ESD管理規(guī)范及測量標(biāo)準(zhǔn)

深圳市微浦技術(shù)有限公司文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/O文件名稱ESD控制程序文件編號WI－PE－001頁數(shù)3-PAGE22聲明：○蓋上紅色受控印章方可視為有效；深圳市微浦技術(shù)有限公司工作指引文件名稱：ESD管理規(guī)范及測量標(biāo)準(zhǔn)部門：工程部文件編號:VP-QA-004版本：A/0編寫：譚桂審核：批準(zhǔn)：生效日期：修訂日期修訂內(nèi)容修訂者原版本會簽部門□工程部_______□PMC_____□倉管部□生產(chǎn)部□產(chǎn)品部_______□采購部□品質(zhì)部_______□銷售部_______□行政部_________分發(fā)份數(shù)共份目的本公司規(guī)定了產(chǎn)品和電子組件在制造過程中的靜電防護(hù)，防止因靜電的力學(xué)和放電效應(yīng)而產(chǎn)生或可能產(chǎn)生的危害，或?qū)⑦@些危害限制在最小程度。以確保產(chǎn)品的設(shè)計性能及使用性能不致因靜電作用受到損害，保證產(chǎn)品質(zhì)量、提高產(chǎn)品壽命

。適用范圍適用于本公司所有產(chǎn)品物料的采購、驗收、儲存、搬運(yùn)、加工、包裝及生產(chǎn)裝配、產(chǎn)品測試等全過程。定義ESD(Electro-Staticdischarge)：主要是指兩個帶有不同靜電電位之物體，當(dāng)它們接近并能夠發(fā)生電荷傳送，由于電荷的傳送產(chǎn)生了電流，使器件損壞或造成壽命上的傷害，一般稱為靜電泄放或簡稱ESD。SSD(StaticSensitiveDevice):凡對靜電敏感的電子元器件一般稱為靜電敏感元器件或簡稱SSD。職責(zé)工程部依據(jù)本程序要求實(shí)施靜電用具的進(jìn)料檢測和電線、接地線、靜電墊等防靜電設(shè)施測試和記錄以及日常維護(hù)。品質(zhì)部負(fù)責(zé)制定防靜電措施要求和標(biāo)準(zhǔn)及監(jiān)督執(zhí)行狀態(tài)。各部門經(jīng)理負(fù)責(zé)本部門工作區(qū)域、生產(chǎn)制造過程中的靜電防護(hù)措施的執(zhí)行。工作程序本文主要從靜電控制的五個方面(即人員、設(shè)備、物料、方法和環(huán)境)來論述ESD規(guī)范，貫穿了公司產(chǎn)品設(shè)計、制造、貯存、包裝等各個環(huán)節(jié)防靜電控制。靜電敏感區(qū)域的界定：ESD敏感器件的生產(chǎn)區(qū)域生產(chǎn)線等。ESD敏感器件的前加工區(qū)域前加工房。ESD敏感器件的貯存區(qū)域倉庫ESD敏感器件的返修區(qū)域返修區(qū)及返修工位。ESD敏感器件的老化區(qū)域老化房。靜電敏感區(qū)域的標(biāo)識：靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限應(yīng)該用黃黑相間的斜條紋來標(biāo)識，線條寬度為5~10CM這兩種斜條紋是專門用來標(biāo)識靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限的，不可作為其它標(biāo)識用。從靜電敏感區(qū)域的入口處開始,在明顯處還應(yīng)貼上靜電敏感區(qū)的警示標(biāo)志。如圖A:防靜電容器(防靜電周轉(zhuǎn)箱，防靜電元件盒等)，元件架和運(yùn)輸車等器材上應(yīng)有防靜電標(biāo)志，標(biāo)志應(yīng)置于明顯且不易受到磨損的地方。如圖B:經(jīng)過防靜電液處理的物品和場所也應(yīng)有防靜電標(biāo)志。