料，借料畤^需於械臺Move-in前一他月完成，且i（有足別的安全J?存量。瓢共用管架慮之力蜀立配管管路support由承包商support/clamps/screws/nuts材?#SUS304之材電承包商需^謾言十算彳爰，提送襟型圄送寄。施工祝乾58裂作H於械臺movein前三十天迤行垣埸1r勘，承包商依曾勘結(jié)果月篩施工圄。movein前二十五天迤行套BlIHS,碓各管^之高程及路彳至。高^度管件需在Class1,000或更佳的琪境內(nèi)迤行焊接，承包商需在垣埸提供陶畤之瓢廛作H碟境，所有管^或管件之58裂作H鷹在^瓢廛琪境中迤行。承包商需提供QCK器商最近三他月內(nèi)之校正幸艮告，測IS幸艮告及校正資料需mt工程肺核可方可使用。安裝作HGN、PN、PO、CDA等管^接至械臺前，需裝段隔膜器、屋力表及謾濾器，群余田安裝數(shù)量及位置者青參照"SP-2二次配管群Bl”（H虢SP-231）指示辨理。所有焊接械具i（能提供給十黜以上人H同畤使用；QC械具i（能提供給三黜以上人H同畤使用,QCftS具J8至少包括氮測漏械、 Particlecounter及露黑占值測械。承包商迤行管^支撐段言十，鷹至少每m即IS言十一黜支撐，或於施作前，提送相信制段言十資料、圄面，供渠主^^核準；如遇垣埸需求，承包商得^^除狀況增加支撐數(shù)量。切管作H：a）管彳至15A以下，可以用手勤切斷器；管彳至15A以上，需使用重勤管串刀切斷，不能使用一般貂弓。切管完彳爰，管壁內(nèi)外皆有毛遏，i（用刮刀酎除毛遏。b）管件55作慮理前（切管或黜管），i（持^以GN吹浮。管作H：1/2”以下配管探管配管，若因琪埸因素瓢法制行，刖一律使用 曰bow施工；4f管需使用合逾之管器，不可使用手!|。焊接作H：a）承包商需於每日工程K始前於琪埸裂作二份各槿不同管彳至之襟型焊道檬品，以供未來垣埸TestPiece目視梅T察比封之襟舉。b）承包商需於下列畤常埸施作TestPiece,不可先行施作，或須東己金泉焊接參數(shù)，系墨QA/QCAjM橫瞬碓熬合格彳爰，施工承商才能K始施工。.每日焊接K始前及結(jié)束彳爰。.改建管彳至大小、金馬棒更換、焊接程式建更彳爰。.焊接工作中斷超謾一小畤或建更18源彳爰。.任何有缺陷之焊接情況彝生彳爰。c）本次氟醴管^二次配工程均探用自勤?1道氮焊（auto-orbitalTIG）技循1施工。.其他^明依棠主之^位提出之需求作懸施工依SL配合渠主系統(tǒng)逋樽之需求施工，若彝生程工情形，i（配合加班或增派人力，以如期完工。管^沖浮所需任何裝借及各安全必i（之IS施裝借，均由承包商自行H責(zé)提供。Hookup畤，ft臺已有定位位置但尚未定位畤，氟I1配管承商需先配置高架地板下方，待Movein械臺定位彳爰即焉上配管逋上檄臺。需瞞K一臺2瓶式的氟瓶架供J#He 瓶本BKH具有auto-switch和auto-purge功能，依摞氟醴屋力、^瓶重量及氯醴性II自勤切換^瓶，其探用雨段式，第一段警告，第二段自勤切換?？刂坪诿?8示軒I虢包含氧I1供犬況、氟瓶重量、！!