半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)全梳理

半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)全梳理1.半導(dǎo)體零部件、模組的分類？每個(gè)分類國產(chǎn)化的情況？難度的排序？零部件分類：l模組件：分為EFEM（傳送模塊）、傳送腔體、反應(yīng)腔體，還有部署設(shè)備（氣柜、電柜）、清洗組件、冷卻組件（CM）。l零部件：1）金屬件：一般包括鋁錠（純鋁，用作腔體）、不銹鋼（用作骨架）、鋁合金為原料制作的產(chǎn)品，目前國產(chǎn)化率最高。2）非金屬件：陶瓷件、石英件、石墨。3）氣柜：主要用世偉洛克的產(chǎn)品；其中的氣體管路等配件主要用的SMC、VAT的產(chǎn)品。氣柜產(chǎn)品有的是廠家自己制作的，有的是委托下游廠商制作的，例如富士金、VAT、UCT。4）儀表類：主要是流量計(jì)，目前主要用SMC和日本津市的多一些。5）射頻電源：主要用的MKS產(chǎn)品。6）閥門：主要用的VAT和SMC，VAT的產(chǎn)品是用的最多的，國內(nèi)也是用這兩家多一些。但是應(yīng)材的產(chǎn)品是自己定制的，不采用現(xiàn)有的模塊。7）泵：常用的就是德國普旭和愛德華，愛德華用的是最多的。8）管路連接：與氣柜連接的管路主要是四家的產(chǎn)品，MKS、VAT、UCT、富士金。l國產(chǎn)化進(jìn)度：目前不論是國內(nèi)還是國外設(shè)備廠商都是用的上面這些廠商的產(chǎn)品，很少用國內(nèi)沒有認(rèn)證的零部件產(chǎn)品。除了金屬加工件這種常見的產(chǎn)品外，其他的氣體管路、氣柜、儀表、電源、閥門、泵之類的，都是用的國際大品牌。l難易程度：1）非金屬類產(chǎn)品加工是難度最大的，交期最長可能8~10個(gè)月。例如石英件、陶瓷件的加工等，可能都是以國外為主。國內(nèi)的大和熱磁，目前是國內(nèi)用的最多的。2）其次是配置類，基本上都是被國外所壟斷，包括精度高一點(diǎn)的各種流量計(jì)，這些東西是被國外壟斷的，交期也非常長，有時(shí)還涉及到一些政治因素。3）第三是氣柜模組部分。4）最后是金屬加工的部分。2.模組和金屬加工的生產(chǎn)模式？

模組部分生產(chǎn)模式：其中EFEM模組，國內(nèi)用的最多的品牌是日本RORZE的；傳輸模組的部分都是靠設(shè)計(jì)，通過仿制應(yīng)材、LAM等產(chǎn)品，之后自己研發(fā)一部分，定制產(chǎn)品委外制造；氣柜也根據(jù)自己的工藝去設(shè)計(jì)，當(dāng)然也會參考一些國外的設(shè)計(jì)，通過委外廠商（VAT、UCT、富士金等）進(jìn)行定制。3.現(xiàn)在全球有哪些大的企業(yè)，國內(nèi)的情況又是怎么樣？（1）機(jī)加工部分，金屬加工這一塊基本上都是國內(nèi)制造的，通過國內(nèi)一些大的機(jī)加工廠，像富創(chuàng)、富士邁、托倫斯、靖江先鋒、晶盛機(jī)電等，他們本身業(yè)務(wù)都是以相關(guān)的半導(dǎo)體設(shè)備零部件機(jī)加工為主。這一塊不是瓶頸。（2）流量計(jì)、儀表、射頻電源、閥門、泵等產(chǎn)品，目前還沒有國內(nèi)廠商進(jìn)入設(shè)備中，都是用的現(xiàn)有的世偉洛克、富士金、SMC等這幾家的產(chǎn)品。國內(nèi)的半導(dǎo)體零部件生產(chǎn)廠商，富士邁、北方華創(chuàng)、沈陽富創(chuàng)、晶盛機(jī)電、先導(dǎo)智能等，用的都是從這些品牌采購原物料進(jìn)行二次組裝的動作。