如圖C:含有SSD的圖紙資料,應(yīng)有SSD標(biāo)志。設(shè)備的外部端口、整機(jī)包裝、交付文件標(biāo)志應(yīng)符合GJB1649中條要求。靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電規(guī)范防靜電工程環(huán)境在設(shè)計時，為達(dá)到靜電防護(hù)的要求應(yīng)遵循以下原則:抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生安全、迅速、有效的消除已產(chǎn)生的靜電荷防靜電工作區(qū)應(yīng)按電子元器件靜電敏感度確定防護(hù)所應(yīng)達(dá)到的級別和程度。一般的要求靜電防護(hù)區(qū)內(nèi)靜電電壓絕對值應(yīng)小于100V。防靜電區(qū)域應(yīng)標(biāo)明區(qū)域界限并在明顯處懸掛警示標(biāo)志。在防靜電工作區(qū)內(nèi)禁止使用易產(chǎn)生靜電荷的電荷源。表一為常見的電荷源:防靜電工程環(huán)境的溫度和濕度要求：溫度應(yīng)在15℃至30℃之間,濕度應(yīng)在45%至75%之間,環(huán)境內(nèi)應(yīng)配備溫度計和濕度計,并按要求做好點(diǎn)檢記錄。如果環(huán)境內(nèi)的空氣過于干燥，應(yīng)使用加濕器或其它辦法來滿足濕度要求，但應(yīng)以不對產(chǎn)品造成有害影響為前提。如果濕度高了應(yīng)該開空調(diào)或抽濕機(jī)來使其滿足要求。溫度計和濕度計使用要求:對溫度、濕度做監(jiān)測的溫濕度儀,必須放置在水平穩(wěn)定的平面上。有溫濕度測量儀的場所應(yīng)由專人定期檢查溫濕度自動儀測試狀況,并記錄該時間段的最高和最低值。遇有休息、節(jié)假日等特殊情況,在上班后的第一時間內(nèi)要檢查溫濕度自動記錄儀的記錄情況。發(fā)現(xiàn)溫度濕度有超標(biāo)應(yīng)立即采取有效措施予以改善,并確認(rèn)超標(biāo)情況是否有對產(chǎn)品或材料造成損壞,采取的改善措施應(yīng)予以記錄。每月的溫濕度儀記錄的測試結(jié)果由負(fù)責(zé)記錄的部門歸類保存。靜電敏感區(qū)域的人員防靜電規(guī)范：各類人員的防靜電知識培訓(xùn)要求及職責(zé)：有可能進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員或有可能接觸靜電敏感器件的人員都應(yīng)接受防靜電知識培訓(xùn),這既是對每位員工的基本要求，也是減少靜電危害的根本方法和途徑之一。所有新員工（職員）在接受入廠培訓(xùn)時，必須接受ESD知識的培訓(xùn)。在靜電敏感區(qū)域內(nèi)工作的生產(chǎn)人員及與靜電敏感器件有直接或間接接觸(包括靜電感應(yīng))的作業(yè)人員，必須接受ESD知識的培訓(xùn)，作為上崗考核的必考內(nèi)容之一。工藝人員必須接受并通過ESD較為專業(yè)知識培訓(xùn)，掌握電子工業(yè)產(chǎn)品的防靜電工藝技術(shù)，在生產(chǎn)過程中指導(dǎo)生產(chǎn)作業(yè)人員落實(shí)防靜電措施，并對他們進(jìn)行靜電防護(hù)日常教育。品質(zhì)控制管理人員必須接受并通過ESD較為專業(yè)知識培訓(xùn)，熟悉各類SSD的靜電敏感性能及其防護(hù)知識,監(jiān)督防靜電工藝規(guī)程的貫徹執(zhí)行，評估防靜電工程實(shí)施效果。檢驗和試驗人員(包括外購件入廠檢驗試驗和產(chǎn)品檢驗人員)必須接受較為ESD專業(yè)知識培訓(xùn),熟練掌握ESSD的檢測知識和防靜電器件的檢測方法,嚴(yán)格按設(shè)計技術(shù)文件要求和工藝規(guī)程進(jìn)行檢驗和試驗。