力U示、 allalarm及runningstatus等功能；控制系統(tǒng)探用可程式化控制（PLC）,能自勤及手勤控制或能典氟H值測系統(tǒng)（GasDetectionSystem）相容；所有管/鈉金f接自S&焊接及VCRgasketCompressionSeals；氟瓶架歧管件上J#有GasketFilter及AfterFilter;得襟商於琪埸迤行氟瓶架之功能瀏忒琪埸測就其氮測漏率三1X10-9atm-cc/sec。承包商需提供氟醴站內(nèi)SiH4房之防爆照明燎具、室內(nèi)空調(diào)段施（房^尺寸m,溫度控制靶H15~25C,氟瓶檀排氟量需典系統(tǒng)承包商碓）,及^房之排氟系統(tǒng)。J?商須於收到PO爰一周內(nèi)派人至SinoMOS或陪同ToolsRefurbish人H）清查Tools數(shù)量及Tiein黑占數(shù)量及尺寸，以利^除借料。.瞬收襟津外H檢查：所有管路是否依照圄面施工，或依照青楚貼上管路襟示。目視檢查焊道JE度及高度，焊道SE度鷹不得超謾 5倍管壁厚度。目視梅T查不得有任何氟孔、爽渣或噩裂。管^^屋：承包商曲矜工程肺，利用最接近之PN接黑占，配接陶畤性管^作^所需氟源。力鷹以1S言十屋力之倍或渠主指定之屋力就^之，寺^需至少4小畤。屋力taaBS使用圄籃式或ft子式屋力區(qū)己金泉器作成群余田言己金景，同畤琪埸安裝4” 面之屋力指示言十作懸參考。余己金兔S目308包括管^之^及屋力下降的情形，使用的流屋，^之日期，畤^及曼方瞬人H,或送棠主存查。^前彳爰之屋力差，在^謾溫度校正彳爰，差鷹不得大於 1%彳爰排放管內(nèi)屋力，308保持吹浮狀熊，或使管內(nèi)保持kg/cm2以上Bl力，同畤須注意安全，防止缺氧。氮測漏梅T瞬：承包商需金十封所有VMBVMPPH及specialtygas管^迤行氮測漏就^。氮測漏率J8三1x10-9atm-cc/sec。水分含量^就：承包商使用PN作懸purgegas,3t逋SO己金泉水分含量建化，以覲察其下降趣勢及作懸是否合格之依SL各I?氟H測制裸占及含量要求鷹依下表辨理：鷹測U位置水分含量要求GN每段支管末端。所有檄臺Tie-in黑占前。三100ppbCDA每段支管末端。所有檄臺Tie-in黑占前。DPW-70CPN、PO每段支管末端。所有檄臺Tie-in黑占前。=10ppb其他裂程氟醴有檄臺Tie-in黑占前=10ppbParticle含量測IS：承包商使用PN作purgegas,瀏就前J8先以PN新行cyclepurge至少30次。測寺冏需至少10分金童，測就屋力懸60~90psig,測制:流速懸7m/s。各I?氟H測制裸占及含量要求鷹依下表辨理：鷹測U位置Particle 含量要求GMCDA每段支管末端。所有檄臺Tie-in黑占前。=10pcs/scf(> !m)PN、PO每段支管末端。所有檄臺Tie-in黑占前。=1pcs/scf(> pm)其他裂程氟醴檄臺Tie-in黑占前=1pcs/scf(> pm)氧氧含量測就：承包商使用PN作懸purgegas,3t逋SB己/錄氧氟含量建化，以H察其下降趣勢及作懸是否合格之依at。各I?氟H測制裸占及含量要求鷹依下表辨理:

