半導(dǎo)體行業(yè)研究

半導(dǎo)體行業(yè)研究1.零部件是半導(dǎo)體設(shè)備的核心，品類眾多，技術(shù)壁壘高1.1.半導(dǎo)體零部件是決定半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域半導(dǎo)體零部件是半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的支撐：半導(dǎo)體設(shè)備是延續(xù)半導(dǎo)體行業(yè)“摩爾定律”的瓶頸和關(guān)鍵，而半導(dǎo)體設(shè)備廠商絕大部分關(guān)鍵核心技術(shù)需要物化在精密零部件上，或以精密零部件作為載體來實(shí)現(xiàn)。半導(dǎo)體設(shè)備零部件在材料、結(jié)構(gòu)、工藝、品質(zhì)和精度、可靠性及穩(wěn)定性等性能方面達(dá)到了半導(dǎo)體設(shè)備及技術(shù)要求，并具有高精密、高潔凈、超強(qiáng)耐腐蝕能力、耐擊穿電壓等特性，生產(chǎn)工藝涉及精密機(jī)械制造、工程材料、表面處理特種工藝、電子電機(jī)整合及工程設(shè)計等多個領(lǐng)域和學(xué)科，是半導(dǎo)體設(shè)備核心技術(shù)的直接保障。半導(dǎo)體設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，由成千上萬個零部件組成，零部件的性能、質(zhì)量和精度都共同決定著設(shè)備的可靠性與穩(wěn)定性。半導(dǎo)體行業(yè)遵循“一代技術(shù)、一代工藝、一代設(shè)備”的產(chǎn)業(yè)規(guī)律，而半導(dǎo)體設(shè)備的升級迭代很大程度上有賴于精密零部件的技術(shù)突破。各種半導(dǎo)體零部件相互配合，共同支持半導(dǎo)體設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)，比起其他行業(yè)設(shè)備的基礎(chǔ)零部件尖端技術(shù)特性更為明顯，精度高、批量小、多品種、尺寸特殊、工藝復(fù)雜，還要兼顧強(qiáng)度、應(yīng)變、抗腐蝕、電子特性、電磁特性、材料純度等復(fù)合功能要求。半導(dǎo)體精密零部件不僅是半導(dǎo)體設(shè)備制造環(huán)節(jié)中難度較大、技術(shù)含量較高的環(huán)節(jié)之一，也是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)“卡脖子”的環(huán)節(jié)之一。同樣一個部件，相較于傳統(tǒng)工業(yè)，半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件在原材料的純度、原材料批次的一致性、質(zhì)量穩(wěn)定性、機(jī)加精度控制、棱邊倒角去毛刺、表面粗糙度控制、特殊表面處理、潔凈清洗、真空無塵包裝、交貨周期等方面要求就更高，造成了極高的技術(shù)門檻。以半導(dǎo)體用過濾件為例，目前半導(dǎo)體級別濾芯的精度要求達(dá)到1納米甚至以下，而在其他行業(yè)精度則要求在微米級。同時，為獲得超純的產(chǎn)品清潔度、高度一致的質(zhì)量和可重復(fù)高性能，半導(dǎo)體用過濾件對一致性、耐化學(xué)和耐熱性、抗脫落性亦有較高的要求。1.2.半導(dǎo)體設(shè)備由多個子系統(tǒng)組成，零部件數(shù)量龐大、種類繁多各類半導(dǎo)體設(shè)備都可以分解成若干個模塊，由多個子系統(tǒng)組成。根據(jù)VLSI公司統(tǒng)計分類，半導(dǎo)體設(shè)備由八大關(guān)鍵子系統(tǒng)組成：氣液流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電源及氣體反應(yīng)系統(tǒng)、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系統(tǒng)及其他關(guān)鍵組件。其中，真空系統(tǒng)、電源系統(tǒng)是較為關(guān)鍵的子系統(tǒng)，成本占比均在10%以上。前者主要包括各類閥、泵，后者則以射頻電源等為主。半導(dǎo)體零部件數(shù)量龐大、種類繁多，碎片化特征明顯。按照業(yè)內(nèi)主流的零部件劃分方式，半導(dǎo)體零部件可以劃分為機(jī)械類、電器類、機(jī)電一體類、氣體/液體/真空系統(tǒng)類、儀器儀表類、光學(xué)類和其他零部件。

機(jī)械類：應(yīng)用于所有設(shè)備，起到構(gòu)建整體框架、基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)、晶圓反應(yīng)環(huán)境和實(shí)現(xiàn)零部件特殊功能的作用，保證反應(yīng)良率，延長設(shè)備使用壽命，對加工精度、耐腐蝕性、密封性、潔凈度、真空度等指標(biāo)有較高要求。電器類：應(yīng)用于所有設(shè)備，起到控制電力、信號、工藝反應(yīng)制程的作用，對輸出功率的穩(wěn)定性、電壓質(zhì)量、波形質(zhì)量、頻率質(zhì)量等指標(biāo)有較高要求。

機(jī)電一體類：在設(shè)備中起到實(shí)現(xiàn)晶圓裝載、傳輸、運(yùn)動控制、溫度控制的作用，部分產(chǎn)品包含機(jī)械類產(chǎn)品，對真空度、潔凈度、放氣率、SEMI定制標(biāo)準(zhǔn)等指標(biāo)有較高要求，還需要保證多次使用后的一致性和穩(wěn)定性，不同具體產(chǎn)品要求差別較大。氣體/液體/真空系統(tǒng)類：在設(shè)備中起到傳輸和控制特種氣體、液體和保持真空的作用。其中，氣體輸送系統(tǒng)類對真空度、耐腐蝕性、潔凈度、SEMI定制標(biāo)準(zhǔn)等指標(biāo)有較高要求，真空系統(tǒng)類對抽氣后的真空指標(biāo)、可靠性、穩(wěn)定性、一致性等指標(biāo)有較高要求，氣動液壓系統(tǒng)類對真空度、表面粗糙度、潔凈度、使用壽命、耐液體腐蝕等指標(biāo)有較高要求。儀器儀表類：應(yīng)用于所有設(shè)備，起到控制和監(jiān)控流量、壓力、真空度、溫度等數(shù)值的作用，對量程時間、流量測量精度、溫度測量精度、壓力測量精度、溫度影響小等指標(biāo)有較高要求。