設(shè)備部負(fù)責(zé)防靜電接地和布生產(chǎn)線的人員,應(yīng)接受較為專業(yè)的ESD知識培訓(xùn),熟悉防靜電接地系統(tǒng)要求,掌握地樁、地線、及其它防靜電設(shè)施的敷設(shè)或安裝。生產(chǎn)管理人員應(yīng)了解ESD基本知識,嚴(yán)格按靜電敏感器件的設(shè)計文件要求和工藝規(guī)程組織生產(chǎn),并開展對生產(chǎn)員工的靜電防護(hù)日常教育。計量部門也應(yīng)了解ESD基本知識,尤其是關(guān)于防靜電儀器的校驗知識,要定期調(diào)校防靜電檢測器材,保證其安全、有效。采購ESD控制：采購部人員必須接受ESD基本知識培訓(xùn),熟悉ESSD的品種、型號、標(biāo)志方法和靜電防護(hù)常識,嚴(yán)格遵守物料或產(chǎn)品在采購和運(yùn)輸過程中靜電防護(hù)的規(guī)范。依據(jù)ME之規(guī)定，物料采購按零件承認(rèn)書對SSD組件采購時，須在采購單注明ESD防護(hù)要求；其它ESD防護(hù)器材采購時，須按ME測試工程師制定的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行采購。須向經(jīng)認(rèn)可的ESD產(chǎn)品供貨商采購，并保持最新的ESD認(rèn)可供應(yīng)商清單。要求供貨商提供合乎規(guī)格之包裝、標(biāo)示及正確的發(fā)票。倉庫防ESD控制：倉儲,轉(zhuǎn)運(yùn)人員必須接受ESD基本知識培訓(xùn),懂得在儲存和轉(zhuǎn)運(yùn)過程中防護(hù)ESSD靜電器件及相關(guān)的存放操作要求。對ESD零件進(jìn)行清點(diǎn)驗收時，檢查是否有外包裝或(及)發(fā)票確認(rèn)為ESD組件。ESD組件與非SSD應(yīng)分區(qū)存放（ESD存放架要有接地處理），并做顯著標(biāo)示。開啟ESD組件包裝的區(qū)域應(yīng)配置適當(dāng)?shù)腅SD防護(hù)設(shè)備，如防靜電桌墊，ESD手環(huán)等。直接接觸組件須在有良好的靜電防護(hù)下方可接觸組件。在存放區(qū)搬運(yùn)SSD須使用專用工具(防靜電車)，并使包裝完整。物料周轉(zhuǎn)區(qū)須嚴(yán)格按材料存放區(qū)ESD控制規(guī)范進(jìn)行作業(yè)。進(jìn)料檢驗(IQC)的ESD控制：檢驗時確認(rèn)靜電防護(hù)及標(biāo)示是否正確，要求在靜電防護(hù)良好的區(qū)域(工作場所)進(jìn)行，須有ESD手環(huán)，ESD工作衣、手套、防靜電桌墊，工作桌須接靜電地。檢驗員需對不當(dāng)標(biāo)示或不當(dāng)包裝的組件，依不合格品處理程序執(zhí)行。檢驗員對防靜電氣泡袋、靜電桌面、靜電手套、周轉(zhuǎn)車、料箱、料盒等防靜電材料需按要求對其進(jìn)行靜電檢測。制造過程中的ESD控制:SSD加工區(qū)域，作業(yè)員須穿好防靜電衣、防靜電鞋，戴好靜電帽，戴好防靜電手環(huán)，并確保防靜電手環(huán)可靠接地，需走動的工位作業(yè)員須戴好防靜電腳環(huán)；未做好靜電防護(hù)者不能接觸SSD；工作臺鋪防靜電桌墊，靜電接地良好，作業(yè)中正確使用防靜電各種工具。(如ESD電烙鐵，靜電排除裝置等)。對SSD加工中若須離開原包裝，操作人員須做靜電防護(hù)，戴好接地良好靜電手環(huán)并于加工后放回原包裝或其它防靜電容器內(nèi)。SSD在組裝中，依據(jù)ME工藝工程師作業(yè)指導(dǎo)書進(jìn)行特殊防護(hù)及使用其規(guī)定工具，并定期點(diǎn)檢其有效性。