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文檔簡介

晶磚邊長尺寸持續(xù)改善報(bào)告晶磚邊長尺寸持續(xù)改善項(xiàng)目背景及目標(biāo)

項(xiàng)目背景

在“效率為王”的市場(chǎng)背景下,硅片廠家均在硅錠的鑄錠方面努力穩(wěn)定及提升硅片效率,而效率的波動(dòng)

除了會(huì)受鑄錠的影響外,硅片的邊長尺寸也會(huì)與轉(zhuǎn)化效率成正比,統(tǒng)計(jì)揚(yáng)州榮德9月份晶磚磨后邊長尺

寸的分布如下,其均值僅為156.23mm,可改善空間較大。

目標(biāo)設(shè)定

依據(jù)歷史各機(jī)臺(tái)的磨床數(shù)據(jù),將改善目標(biāo)設(shè)定為156.30mm。目標(biāo)提升0.05mm技術(shù)品管部設(shè)備設(shè)施部生產(chǎn)部項(xiàng)目小組成員部門:技術(shù)品管部職務(wù):經(jīng)理姓名:馮琰部門:技術(shù)品管部-質(zhì)量職務(wù):主管姓名:宦愛飛部門:技術(shù)品管部-技術(shù)職務(wù):工程師姓名:惠昌軍部門:技術(shù)品管部-質(zhì)量職務(wù):工程師姓名:劉愧蘭部門:設(shè)備設(shè)施部職務(wù):經(jīng)理姓名:曹國慶部門:設(shè)備設(shè)施部-設(shè)備職務(wù):工程師姓名:張磊部門:生產(chǎn)部職務(wù):領(lǐng)班姓名:梅大祥晶磚邊長尺寸持續(xù)改善項(xiàng)目進(jìn)度及計(jì)劃1.現(xiàn)狀調(diào)查7.22-7.232.原因分析7.23-7.243.要因確認(rèn)7.25-8.184.制定對(duì)策7.26-8.265.對(duì)策實(shí)施7.26-9.256.效果檢查8.03-10.117.標(biāo)準(zhǔn)化8.20-10.08晶磚邊長尺寸持續(xù)改善現(xiàn)狀調(diào)查

磨床機(jī)臺(tái)磨后尺寸

由各機(jī)臺(tái)磨后尺寸分布可以看出:①各機(jī)臺(tái)磨后尺寸整體偏低;②磨后尺寸異常錠較多拉低整體平均值;

③SJ-02整體水平低于其他機(jī)臺(tái)。晶磚邊長尺寸持續(xù)改善原因分析晶磚尺寸偏小開方原因開方后尺寸不穩(wěn)定晶磚表面線痕太深磨床原因磨床機(jī)臺(tái)不穩(wěn)定磨后尺寸設(shè)定不合理晶磚邊長尺寸持續(xù)改善要因確認(rèn)