光學(xué)類：主要應(yīng)用于光刻設(shè)備、量測設(shè)備等，起到控制和傳輸光源的作用，對制造精度、分辨率、曝光能力、光學(xué)誤差小等指標(biāo)有較高要求。根據(jù)半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及發(fā)展（發(fā)表在中國集成電路），半導(dǎo)體零部件還有按照典型集成電路設(shè)備腔體內(nèi)部流程劃分、按照半導(dǎo)體零部件的主要材料和使用功能劃分和按照半導(dǎo)體零部件服務(wù)對象劃分的分類方式。按照典型集成電路設(shè)備腔體內(nèi)部流程劃分，零部件可以分為五大類：電源和射頻控制類、氣體輸送類、真空控制類、溫度控制類、傳送裝置類。按照半導(dǎo)體零部件的主要材料和使用功能劃分，可以將其分為十二大類，包括硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金屬件、石墨件、塑料件、真空件、密封件、過濾部件、運(yùn)動部件、電控部件以及其他部件。按照半導(dǎo)體零部件服務(wù)對象來分，半導(dǎo)體核心零部件可以分為兩種，即精密機(jī)加件和通用外購件：精密機(jī)加件通常由半導(dǎo)體設(shè)備公司自行設(shè)計再委外加工，只用于自己公司的設(shè)備，如工藝腔室、傳輸腔室等，一般對其表面處理、精密機(jī)加工等工藝技術(shù)的要求較高；通用外購件則是一些經(jīng)過長時間驗(yàn)證，得到眾多設(shè)備廠和制造廠廣泛認(rèn)可的通用零部件，更加標(biāo)準(zhǔn)化，會被不同的設(shè)備公司使用，也會被作為產(chǎn)線上的備件耗材來使用，例如硅結(jié)構(gòu)件、O-Ring密封圈、閥門、規(guī)（Gauge）、泵、Faceplate、氣體噴淋頭Showerhead等，由于這類部件具備較強(qiáng)的通用性和一致性，并且需要得到設(shè)備、制造產(chǎn)線上的認(rèn)證。1.3.多學(xué)科交叉融合，復(fù)合型技術(shù)壁壘高半導(dǎo)體零部件覆蓋范圍廣、產(chǎn)業(yè)鏈長，需要多學(xué)科交叉融合。半導(dǎo)體零部件的研發(fā)設(shè)計、制造和應(yīng)用涉及到材料、機(jī)械、物理、電子、精密儀器等跨學(xué)科、多學(xué)科的交叉融合，生產(chǎn)工藝橫跨精密機(jī)械制造、工程材料、表面處理特種工藝、電子電機(jī)整合及工程設(shè)計等多個領(lǐng)域和學(xué)科。以半導(dǎo)體制造中用于固定晶圓的靜電吸盤（ESC）為例，傳統(tǒng)的以有機(jī)高分子材料和陽極氧化層為電介質(zhì)的靜電卡盤逐步被陶瓷靜電卡盤逐漸替代，而以氧化鋁陶瓷或氮化鋁陶瓷為主體材料陶瓷靜電卡盤擁有良好的導(dǎo)熱和耐鹵素等離子氣氛的性能。作為離子注入、刻蝕等關(guān)鍵制程核心零部件之一，為滿足在高真空等離子體或特氣環(huán)境中起到對晶圓的夾持和溫度控制等作用的需要，需加入其他導(dǎo)電物質(zhì)使得ESC總體電阻率滿足功能性要求，還需在較低的燒結(jié)溫度下實(shí)現(xiàn)納米級陶瓷粉體快速致密化，靜電吸盤表面處理后還要達(dá)到0.01微米左右的涂層，才能制備出致密性高、晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、體電阻率分布均勻且符合靜電卡盤使用特性的專用陶瓷材料。因此，ESC的制造需要對材料的導(dǎo)熱性，耐磨性及硬度指標(biāo)非常了解，對精密機(jī)加工和表面處理技術(shù)要求也很高。由此可見，半導(dǎo)體零部件是一個多學(xué)科交叉融合、需要復(fù)合型技術(shù)的領(lǐng)域。半導(dǎo)體零部件技術(shù)突破難度大，行業(yè)壁壘高。目前，應(yīng)用最廣、市場份額最大的機(jī)械類零部件主要產(chǎn)品技術(shù)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)突破，機(jī)電一體類零部件以及氣體/液體/真空系統(tǒng)類零部件也都已有部分產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破，包括腔體、機(jī)械手、金屬加工件、石英零部件、硅部件、EFEM、溫控系統(tǒng)等零部件都已有國產(chǎn)供應(yīng)商。然而，機(jī)械類的高端產(chǎn)品技術(shù)突破難度高、國產(chǎn)化率仍然較低；電氣類零部件技術(shù)難度高，核心模塊（射頻電源等）尚未國產(chǎn)化；儀器儀表類零部件對測量精準(zhǔn)度要求極高，國產(chǎn)化率較低，高端產(chǎn)品尚未國產(chǎn)化；光學(xué)類零部件對光學(xué)性能要求極高，國際壟斷程度高，國產(chǎn)化率較低，高端產(chǎn)品亦未國產(chǎn)化。2.市場空間大，零部件交期拉長限制下游擴(kuò)產(chǎn)需求2.1全球半導(dǎo)體零部件市場規(guī)模超400億美元半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件是半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的重要支撐，根據(jù)半導(dǎo)體零部件公司富創(chuàng)精密估計，全球的半導(dǎo)體零部件市場超過百億美元規(guī)模。為了較為精確地測算全球和中國大陸的半導(dǎo)體零部件市場規(guī)模，可以按照半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模成本率零部件成本占比的公式進(jìn)行測算。其中，半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模來自SEMI數(shù)據(jù)，成本率（即1-毛利率）來自半導(dǎo)體設(shè)備全球TOP5企業(yè)的毛利率按銷售額取加權(quán)平均，零部件成本占比參考光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備和薄膜沉積設(shè)備三個最為關(guān)鍵的半導(dǎo)體設(shè)備代表公司，分別為芯源微、中微公司和拓荊科技。近年來，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模不斷擴(kuò)張。根據(jù)SEMI統(tǒng)計，2011年到2021年，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模從435.3億美元提升到1026.4億美元，預(yù)期2022年同比增長14.7%，達(dá)到1175.7億美元。同時，中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模增速高于全球市場，占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場份額呈顯著上升趨勢，從2011年的36.5億美元增長到2021年的296.2億美元。全球的半導(dǎo)體設(shè)備市場集中度較高，TOP5廠商的市占率之和超過75%（2021年），它們的毛利率也較為穩(wěn)定，因此參考全球半導(dǎo)體設(shè)備TOP5廠商的毛利率估算半導(dǎo)體設(shè)備的成本率。除了第五大廠商科天半導(dǎo)體毛利率超過60%，前四大廠商毛利率基本都在40%-50%范圍內(nèi)。按照2021年的銷售額對TOP廠商的毛利率進(jìn)行加權(quán)，得到半導(dǎo)體設(shè)備的毛利率約為46.5%，即成本率約為53.5%?？紤]到光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備和薄膜沉積設(shè)備是晶圓制造中最重要的三類設(shè)備，分別選用國內(nèi)代表半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)估算直接材料占比?？偟膩砜?，半導(dǎo)體設(shè)備的直接材料占比基本在90%以上。2.2半導(dǎo)體零部件短缺限制設(shè)備產(chǎn)能提升根據(jù)ICInsights的數(shù)據(jù)，預(yù)計2022年半導(dǎo)體資本開支將增長21%，達(dá)到1855億美元，再創(chuàng)歷史新高，資本開支的高成長拉動上游設(shè)備需求增長，進(jìn)而帶動零部件需求持續(xù)提高。半導(dǎo)體零部件的短缺限制了設(shè)備公司產(chǎn)能提高以及產(chǎn)品交付。根據(jù)AMAT公司2022Q2投資者會議，半導(dǎo)體零部件短缺是公司上游供應(yīng)最為關(guān)鍵的問題，對向客戶及時交貨構(gòu)成了挑戰(zhàn)。ASML公司也受到了上游產(chǎn)品供應(yīng)短缺的困擾。根據(jù)ASML公司2022Q2投資者會議，由于供應(yīng)鏈限制日益嚴(yán)重（主要來自半導(dǎo)體零部件的短缺），造成公司的應(yīng)收賬款增加、與產(chǎn)出相關(guān)的額外成本增加。同時，ASML預(yù)測2023年半導(dǎo)體零部件的短缺將有所緩解。目前，由于半導(dǎo)體零部件的持續(xù)性短缺，部分相關(guān)零部件廠商有擴(kuò)產(chǎn)計劃，將有助于緩解半導(dǎo)體零部件短缺問題。2022年4月20日，陶瓷封裝基板領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者日本京瓷集團(tuán)的董事長谷本秀夫表示，公司將投資625億日元（約合31.4億人民幣）在鹿兒島川內(nèi)擴(kuò)建一棟半導(dǎo)體用零部件工廠，于5月份動工并預(yù)計明年10月開始投產(chǎn)。2022年6月，真空泵龍頭Edwards在韓國牙山市的新工廠正式開始生產(chǎn)，占地16000平方米，成為該公司在韓國天安和中國青島的另一重要真空泵生產(chǎn)基地。3.海外巨頭壟斷市場，國產(chǎn)率低根據(jù)VLSI的數(shù)據(jù)，2020年全球半導(dǎo)體零部件領(lǐng)軍供應(yīng)商前10中（見表5），包括有蔡司ZEISS（光學(xué)鏡頭），MKS儀器（MFC、射頻電源、真空產(chǎn)品），英國愛德華Edwards（真空泵），AdvancedEnergy（射頻電源），Horiba（MFC），VAT（真空閥件），Ichor（模塊化氣體輸送系統(tǒng)以及其他組件），UltraCleanTech（密封系統(tǒng)），ASML（光學(xué)部件）及EBARA（干泵）。根據(jù)VLSI數(shù)據(jù)，全球前十大半導(dǎo)體零部件供應(yīng)商的市場份額總和趨于穩(wěn)定在50%左右。另外，由于半導(dǎo)體零部件對精度和品質(zhì)的嚴(yán)格要求，就單一半導(dǎo)體零部件而言，往往會出現(xiàn)僅有幾家供應(yīng)商的局面，集中度遠(yuǎn)高于50%。從細(xì)分品類的零部件來看，目前在大部分零部件領(lǐng)域，美國、日本等企業(yè)均處于領(lǐng)先地位。例如在靜電吸盤領(lǐng)域，基本由美國和日本半導(dǎo)體企業(yè)主導(dǎo)，根據(jù)QYR數(shù)據(jù)分析統(tǒng)計，美日市場份額占95%以上，主要有美國AMAT（應(yīng)用材料）、美國LAM（泛林集團(tuán)），以及日本企業(yè)Shinko（新光電氣）、TOTO、NTK等。O型密封圈：是最普遍認(rèn)可的密封設(shè)計，主要來自美國半導(dǎo)體企業(yè)Dupont、GreeneTweed，以GreeneTweed公司為例，既能提供AS568或ISO3601-1標(biāo)準(zhǔn)尺寸的O型圈，也能設(shè)計和制造非標(biāo)準(zhǔn)尺寸的O型圈。材料選擇上，包括FusionFKM和ChemrazFFKM，可設(shè)計用于在-40度~327度的溫度范圍內(nèi)提供耐化學(xué)性。精密軸承：全球軸承市場被瑞典、德國、日本、美國四個國家的八大集團(tuán)壟斷。2020年全球軸承市場份額主要由八大海外廠商占據(jù)（瑞典SKF、德國Schaeffler、日本NSK、日本JTEKT、日本NTN、美國TIMKEN、日本NMB、日本NACHI）。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的精密軸承代表廠商包括Fala和Kaydon。Kaydon是瑞典SKF旗下子公司，精密軸承設(shè)計半導(dǎo)體領(lǐng)域，Reali-Slim軸承可以定制優(yōu)化，可在高于250度的溫度下工作，真空度為10-8至10-12Torr，以最大限度減少顆粒產(chǎn)生，并耐受腐蝕性化學(xué)環(huán)境。壓力計：壓力計的主要生產(chǎn)廠商包括MKS和Inficon，以MKS公司為例，其生產(chǎn)的電容式壓力計具有高度準(zhǔn)確性和可重復(fù)性，幾乎完全使用鎳基合金制造隔膜量規(guī)，具有很強(qiáng)的耐腐蝕性和安全級別。石英件：根據(jù)芯謀研究，石英制品中半導(dǎo)體用石英制品約占整體市場的68%。半導(dǎo)體用石英件的代表企業(yè)包括韓國Wonik和日本Ferrotec。殘余氣體分析儀RGA：全球市場來看，美系廠商在殘余氣體分析儀大幅領(lǐng)先，包括Inficon和MKS。據(jù)GIR(GlobalInfoResearch)調(diào)研，2019年Inficon在全球市場的產(chǎn)值份額接近30%。從國產(chǎn)化率來看，目前半導(dǎo)體零部件處于偏低的水平，石英、反應(yīng)腔噴淋頭、邊緣環(huán)等自給率大于10%，各種泵、陶瓷部件自給率在5%-10%之間，射頻發(fā)生器、機(jī)械手、MFC等自給率在1%-5%之間，閥門、測量儀器等自給率甚至不到1%。3.1射頻電源：AE和MKS壟斷，英杰電氣實(shí)現(xiàn)突破半導(dǎo)體射頻電源主要應(yīng)用于刻蝕設(shè)備、PVD和CVD設(shè)備，粗略估算，2022年全球半導(dǎo)體射頻電源市場規(guī)模超過26億美元。根據(jù)Gartner數(shù)據(jù)，2022年全球半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備市場規(guī)模將達(dá)到184億美元，同比增長6.98%。根據(jù)MaximizeMarketResearch數(shù)據(jù)，2022年全球半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模預(yù)計將達(dá)到220億美元，同比增長15.79%。按照半導(dǎo)體設(shè)備毛利率46.5%、一臺半導(dǎo)體設(shè)備射頻電源約占成本的12%的假設(shè)來測算，2022年全球半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備用射頻電源市場規(guī)模為184億美元（1-46.5%）12%=11.81億美元，全球半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用射頻電源市場規(guī)模14.12億美元?？紤]到其他半導(dǎo)體設(shè)備中亦會使用到射頻電源，如離子注入設(shè)備，2022年全球半導(dǎo)體射頻電源市場規(guī)模將會超過26億美元。美國萬機(jī)儀器（MKS）是全球半導(dǎo)體射頻電源的龍頭企業(yè)，根據(jù)TechInsights數(shù)據(jù)，MKS在2021年成為射頻電源的市場領(lǐng)導(dǎo)者，在2020年近10%的份額增長基礎(chǔ)上，又獲得了近1%的份額。MKS還在射頻功率匹配網(wǎng)絡(luò)和線性運(yùn)動子系統(tǒng)，以及殘余氣體分析儀中超過3%的份額增長。此外，MKS進(jìn)一步擴(kuò)大了其在遠(yuǎn)程等離子源和壓力傳感領(lǐng)域的市場領(lǐng)導(dǎo)地位，在每個類別中獲得了超過2%的份額。半導(dǎo)體業(yè)務(wù)是MKS公司的核心業(yè)務(wù)，公司的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)共有沉積和蝕刻、濕法工藝、計量和檢驗(yàn)以及光刻四大模塊，擁有RF射頻電源、真空壓力計、電容壓力計、流量計、真空法蘭和管件、各類閥門和疏水閥、等離子體源、臭氧發(fā)生器等多品類半導(dǎo)體零部件。公司致力于解決半導(dǎo)體客戶的復(fù)雜問題，有著先進(jìn)的半導(dǎo)體零部件制造技術(shù)，其生產(chǎn)的RF射頻電源能夠鉆出數(shù)十億個縱橫比大于55:1、完全筆直和平行的孔，相當(dāng)于以小于0.5英寸的偏差擊中大于1英里外的目標(biāo)。目前，國內(nèi)亦有廠商如英杰電氣在射頻電源領(lǐng)域有所突破，公司和中微半導(dǎo)體的合作有深度合作，從MOCVD這個設(shè)備的電源國產(chǎn)替代開始，取得了客戶的信任，并擴(kuò)展到半導(dǎo)體行業(yè)更多的客戶，產(chǎn)業(yè)鏈包括等離子注入、CVD、PECVD等環(huán)節(jié)，新研發(fā)的射頻電源也在這個行業(yè)領(lǐng)域開始運(yùn)用。2021年，公司來自半導(dǎo)體等電子材料行業(yè)營收7067.57萬元，占總營收的10.71%，同比增長74.66%。英杰電氣主打RHH系列射頻電源，具有13.56MHz、27.12MHz和40.68MHz三檔輸出頻率，頻率穩(wěn)定精度±0.005%，額定輸出時效率達(dá)到75%（MKS的Elite系列效率可大于85%，仍存在一定差距）。公司目前正在進(jìn)一步研發(fā)高端射頻電源以提升其性能，致力于在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)替代，將采用FPGA作為射頻信號處理，結(jié)合脈沖功率閉環(huán)控制，運(yùn)用自主跳頻算法控制，響應(yīng)速度達(dá)到US級。目前，公司已實(shí)現(xiàn)其小批量試制并交客戶測試。3.2機(jī)械類：品類眾多，國產(chǎn)化快速推進(jìn)機(jī)械類零部件在半導(dǎo)體設(shè)備中起到構(gòu)建整體框架、基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)、晶圓反應(yīng)環(huán)境和實(shí)現(xiàn)零部件特殊功能的作用，保證反應(yīng)良率，延長設(shè)備使用壽命的作用，主要包括金屬工藝件（主要有反應(yīng)腔、傳輸腔、過渡腔、內(nèi)襯、勻氣盤等）、金屬結(jié)構(gòu)件（主要有托盤、冷卻板、底座、鑄鋼平臺等）以及非金屬機(jī)械件（主要有石英、陶瓷件、硅部件、靜電卡盤、橡膠密封件等）。從競爭格局來看，半導(dǎo)體機(jī)械零部件的全球龍頭包括Ferrotec、京鼎精密等半導(dǎo)體廠商。其中，F(xiàn)errotec主要生產(chǎn)真空密封件、石英部件、陶瓷部件和碳化硅部件等機(jī)械零部件，京鼎精密則主要生產(chǎn)金屬類機(jī)械零部件，主要涉及工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組等產(chǎn)品。2021年，F(xiàn)errotec實(shí)現(xiàn)營收11.02億美元，同比增長33.48%，凈利潤2.20億美元，同比增長193.24%，公司盈利質(zhì)量逐漸改善，毛利率36.4%，凈利率19.9%。京鼎精密2021年實(shí)現(xiàn)營收28.24億元，同比增長22.20%，2022年第一季度實(shí)現(xiàn)營收7.62億元，同比增長22.71%，連續(xù)三年保持增長。Ferrotec于1980年在日本注冊成立，主營半導(dǎo)體硅片、半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件、光伏電池及電子設(shè)備等業(yè)務(wù)，其旗下的杭州大和熱磁電子有限公司為半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件業(yè)務(wù)主要經(jīng)營實(shí)體，是國際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的直接供應(yīng)商。杭州大和熱磁電子有限公司成立于1992年，其陶瓷、石英、硅及碳化硅等非金屬密零部件業(yè)務(wù)規(guī)模較大。京鼎精密于2001年在中國臺灣地區(qū)注冊成立，總部位于新竹科學(xué)園區(qū)竹南基地，在江蘇昆山和上海松江均設(shè)有工廠，主營半導(dǎo)體精密零部件、半導(dǎo)體設(shè)備和醫(yī)療設(shè)備等業(yè)務(wù)。京鼎精密是半導(dǎo)體機(jī)械零部件的重要廠商，在中國大陸地區(qū)設(shè)有富士邁半導(dǎo)體精密工業(yè)（上海）有限公司，從事精密零部件的研發(fā)及生產(chǎn)。目前，國內(nèi)生產(chǎn)半導(dǎo)體機(jī)械零部件的廠商主要有新萊應(yīng)材、江豐電子和富創(chuàng)精密。新萊應(yīng)材在半導(dǎo)體用高純潔凈材料進(jìn)行布局，可生產(chǎn)包括管道、管件和接頭等機(jī)械配件，深度布局半導(dǎo)體配件國產(chǎn)化。江豐電子在PVD、CVD、刻蝕機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備用零部件進(jìn)行布局，包括壓環(huán)、準(zhǔn)直器氣體噴淋頭等零部件，已在部分國內(nèi)廠商實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代并批量供貨。富創(chuàng)精密則主要在金屬材料精密零部件布局，包括反應(yīng)腔、傳輸腔、過渡腔、內(nèi)襯、勻氣盤等金屬工藝件和托盤、冷卻板、底座、鑄鋼平臺等金屬結(jié)構(gòu)件，目前公司已進(jìn)入多家主流國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商供貨商名單。3.3真空泵：