制程工作人員所使用的靜電環(huán)和防靜電鞋均需每天二次用“人體靜電綜合測試儀”加以測試，確認(rèn)功能正常，并作好記錄。定期對操作員工進(jìn)行使用ESD工具、設(shè)施及取用SSD程序的完整訓(xùn)練，并作記錄。每個工作臺須有ESD防護(hù)料件(如袋、乳棉海綿、箱等)。所有進(jìn)入車間人員，必須經(jīng)過ESD靜電鞋測試儀測試人體綜合阻值，通過方可進(jìn)入，否則一律不準(zhǔn)進(jìn)入車間，生產(chǎn)作業(yè)人員每天上班測一次防靜電鞋，以確定防靜電鞋的有效性，并做好記錄。做好每日的日常點(diǎn)檢工作,并將點(diǎn)檢情況記錄在《靜電插座/卡扣線及靜電線末端點(diǎn)檢表》中。IPQC稽核：IPQC須協(xié)助生產(chǎn)單位檢查作業(yè)員靜電防護(hù)措施是否正確及抽測各防靜電設(shè)施是否正常；IPQC每日上班前監(jiān)督員工進(jìn)行靜電鞋和靜電手腕帶的測試。生產(chǎn)測試及測試工程須使用ESD工作臺。清除測試區(qū)內(nèi)靜電源。定期檢查ESD設(shè)施，保證有效性。SSD組件傳送至下一個工作區(qū)時，設(shè)有防護(hù)袋裝。當(dāng)施加工作電壓時，設(shè)備接地應(yīng)良好。品管部ESD控制：定期審核各部門是否依照ESD控制程序進(jìn)行作業(yè)，定期進(jìn)行ESD點(diǎn)檢并做好記錄。定期審核供貨商是否符合ESD規(guī)定。ESD工作須經(jīng)QA檢驗確認(rèn)。定期審核ESD訓(xùn)練計劃，工程圖是否有正確的ESD警告條文或警告。MEESD控制:定期檢查及測試ESD設(shè)備設(shè)施是否完好、性能及可靠性。對ESD設(shè)備檢驗測試、定期測試、校正并作好記錄ESD故障有關(guān)的資料須經(jīng)常維護(hù)，問題范圍與故障趨勢所需調(diào)查校正措施須向相關(guān)主管報告。ME須測試SSD組件，以對它們的ESD敏感度進(jìn)行分類。ME負(fù)責(zé)所有ESD測試項目之SOP及相關(guān)記錄表單的編寫。ESD點(diǎn)檢點(diǎn)檢條件:全部點(diǎn)檢均在生產(chǎn)場地內(nèi)進(jìn)行，環(huán)境溫度20-25℃，相對濕度40%-60%。點(diǎn)檢儀器：非接觸式和接觸式靜電電壓表、接地電阻測量儀、兆歐表及標(biāo)準(zhǔn)電極、靜電電量表、腕帶測試儀、人體綜合電阻測試儀、離子平衡分析儀、摩擦起電機(jī)、法拉第筒、靜電屏蔽測試儀、直流電壓（表），直流電壓源。注：所使用的儀器精度不低于5%，均應(yīng)驗定、計量合格和在有效期內(nèi)，量程大于實(shí)際測試范圍20%。允許使用符合測試要求的同類儀表。測試技術(shù)指標(biāo)：見附錄A.點(diǎn)檢項目&周期:防靜鞋與人體綜合阻值(2次/天)防靜電手環(huán)連接電阻(2次/天)ESD工作臺(臺墊)靜電電阻(1次/月)防靜電母線接地電阻(1次/周)貨架靜電電阻 (1次/月)料車臺面對車輪電阻 (1次/月)周轉(zhuǎn)箱，零件料盒表面電阻(1次/月)工作服(工作帽，手套)表面電阻(1次/月，抽查)流水線傳送帶表面電阻 (1次/月)防靜電地板表面電阻(1次/1年)注：抽查項目抽查結(jié)果高于30%不合格，繼續(xù)抽查10個點(diǎn)，不合格率高于0%提出不良改善方案，且抽查結(jié)果高于30%不合格，繼續(xù)抽查20個點(diǎn)，不合格率高于0%提出不良改善方案，抽查結(jié)果須做好記錄，填寫相應(yīng)表單。點(diǎn)檢方法表面電阻測試時，對每車間靜電地板不得少于五點(diǎn)，接地電阻、傳送帶不得少于三點(diǎn)，周轉(zhuǎn)箱不少于三只，靜電鞋不少于三雙，靜電衣不少于10件，工作臺不少于三張。