鷹測U位置氧氟含量要求GN每段支管末端。所有檄臺Tie-in黑占前。三100ppbPN每段支管末端。所有檄臺Tie-in黑占前。=10ppb其他裂程氟醴檄臺Tie-in黑占前=10ppb瞬收畤需梅T附各^^就幸艮告及竣工ISOI1面.保固期限自瞬收合格彳爰保固期限一年。

TAKE-OFF TAKE-OFFNO. 尺寸Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTEGN55011/2”CV-etcher/QCLabCV-etcher553/8"DECAP(QC)-1/8"ETCHER(QC)-1/4"GN55021/2"9F19F1251/4"9F11203/8"9F11203/8"GN55031/2”9F29F21203/8"9F21203/8"GN55041/2”8F8F553/8"8F503/8"8F503/8"GN55051/2”WJ-999(1)/(2)WJ-999(1)553/8"WJ-999(2)553/8"GN55061/2”SPAREGN55071/2”ND-6200ND-6200201/4"ND-6200201/4"GN55081/2"NOVELLUSNOVELLUS201/4"NOVELLUS201/4"GN55091/2"SPAREGN55101/2"SPAREGN55111/2"SPAREGN55121/2"SPAREGN55131/2"AMI8330cAMI8330C31/4"AMI8330C31/4"AMI8330C31/4"AMI8330C31/4"GN55141/2"SPAREGN55151/2"AMI8330DAMI8330D31/4"AMI8330D31/4"AMI8330D31/4"AMI8330D31/4"GN55161/2"AMI8330BAMI8330B31/4"AMI8330B31/4"AMI8330B31/4"AMI8330B31/4"GN55171/2"SPAREGN55181/2"LAM590A/PSC-4LAM590A101/2"LAM590A31/2"LAM590A31/4"附件BulkGasTake-offList

附件BulkGasTake-offListTAKE-OFF TAKE-OFFNO. 尺寸Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTELAM590A11/2"PSC-431/4"PSC-431/4"GN55191/2"LAM590C/BLAM590C101/2"LAM590C31/2"LAM590C31/4"LAM590C11/2"LAM590B101/2"LAM590B31/2"LAM590B31/4"LAM590B11/2"GN55201/2"LAM4420A/B/S6000LAM4420A103/8"LAM4420A103/8"LAM4420A31/4"LAM4420A31/4"LAM4420B103/8"LAM4420B103/8"LAM4420B31/4"LAM4420B31/4"S6000-1/4"GN55211/2"SPAREGN55221/2"LAM490C/BLAM490C101/2"LAM490C31/2"LAM490C31/4"LAM490C11/2"LAM490B101/2"LAM490B31/2"LAM490B31/4"LAM490B11/2"GN55231/2"LAM490ALAM490A101/2"LAM490A31/2"LAM490A31/4"LAM490A11/2"GN55241/2"Tegal900A/B（位置未定）Tega1900A31/4"Tega1900A31/4"Tegal900B31/4"Tegal900B31/4"GN55251/2"SPAREGN55261/2"SPAREGN55271/2"H2H2-3/8"H2-3/8"GN55281/2"HF1703/8"GN55291/2"SPAREGN55301/2"H1H1-3/8"H1-3/8"GN55311/2"H31703/8"

TAKE-OFF TAKE-OFFNO. 尺寸Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTEGN55321/2”SPAREGN65011/2"7F7F553/8”7F1503/8"GN65021/2”7F7F1503/8"7F1503/8"GN65031/2”6F553/8"GN65041/2”SPAREGN65051/2”SPAREGN65061/2”SOG-273/8"GN65071/2"SPAREGN65081/2"SPAREGN65091/2"SPAREGN65101/2"AMI8310B/AAMI8310A31/4"AMI8310A31/4"AMI8310A31/4"AMI8310A31/4"AMI8310B31/4"AMI8310B31/4"AMI8310B31/4"AMI8310B31/4"GN65111/2"SPAREGN65121/2"MATRIX(1)/(2)MATRIX(1)31/2"MATRIX(2)31/2"GN65131/2"LAM4520LAM4520103/8"LAM4520103/8"LAM452031/4"LAM452031/4"GN65141/2"SPAREGN65151/2"SPAREGN65161/2"PSC-5PSC-531/4"PSC-531/4"GN65171/2"SPAREGN65181/2"PSC-3/1PSC-331/4"PSC-331/4"PSC-131/4"PSC-131/4"GN65191/2"SPAREGN65201/2"SPAREGN65211/2"SPAREGN65221/2"SPAREGN65231/2"SPAREGN65241/2"CDO1/2/3（位置未定）CDO1-1/4"CDO2-1/4"CDO3-1/4"GN65251/2"SPARE