Edwards以及Ebara占據(jù)主要份額，漢鐘精機(jī)、中科儀實(shí)現(xiàn)突破真空泵是真空獲得設(shè)備中的主要種類，用于獲得、改善以及維持真空環(huán)境。真空泵之于半導(dǎo)體設(shè)備意義重大：半導(dǎo)體器件不同材料層之間混入氣體分子會破壞器件的電學(xué)或光學(xué)性能，故而真空系統(tǒng)對芯片的性能和良率直接造成影響。半導(dǎo)體真空泵可廣泛應(yīng)用于晶圓制造過程中的單晶拉晶、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴(yán)苛制程。目前，全球半導(dǎo)體真空泵市場由國際廠商主導(dǎo)，海外廠商占據(jù)了超過90%的市場份額。全球真空泵的主要廠商包括龍頭Edwards（瑞典Atlas子公司）、Ebara（日本）、PfeifferVacuum（德國）、Kashiyama（日本）等海外公司，國內(nèi)廠商份額不足5%，有著較大的國產(chǎn)替代空間。根據(jù)ISVT估測，2017-2020年全球真空泵的市場規(guī)模為44.9、48.8、45.4、45.8億歐元，市場規(guī)模相對保持穩(wěn)定；2020年半導(dǎo)體用真空泵需求占比達(dá)到42%左右，全球半導(dǎo)體領(lǐng)域真空泵市場需求約19.24億歐元（約134億人民幣）。2021年Edwards（已被Atlas收購）、Ebara和PfeifferVacuum市占率分別為48%、24%和13%，合計占據(jù)了超過80%的市場。國內(nèi)半導(dǎo)體真空泵的主要廠商是漢鐘精機(jī)和中科儀，其中漢鐘精機(jī)主要采用螺桿干式真空泵，擁有PMF、iPM、iPH系列干式真空泵產(chǎn)品。公司經(jīng)過多年發(fā)展和積累，在螺桿、渦旋、離心等不同領(lǐng)域已擁有自己雄厚的技術(shù)實(shí)力，不斷加強(qiáng)研發(fā)投入和技術(shù)創(chuàng)新，取得了行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的技術(shù)研發(fā)優(yōu)勢。漢鐘精機(jī)的產(chǎn)品為螺桿干式真空泵，在高嚴(yán)苛、粉塵多的制程中更有優(yōu)勢，而爪式真空泵排氣道出氣距離長，容易造成電機(jī)負(fù)載過高。未來隨著半導(dǎo)體制程越來越嚴(yán)苛，螺桿真空泵的優(yōu)勢將逐步體現(xiàn)。目前，漢鐘精機(jī)與國內(nèi)部分機(jī)臺商、晶圓廠都已有合作，并有一定的小批量出貨。同時，公司產(chǎn)能正在不斷釋放。公司8月29日披露投資者關(guān)系活動記錄表顯示，臺中廠三期已于今年上半年投入使用，上海廠三期預(yù)計明年一季度投入使用。3.4閥門：

