光伏銅電鍍行業(yè)研究報(bào)告

光伏銅電鍍行業(yè)研究報(bào)告1、HJT產(chǎn)業(yè)化阻力——光伏銀漿成本高昂HJT效率改進(jìn)難抵光伏輔材銀漿成本高。銀漿是HJT光伏電池的關(guān)鍵原材料，是由高純度（99%）的銀粉、玻璃氧化物、有機(jī)材料等所組成的機(jī)械混合物的粘稠狀漿料，應(yīng)用在HJT電池生產(chǎn)的最后一步主工藝環(huán)節(jié)——金屬化，通過(guò)在電池兩側(cè)印刷固化金屬電極，使得電極與電池片緊密結(jié)合，形成高效的歐姆接觸1以起到導(dǎo)電作用，直接影響光伏電池的光電轉(zhuǎn)換效率。據(jù)CPIA數(shù)據(jù)，截至2021年底，電池片的金屬電極仍以銀電極為主，市占比達(dá)99.9%。HJT電池銀漿消耗量大，降本突破點(diǎn)在于銀漿。據(jù)聚和股份數(shù)據(jù)，當(dāng)前異質(zhì)結(jié)電池銀漿成本在非硅成本中占比相對(duì)較高，高達(dá)46%，較TOPCon電池高10pct。據(jù)CPIA數(shù)據(jù)，2021年P(guān)型電池正銀+背銀消耗量共計(jì)約96.4mg/片；TOPCon電池正銀+背銀消耗量共計(jì)約145mg/片，而HJT電池雙面低溫銀漿消耗量約190mg/片，按單片功率6W、低溫銀漿價(jià)格8000元/kg計(jì)算，單瓦銀漿成本為0.25元，其中銀粉材費(fèi)用占高溫銀漿成本比例高達(dá)90%以上，低溫銀漿的銀粉成本占比則達(dá)95%以上。銀漿成本高有四大降本路徑，兩大方向。一是減少高價(jià)低溫銀漿用量，例如多主柵（MBB）、激光轉(zhuǎn)??；二是減少銀粉的用量，使用賤金屬替代部分銀粉，例如銀包銅、電鍍銅。2、降本增效工藝——銅電鍍2.1、銅電鍍工藝流程，圖形化與金屬化為核心非接觸式電極金屬化技術(shù)——銅電鍍。銅電鍍是一種非接觸式的電極金屬化技術(shù)，在基體金屬表面通過(guò)電解方法沉積金屬銅制作銅柵線(xiàn)，收集光伏效應(yīng)產(chǎn)生的載流子。為解決電鍍銅與透明導(dǎo)電薄膜（TCO）之間的接觸與附著性問(wèn)題，需先使用PVD設(shè)備鍍一層極薄的銅種子層（100nm），銜接前序的TCO和后序的電鍍銅，種子層制備后還需對(duì)其進(jìn)行快速燒結(jié)處理，以進(jìn)一步強(qiáng)化附著力。同時(shí)，銅種子層作為后續(xù)電鍍銅的勢(shì)壘層，可防止銅向硅內(nèi)部擴(kuò)散。2.1.1、工藝：圖形化與銅電鍍替代銀漿絲網(wǎng)印刷銅電鍍與傳統(tǒng)絲網(wǎng)印刷的差異主要在TCO膜制備工序之后，前兩道的工藝制絨與PVD濺射未變：傳統(tǒng)異質(zhì)結(jié)產(chǎn)線(xiàn)在TCO膜制備之后采用銀漿印刷和燒結(jié)，而銅電鍍則把銀漿絲網(wǎng)印刷替換成制備銅柵線(xiàn)的圖形化和金屬化兩大工序。圖形化工藝：PVD（物理氣相沉積法）設(shè)備在硅片TCO表面濺射一層100nm的銅種子層，使用石蠟或油墨印刷機(jī)（掩膜一體機(jī)）的濕膜法制作掩膜/噴涂感光膠，印刷、烘干后經(jīng)過(guò)曝光機(jī)曝光處理后，將感光膠或光刻膠上的圖形顯影。金屬化工藝：特定圖形的銅沉積