TAKE-OFF TAKE-OFFNO. 尺寸Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTEGN75011/2”SPAREGN75021/2"5F/4F5F553/8"4F553/8"GN75031/2”3F553/8"GN75041/2”SPAREGN75051/2”CR-19911/2"GN75061/2”CR-19911/2"GN75071/2”STEPPER14/COATER7/8STEPPER14201/4"COATER7/8-3/8"GN75081/2"CR-39911/2"GN75091/2"STEPPER13/8STEPPER13201/4"STEPPER8201/4"STEPPER7201/4"STEPPER3201/4"GN75101/2"SPAREGN75111/2"CR-39911/2"GN75121/2"STEPPER12/6/2STEPPER12201/4"STEPPER6201/4"STEPPER2201/4"GN75131/2"SPAREGN75141/2"STEPPER11/5/1STEPPER11201/4"STEPPER5201/4"STEPPER1201/4"GN75151/2"SPAREGN75161/2"OBM/M3OBM301/4"M31701/4"M31701/4"GN75171/2"UL-2/AN1UL-2-3/8"AN1453/8"GN75181/2"M2M21701/4"M21701/4"GN75191/2"AN2453/8"GN75201/2"M1M11701/4"M11701/4"GN85011/2"2F2F553/8"2F1503/8"2F1503/8"GN85021/2"1F1F553/8"1F1503/8"1F1503/8"GN85031/2"SPAREGN85041/2"SPARE

TAKE-OFF TAKE-OFFNO. 尺寸Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTEGN85051/2”SPAREGN85061/2"SPAREGN85071/2”COATER4/5/10COATER4/5-3/8"COATER1011/4"GN85081/2”SPAREGN85091/2”COATER1/DEV12COATER1/2/3-3/8"DEVELOPER1211/4"STEPPER4201/4"GN85101/2”DEVLOPER7/1DEVELOPER7/8/9-3/8"DEVELOPER1/2/3-3/8"S8820-1/4"（位置未定）PN55011/2”CWCROOMCWC-OXIDE2831/4"CWC-POLY2831/4"CWC-METAL2831/4"PN55021/2"TUBECLEAN/SORTEROVEN203/8"OVEN203/8"CV-etcher553/8"SORTER8501/4"chemicalhood(QC)5661/4"SEM(S-4700,QC)-1/4"SEM(JSM-6700F,QC)-1/4"PN55031/2"9F-1/2/AG4100AG4100151/4"9F-1701/4"9F-2553/8"PN55041/2"8F/QS3008F553/8"QS3008501/4"PN55051/2"WJ-1/2WJ-1553/8"WJ-2553/8"PN55061/2"Localscrubber（位置未定）Localscrubber501/4"Localscrubber501/4"Localscrubber501/4"Localscrubber501/4"Localscrubber501/4"Localscrubber501/4"PN55071/2"SPAREPN55081/2"ND-6200(2)/NOVELLUSND-6200(2)151/4"NOVELLUS151/4"PN55091/2"5F55F5553/8"5F5553/8"PN55101/2"SPAREPN55111/2"SPAREPN55121/2"SRD/EKC-N/OVEN