海外巨頭壟斷，新萊應(yīng)材份額快速提高半導(dǎo)體閥門是由帶有輔助設(shè)備的半導(dǎo)體器件組成的閥，主要是在流體系統(tǒng)中，用來控制流體的方向、壓力、流量的裝置。半導(dǎo)體制造是制造用于電子設(shè)備和電氣設(shè)備的集成電路的過程，這些過程中需要許多閥門和配件的解決方案。目前，半導(dǎo)體閥門主要可分為隔膜閥、波紋管閥、真空閥、球閥、蝶閥、門閥、角閥、特氟龍門閥等，其中真空閥是主要的半導(dǎo)體閥門類型。根據(jù)MarketResearchReports的數(shù)據(jù)顯示，全球半導(dǎo)體閥門市場預(yù)計2022年規(guī)模將達(dá)到17.12億美元，預(yù)計到2028年市場規(guī)模達(dá)到25.45億美元，在2022-2028年預(yù)測期間的復(fù)合年增長率為6.8%。半導(dǎo)體閥門全球主要制造商包括VATVakuumventile、Parker、Fujikin、CKD、Swagelok、MKS、SMCCorporation、GEMü、Entegris等。根據(jù)MarketResearchReports數(shù)據(jù)顯示，2021年全球前五名的收入份額約為68.61%，市場集中度相對較高。VAT：瑞士VAT公司是是全球領(lǐng)先的高性能真空閥、多閥單元、真空模塊和邊緣焊接金屬波紋管的開發(fā)商和制造商，主要生產(chǎn)用于半導(dǎo)體、LED、太陽能電池、顯示器和其他高真空要求產(chǎn)品的先進(jìn)研發(fā)和制造工藝的關(guān)鍵任務(wù)組件。VAT公司擁有十分廣泛的閥門產(chǎn)品組合，產(chǎn)品包括約140個閥門系列，其中包含了8000+種定制產(chǎn)品和2500+種標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品。VAT公司還擁有先進(jìn)的真空閥制造技術(shù)，擁有獨(dú)家的VATLOCK、MONOVAT、VATTERFLY、VATRING、VATSEAL等技術(shù)，能夠最大限度的確保閥內(nèi)真空、增強(qiáng)使用性能、承受450攝氏度高溫、具有長的使用周期（清潔條件下可以使用100000次循環(huán)）。VAT公司的核心產(chǎn)品是各類閥門，2021年閥門占公司營業(yè)收入的81%。從分市場營收占比來看，半導(dǎo)體相關(guān)業(yè)務(wù)是支撐公司業(yè)績持續(xù)增長的重要驅(qū)動力，2021年，VAT公司約有75%的營業(yè)收入來自半導(dǎo)體相關(guān)業(yè)務(wù)。同時，VAT公司不斷擴(kuò)大市場份額，2021年，公司全產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體及相關(guān)產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的真空閥市場份額分別達(dá)到58%、65%、75%，七年來份額不斷提升，是當(dāng)之無愧的真空閥行業(yè)領(lǐng)軍者。Parker（派克漢尼汾）是VAT之后的美國半導(dǎo)體閥件領(lǐng)域領(lǐng)先企業(yè)，公司有V01高頻閥、SQ2MICRO系列減壓閥、FR1000系列調(diào)節(jié)閥、PFA/PTFE閥門和接頭等半導(dǎo)體閥門產(chǎn)品。半導(dǎo)體閥占Parker營收比重較小，2020年P(guān)arker營收14347.64百萬美元，根據(jù)QYResearch數(shù)據(jù)，2020年P(guān)arker半導(dǎo)體閥營業(yè)額為136.93百萬美元，約占全球半導(dǎo)體閥總市場的11.13%。Fujikin（富士金）是制造流體和氣體自動控制設(shè)備、專用控制單元以及超高純度閥門和配件的半導(dǎo)體零部件廠商，擁有MEGA系列、標(biāo)準(zhǔn)系列、雙流量閥和電控閥等閥門產(chǎn)品，能夠生產(chǎn)成品低于5Ra的閥門，從而在很大程度上減少半導(dǎo)體制造過程中的殺傷性顆粒。目前，國內(nèi)生產(chǎn)半導(dǎo)體閥門的企業(yè)主要包括新萊應(yīng)材和晶盛機(jī)電。新萊應(yīng)材在半導(dǎo)體閥門已經(jīng)能實(shí)現(xiàn)對海外零部件的替代，下游客戶包括國內(nèi)外知名的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，并與制造公司長江存儲、合肥長鑫等在高端真空閥門等產(chǎn)品方面也有深入合作。晶盛機(jī)電近年來積極布局半導(dǎo)體閥門等零部件業(yè)務(wù)，2022年5月19日，晶盛機(jī)電宣布其子公司晶鴻精密和日本primet合資成立的紹興普萊美特真空部件有限公司跨國合作的第一批國產(chǎn)半導(dǎo)體真空閥門產(chǎn)品上市。4月份，該公司首批6款真空隔膜閥通過客戶認(rèn)證并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，為打造半導(dǎo)體核心精密真空閥門部件國產(chǎn)化基地邁出重要一步。4.相關(guān)公司4.1.