點(diǎn)檢周期:見5.4.9.4。該點(diǎn)檢方法根據(jù)中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(SJ/T10694-2006)《電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測通用規(guī)范》所制定。摩擦起電電壓測試：使用摩擦起電機(jī)摩擦起電，并利用非接觸式靜電電壓表測試摩擦起電電壓。摩擦起電機(jī)的摩擦起電極呈圓柱狀，直徑50mm～60mm，重量1kg，體積電阻大于1×1013Ω，并用高絕緣尼龍布（表面電阻不低于1×1013Ω）包裹以增加摩擦（見圖1）。測試時，開動摩擦起電機(jī)使摩擦起電極與被測試物體摩擦，單向摩擦20次（時間20s）停止，10s內(nèi)用非接觸式靜電電壓表測試摩擦軌跡起電電壓。測試工作臺面、地面、工作椅面、運(yùn)轉(zhuǎn)車表面摩擦電壓時，應(yīng)將被測物接地后利用摩擦起電機(jī)直接測試。對于板、片材（包括薄膜），應(yīng)在底面放置一塊邊長不小于270mm、厚度不小于0.5mm的正方形不繡鋼電極板并良好接觸，將極板接地后測試。對于產(chǎn)品（材料），以每個樣品不同點(diǎn)測試3次的平均值為結(jié)果。電阻測試：點(diǎn)對點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測試所用電極結(jié)構(gòu)尺寸：柱電極直徑63mm±3mm；電極材料為不銹鋼或銅；電極接觸端材料導(dǎo)電橡膠，硬度60±10（邵氏A級），厚度6mm±1mm，其體積電阻小于500Ω；電極單重2.25kg～2.5kg。測試電壓要求見表1.測試點(diǎn)對點(diǎn)電阻時，應(yīng)將產(chǎn)品（材料）放置在絕緣臺面上或以實(shí)際使用狀態(tài)放置。臺面表面電阻、體積電阻分別大于1×1013Ω，其幾何周邊尺寸均大于被測材料10cm。電極之間距離300mm。地面測試時，電極之間距離900mm～1000mm。測試系統(tǒng)電阻時，將被檢樣品（地面）按實(shí)際使用狀態(tài)測試。工程測試時，電極拒被測材料邊緣大于10cm。由于測出的電阻取決于施加的電壓，且電阻為未知數(shù)，所以應(yīng)該執(zhí)行以下程序：初始施加的測試電壓為10V：如果Rx≤1×105Ω，則測量值為結(jié)果；如果Rx>1×105Ω，則把電壓改為100V(見注1)。施加電壓為100V:如果(1×105<Rx≤1×1012)Ω，則測量值為結(jié)果；如果Rx≤1×105Ω，則測量值可看作為結(jié)果。為確保測試的準(zhǔn)確性，應(yīng)采用極性電極測試。對某些材料來說，薄絕緣層的電介質(zhì)有可能被擊穿。在這種情況下不能采用這種測量方法，測試報告中應(yīng)予以說明。當(dāng)有安全性要求時，電阻測試電壓應(yīng)為500V。對產(chǎn)品（材料）檢測，以每個樣品不同點(diǎn)測試3次的平均值為結(jié)果。注1：上述情況表示電阻取決于施加的電壓。如果電阻小于1×104Ω，應(yīng)考慮電極本身電阻對測試結(jié)果的影響。注2：地板和工作表面的電阻超出本規(guī)范的范圍時，有必要采用較高的電壓來測量電阻，點(diǎn)不適用于EPA的測量。后動地板工程檢測指標(biāo)中的系統(tǒng)電阻為5×104Ω～1×1010Ω。防靜電接地電阻使用接地電阻測試儀測試防靜電接地電阻。