TAKE-OFFNO.TAKE-OFF尺寸Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTEOVEN31/4"SRD1703/8"SRD1703/8"EKC-N2851/4"PN55131/2"SRD/EKC-C/OVENOVEN31/4"SRD1703/8"SRD1703/8"EKC-C2851/4"PN55141/2"AMI8330CAMI8330C101/4"AMI8330C2003/8"AMI8330C31/4"AMI8330C11/4"AMI8330C1/4"PN55151/2"AMI8330DAMI8330D101/4"AMI8330D2003/8"AMI8330D31/4"AMI8330D11/4"AMI8330D1/4"PN55161/2"AMI8330BAMI8330B101/4"AMI8330B2003/8"AMI8330B31/4"AMI8330B11/4"AMI8330B1/4"PN55171/2"SPAREPN55181/2"LAM590A/PSC-4LAM590A1/2"PSC-431/4"PSC-431/4"PN55191/2"LAM590C/BLAM590C1/2"LAM590B1/2"PN55201/2"LAM4420A/BLAM4420A101/4"LAM4420A11/4"LAM4420A11/4"LAM4420A11/4"LAM4420A11/4"LAM4420A11/4"LAM4420B101/4"LAM4420B11/4"LAM4420B11/4"LAM4420B11/4"LAM4420B11/4"LAM4420B11/2"PN55211/2"SPAREPN55221/2"LAM490C/OVENLAM490C1/2"OVEN31/4"PN55231/2"LAM490A/B

TAKE-OFF TAKE-OFFNO. 尺寸Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTELAM490A1/2"LAM490B1/2"PN55241/2"SPAREPN55251/2"BOE50:1/H2O2/SRD/OVENBOE50:15671/4"H2O25671/4"SRD5671/4"OVEN31/4"PN55261/2"SPAREPN55271/2"SPAREPN55281/2"SPAREPN55291/2"SPAREPN65011/2"SPAREPN65021/2"6F/7F6F553/8"7F553/8"5F553/8"PN65031/2"SPAREPN65041/2"SPAREPN65053/4"FSI-63123/4"PN65063/4"FSI-53123/4"PN65071/2"SPAREPN65081/2"SRD-CR1SRD-CR11703/8"SRD-CR11703/8"PN65091/2"LAM8310BLAM8310B101/4"LAM8310B2003/8"LAM8310B31/4"LAM8310B11/4"PN65101/2"SPAREPN65111/2"LAM8310ALAM8310A101/4"LAM8310A2003/8"LAM8310A31/4"LAM8310A11/4"PN65121/2"MATRIX1/2/OVENMATRIX131/2"MATRIX231/2"OVEN31/4"PN65131/2"SPAREPN65141/2"LAM4520LAM4520101/4"LAM45201/4"LAM4520101/4"LAM45201/4"PN65151/2"SRD-CR3SRD-CR31703/8"SRD-CR31703/8"PN65161/2"SRD-CR2/CR2SRD-CR21703/8"SRD-CR21703/8"CR-22831/4"

TAKE-OFF TAKE-OFFNO. 尺寸Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTEPN65171/2”B17/18/PSC-1/3/5B17/182831/4"PSC-131/4"PSC-131/4"PSC-331/4"PSC-331/4"PSC-531/4"PSC-531/4"PN65181/2"SRD-B17/18SRD-B17/181703/8"SRD-B17/181703/8"PN65191/2”SRD-BOE2SRD-BOE21703/8"SRD-BOE21703/8"PN65201/2”BOE-22853/8"PN65211/2”BOE-12853/8"PN65221/2”SRD-BOE1SRD-BOE11703/8"SRD-BOE11703/8"PN65231/2”GAMAsubsystem（位置未定）［Preheat2851/4"Preheat2851/4"H/DI2851/4"PN65241/2"SPAREPN65251/2"SPAREPN75011/2"SPAREPN75021/2"4F/3F4F553/8"3F553/8"PN75031/2"SPAREPN75043/4”FSI-43123/4"PN75053/4”FSI-33123/4"PN75061/2"SCRUBBER5661/4"PN75071/2"SPAREPN75081/2"CR-1CR-1301/4"CR-1301/4"CR-1301/4"CR-1301/4"PN75091/2"CR-3CR-3301/4"CR-3301/4"CR-3301/4"CR-3301/4"PN75101/2"SPAREPN85011/2"SPAREPN85021/2"1F/2F1F553/8"2F553/8"PN85031/2"HF50:1/SRDHF50:12831/4"SRD2831/4"PN85043/4"FSI-13123/4"