新萊應(yīng)材：國內(nèi)半導(dǎo)體高純潔凈材料龍頭，腔體、管道、閥門技術(shù)領(lǐng)先新萊應(yīng)材于1991年成立于中國臺灣，2000年落戶昆山陸家鎮(zhèn)，于2011年在深圳成功上市，成為江蘇省內(nèi)第一家在創(chuàng)業(yè)板上市的臺資企業(yè)。公司一直專注于超高潔凈應(yīng)用材料的研究、制造與銷售，產(chǎn)品領(lǐng)域包括半導(dǎo)體、光電、光伏、生物醫(yī)藥、精細(xì)化工、食品飲料等行業(yè)。在泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，公司產(chǎn)品可以覆蓋半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)除設(shè)計之外的全制程，并通過了美國排名前二的半導(dǎo)體應(yīng)用設(shè)備廠商的認(rèn)證并成為其一級供應(yīng)商，填補(bǔ)了國內(nèi)超高純應(yīng)用材料的空白。在穩(wěn)定超高純應(yīng)用材料產(chǎn)品品質(zhì)的同時，公司仍在不斷研發(fā)創(chuàng)新，覆蓋于半導(dǎo)體制程設(shè)備和廠務(wù)端所需的真空系統(tǒng)和氣體管路系統(tǒng)。公司與世界頂級半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)AMAT加大半導(dǎo)體產(chǎn)品的合作，中國領(lǐng)先的存儲器芯片設(shè)計與制造公司長江存儲、合肥長鑫等在高端真空閥門等產(chǎn)品方面也有深入合作，氣體管道及氣體控制元件也在深入國產(chǎn)替代化，與中國國內(nèi)最大的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商北方華創(chuàng)在半導(dǎo)體領(lǐng)域展開全面合作。在泛半導(dǎo)體業(yè)務(wù)，公司主要提供半導(dǎo)體用高純潔凈材料，包括管道/管件、配件、隔膜閥、減壓閥幾大類產(chǎn)品，主要應(yīng)用于設(shè)備端及廠務(wù)端。公司的高純及超高純應(yīng)用材料可以滿足潔凈氣體、特殊氣體和計量精度等特殊工藝的要求，同時也可以滿足泛半導(dǎo)體工藝過程中對真空度和潔凈度的要求。公司經(jīng)過二十余年的不懈努力，成為國內(nèi)同行業(yè)中擁有潔凈應(yīng)用材料和高純及超高純應(yīng)用材料完整技術(shù)體系的廠商之一。半導(dǎo)體高純潔凈材料技術(shù)壁壘高，其中半導(dǎo)體制程所用的氣體產(chǎn)品需要很強(qiáng)的腐蝕性，產(chǎn)品的表面耐腐蝕電解拋光（EP）處理要求極高；半導(dǎo)體真空產(chǎn)品要達(dá)到超高真空10-9Pa要求，對應(yīng)產(chǎn)品焊接技術(shù)要求高。目前市場絕大部分被歐美日韓等外企占據(jù)，公司十多年的國際半導(dǎo)體超高純應(yīng)用材料廠商的代工經(jīng)驗(yàn)，電解拋光和焊接技術(shù)通過應(yīng)用材料認(rèn)證。根據(jù)公司投資者調(diào)研紀(jì)要內(nèi)容顯示，公司半導(dǎo)體產(chǎn)品使用量約占芯片廠總投入3%-5%左右，約占在半導(dǎo)體設(shè)備廠，原材料采購額的5%-10%，市場空間超過500億人民幣。從營收結(jié)構(gòu)來看，公司無菌包材、高純及超高純應(yīng)用材料和潔凈應(yīng)用材料是公司的主要業(yè)務(wù)，其中，泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的高純及超高純應(yīng)用材料業(yè)務(wù)營收增速迅猛。2021年，公司高純及超高純應(yīng)用材料、潔凈應(yīng)用材料、無菌包材營業(yè)收入分別為5.32億元（YoY+82.80%）、5.92億元