（電鍍銅），然后使用不同的抗氧化方法進(jìn)行處理（電鍍鋅或使用抗氧化劑制作保護(hù)層），除去之前的掩膜/感光膠，刻蝕去除多余銅種子層，避免電鍍銅在種子層腐蝕過(guò)程中引入缺陷，露出原本的TCO，其后再進(jìn)行表面處理，至此形成完整的銅電鍍工序。整個(gè)過(guò)程使用的主要設(shè)備是電鍍?cè)O(shè)備。2.1.2、設(shè)備：曝光機(jī)與電鍍機(jī)價(jià)值量占比較高曝光機(jī)：LDI曝光機(jī)在半導(dǎo)體領(lǐng)域稱(chēng)為光刻機(jī)，光伏電池片領(lǐng)域精度較半導(dǎo)體領(lǐng)域低，為微米級(jí)，其為銅電鍍環(huán)節(jié)中價(jià)值量最高的設(shè)備，約0.5億元/GW。目前國(guó)內(nèi)做直寫(xiě)光刻曝光機(jī)的為芯碁微裝，主要應(yīng)用在PCB與泛半導(dǎo)體領(lǐng)域。電鍍機(jī)——水平電鍍：水平電鍍主要供應(yīng)商有蘇州捷得寶——電鍍解決方案龍頭。捷得寶致力于開(kāi)發(fā)銅電鍍工藝（油墨掩膜+水平電鍍）。根據(jù)公司官網(wǎng)披露，以M2計(jì)算，2021年8月，其產(chǎn)品專(zhuān)利銅電鍍?cè)O(shè)備產(chǎn)速可達(dá)6000片/小時(shí)（10μm、10ASD），目標(biāo)是10000片/小時(shí)。電鍍機(jī)——垂直電鍍：東威科技主營(yíng)鍍銅設(shè)備，以垂直連續(xù)電鍍?yōu)橹?，主要?yīng)用在PCB板加工。公司開(kāi)發(fā)的光伏電鍍銅設(shè)備所用工藝為垂直掛鍍，技術(shù)在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先水平；PET鍍銅設(shè)備為水平電鍍，目前是國(guó)內(nèi)唯一能夠量產(chǎn)的公司。其他：

邁為股份：儲(chǔ)備銅電鍍PVD與圖形化設(shè)備技術(shù)2021年9月7日，邁為在異質(zhì)結(jié)量產(chǎn)設(shè)備和電鍍技術(shù)結(jié)合上率先實(shí)現(xiàn)突破，利用澳大利亞SunDrive無(wú)種子層直接銅電鍍工藝實(shí)現(xiàn)了M6尺寸HJT電池片25.54%轉(zhuǎn)換效率。目前，公司在銅電鍍PVD與圖形化設(shè)備方面進(jìn)行相關(guān)技術(shù)儲(chǔ)備。羅博特科：具備銅電鍍技術(shù)儲(chǔ)備與專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)2015年杭州賽昂成功實(shí)現(xiàn)銅電鍍?cè)诋愘|(zhì)結(jié)電池的量產(chǎn)化應(yīng)用，自動(dòng)化設(shè)備由羅博特科提供。截至2022年6月底，羅博特科關(guān)于異質(zhì)結(jié)的自動(dòng)化技術(shù)和產(chǎn)品已經(jīng)迭代至第三代。公司在銅電鍍領(lǐng)域有技術(shù)儲(chǔ)備與專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)，技術(shù)尚處于公司內(nèi)部測(cè)試階段4。公司規(guī)劃發(fā)展新型濕法工藝設(shè)備與異質(zhì)結(jié)銅互聯(lián)解決方案。2.1.3、設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模：預(yù)計(jì)2030E銅電鍍核心設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)21.83億元測(cè)算邏輯：

①設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模=單GW投資額*新增銅電鍍光伏電池片產(chǎn)能②銅電鍍光伏電池片產(chǎn)能：Tn=非銀電極滲透率*銅電鍍占比*N型光伏電池片產(chǎn)能③新增銅電鍍光伏電池片產(chǎn)能=Tn-Tn-1關(guān)鍵假設(shè)①全球電池片產(chǎn)量：根據(jù)CPIA數(shù)據(jù)計(jì)算得出2019-2021年光伏裝機(jī)量與光伏電池片比例分別為1.22、1.26、1.32，呈現(xiàn)上升趨勢(shì)，我們假設(shè)2022-2030年伏裝機(jī)量與光伏組件容配比均為1：1.3，光伏組件與光伏電池片配比按1：1，根據(jù)CPIA預(yù)測(cè)的2022-2030年全球光伏新增裝機(jī)量，可得出全球光伏電池片產(chǎn)量。