（3）零部件整體的國產(chǎn)化率，估計(jì)不會到20%。除了機(jī)加工件、一些陶瓷件和石英件的加工之外，其他部分基本上都是這些國際的大品牌占據(jù)市場。目前國內(nèi)替代的只有一款，就是北方華創(chuàng)旗下的七星的流量計(jì)，會用在華創(chuàng)自己的設(shè)備上。氣體廠商都沒用七星的流量計(jì)，沒有被市場認(rèn)證，所以沒有人敢隨便用。4.對比國內(nèi)廠商，富創(chuàng)、富士邁、靖江先鋒、托倫斯、大和熱磁等，他們的業(yè)務(wù)情況？對于一個(gè)金屬零部件企業(yè)，需要有自己的機(jī)加工廠、鈑金廠（做烤漆和噴砂）、表面處理廠（清洗、電鍍等）。（1）技術(shù)對比：這幾家廠商的加工方式差不多，都有自己的機(jī)械加工和表面處理技術(shù)，富創(chuàng)、富士邁有鈑金技術(shù)，托倫斯、靖江先鋒還有沒鈑金。機(jī)加工這部分除了工程師能力技術(shù)外，還和加工設(shè)備精度很相關(guān)，這直接決定了零部件的精度。目前做得最好的是富士邁，靖江先鋒、托倫斯和富創(chuàng)都是從富士邁挖的人，富士邁的設(shè)備也都是買的日本、德國的高精度設(shè)備，單臺都是上千萬的價(jià)格。l富士邁是臺資企業(yè)，在中國臺灣的母公司是京鼎精密，產(chǎn)品主要是供應(yīng)給應(yīng)材的，精密加工每年出貨腔體在1000多顆，目前年銷售額大概有20多億元。l大和熱磁主要做石英件加工，目前國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商用的比較多的是他們家的。lUCT做氣體管路和焊接產(chǎn)品比較多，按照定制的要求對管路進(jìn)行彎折和不銹鋼管的焊接等。（2）技術(shù)差距：國內(nèi)這幾家公司主要區(qū)別是加工工藝和精度部分，只要有帶密封性質(zhì)的腔體和管路的部分對工藝是最關(guān)鍵，目前這幾家公司在工藝上有點(diǎn)參差不齊。例如要加工一個(gè)兩米多的腔體，這幾家做都沒有問題，只是在加工精度上不一定能達(dá)到真正的設(shè)計(jì)要求。富創(chuàng)對標(biāo)的是富士邁，整合能力比較強(qiáng)；靖江先鋒、托倫斯也一樣，但是沒有鈑金廠。（3）客戶分類：大部分都是國內(nèi)的客戶，富創(chuàng)代工了一部分應(yīng)材的業(yè)務(wù)。靖江先鋒和托倫斯主要服務(wù)泛半導(dǎo)體行業(yè)，包括光伏和半導(dǎo)體，光伏設(shè)備要求沒那么高；富創(chuàng)精密集中在半導(dǎo)體領(lǐng)域。5.機(jī)械加工的難度在哪？有什么技術(shù)壁壘嗎？（1）機(jī)加工難度主要是在精度加工和一些大尺寸加工，受限于加工的設(shè)備，尺寸越大，設(shè)備廠商可能沒辦法增加資金投入去進(jìn)行加工。精度受限于機(jī)加工設(shè)備，德國和日本的機(jī)房精度都很高，所以在精度上是有差異的。要是做應(yīng)材的訂單，基本上國內(nèi)的一些設(shè)備很難做成，良品率非常低。（2）除了跟機(jī)臺有關(guān)系，跟公司的工程師的技術(shù)能力也有關(guān)系，設(shè)計(jì)加工的工藝要反復(fù)摸索，要有技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。*不良率就是指加工尺寸精度上不達(dá)標(biāo)，比如表面粗糙度、加工尺寸等，需要達(dá)到小數(shù)點(diǎn)兩位數(shù)；還有弧度、表面粗糙度、加工精度這三方面達(dá)不到圖紙的技術(shù)要求。