TAKE-OFF TAKE-OFFNO. 尺寸Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTEPN8505 | 3/4” | RCA5003/4"PN85061/2”Megasonic/SRD（位置未定）Megasonic5671/4"SRD5671/4"PN85071/2”coater7/8,4/5,10coater7/8-3/8"coater4/5-3/8"coater10-3/8"PN85081/2”SPAREPN85091/2”developer12,7/8/9developer12-3/8"developer7/8/9-3/8"PN85101/2”Developer1/2/3-3/8”PO55011/2"9F-2/8F/AG4100AG4100201/4"8F201/4"9F-211/4"PO55021/2"SPAREPO55031/2"WJ-1/2WJ-1201/4"WJ-2201/4"PO55041/2"ND-6200(2)/NOVELLUSND-6200(2)201/4"NOVELLUS201/4"PO55051/2"SPAREPO55061/2"5F55F5221/4"5F5221/4"PO55071/2"AMI8330B/C/DAMI8330B1/4"AMI8330C1/4"AMI8330D1/4"PO55091/2"SPAREPO55091/2"SPAREPO55101/2"LAM590A/PSC-4LAM590A1/2"PSC-421/4"PSC-421/4"PO55111/2"LAM590B/C/PSC-3/5LAM590B1/2"LAM590C1/2"PSC-321/4"PSC-321/4"PSC-521/4"PSC-521/4"PO55121/2"LAM4420A/BLAM4420A1/4"LAM4420A1/4"LAM4420B1/4"LAM4420B1/4"PO55131/2"LAM490A/B/C/PSC-1LAM490B1/2"LAM490C1/2"

TAKE-OFF TAKE-OFFNO. 尺寸Tool檄臺流量LPM檄臺接MM尺寸檄臺接MM型式NOTELAM490A1/2"PSC-121/4"PSC-121/4"PO55141/2"Tegal900A/B（位置未定）Tega1900A1/4"Tegal900B1/4"PO55151/2"SPAREPO55161/2"SPAREPO65011/2"6F/7F6F221/4"7F221/4"5F221/4"PO65021/2"SPAREPO65031/2"SPAREPO65041/2"AMI8310A/BAMI8310A1/4"AMI8310A1/4"AMI8310B1/4"AMI8310B1/4"PO6505PO75011/2"MATRIX1/2MATRIX11/2"MATRIX21/2"1/2"3F/4F3F221/4"4F221/4"PO75021/2"SPAREPO7503PO85011/2"SPARE1/2"1F/2F1F221/4"2F221/4"PO85021/2"SPAREPO85031/2"SPARE附件二SpecialtyGasVMBListCATEGORYNO.GASVMBVMPSERVICETOOLNO./CONNECTORSIZE&TYPETypeNo.LocationTypeNo.Location12345678PYROPHORIC/FLAMMABLE1SiH2cl23+1GVB-30389-HJ1F2F9F11/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR2SiH，3+1GVB-30256-GHNovelND62008F18F21/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR3+1GVB-30489-HJ1F2F7F1/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR3NH3+1GVB-30156-HNovel9F18F18F21/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR3+1GVB-30589-HJ1F2F1/4"UJR1/4"UJR4Hb7+1GVB-70189-HJ1F2F3F4F5F5F56F7F1/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR5PH/N23+1GVB-30856-GHWJ1WJ21/4"UJR1/4"UJR6SiH，/N23+1GVB-30656-GHWJ1WJ21/4"UJR1/4"UJR7B2H/N23+1GVB-30756-GHWJ1WJ21/4"UJR1/4"UJRCORROSIVE/TOXIC8CI25+1GVB-70256-EF490A490B490C8330A8330B8330C1/2"1/2"1/2"1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR7+1GVB-70356-FG4420A4420BP5000P50001/4"VCR1/4"VCR9HBr5+1GVB-70456-EF4420A4420BP5000P50001/4"VCR1/4"VCR10NF3+1GVB-3096-G8310A8310B1/4"VCR1/4"VCR11BCk5+1GVB-3106-G8330A8330B8330C1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR12HFnoVMBCV-ETCH1/4”UJR