②全球電池片產(chǎn)能利用率：鑒于2022年電池片產(chǎn)出大國(guó)中國(guó)受疫情干擾較大，我們假設(shè)2022年全球光伏電池片產(chǎn)能利用率相較2021年（66.55%）下降5.55pct，2023年開(kāi)始好轉(zhuǎn)。由于光伏電池片產(chǎn)能擴(kuò)張幅度較大，參照2019-2021年產(chǎn)能利用率走勢(shì)，我們假設(shè)2022-2030年產(chǎn)能利用率為65%。③適用電鍍銅工藝的光伏電池片產(chǎn)能：當(dāng)前PERC生產(chǎn)成本相對(duì)較低，且由于具備更高效率的Ｎ型電池，如TOPCon、HJT、IBC出現(xiàn)，我們認(rèn)為未來(lái)PERC電池會(huì)被逐步替代，PERC電池不具有采用電鍍銅工藝的必要性。N型電池作為新技術(shù)路線(xiàn)，降本是其規(guī)?；l(fā)展核心邏輯，電鍍銅工藝作為降本增效的技術(shù)，為其降本可選技術(shù)路線(xiàn)之一。根據(jù)CPIA對(duì)各類(lèi)電池技術(shù)市場(chǎng)占比變化趨勢(shì)的預(yù)測(cè)，我們計(jì)算得出2022年到2030年，適用電鍍銅工藝的全球N型電池（TOPCon、HJT、IBC）產(chǎn)能自13.87GW增長(zhǎng)至504.28GW。④銅電鍍光伏電池滲透率：根據(jù)CPIA數(shù)據(jù)，至2030年光伏電池片正面金屬電池技術(shù)市場(chǎng)仍以銀電極為主導(dǎo)，約占87.5%，非銀電極技術(shù)包括銀包銅等，約為12.5%，該比例口徑為所有類(lèi)型的電池片，而N型電池片在運(yùn)用銀包銅、激光轉(zhuǎn)印等降本路線(xiàn)上較為積極，我們假設(shè)在N型電池中，2030年銀電極占比下調(diào)為65%。目前銀包銅技術(shù)相較電鍍銅更為成熟，但未來(lái)一旦銅電鍍技術(shù)成熟后，大幅降本增效的銅電鍍產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程會(huì)更加快速，因此假設(shè)2022-2030年銅電鍍工藝在非銀電極中占比為自15%提升至70%，對(duì)應(yīng)2022-2030年銅電鍍光伏電池滲透率自0.45%提升至24.5%。⑤單GW銅電鍍?cè)O(shè)備投資額：據(jù)CPIA數(shù)據(jù)，2021年單GW異質(zhì)結(jié)電池設(shè)備投資額為4億元，其中絲網(wǎng)印刷設(shè)備約占10%，即4000萬(wàn)/GW，我們假設(shè)2022年單GW銅電鍍圖形化與金屬化工序設(shè)備投資額為2億元，其中曝光機(jī)5000萬(wàn)/GW，電鍍機(jī)3000萬(wàn)/GW，隨著技術(shù)逐漸成熟，產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程加快，設(shè)備價(jià)值量會(huì)隨之下調(diào)，逐年下調(diào)5%。2.2、銅電鍍V.S.絲網(wǎng)印刷：降本與提效銅電鍍相較銀漿絲網(wǎng)印刷，優(yōu)勢(shì)主要在兩方面：降本與提效。1）降本：在自然界中，金屬導(dǎo)電性由高到低分別是銀、銅、金、鋁、鎳、鐵，但銀屬于貴金屬，價(jià)格較高，不適合做導(dǎo)線(xiàn)，若采用其做導(dǎo)線(xiàn)，將拉高生產(chǎn)成本，因此在光伏電池片中，無(wú)論是使用高溫銀漿還是低溫銀漿，銀漿成本高昂是產(chǎn)業(yè)規(guī)?