富士邁的良率基本上都在90%。富創(chuàng)的良率在20~30%，產(chǎn)線有黃單，意味著這個(gè)加工件有異常。富創(chuàng)的產(chǎn)品分兩部分，一等的做的比較好的部分直接給美國客戶了；二等的稍微差一點(diǎn)的可能自己組裝，組裝之后供給國內(nèi)客戶。靖江先鋒跟托倫斯，做了一部分光伏設(shè)備的零部件，主要面向國內(nèi)客戶，不會要求那么高，所以比較容易達(dá)成要求。6.表面處理難點(diǎn)在哪？主要難點(diǎn)就是表面處理，比如做陽極處理鍍膜類的工藝，重點(diǎn)關(guān)注膜厚、表面硬度、表面色差?；瘜W(xué)藥水的配比、電流控制、反應(yīng)時(shí)間長短等，都會影響到表面處理的結(jié)果。這些雖然是有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，但是實(shí)際在制作過程中還是不穩(wěn)定富士邁做的產(chǎn)品穩(wěn)定性比較好。富創(chuàng)的產(chǎn)品目前從專家角度來看，腔體里不同的區(qū)域有色差，感覺工藝就不是那么好。靖江先鋒進(jìn)行表面處理的均勻度要好一些，今年5月份，富創(chuàng)的產(chǎn)品拿去靖江先鋒重新加工了。7.組裝的技術(shù)難度？組裝不是很難，在幾個(gè)技術(shù)里是技術(shù)含量最低的，只是受限于人的習(xí)慣和行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)。只要大家把訓(xùn)練制度執(zhí)行力做好，按照標(biāo)準(zhǔn)去作業(yè)，基本上沒有太大的問題。因?yàn)樾袠I(yè)內(nèi)被應(yīng)材訓(xùn)練出來了，完全按照應(yīng)材的標(biāo)準(zhǔn)去做的，基本上國內(nèi)所有的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)都是對標(biāo)的應(yīng)材的標(biāo)準(zhǔn)。8.國內(nèi)現(xiàn)在做不了的儀器儀表類的、閥門、泵、射頻電源等產(chǎn)品，難點(diǎn)在哪？流量計(jì)、隔膜閥等產(chǎn)品是受到美國的軍工管制的。特別是精度控制流量計(jì)的部分，是我們目前國內(nèi)沒辦法制作的。國內(nèi)公司買流量計(jì)都是受到美國管控，要授權(quán)之后才能賣，而且產(chǎn)品一旦壞掉了，要把壞的寄到美國，美國再重新申請新的回來再用，不能自己報(bào)廢。9.目前零部件的需求及交期情況？國產(chǎn)化未來有多大的空間？像一些石英件、陶瓷件的加工，以及隔膜閥、流量計(jì)等產(chǎn)品目前不管在半導(dǎo)體行業(yè)，還是光伏行業(yè)中都是最稀缺的一些零部件，大家都在搶資源。有的交期都排到10個(gè)月之后，甚至排到12個(gè)月之后或更長，大家都在搶國際市場上的資源。l國內(nèi)的零部件廠商目前為止還沒有哪家能跟國際企業(yè)去媲美的，一個(gè)產(chǎn)品進(jìn)入市場必須得有下游廠商去試錯(cuò)才能去做這個(gè)東西。華創(chuàng)在用他自己的零部件，但是其他的半導(dǎo)體廠商沒人敢用，所以關(guān)鍵的部分基本上都是受制于國外。l目前只有任人擺布，有好的資源、好的價(jià)格就可能會比較好拿貨，付款條件好、價(jià)格高，有人脈、有資源，交期就比較短。10.閥門的國產(chǎn)化的進(jìn)度，還有國內(nèi)廠家能做到一個(gè)什么樣的水平？閥門的幾個(gè)品牌，VAT是最多的、其次是富士金、再一個(gè)就是MKS。