（YoY+52.34%）、8.16億元（YoY+41.03%），占公司整體收入比例分別為25.90%、28.80%、39.74%。公司的高純及超高純應(yīng)用材料毛利率也在逐步提升，從2020年的31.40%提升到2021年的33.47%。受益于半導(dǎo)體國產(chǎn)化趨勢以及國內(nèi)疫苗及醫(yī)藥生產(chǎn)廠商快速擴(kuò)產(chǎn)，公司半導(dǎo)體板塊業(yè)務(wù)快速增長、生物醫(yī)藥板塊業(yè)務(wù)增長迅猛。2018-2021年，公司營業(yè)收入分別為11.75億元、13.87億元、13.23億元、20.54億元，3年CAGR為20.46%。得益于半導(dǎo)體高景氣及國產(chǎn)替代，2021年公司營收大幅增長55.25%；同時，歸母凈利潤1.70億元，同比增加105.66%；歸母扣非凈利潤1.62億元，同比增加128.76%。2022年上半年度，公司訂單繼續(xù)增加，營業(yè)收入達(dá)到12.24億元，同比增加36.57%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤1.56億元，同比大增129.91%；實(shí)現(xiàn)歸母扣非凈利潤1.54億元，同比大增146.12%。其中，公司半導(dǎo)體業(yè)務(wù)營收3.17億元，毛利率提高至35%，同比+2pct，主要原因?yàn)橛唵物枬M、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級以及規(guī)模效應(yīng)持續(xù)凸顯。4.2.

萬業(yè)企業(yè)：收購CompartSystems布局零部件，氣體輸送系統(tǒng)領(lǐng)域全球領(lǐng)先萬業(yè)企業(yè)成立于1991年，并于1993年在上海交易所上市。2015年上海浦東科技投資有限公司成為第一大股東，設(shè)立公司向集成電路產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的戰(zhàn)略目標(biāo)。2018年，萬業(yè)企業(yè)成功收購上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司，正式進(jìn)入集成電路四大核心裝備之一的離子注入機(jī)領(lǐng)域。2020年，萬業(yè)企業(yè)領(lǐng)頭境內(nèi)外投資人收購CompartSystemsPte.Ltd并成為其第一大股東。2021年，公司攜手寧波芯恩成立嘉芯半導(dǎo)體，產(chǎn)品覆蓋刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理及退火、清洗設(shè)備等多款集成電路核心前道設(shè)備以滿足國內(nèi)市場對8英寸及12英寸設(shè)備的需求。通過收購CompartSystems，公司布局半導(dǎo)體核心零部件領(lǐng)域。2020年公司以浙江鐠芯和鐠芯控股為收購主體收購CompartSystems，作為集成電路設(shè)備所需的氣體輸送系統(tǒng)領(lǐng)域供應(yīng)商之一，CompartSystems長期為多家海外龍頭半導(dǎo)體設(shè)備廠提供穩(wěn)定供應(yīng)，主要產(chǎn)品包括BTP（BuiltToPrint）組件、裝配件、密封件、氣棒總成、氣體流量控制器（MFC）、焊接件等，主要用于集成電路制造工藝中氧化/擴(kuò)散、蝕刻和沉積等設(shè)備所需的精確氣體輸送系統(tǒng)，是全球少數(shù)可完成該領(lǐng)域零組件精密加工全部環(huán)節(jié)的公司。從營收結(jié)構(gòu)來看，公司目前主要業(yè)務(wù)仍為房地產(chǎn)業(yè)務(wù)，但得益于半導(dǎo)體行業(yè)的高景氣度以及公司對半導(dǎo)體業(yè)務(wù)的投入布局，公司的專業(yè)設(shè)備制造業(yè)務(wù)營收占比總體呈增加趨勢。2021年，公司房產(chǎn)銷售、專業(yè)設(shè)備制造、物業(yè)服務(wù)、租賃業(yè)務(wù)營業(yè)收入分別為6.81億元

（YoY-20.54%）、1.23億元（YoY+459.09%）、0.34億元（YoY+9.68%）、0.25億元

（YoY+19.05%），占公司整體收入比例分別為78.91%、14.25%、3.94%、2.90%。公司專業(yè)設(shè)備制造業(yè)務(wù)營收占比擴(kuò)大的同時，毛利率也在逐步提升。2021年，公司專業(yè)設(shè)備制造業(yè)務(wù)毛利率達(dá)到39.20%，較2020年提升7.17個百分點(diǎn)。由于正處于由房地產(chǎn)業(yè)務(wù)向集成電路戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型的過渡期，公司的營收和盈利呈下降趨勢，主要為房地產(chǎn)業(yè)務(wù)營收和盈利下降所致。2018-2021年，公司營收分別為26.79億元、18.69億元、9.31億元、8.80億元。2021年年公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入8.80億元，同比下降5.54%；歸屬于上市公司股東的凈利潤3.77億元，同比增長19.42%；歸屬于上市公司股東的扣除非經(jīng)常性損益的凈利潤2.33億元，同比下降7.28%。2022年H1，公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入1.66億元，同比下降72.72%；實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤0.28億元，同比下降89.84%；實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的扣除非經(jīng)常性損益的凈利潤0.24萬元，同比下降87.57%。4.3.