；袋c(diǎn)，銅作為賤金屬，若能替代銀，降本問(wèn)題基本迎刃而解。2）效率提升：金屬銀導(dǎo)電性強(qiáng)于金屬銅，但銀漿屬于混合流動(dòng)膠體，導(dǎo)電性較純銅的銅柵線(xiàn)弱，線(xiàn)寬可以做到更細(xì)的銅柵線(xiàn)發(fā)電效率也更高。2.2.1、降本：理論狀態(tài)下，HJT銅電鍍電池片成本較銀漿絲網(wǎng)印刷低0.12元/W理論狀態(tài)下，HJT銅電鍍電池片成本較銀漿絲網(wǎng)印刷低0.12元/W。中國(guó)低溫銀漿產(chǎn)業(yè)處于早期發(fā)展階段，低溫銀漿以進(jìn)口為主，隨著國(guó)產(chǎn)化不斷推進(jìn)，據(jù)華晟數(shù)據(jù)，目前低溫銀漿已降至6500元/kg，182mmHJT電池片在絲網(wǎng)印刷技術(shù)下的非硅成本為0.28元/W，理論良率為98%的HJT銅電鍍電池片非硅成本則為0.16元/W，銅電鍍工藝較絲網(wǎng)印刷工藝節(jié)約成本約0.12元/W。單從漿料成本看，絲網(wǎng)印刷工藝的HJT電池銀漿成本為0.152元/W，我們假設(shè)銅電鍍工藝的銅耗成本約為其1/10，即銅電鍍工藝在漿料成本上可節(jié)省約0.137元/W。假設(shè)低溫銀漿價(jià)格落在最低極限值3000元/kg，對(duì)應(yīng)前述絲網(wǎng)印刷HJT電池片非硅總成本為0.20元/W，依舊比HJT銅電鍍電池片高0.045元/W。2.2.2、提效：電鍍銅導(dǎo)電性與發(fā)電效率雙重提升金屬柵線(xiàn)電極與透明導(dǎo)電膜之間形成一個(gè)非整流的接觸——?dú)W姆接觸，歐姆接觸效果決定電池導(dǎo)電性與發(fā)電效率能否達(dá)到最佳。影響歐姆接觸效果的因素有接觸面緊密結(jié)合度、柵線(xiàn)材料電阻率，電阻率越大，電池片對(duì)電子或載流子的負(fù)荷越高，電子或載流子的通過(guò)率越差。銅柵線(xiàn)導(dǎo)電性強(qiáng)于銀漿。銅的導(dǎo)電性與銀相近，但銀漿屬于混合物膠體，銅柵線(xiàn)是純銅，因此銅柵線(xiàn)的電阻率更低，銅柵線(xiàn)電阻率是1.7Ω/m，銀漿的電阻率大約為5-10Ω/m。銅柵線(xiàn)更細(xì)，線(xiàn)寬線(xiàn)距尺寸小，發(fā)電效率更高。柵線(xiàn)細(xì)、線(xiàn)寬線(xiàn)距小意味著柵線(xiàn)密度更大，更多的柵線(xiàn)可以更好地將光照產(chǎn)生的內(nèi)部載流子通過(guò)電流形式導(dǎo)出電池片，從而提高發(fā)電效率，銅電鍍技術(shù)電池轉(zhuǎn)化效率比絲網(wǎng)印刷高0.3%~0.5%。①低溫銀漿較為粘稠，印刷寬度更寬。高溫銀漿印刷線(xiàn)寬可達(dá)到20μm，但是低溫銀漿印刷的線(xiàn)寬大約為40μm。②銅電鍍銅離子沉積只有電子交換，柵線(xiàn)寬度更小。銅電鍍的線(xiàn)寬大約為20μm，采用類(lèi)半導(dǎo)體的光刻技術(shù)可低于20μm。銅電鍍工藝主要存在三大問(wèn)題：1）銅電鍍產(chǎn)生有機(jī)污染物與廢水，一方面影響項(xiàng)目通過(guò)環(huán)評(píng)，另一方面增加成本投入；2）光伏產(chǎn)能大，但水平電鍍的出片效率低，等效條件下單GWh設(shè)備投資額增大；3）工序復(fù)雜問(wèn)題點(diǎn)增多，銅活躍易氧化脫柵線(xiàn)。2.3、產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程：導(dǎo)入初期，關(guān)注海源復(fù)材600MW產(chǎn)線(xiàn)龍頭電池廠加盟，銅電鍍技術(shù)在光伏領(lǐng)域應(yīng)用有望加速。