國產(chǎn)的基本上半導(dǎo)體行業(yè)還沒人敢用國產(chǎn)類的閥門、隔膜閥類的東西。11.京鼎精密的毛利率一直在25~26%左右，富創(chuàng)在30~40%左右，是因?yàn)楦粍?chuàng)的良率在這幾年有很快的提升嗎？關(guān)于富創(chuàng)的良率問題，數(shù)據(jù)來源是兩三年之前，這兩年會不會有一個(gè)質(zhì)的一個(gè)飛躍，有可能也會有，但是提到提高了多少不清楚。l富士邁和應(yīng)材的的交易，是先到京鼎，從京鼎再交易到美國，這中間會有一個(gè)利差。l富士邁下面的一個(gè)部門，毛利大概是40%左右。因?yàn)榻M裝的行業(yè)是代工模式，所以基本上報(bào)價(jià)就是以組裝的工時(shí)為主，所以工時(shí)的費(fèi)率都是透明化的。客戶給個(gè)目標(biāo)的工時(shí)，就按這個(gè)目標(biāo)工時(shí)去定價(jià)格?；旧蟽r(jià)格控制到一個(gè)范圍了，剩下的部分就是內(nèi)部一定要做哪些改善去提升效率，怎么去提升毛利。l富士邁毛利低的原因，還有一個(gè)就是富創(chuàng)的人工成本各方面比富士邁要便宜的多，再加上一些設(shè)備上可能也會比富士邁要低一點(diǎn)，富士邁用的機(jī)加工的設(shè)備而基本上都是德國日本進(jìn)口的，一臺設(shè)備可能要1600多萬。12.未來可能因?yàn)橹忻狸P(guān)系的問題，不再采購中國的材料設(shè)備等，甚至可能要把之前買的中國一些設(shè)備報(bào)廢掉。這個(gè)會不會影響到之后富創(chuàng)或者富士邁給應(yīng)材的供應(yīng)？應(yīng)材投資了幾千萬美金，在中國臺灣廠又建了一個(gè)新的組裝廠加機(jī)加工廠，擔(dān)心以后兩岸關(guān)系或中美關(guān)系導(dǎo)致沒辦法通過富士邁加工和組裝。一部分業(yè)務(wù)可能會后續(xù)會轉(zhuǎn)到中國臺灣，基本上不會有太多的東西直接搬到中國臺灣的。目前富士邁上海廠業(yè)務(wù)還是很火的，目前訂單量還是非?？捎^的，每年基本上20~30%成長。l富創(chuàng)采購了一小塊富士邁產(chǎn)品，相關(guān)的份額很小，只用在一種模塊中，所以組裝部分也非常少，所以這一塊對它影響不大。l富創(chuàng)未來主要做國內(nèi)的一些業(yè)務(wù)，對外面的只有應(yīng)材的一小部分，對公司來說可有可無；對于應(yīng)材來講，也只是很小的一塊業(yè)務(wù)，所以對兩邊基本不會有什么影響。13.晶盛機(jī)電和北方華創(chuàng)這些設(shè)備公司的零部件板塊營收情況？晶盛有機(jī)加工的部分，之前是以單晶爐起家的，后面逐步擴(kuò)展到一些藍(lán)寶石或者其他一些設(shè)備，目前擴(kuò)展到一些外延設(shè)備，供給中環(huán)等廠商。后續(xù)公司通過收購并購來增加產(chǎn)品種類，例如收購了杭州一家機(jī)加工廠，但是還是原來的人管理，不是靠研發(fā)來擴(kuò)充業(yè)務(wù)。l晶盛機(jī)電旗下的零部件業(yè)務(wù)這兩年能做到十幾個(gè)億，主要是因?yàn)樗麄兊膯尉t占全國80~90%的市場，還一直在出口，外延設(shè)備每年訂單量也超過100臺，所以他們自己用自己的產(chǎn)品，訂單量比較大。14.第三代半導(dǎo)體碳化硅的設(shè)備，外延環(huán)節(jié)設(shè)備也是依賴于日本以及歐美的設(shè)備，聽說北方華創(chuàng)在積極的布局，這一塊的國產(chǎn)化的難點(diǎn)在哪？