工藝經(jīng)驗(yàn)交流分享

東區(qū)電池效率提升經(jīng)驗(yàn)分享

東區(qū)電池制造2010.3.191電池轉(zhuǎn)換效率大幅提升升0.55％升1.78％升1.02％降1.00％降0.23％升26.7％升8.23％降18.2％升3.69%工序標(biāo)準(zhǔn)化貢獻(xiàn)~0.15％高阻貢獻(xiàn)~0.17％88nm膜厚貢獻(xiàn)~0.18％電性能提升：轉(zhuǎn)換效率從開線時(shí)16.30％提高至目前16.80％;試驗(yàn)?zāi)Ｐ停?/p>

Case1高方阻工藝DOE－試驗(yàn)?zāi)Ｐ痛四Ｐ蛻?yīng)用到電池?cái)U(kuò)散，具體對(duì)應(yīng)關(guān)系如下：輸入：制絨后的硅片可控因子-：氣流，溫度，時(shí)間，壓強(qiáng)噪聲因子：時(shí)效，片源，機(jī)臺(tái)輸出：擴(kuò)散質(zhì)量，磷濃度分布曲線輸出將直接決定轉(zhuǎn)化效率因子選擇與控制：

可控因子選擇氣流：N2,POCL3,O2中選擇POCL3作為keyfactor，以控制磷的摻雜總量和均勻性；溫度：溫度影響磷的摻雜總量，濃度分布，作為keyfactor；時(shí)間：淀積時(shí)間，推進(jìn)時(shí)間影響磷的摻雜總量，濃度分布，作為keyfactor；壓強(qiáng)：由于壓強(qiáng)的波動(dòng)相對(duì)于其絕對(duì)值非常小，對(duì)制程影響將較??；

噪聲因子控制片源：通過等份混片，保證片源一致；時(shí)效：技術(shù)員全程跟蹤，盡量減少硅片的滯留時(shí)間；機(jī)臺(tái)：保證路徑一樣；Case1高方阻工藝DOE－因子選擇第一組試驗(yàn)：對(duì)以上可控因子進(jìn)行田口設(shè)計(jì)，生成L9試驗(yàn)方案,找出最佳方案---E3：第二組試驗(yàn)：根據(jù)第一組試驗(yàn)結(jié)果，進(jìn)行第二組試驗(yàn)確定時(shí)間，試驗(yàn)方案為全因子設(shè)計(jì)，找出最佳方案---E6注：時(shí)間為淀積時(shí)間+推進(jìn)時(shí)間，試驗(yàn)組別主反應(yīng)溫度(℃)POCL3流量(sccm)時(shí)間(m)E183075014+12E283095018+16E3830110022+20E485075018+16E585095022+20E6850110014+12E787075022+20E887095014+12E9870110018+16試驗(yàn)組別淀積時(shí)間(m)推進(jìn)時(shí)間(m)POCL3流量(sccm)主反應(yīng)溫度(℃)E116141000830E216161000830E316181000830E418141000830E518161000830E618181000830E720141000830E820161000830E920181000830Case1高方阻工藝DOE－L9實(shí)驗(yàn)因子選擇與控制：

可控因子選擇：氣流：流量比例影響薄膜成分組成；壓強(qiáng)：影響膜的均勻性；膜厚：影響減反射效果；燒結(jié)溫度：影響氫分布和鈍化效果；

噪聲因子控制：片源：通過等份混片，保證片源一致；時(shí)效：技術(shù)員全程跟蹤，盡量減少硅片的滯留時(shí)間；機(jī)臺(tái)：保證路徑一樣；Case2高膜厚工藝DOE-因子選擇第一組試驗(yàn)：對(duì)以上可控因子進(jìn)行田口設(shè)計(jì)，生成L9試驗(yàn)方案,找出最佳方案Recipe7：第二組試驗(yàn)：根據(jù)第一組試驗(yàn)結(jié)果，進(jìn)行第二組試驗(yàn)，添加后到燒結(jié)因素，找出最佳方案---recipe7Case2高膜厚工藝DOE-L9試驗(yàn)Case3絲網(wǎng)燒結(jié)DOE實(shí)驗(yàn)-因子選擇8因子選擇與控制：

可控因子選擇：溫度：烘干溫度(DryerT1/T2/T3/T4)；燒結(jié)溫度(FiringT1/T2/T3/T4/T5/T6),各溫區(qū)對(duì)燒結(jié)起到特定的作用,燒結(jié)區(qū)T4/T5/T6為影響燒結(jié)效果的主要因子,氣流：溫場(chǎng)控制氣流,排風(fēng),冷卻氣流(確保溫場(chǎng)無波動(dòng),調(diào)節(jié)后反應(yīng)滯后-小于2℃,設(shè)定)冷卻水:確保冷卻效果,設(shè)定時(shí)間：燒結(jié)爐經(jīng)過時(shí)間(決定產(chǎn)量,設(shè)定速度230inch/min)