早幾年前，除賽昂、鈞石、國(guó)電投在光伏領(lǐng)域應(yīng)用PCB技術(shù)外，國(guó)內(nèi)電池廠商很少應(yīng)用，但隨著降本日益成為光伏行業(yè)角逐重點(diǎn)，近兩年，國(guó)內(nèi)電池龍頭也在逐漸布局銅電鍍技術(shù)。目前愛(ài)旭、海源、隆基、邁為的技術(shù)驗(yàn)證進(jìn)行得較為深入。海源復(fù)材——600MW量產(chǎn)銅柵線(xiàn)HJT異質(zhì)結(jié)電池?cái)M于今年10月調(diào)試，2021年11月，海源復(fù)材與銅電鍍解決方案龍頭——蘇州捷得寶簽署設(shè)備買(mǎi)賣(mài)框架合同，擬共同完成5GW高效異質(zhì)結(jié)電池產(chǎn)能建設(shè)項(xiàng)目。據(jù)公司2021年12月1日投資者調(diào)研活動(dòng)信息表，在前期600MW設(shè)備中，銅電鍍?cè)O(shè)備為捷得寶供應(yīng)：PECVD部分，捷得寶供應(yīng)具有微晶生產(chǎn)力的設(shè)備、PVD部分設(shè)備則傾向于采購(gòu)進(jìn)口品牌、制絨環(huán)節(jié)捷得寶將搭配國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的設(shè)備。若項(xiàng)目實(shí)施順利，預(yù)計(jì)第一條生產(chǎn)線(xiàn)將于2022年10月進(jìn)行調(diào)試。據(jù)海源復(fù)材

2021年11月18日公告的定增反饋意見(jiàn)回復(fù)，海源復(fù)材與國(guó)電投研究院在光伏行業(yè)深化協(xié)同，國(guó)電投研究院將對(duì)海源復(fù)材的銅柵線(xiàn)異質(zhì)結(jié)電池與組件技術(shù)充分賦能。截至該公告日，國(guó)電投研究院已自主開(kāi)發(fā)轉(zhuǎn)換效率24.5%的銅柵線(xiàn)異質(zhì)結(jié)電池（C-HJT）量產(chǎn)技術(shù)工藝，技術(shù)水平處于國(guó)際先進(jìn)水平，且擁有全部知識(shí)產(chǎn)權(quán)。該技術(shù)可有償授權(quán)海源復(fù)材應(yīng)用于異質(zhì)結(jié)電池組件量產(chǎn)項(xiàng)目，合作研發(fā)轉(zhuǎn)換效率25%以上的銅柵線(xiàn)異質(zhì)結(jié)電池量產(chǎn)技術(shù)工藝。3、PET鍍銅與半導(dǎo)體鍍銅3.1、PET鍍銅核心是真空鍍膜與離子置換PET銅箔工藝核心為真空鍍膜與離子置換。PET鍍銅膜是在PET基膜上進(jìn)行真空納米涂層的技術(shù)，以純度為99.999％的銅作為靶材，再通過(guò)改變真空室內(nèi)的工作氣壓、溫度和蒸鍍時(shí)間等工藝條件，在其表面沉積上金屬銅膜。2021年，東威科技

PET復(fù)合銅箔電鍍?cè)O(shè)備已實(shí)現(xiàn)966萬(wàn)元收入，與多個(gè)行業(yè)大客戶(hù)對(duì)接，有望實(shí)現(xiàn)批量化交付。同時(shí)，公司正在研發(fā)PET鍍銅前道的磁控濺射設(shè)備，據(jù)公司投資者調(diào)研紀(jì)要，預(yù)計(jì)22H2能夠制造出真空鍍?cè)O(shè)備，后續(xù)有望提供PET銅箔的成套設(shè)備。根據(jù)我們測(cè)算，2025年全球PET銅箔設(shè)備市場(chǎng)中磁控濺射設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為31.56億元，鍍銅設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為42.54億元。