測試步驟：a）將被測地極用導(dǎo)線與儀器端子E連接；b）在相同直線方向20m、40m潮濕土地處，分別插入電位探測針及電流探測針，個接于儀器端子P、C;c）設(shè)置“倍率盤”倍數(shù)；d）自緩至塊搖動儀器手柄，達(dá)到約120r/min，調(diào)整“測量標(biāo)度盤”，指針指于零位時，讀數(shù)乘以倍率標(biāo)度，即為接地電阻；e）按測試步驟c）、d）反復(fù)測試3～5次，取平均值；f）若有其它適用儀器，可按相應(yīng)儀器所規(guī)定的方法進(jìn)行測試。表面電阻（率）和體積電阻（率）的測量測試時，需將產(chǎn)品（材料）放在絕緣臺面或測試架上，絕緣臺面或測試架上，絕緣臺面表面電阻、體積電阻分別大于1×1013Ω，其幾何周邊尺寸均大于被測材料10cm。表面電阻、體積電阻測試方法和測試測試電極按照IEC61340-5-1有關(guān)規(guī)定執(zhí)行，或者按GB1410規(guī)定執(zhí)行。表面電阻率和體積電阻率按GB1410中規(guī)定計算，測試電壓按照表1要求。表面電阻、體積電阻測試電極電極組件由2個導(dǎo)電材料制作的同心環(huán)電極和1個直徑70mm～85mm厚4mm圓柱狀反向電極（電極面層有3mm厚導(dǎo)電材料，其邵氏硬度60±10）組成（見圖2），電極被施以10V電壓，在不銹鋼、非腐蝕性金屬板（不是鋁）是測試時，接觸電阻應(yīng)小于103Ω。電極材料應(yīng)在測量條件下腐蝕，并不與被測材料起反應(yīng)。測試程序被測試材料應(yīng)放在1個光滑、平面的架子（或平面）上。當(dāng)用500V電壓進(jìn)行測試時，其體積和表面電阻要大于1×1013Ω。相對與被測試樣品尺寸而言，比被測試材料的長和寬大10mm，厚度至少應(yīng)1mm。被測樣品應(yīng)未經(jīng)化學(xué)、物料處理。電極與地面之間的漏泄電流對儀表的讀數(shù)不應(yīng)有重要的影響。要注意在放電極和裝樣品時要盡量減少電流漏泄，以免影響測量結(jié)果。樣品的形狀最好為片狀，尺寸不小于110mm×120mm。應(yīng)準(zhǔn)備3塊樣品材料。樣品應(yīng)標(biāo)明清楚，以便鑒別被測表面。電極按照圖3與儀器連接，然后把樣品放在絕緣臺（架）上，面朝上。把電極組件放在樣品距邊緣至少10mm的距離處。給儀器施加表1規(guī)定電壓，15s后記錄讀數(shù)。對每個樣品（材料），以不同點(diǎn)測試3次平均值為結(jié)果。靜電電壓衰減時間的測試靜電電壓衰減時間是指把樣品放置在靜電率衰減測試儀充電板上，初始電壓U1減少到約定的百分比電壓水平U2的時間。測試儀器使用離子平衡分析儀，充電極板與接地之間電阻大于1×1013Ω，其示意圖（見圖4）。測試方法：將待測試樣品放置在充電極板上，并良好接觸。在充電電極板上充電，使電壓達(dá)到±1000V后，斷開儀器充電高壓電源的同時，將待測樣品可靠接地，記錄極板電壓衰減到±100V時的時間。在測試時，接地極不得與充電極板相接。靜電屏蔽性能的檢測：本方法可評估柔韌性包裝袋的靜電屏蔽性能。檢測儀器：靜電屏蔽檢測儀的設(shè)計電壓為1000V，由一個放電器和一組電極構(gòu)成。儀器技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合IEC61340-5-1中規(guī)定樣品（袋）的尺寸要求：袋的最小尺寸不小于200mm×250mm，要有開口使電極能夠完全裝入。電極放進(jìn)袋中的尺寸不小于100mm，并居中。對其它尺寸的袋來說，應(yīng)該使電極放置在袋的中心。測試要求：將至少6個要測樣品放置在相對濕度12%±3%(或50%±3%)的環(huán)境中預(yù)置48h，然后將儀器電容電極放入袋中居中位置，接通放電器電源后，讀出與電流傳感器連接的電壓顯示器上的示值。靜電電量測試：利用物體摩擦起電和其對大地的分布電容，測試出物體所帶靜電電量。測試設(shè)備：法拉第筒、摩擦起電器具、靜電電量表（接觸式靜電電壓表、電容器）。