噪聲因子控制：片源：通過等份混片，保證片源一致；時(shí)效：技術(shù)員全程跟蹤，盡量減少硅片的滯留時(shí)間；機(jī)臺(tái)：保證路徑一樣；環(huán)境:環(huán)境溫度,冷卻水溫度,外圍排風(fēng)Case3絲網(wǎng)燒結(jié)DOE實(shí)驗(yàn)-L9試驗(yàn)9選取主燒結(jié)溫度T4/T5/T6進(jìn)行田口設(shè)計(jì),生成L9試驗(yàn)方案,得到最佳溫度組合Recipe5根據(jù)第一組試驗(yàn)結(jié)果,重新設(shè)計(jì)第二組試驗(yàn)方案,得到最佳溫度組合Recipe5據(jù)第2組實(shí)驗(yàn)結(jié)果,進(jìn)行T4/T5/T6的部分因子優(yōu)化,得到各機(jī)臺(tái)的最佳燒結(jié)溫度第一組試驗(yàn)：第二組試驗(yàn)：Case4前后清洗DOE-因子選擇10因子選擇與控制：

可控因子選擇：HNO3：主要起氧化作用，起濃度直接決定氧化的速度，作為keyfactor；HF：主要起剝離氧化產(chǎn)物的作用，進(jìn)而形成絨面，作為keyfactor；DI：直接影響HNO3和HF的濃度，作為keyfactor；