關(guān)鍵假設(shè)如下：①鋰離子電池出貨量：據(jù)EVTank聯(lián)合伊維經(jīng)濟(jì)研究院共同發(fā)布的中國(guó)鋰離子電池行業(yè)發(fā)展白皮書(shū)（2022年），2021年全球鋰離子電池總體出貨量達(dá)562.4GWh，同比增長(zhǎng)91%。EVTank預(yù)測(cè)2022年全球鋰離子電池出貨量為784.6GWh，2030年為4871.3GWh，2022-2030年均復(fù)合增速為25.64%，在此基礎(chǔ)上，結(jié)合新能源汽車(chē)與新能源配儲(chǔ)需求旺盛，我們預(yù)測(cè)2022-2025年全球鋰離子電池出貨量依次為785/1035/1360/1890GWh。②PET銅箔滲透率：PET復(fù)銅箔作為鋰電池負(fù)極集流體新型材料，具備安全性高，能量密度大等優(yōu)點(diǎn)。2021年，騰勝科技推出新一代復(fù)合銅箔產(chǎn)線(xiàn)，并出口至海外；雙星新材

PET銅箔已于2022Q1送檢中國(guó)、韓國(guó)多家廠商；萬(wàn)順新材已開(kāi)發(fā)出應(yīng)用于電池負(fù)極的載體銅膜樣品送下游電池企業(yè)驗(yàn)證；寶明科技跨界投入60億元建設(shè)復(fù)合銅箔產(chǎn)線(xiàn)，上游材料產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程加速。設(shè)備廠商如東威科技已有來(lái)自PET薄膜生產(chǎn)廠商、電池負(fù)極集流體材料生產(chǎn)廠商、電池生產(chǎn)廠商及跨行業(yè)新增鍍膜廠商等多家客戶(hù)，未來(lái)PET銅箔有望逐步替代傳統(tǒng)鋰電銅箔。鑒于早在2017年中國(guó)建成了第一條復(fù)合銅箔產(chǎn)線(xiàn)，在寧德時(shí)代等龍頭支持下，生產(chǎn)工藝逐步成熟，我們推測(cè)2021年P(guān)ET銅箔滲透率約為0.05%，基于PET銅箔具備較好的產(chǎn)業(yè)化基礎(chǔ)，我們假設(shè)2022-2025年P(guān)ET銅箔滲透率分別為0.4%/2%/7%/12%。③單GWh設(shè)備投資額：據(jù)東威科技投資者調(diào)研紀(jì)要，1GWh一般需要2臺(tái)真空鍍?cè)O(shè)備和3臺(tái)鍍膜設(shè)備，我們假設(shè)2022年單臺(tái)磁控濺射設(shè)備約1400萬(wàn)元，單臺(tái)水平鍍銅設(shè)備1200萬(wàn)元，基于設(shè)備價(jià)格隨產(chǎn)業(yè)發(fā)展一般具備下降趨勢(shì)的規(guī)律，我們往前推測(cè)2021年磁控濺射設(shè)備價(jià)值量為2900萬(wàn)元/GWh，水平鍍銅設(shè)備價(jià)值量為3700萬(wàn)元/GWh。3.2、半導(dǎo)體鍍銅關(guān)注前道電鍍先進(jìn)封裝電鍍半導(dǎo)體電鍍指在芯片制造過(guò)程中，將電鍍液中的金屬離子電鍍到晶圓表面形成金屬互連。目前半導(dǎo)體電鍍已不限于銅線(xiàn)的沉積，還有錫、錫銀合金、鎳、金等金屬，但是金屬銅的沉積依然占據(jù)主導(dǎo)地位。半導(dǎo)體電鍍主要分為前道電鍍工藝與先進(jìn)封裝電鍍工藝。目前全球前道晶圓制造的電鍍?cè)O(shè)備市場(chǎng)處于寡頭壟斷的狀態(tài)，市場(chǎng)巨頭為L(zhǎng)amResearch。國(guó)內(nèi)市場(chǎng)中，掌握芯片銅互連電鍍銅技術(shù)核心專(zhuān)利的公司只有盛美上海。后道先進(jìn)封裝電鍍?cè)O(shè)備領(lǐng)域，全球范圍內(nèi)的主要設(shè)備商包括美國(guó)的AppliedMaterials和LamResearch、日本的EBARACORPORATION和新加坡的ASMPacific。盛美上海