CATEGORYNO.GASVMBVMPSERVICETOOLNO./CONNECTORSIZE&TYPETypeNo.LocationTypeNo.Location12345678INERT13CHF5+1GVP-7036-F590A590B590C8330A8330B8330C1/2"1/2"1/2"1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR3+1GVP-30367-F4520A4520B8310A8310B1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR14CF7+1GVP-70156-FGND6200P5000P50008330A8330B8330C1/4"UJR1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR7+1GVP-7076-EF4420A4420B590A590B590C4520A4520B1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/2"1/2"1/4"VCR1/4"VCR15GFe7+1GVP-7086-EFNovel4420A4420B490A490B490C1/4"UJR1/4"VCR1/4"VCR1/2"1/2"1/2"16SR5+1GVP-70467-GHTegal900ATegal900B590B590C1/4"1/4"1/2"1/2"3+1GVP-7096-EF590A490A490B490C1/2"1/2"1/2"1/2"7+1GVP-70256-FG4420A4420BP-5000P-50001/4"VCR1/4"VCR17Ar3+1GVP-30467-F8310A8310B4520A4520BCoater(QC)1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR5+1GVP-71089-DAN1AN2UL-23/8"3/8"3/8"18He7+1GVP-7056-EF490A490B490C590A590B590C4520A4520B1/2"1/2"1/2"1/2"1/2"1/2"5+1GVP-70656-FG4420A4420B1/4"VCR1/4"VCRnoVMPSOG3/8”19N2O3+1GVP-30156-GHNovel8F18F2ND62001/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR1/4"UJR20He/Q3+1GVP-30256-FGP5000P5000附件三CDATake-offListTAKE-OFFNO.TAKE-OFF尺寸檄臺名ft檄臺流量NLPM檄臺接H尺寸(in)檄臺接MM型式NOTEmm)in①CDA-SMain01255187135phaseIonly@8barstateWATtubecleantubecleantubecleantubecleanCWCCWC位置未定tubeclean位置未定CDA-SSub16521/2737521/2CA55014011/2CV-etcher601/4poly-flow5601/4poly-flow5601/4Partsclean5601/4Tubeclean5601/4CWC-OXIDE1281/4CWC-Metal2801/4CWC-poly2801/4Boatclean5601/4CA55024011/29F2TEOS601/49F-1NITRIDE601/4RTAAG4100151/48F1201/4CA55034011/2spareCA55044011/2PECVDND-6200(2)151/45F5303/85F5303/8Cassetteclean5601/4Magesonic5601/4CA55054011/2OVEN31/4EKCB232831/4OVEN-N31/4AMI8330(C)31/451/4101/4CA55064011/2AMI8330(A)31/451/4101/4AMI8330(B)31/451/4101/4PSC-431/431/4EKCN-PPS2831/4LAM590C33/8LAM590A33/8CA55074011/2spareCA55084011/2LAM4420B381/4LAM4420A381/4S6000301/4LAM590B33/8LAM490A33/8LAM490B33/8LAM490C33/8OVEN-131/4CA55094011/2KLA2132303/8H2O25661/4SRD5661/4

TAKE-OFFTAKE-OFF尺寸檄臺名ft檄臺流量檄臺接I1檄臺接NOTENO.mm)in①NLPM尺寸(in)MM型式CA55104011/2HI-IMPNV-10(2)303/8HI-IMPNV-10(1)303/8BOE50:111/4RS35-1301/4CA55114011/2spareCA55124011/2NV-10(3)4503/8CDA-SSub26521/2397821/2@8barstateCA65014011/2spareCA65024011/27F201/46F601/4CA65034011/2FSI-6301/2FSI-5301/2位置未定CA65044011/2WT-15601/4WT-25601/4位置未定WT-35601/4位置未定CA65054011/2AMI8310(A)31/451/4AMI8310(B)31