過程變量控制：溫度：保持恒定；滾輪速度：保持恒定；流量：保持恒定；

Case4前后清清洗DOE-混酸設(shè)設(shè)計(jì)對(duì)以上上可控控因子子進(jìn)行行混酸酸設(shè)計(jì)計(jì)：固定溫溫度，，滾輪輪速度度，流流量11Case4前后清清洗DOE-試驗(yàn)結(jié)結(jié)果12最優(yōu)配配比為為HF-0.26,HNO3-0.38,H2O-0.36(現(xiàn)用配配比為為HF-0.22,HNO3-0.43,H2O-0.35）考慮到到現(xiàn)用用配比比落在在<21區(qū)域內(nèi)內(nèi)，而而最優(yōu)優(yōu)擬合合值輸輸出結(jié)結(jié)果為為20.565，與目目前反反射率率平均均值21差異較較小，，因此此配比不不做調(diào)調(diào)整。相關(guān)性性趨勢(shì)勢(shì)圖－－下一一步提提效方方向13降低Rs將對(duì)效效率有有顯著著提升升下一步步改善善應(yīng)想想辦法法降降低Rs：網(wǎng)網(wǎng)版設(shè)設(shè)計(jì)漿漿料試試驗(yàn)PERS流程通過應(yīng)應(yīng)用PERS流程,對(duì)所有有主機(jī)機(jī)臺(tái)的的制程程能力力指標(biāo)標(biāo)進(jìn)行行驗(yàn)收收,確保東東區(qū)電電池順順利開開線,主要分分為兩兩部分分:申請(qǐng)部部分此部分分主要要是確確定QualLot階段和和RiskRun階段的的評(píng)估估項(xiàng)目目,方法,規(guī)模,合格基基準(zhǔn)以以及評(píng)評(píng)價(jià)者者;示例:評(píng)估部部分此部分分主要要是根根據(jù)開開線時(shí)時(shí)收集集整理理的相相關(guān)數(shù)數(shù)據(jù),提交報(bào)報(bào)告判判定申申請(qǐng)部部分的的評(píng)估估項(xiàng)目目是否否可以以驗(yàn)收收;示例:SPC管控SPC管控體體系：：SPC報(bào)表正常工工藝高方阻阻工藝藝對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)過程程中的的各種種影響響因素素進(jìn)行行預(yù)防防性的的質(zhì)量量管理理，確保保制程程狀況況處于于穩(wěn)定定，制制程控控制能能力逐逐漸提提高SPCControlTableSPC相關(guān)SOP工序標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)化化GoldenTool選擇Phase1進(jìn)行及及結(jié)束束后(6條線),選取各各道工工序的的GoldenTool,所有設(shè)設(shè)備的的參照照GoldenTool進(jìn)行優(yōu)化,進(jìn)行初初次標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)化化工序設(shè)設(shè)備匹匹配性性驗(yàn)證證因C3采取非非對(duì)線線跑片片,所以各各機(jī)臺(tái)臺(tái)之間間的兼兼容性性必須須考慮慮(擴(kuò)散與與燒結(jié)結(jié)的匹匹配性性尤為為重要要),所有工工序初步標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)化化已完完成.擴(kuò)散在在絲網(wǎng)網(wǎng)燒結(jié)結(jié)機(jī)臺(tái)臺(tái)無明明顯效效率差差異,下圖為為一周周擴(kuò)散散對(duì)絲絲網(wǎng)的的效率率趨勢(shì)勢(shì)圖16心得體體會(huì)17實(shí)驗(yàn)未未動(dòng)，，設(shè)計(jì)計(jì)先行行制程穩(wěn)穩(wěn)定，，循序序漸進(jìn)進(jìn)志同道道合，，方法法爭(zhēng)鳴鳴各司其其職，，各得得其所所部門交交流，，他山山之玉玉開放思思維，，挑戰(zhàn)戰(zhàn)教條條恥為人人后，，力爭(zhēng)爭(zhēng)上游游9、靜靜夜夜四四無無鄰鄰，，荒荒居居舊舊業(yè)業(yè)貧貧。。。。12月月-2212月月-22Wednesday,December28,202210、雨中中黃葉葉樹，，燈下下白頭頭人。。。21:03:0721:03:0721:0312/28/20229:03:07PM11、以我獨(dú)沈沈久，愧君君相見頻。。。12月-2221:03:0721:03Dec-2228-Dec-2212、故人江海別別，幾度隔山山川。。21:03:0721:03:0721:03Wednesday,December28,202213、乍乍見見翻翻疑疑夢(mèng)夢(mèng)，，相相悲悲各各問問年年。。。。12月月-2212月月-2221:03:0721:03:07December28,202214、他鄉(xiāng)生生白發(fā)，，舊國見見青山。。。28十十二月20229:03:07下午午21:03:0712月-2215、比不不了得得就不不比，，得不不到的的就不不要。。。。十二月月229:03下下午午12月月-2221:03December28,202216、行動(dòng)動(dòng)出成成果，，工作作出財(cái)財(cái)富。。。2022/12/2821:03:0721:03:0728December202217、做前，能能夠環(huán)視四四周；做時(shí)時(shí)，你只能能或者最好好沿著以腳腳為起點(diǎn)的的射線向前前。。9:03:07下下午9:03下下午21:03:0712月-229、沒沒有有失失敗敗，，只只有有暫暫時(shí)時(shí)停停止止成成功功！！。。12月月-2212月月-22Wednesday,December28,202210、很多事情努努力了未必有有結(jié)果，但是是不努力卻什什么改變也沒沒有。。21:03:0721:03:0721:0312/28/20229:03:07PM11、成功就是是日復(fù)一日日那一點(diǎn)點(diǎn)點(diǎn)小小努力力的積累。。。12月-2221:03:0721:03Dec-2228-Dec-2212、世間成成事，不不求其絕絕對(duì)圓滿滿，留一一份不足足，可得得無限完完美。。。21:03:0721:03:0721:03Wednesday,December28,202213、不不知知香香積積寺寺，，數(shù)數(shù)里里入入云云峰峰。。。。12月月-2212月月-2221:03:0721:03:07December28,202214、意志堅(jiān)堅(jiān)強(qiáng)的人人能把世世界放在在手中像像泥塊一一樣任意意揉捏。。28十十二月20229:03:07下午午21:03:0712月-2215、楚塞三湘湘接，荊門門九派通。。。。十二月229:03下下午12月-2221:03December28,202216、少少年年十十五五二二十十時(shí)時(shí)，，步步行行奪奪得得胡胡馬馬騎騎。。。。2022/12/2821:03:0721:03:0728December202217、空山新雨后后，天氣晚來來秋。。9:03:07下午9:03下下午21:03:0712月-229、楊柳散散和風(fēng)，，青山澹澹吾慮。。。12月-2212月-22Wednesday,December28,202210、閱讀一切好好書如同和過過去最杰出的的人談話。21:03:0821:03:0821:0312/28/20229:03:08PM11、越是是沒有有本領(lǐng)領(lǐng)的就就越加加自命命不凡凡。12月月-2221:03:0821:03Dec-2228-Dec-2212、越越是是無無能能的的人人，，越越喜喜歡歡挑挑剔剔別別人人的的錯(cuò)錯(cuò)兒兒。。21:03:0821:03:0821:03Wednesday,December28,202213、知人人者智智，自自知者者明。。勝人人者有有力，，自勝勝者強(qiáng)強(qiáng)。12月月-2212月月-2221:03:0821:03:08December28,202214、意志