UltraECPmap設(shè)備是繼美國(guó)Lam、AMAT后全球第三家擁有該技術(shù)的設(shè)備商。盛美上海自主開(kāi)發(fā)了針對(duì)65-22nm及以下工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)的芯片制造前道銅互連鍍銅技術(shù)及設(shè)備（UltraECPmap），采用獨(dú)家專(zhuān)利的多陽(yáng)極局部電鍍技術(shù)的新型電流控制方法，實(shí)現(xiàn)了在超薄籽晶層上完成無(wú)空穴填充，主要應(yīng)用于集成電路雙大馬士革互連結(jié)構(gòu)金屬銅層應(yīng)用，除了適用于65-28nm工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)之外，還可以拓展至更先進(jìn)制程的鈷電鍍工藝應(yīng)用。2022年2月，盛美獲得13臺(tái)UltraECPmap前道銅互連電鍍?cè)O(shè)備及8臺(tái)UltraECPap后道先進(jìn)封裝電鍍?cè)O(shè)備的多個(gè)采購(gòu)訂單，其中10臺(tái)設(shè)備訂單為一家中國(guó)頂級(jí)集成電路制造廠商的追加訂單。4、重點(diǎn)企業(yè)分析光伏銅電鍍是光伏電池金屬化環(huán)節(jié)的工藝技術(shù)改進(jìn)，降本幅度之大吸引設(shè)備與產(chǎn)業(yè)化環(huán)節(jié)企業(yè)涌入，未來(lái)市場(chǎng)空間可期。4.1、東威科技垂直連續(xù)電鍍?cè)O(shè)備龍頭。公司成立于2005年，2006年推出首臺(tái)應(yīng)用于PCB領(lǐng)域的垂直連續(xù)電鍍?cè)O(shè)備，通過(guò)產(chǎn)品研發(fā)升級(jí)，形成PCB電鍍專(zhuān)用設(shè)備、五金表面處理專(zhuān)用設(shè)備和新能源領(lǐng)域電鍍?cè)O(shè)備產(chǎn)品格局，目前下游客戶(hù)已覆蓋大多數(shù)國(guó)內(nèi)一線(xiàn)PCB制造廠商，截至2022年6月底，PCB電鍍?cè)O(shè)備市占率達(dá)50%以上。PET鍍銅與光伏銅電鍍打開(kāi)新成長(zhǎng)曲線(xiàn)。PET銅箔設(shè)備是東威科技在卷對(duì)卷垂直連續(xù)電鍍?cè)O(shè)備的基礎(chǔ)上拓展應(yīng)用到新能源動(dòng)力電池材料專(zhuān)用設(shè)備。PET復(fù)合銅箔生產(chǎn)一般由PVD磁控濺射及電鍍兩步組成，目前東威是唯一能批量化生產(chǎn)PET銅箔電鍍?cè)O(shè)備的廠商，在手訂單充足，同時(shí)公司開(kāi)發(fā)適合產(chǎn)業(yè)化發(fā)展的磁控濺射類(lèi)雙面鍍銅鍍膜設(shè)備，與公司生產(chǎn)的水電鍍?cè)O(shè)備工藝密切銜接，打造一體化PET復(fù)合銅箔設(shè)備體系，公司預(yù)計(jì)今年下半年有望制造出磁控濺射真空鍍?cè)O(shè)備。光伏銅電鍍方面，據(jù)公司2022年上半年董事會(huì)經(jīng)營(yíng)評(píng)述，公司自2020年8月立項(xiàng)研發(fā)“光伏電池片金屬化VCP設(shè)備”，中試線(xiàn)已經(jīng)取得完全成功，大量產(chǎn)線(xiàn)已攻克了設(shè)備和自動(dòng)化技術(shù)難關(guān)，目前在設(shè)備研發(fā)設(shè)計(jì)制作中