要求法拉第內(nèi)筒、靜電電量表輸入端對接地端電阻大于1×1012Ω。測試：將被測物用摩擦器具摩擦后，放入與靜電電量表電氣連接的法拉第筒內(nèi)，測出帶電量。各類防靜電產(chǎn)品（材料）的測試防靜電活動地板測試防靜電活動地板測試按照SJ/T10796防靜電貼面板（高離子有機(jī)類）測試防靜電貼面板（高離子有機(jī)類）測試按照SJ/11236防靜電地坪涂料測試防靜電地坪涂料測試按照SJ/T11294腕帶測試：所需儀器：腕帶可通過1個兼容的插頭終端，1個能夠保證良好接觸、尺寸足夠大的金屬或?qū)щ姷氖钟|摸板來實(shí)現(xiàn)電源的連接。測試腕帶穿戴狀態(tài)下電阻（系統(tǒng)電阻）：操作者以正常方式戴上腕帶，把線端插入測試器。壓住手觸摸板，直至儀器可以穩(wěn)定的測量為止（見圖6）；腕帶內(nèi)表面對電纜扣電阻（點(diǎn)對點(diǎn)電阻）：將兩測試電極分別接觸腕帶內(nèi)表面和電纜扣與測試儀連接測量（見圖7）腕帶接地電纜兩端電阻（點(diǎn)對點(diǎn)電阻）：用測試電極連接電纜兩端測試（見圖8）。人體綜合電阻測試：穿著工作鞋、服和手套（指套）的人站在人體綜合電阻測試儀的金屬導(dǎo)電極板上，手觸摸板電極測出電阻值。（如圖9）防靜電鞋電阻的測試方法：實(shí)驗室測試時采用GB4385規(guī)定測試。手套、指套、帽、襪、腳束和工具（刷）的測試：用兩個直徑為20mm的電極良好接觸在手套、指套、帽、襪、腳束內(nèi)與外任意點(diǎn)上，測試出內(nèi)外兩點(diǎn)間電阻（見下圖）。測試襪子時，電極應(yīng)放置在襪底內(nèi)外兩點(diǎn)。用兩個直徑為10mm的銅箔電極鏈接在工具（刷）兩頭任意兩點(diǎn)，測試出兩點(diǎn)間電阻（見下圖）時，被測物品應(yīng)放在一塊絕緣電阻大于1X1013Ω的板上。若上述電極不適合，可以使用連接夾，電極與被測物良好接觸。防靜電服裝的測試方法帶電量測試：在實(shí)驗室測試時應(yīng)符合GB12014有關(guān)規(guī)定電阻的測試：測量點(diǎn)對點(diǎn)電阻，服裝要放在絕緣臺上。絕緣臺的表面電阻要大于1X1014Ω，要有足夠的尺寸。點(diǎn)對點(diǎn)電阻測量至少要測量3個不同位置的值。要注意兩級之間的間距不小于300mm（見圖11）服裝點(diǎn)對點(diǎn)電阻測試是指內(nèi)表面與外表之間電阻。摩擦起電電壓測試：工作服摩擦起電電壓測試應(yīng)符合GB/T12703的規(guī)定。集成電路防靜電包裝管測試方法：防靜電包裝管摩擦起電電壓、電荷量測試應(yīng)分別符合SJ/T1047Z中的要求。柔韌性包裝類的測試方法：靜電衰減期、靜電屏蔽性能、表面電阻率測試方法應(yīng)分別符合GJB2605中的要求。周轉(zhuǎn)容器、盒的測試方法：靜電衰減期、靜電屏蔽性能、表面電阻率和體積電阻率測試方法應(yīng)符合SJ/T11277有關(guān)規(guī)定。窗簾的測試方法：點(diǎn)對點(diǎn)電阻、靜電摩擦起電電壓測試方法應(yīng)符合規(guī)定。防靜電存放架測試方法：點(diǎn)對點(diǎn)電阻、系統(tǒng)電阻測試方法應(yīng)符合規(guī)定，所用電極直徑為10mm。工位與物流傳送器具測試方法：表面和體積電阻、點(diǎn)對點(diǎn)電阻、靜電摩擦起電電壓測試方法應(yīng)符合規(guī)定。墻體：墻面表面電阻測試方法應(yīng)符合規(guī)定。防靜電劑（液、蠟、膠）的測試方法將防靜電劑（液、蠟、膠）噴灑在一塊體積電阻和表面電阻大于1×1012Ω的絕緣板上，在相對濕度RH40%～50%D的環(huán)境中放置48h后，測試其表面電阻。座椅的測試方法：椅面與靠背之間點(diǎn)對點(diǎn)電阻測試方法符合“點(diǎn)對點(diǎn)