江豐電子：國內(nèi)靶材龍頭，布局半導(dǎo)體零部件打開成長空間江豐電子與2005年成立于寧波，并于2017年6月在深交所創(chuàng)業(yè)板上市，是一家專業(yè)從事超大規(guī)模集成電路制造用超高純金屬材料及濺射靶材研發(fā)生產(chǎn)的企業(yè)。在超大規(guī)模集成電路用高純金屬靶材領(lǐng)域，公司的產(chǎn)品包括鋁靶、鈦靶、鉭靶、銅靶以及各種超高純金屬合金靶材，成功打破美國、日本跨國公司的壟斷格局，填補(bǔ)了國內(nèi)電子材料行業(yè)的空白。公司在半導(dǎo)體精密零部件領(lǐng)域也有布局，主要用于半導(dǎo)體芯片以及液晶面板生產(chǎn)線的機(jī)臺，覆蓋了包括PVD、CVD、刻蝕、離子注入以及產(chǎn)業(yè)機(jī)器人等應(yīng)用領(lǐng)域，順應(yīng)中國半導(dǎo)體行業(yè)智造裝備國產(chǎn)化的趨勢。近年來，公司持續(xù)投入零部件制造工藝的研發(fā)，投資強(qiáng)化裝備能力，建成了零部件生產(chǎn)的全工藝、全流程生產(chǎn)體系，建成了寧波余姚、上海奉賢、沈陽沈北三個零部件生產(chǎn)基地，實(shí)現(xiàn)了多品種、大批量、高品質(zhì)的零部件量產(chǎn)。公司新開發(fā)的各種精密零部件產(chǎn)品已經(jīng)廣泛用于PVD、CVD、刻蝕機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備，其中PVD機(jī)臺用零部件包括壓環(huán)（ClampRing）、準(zhǔn)直器（Collimator）等，CVD機(jī)臺用零部件包括CVD氣體噴淋頭（showerhead）等，CMP機(jī)臺用零部件及耗材包括300mm拋光墊、保持環(huán)等。目前，公司生產(chǎn)的多品類零部件已在多家芯片制造企業(yè)實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代，與國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)、拓荊科技、芯源微、上海盛美、上海微電子、屹唐科技等多家廠商形成戰(zhàn)略合作新開發(fā)的各種半導(dǎo)體精密零部件產(chǎn)品加速放量并實(shí)現(xiàn)批量交貨。由于公司在靶材領(lǐng)域不斷攻克技術(shù)難題、在市場推廣取得突破，并布局半導(dǎo)體精密零部件業(yè)務(wù)打造第二曲線，公司幾年來營業(yè)收入持續(xù)增長。2018-2021年，公司營業(yè)收入分別為6.50億元、8.25億元、11.67億元、15.94億元，3年CAGR為34.85%。2021年，公司營收增長36.59%，歸母凈利潤1.07億元，同比下降27.21%，歸母扣非凈利潤0.76億元，同比增長25.59%。當(dāng)年歸母凈利潤下降主要由于毛利率同比下降2.54pcts且間接持有的中芯國際的股票公允價值變動收益同比大幅降低。2022年上半年度，公司營收和凈利潤均實(shí)現(xiàn)快速增長，營收達(dá)到10.86億元，同比增長50.18%；歸母凈利潤達(dá)到1.55億元，同比增長156.24%；扣非歸母凈利潤達(dá)到1.13億元，同比增長181.49%。公司的半導(dǎo)體精密零部件業(yè)務(wù)持續(xù)快速增長，國產(chǎn)替代進(jìn)程進(jìn)一步加速，多種新開發(fā)的精密零部件為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備和芯片制造企業(yè)實(shí)現(xiàn)批量交貨。2022H1，公司半導(dǎo)體零部件業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營收1.76億元，同比增長149.58%。4.4.富創(chuàng)精密：專注金屬零部件，打造平臺型公司富創(chuàng)精密在2008年成立于沈陽，專注于金屬材料零部件精密制造技術(shù)，掌握了可滿足嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)的精密機(jī)械制造、高潔凈度表面處理、焊接、組裝、檢測等一站式制造工藝，科創(chuàng)板IPO注冊已經(jīng)成功，上市在即。目前，公司是全球?yàn)閿?shù)不多的能夠量產(chǎn)應(yīng)用于7納米工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備的精密零部件制造商，已進(jìn)入國際大客戶A、東京電子、HITACHI、HighTech和ASMI等全球半導(dǎo)體設(shè)備龍頭廠商供應(yīng)鏈體系，還是客戶A的全球戰(zhàn)略供應(yīng)商。同時，公司順應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化趨勢，積極開拓境內(nèi)市場，產(chǎn)品已進(jìn)入包括北方華創(chuàng)、屹唐股份、中微公司、拓荊科技、華海清科、芯源微、中科信裝備、凱世通等主流國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商，保障了中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈安全。公司的產(chǎn)品為半導(dǎo)體設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備及其他領(lǐng)域的精密零部件，具體包括工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組產(chǎn)品和氣體管路，產(chǎn)品的高精密、高潔凈、高耐腐蝕、耐擊穿電壓等性能達(dá)到國際水平。通過此次股票發(fā)行，公司將利用募集資金投資10億于集成電路裝備零部件全工藝智能制造生產(chǎn)基地，另外6億用于補(bǔ)充流動資金。屆時，公司將搭建智能信息化管理平臺，擴(kuò)大現(xiàn)有產(chǎn)品產(chǎn)能，提高產(chǎn)品科技含量和生產(chǎn)信息化水平，進(jìn)一步滿足下游市場需求，同時有助于公司拓寬產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域，提升產(chǎn)品供貨能力。從營收結(jié)構(gòu)看，公司的主要業(yè)務(wù)包括工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組產(chǎn)品和氣體管路，其中，結(jié)構(gòu)零部件營收占比最高，氣體管路營收占比也在持續(xù)提高。2021年，工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組產(chǎn)品和氣體管路營業(yè)收入分別為1.78億（YoY+52.52%）、3.52億

（YoY+78.88%）、1.61億（YoY+60.66%）、1.38億（YoY+134.01%），占公司整體收入比例分別為21.50%、42.44%、19.44%、16.62%。三年來公司半導(dǎo)體零部件毛利率呈上升趨勢，2019-2021年，工藝零部件毛利率從22.77%上升到34.02%，結(jié)構(gòu)零部件毛利率從18.19%上升到32.38%，模組產(chǎn)品毛利率從6.15%上升到22.19%，氣體管路毛利率從0.34%上升到33.85%。在行業(yè)景氣度回升及半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化趨勢下，公司的工藝技術(shù)、行業(yè)口碑、產(chǎn)品質(zhì)量和交付能力不斷得到境內(nèi)外客戶認(rèn)可，主營業(yè)務(wù)收入快速增長，2020年和2021年，公司主營業(yè)務(wù)收入分別同比增長89.77%和75.36%，三年CAGR達(dá)到55.42%。2022年第一季度，公司營業(yè)收入和凈利潤同比2021年同期均大幅增長，歸母凈利潤0.41億元，同比增長122.82%，歸母扣非凈利潤0.31億元，同比增長233.91%，主要由于：（1）行業(yè)景氣度持續(xù)旺盛，公司產(chǎn)品供不應(yīng)求，隨著產(chǎn)能持續(xù)提升，公司業(yè)績進(jìn)一步釋放；（2）公司產(chǎn)能緊張，聚焦高附加值產(chǎn)品訂單，綜合毛利率同比提升。同時隨著經(jīng)營規(guī)模擴(kuò)大，規(guī)模效應(yīng)凸顯，期間費(fèi)用同比增幅遠(yuǎn)低于收入，導(dǎo)致凈利潤同比增幅高于收入。4.5.