外延設(shè)備目前國內(nèi)首先做出來的是北方華創(chuàng)，第二家是先導(dǎo)旗下的天芯微半導(dǎo)體，目前是競爭對手，對標(biāo)的也是應(yīng)材的外延設(shè)備。l目前華創(chuàng)是優(yōu)先做出來這個(gè)設(shè)備，但華創(chuàng)是先把設(shè)備做出來，還沒有跑工藝；天芯微是α過了之后在廠里跑了工藝，華創(chuàng)是把α放到中芯國際做了。目前華創(chuàng)的工藝問題比較多一點(diǎn)，天芯微技術(shù)比較領(lǐng)先一點(diǎn)。華創(chuàng)技術(shù)要落后一些，雖然出貨3臺了，但是并沒有在廠內(nèi)進(jìn)行驗(yàn)證。l設(shè)備難點(diǎn)其實(shí)對零部件來講還好，因?yàn)榇蠹叶寄茏觥９に囯y點(diǎn)第一個(gè)就是溫度的控制，第二個(gè)就是工藝氣體的控制。用同一款設(shè)備，控溫的參數(shù)和流量的校正這些參數(shù)調(diào)整還是不一樣，是需要做一個(gè)微調(diào)。溫度和一個(gè)工藝氣體的配比，這兩個(gè)是最重要的。還有就是對于工藝腔體的要求，核心的東西就是里面的石英件，因?yàn)榍惑w溫度大概在960度到1160之間區(qū)間，所以對石英件的精度，比如說它的光折射率、工作完應(yīng)力釋放、熱脹冷縮的空間設(shè)計(jì)等因素，這些都會影響到腔體的使用。15.碳化硅的外延設(shè)備國產(chǎn)化能夠起來的時(shí)間節(jié)點(diǎn)大概什么時(shí)候？參照對標(biāo)的是應(yīng)材，天芯微目前的產(chǎn)品有些參數(shù)是優(yōu)于他們的。但是這涉及到一個(gè)問題，就是說它的穩(wěn)定性是怎么樣的，這是一個(gè)有待驗(yàn)證的問題。目前打算24小時(shí)去跑這個(gè)設(shè)備。l推出時(shí)間預(yù)估大概在明年，目前接到訂單已經(jīng)有除了貝塔級的中芯國際之外有兩臺已經(jīng)被客戶定了，其他部分不敢接太多的單子，一個(gè)就是工藝方面的需求，因?yàn)檫€沒有對穩(wěn)定性驗(yàn)證完；另外就是一些長交期的物料，突然定這么多臺，可能到一年之后，這些設(shè)備才能做出來。16.目前行業(yè)內(nèi)公司待遇大概是什么樣的水平？對員工的要求？一線的工人，綜合收入年薪平均在12萬左右，就是普通的作業(yè)員，就是組裝的隊(duì)員；技術(shù)員每年可能會多拿兩三萬，在12萬到25萬左右；工程師比技術(shù)員又高一點(diǎn)，但是不會高太多，大概20%，按級別分，薪資有差異，產(chǎn)品工程師比制造工程師高10%左右。平均薪資應(yīng)該在15,000~2萬左右。在被認(rèn)證之前，有任何想法都是不被允許的，只能按照被文件定義好的東西去做，你不能有自己的任何其他想法做到是最低的原則，因?yàn)閼?yīng)材的文件非常齊備，每一個(gè)動作是怎么樣、螺絲怎么擰都是確定的，遵循原則就對了。17.富士邁的組裝的毛利率水平？營收占比有多少？組裝的毛利率平均在21%左右，凈利率大概是13~14%。從中國臺灣京鼎出去，可能凈利潤和毛利會更高一點(diǎn)，因?yàn)榇箨懚愂栈蛘吒鞣矫娴臇|西。l富士邁一年?duì)I收20億元，大部分都是組裝成定制產(chǎn)品或者通用腔體（applycommonplate）后出貨，一年要出幾千臺的量。l單獨(dú)出一個(gè)機(jī)加工零部件的情況很小，除非是客戶出現(xiàn)質(zhì)量損壞了，就單獨(dú)出一個(gè)給他們，幾乎可以忽略不計(jì)。l公司賺錢的主要部分不是組裝，是自己整合的資源，機(jī)加工的