漢鐘精機(jī)：光伏真空泵龍頭，拓展半導(dǎo)體業(yè)務(wù)打開國產(chǎn)替代空間上海漢鐘機(jī)械有限公司于1998成立，2005年更為現(xiàn)名，并于2007年在深交所掛牌上市，是是國內(nèi)螺桿壓縮機(jī)、真空泵龍頭企業(yè)。公司是臺資企業(yè)，早期發(fā)展真空泵業(yè)務(wù)時，技術(shù)主要源于中國臺灣漢鐘精機(jī)。公司的傳統(tǒng)業(yè)務(wù)是壓縮機(jī)，真空泵業(yè)務(wù)營收近年飛速增長，同時布局光伏和半導(dǎo)體兩大賽道。在太陽能光伏領(lǐng)域，真空泵已經(jīng)實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，主要應(yīng)用于拉晶及電池片制程，公司產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)大批量供貨及長時間可靠運(yùn)行，主要客戶包括隆基股份、晶盛機(jī)電、捷佳偉創(chuàng)等光伏企業(yè)，以優(yōu)異的性價比贏得了較大的市場份額。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，真空泵市場仍由外國廠商主導(dǎo)，主要包括Edwards（已被Atlas收購）和Pfeiffer兩大產(chǎn)商。根據(jù)ICInsights數(shù)據(jù)，2021年，Atlas占據(jù)了48.54%的半導(dǎo)體真空泵市場份額，Pfeiffer占據(jù)了12.74%市場份額，國內(nèi)廠商市場份額不足5%，存在著廣闊的國產(chǎn)替代空間。從營收結(jié)構(gòu)看，公司傳統(tǒng)業(yè)務(wù)壓縮機(jī)整體保持穩(wěn)健增長，真空泵業(yè)務(wù)營收增速迅猛，占營收比重從2019年的20.43%增長到2021年的34.98%。2021年，壓縮機(jī)（組）、真空產(chǎn)品、鑄件產(chǎn)品和零件及維修營業(yè)收入分別為16.97億

（

YoY+17.45%

）、10.43億

（YoY+59.71%）、0.58億（YoY+50.77%）、1.76億（YoY+34.89%），占公司整體收入比例分別為56.93%、34.98%、1.94%、6.15%。從分業(yè)務(wù)毛利率看，公司壓縮機(jī)業(yè)務(wù)維持在高于30%的水平，真空泵業(yè)務(wù)毛利率逐年提升，2021年真空產(chǎn)品毛利率達(dá)到43.14%。4.6.華卓精科：國內(nèi)半導(dǎo)體精密運(yùn)動控制系統(tǒng)龍頭華卓精科成立于2012年，主營業(yè)務(wù)為集成電路制造裝備及關(guān)鍵零部件的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，產(chǎn)品包括超精密運(yùn)動平臺、激光退火設(shè)備、晶圓鍵合設(shè)備、晶圓傳輸系統(tǒng)、主被動隔振器、靜電卡盤、精密測量系統(tǒng)等整機(jī)設(shè)備及半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件，主要應(yīng)用于集成電路芯片制造、先進(jìn)封裝、功率器件制造等產(chǎn)線，并在電子制造、激光加工等高端技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)廣泛應(yīng)用。目前公司正在申請IPO。華卓精科與清華大學(xué)有緊密合作，公司實(shí)際控制人為朱煜，兼任清華大學(xué)機(jī)械工程系長聘教授，截至2021年6月30日，發(fā)行人與清華大學(xué)共同所有162項(xiàng)專利技術(shù)以及1項(xiàng)獨(dú)占實(shí)施許可專利。除精密運(yùn)動系統(tǒng)、晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備之外，公司還生產(chǎn)研發(fā)部分半導(dǎo)體零部件，包括靜電卡盤和隔振器。靜電卡盤是一種適用于真空環(huán)境下的超潔凈晶圓片吸附裝置，利用靜電吸附原理進(jìn)行超薄晶圓片的平整均勻夾持，在集成電路制造中是PVD設(shè)備、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)等高端裝備的核心部件，目前公司開發(fā)出12吋PVD氮化鋁靜電卡盤，在一定程度上破除了國外廠商在該產(chǎn)品領(lǐng)域內(nèi)的長期壟斷局面隔振器是連接設(shè)備和安裝基座的彈性和阻尼元件，主要用以減少和消除由設(shè)備傳遞到安裝基座的振動或由安裝基座傳遞到設(shè)備的振動，公司自主研發(fā)的被動型隔振產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊、起始隔振頻率低和振動衰減率高。從營收結(jié)構(gòu)看，公司的核心業(yè)務(wù)為精密運(yùn)動系統(tǒng)及技術(shù)開發(fā)、納米精度運(yùn)動及測控系統(tǒng)技術(shù)開發(fā)、激光退火設(shè)備和晶圓級鍵合設(shè)備及技術(shù)開發(fā)，分別占2020年?duì)I收的63.47%、11.42%、10.76%和8.97%；半導(dǎo)體零部件業(yè)務(wù)小而精：靜電卡盤和隔振器分別占2020年?duì)I收的1.45%和1.21%。公司的主營收入連年增長，2017-2020年?duì)I收分別為0.54億元、0.86億元、1.21億元、1.52億元，公司2019年度營業(yè)收入增幅41.14%，2020年度營業(yè)收入增幅25.94%，主要來自于超精密測控裝備整機(jī)中的激光退火設(shè)備和晶圓級鍵合設(shè)備的交付以及精密運(yùn)動系統(tǒng)的增長共同推動了公司業(yè)績的大幅增長。公司凈利潤也呈上升態(tài)勢，2020年度公司凈利潤有所下降主要系公司管理費(fèi)用、貸款利息、計提預(yù)計信用損失大幅增加所致。4.7.

正帆科技：國內(nèi)領(lǐng)先的工藝介質(zhì)系統(tǒng)供應(yīng)商，加碼電子特氣、半導(dǎo)體零部件上海正帆科技前身正帆有限成立于2009年，是一家致力于為泛半導(dǎo)體、光纖通信、醫(yī)藥制造等行業(yè)客戶提供工藝介質(zhì)和工藝環(huán)境綜合解決方案的高新技術(shù)企業(yè)。其主營業(yè)務(wù)包括氣體化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的設(shè)計、生產(chǎn)、安裝及配套服務(wù)；高純特種氣體的生產(chǎn)、銷售以及潔凈廠房配套系統(tǒng)的設(shè)計、施工。公司持續(xù)投入生產(chǎn)研究，在泛半導(dǎo)體、光纖通信、醫(yī)藥制造等領(lǐng)域積累了豐富的客戶資源，其中包括中芯國際、京東方、三安光電、亨通光電、恒瑞醫(yī)藥等國內(nèi)知名客戶以及SK海力士、德州儀器等國際品牌客戶。近年來逐步在高純特種氣體業(yè)務(wù)方面逐漸站穩(wěn)腳跟，實(shí)現(xiàn)了砷烷、硅烷等產(chǎn)品的批量銷售，成功打入大陸領(lǐng)先的中芯國際14納米制程Fab廠的供應(yīng)鏈體系，并為其提供特氣、大宗氣體相關(guān)設(shè)備及系統(tǒng)服務(wù)。公司圍繞客戶的需求，布局半導(dǎo)體零部件領(lǐng)域，主要產(chǎn)品為半導(dǎo)體工藝設(shè)備的流體輸送系統(tǒng)/設(shè)備（GasBox）。GASBOX是在制造環(huán)節(jié)，將各路工藝高純氣體、液體集成在一個空間環(huán)境內(nèi)，并按工藝需求對不同氣體進(jìn)行傳輸、分配和混合的氣路裝置。對安全氣密性、耐蝕性和精