開方后尺寸不穩(wěn)定

開方后邊長尺寸的CPK值僅為0.75,表現(xiàn)為開方優(yōu)質(zhì)率的波動(dòng)較大,且9月份開方合格率僅為98.49%,

由此證明開方尺寸的不穩(wěn)定性是導(dǎo)致磨后尺寸偏小的原因之一。晶磚邊長尺寸持續(xù)改善原因分析

晶磚表面線痕過深

開方后晶磚表面線痕過深磨床作業(yè)時(shí)會(huì)有線痕磨不出的現(xiàn)象,需二次返工,而線痕未磨出不良占整個(gè)返

工晶磚的15.4%,所以開方后晶磚表面線痕過深是導(dǎo)致磨后尺寸偏小的原因之一。晶磚邊長尺寸持續(xù)改善亮斑刀紋未磨出+未精磨原因分析

磨床機(jī)臺(tái)不穩(wěn)定

9月份磨床一次合格率僅為82.78%,晶磚返工率較高,主要表現(xiàn)為未磨出、未精磨、亮斑、刀紋等,所

以磨床機(jī)臺(tái)的不穩(wěn)定是導(dǎo)致磨后尺寸偏小的原因之一。晶磚邊長尺寸持續(xù)改善原因分析

磨后尺寸設(shè)置不合理

4臺(tái)BSS磨床工藝設(shè)定的磨后尺寸固定為156.25mm,導(dǎo)致磨后尺寸高于156.30mm的概率較少,所

以磨后尺寸設(shè)置的不合理是導(dǎo)致磨后尺寸偏小的原因之一。晶磚邊長尺寸持續(xù)改善磨后尺寸的設(shè)定改善措施發(fā)生原因改善措施責(zé)任人完成日期開方后尺寸不穩(wěn)定a.針對(duì)導(dǎo)輪片晃動(dòng)和松動(dòng)將導(dǎo)輪片固定螺栓加長并增加螺母;b.下機(jī)后測(cè)量大碇四角晶磚尺寸是否合格決定下刀是否開;c.開機(jī)過程檢查鋼線抖動(dòng)、導(dǎo)輪片晃動(dòng)、導(dǎo)輪螺絲的緊固;d.IPQC由開方巡檢開機(jī)過程變更為全檢;黃朝新劉魁蘭

梅大祥\劉魁蘭劉魁蘭晶磚表面線痕太深a.升級(jí)開方切割工藝減少深線痕;b.將砂漿切換頻率由20刀變更為10刀;c.噴砂嘴改造,保證砂漿的均勻性增加切割能力;惠昌軍惠昌軍張磊磨床機(jī)臺(tái)不穩(wěn)定a.針對(duì)SJ-02設(shè)備重點(diǎn)排查,調(diào)整晶磚Z軸的平行度;b.增加磨床的修刀頻次,由1班/次變更為3次/班;c.針對(duì)連續(xù)異常機(jī)臺(tái)質(zhì)量進(jìn)行停機(jī)并報(bào)設(shè)備維修;張磊梅大祥劉魁蘭磨后尺寸設(shè)置不合理BBS磨后尺寸設(shè)定由開方尺寸進(jìn)行分檔;梅大祥晶磚邊長尺寸持續(xù)改善對(duì)策實(shí)施

開方后尺寸不穩(wěn)定

通過對(duì)導(dǎo)論的一系列措施后,開方優(yōu)質(zhì)率有明顯的提升,且開方的過程能力指數(shù)由改善前的0.75提升至

改善后的1.18,由此可證明該措施是實(shí)施有效的。晶磚邊長尺寸持續(xù)改善改善前98.49%改善中99.45%改善后99.60%

晶磚表面線痕太深

中心的。對(duì)策實(shí)施晶磚邊長尺寸持續(xù)改善

磨床機(jī)臺(tái)不穩(wěn)定

通過對(duì)設(shè)備維修保養(yǎng)以及工藝的變更,磨床一次合格率有改善前的82.78%提升至改善后的93.48%,尤

其SJ-02磨后尺寸由改善前的156.16mm提升至改善后的156.30mm,由此可證明該措施是實(shí)施有效的。對(duì)策實(shí)施晶磚邊長尺寸持續(xù)改善改善前156.155改善中156.125改善后156.30改善前82.78%改善中89.29%改善后93.48%

磨后尺寸設(shè)置不合理

BBS磨床依據(jù)每個(gè)晶磚開方后的尺寸分區(qū),設(shè)定不同的磨后尺寸,非常有效的做到晶磚的固定碾磨量,

開方與磨床的晶磚尺寸差也由0.85mm降至0.77mm,由此可證明該措施是實(shí)施有效的。對(duì)策實(shí)施晶磚邊長尺寸持續(xù)改善效果驗(yàn)證

通過以上改善,磨后邊長尺寸由改善前的156.23mm提升至改善后的156.31mm,且CPK

也提升至1以上,證明措施有效穩(wěn)定。晶磚邊長尺寸持續(xù)改善改善前156.23改善中156.28改善后156.31改善前0.84改善中0.90改善后1.10目標(biāo)達(dá)成標(biāo)準(zhǔn)化NO.項(xiàng)目措施附件1開方后尺寸不穩(wěn)定a.將新增檢查項(xiàng)目納入開方開機(jī)檢查卡2晶磚表面線痕太深a.升級(jí)開方切割工藝;b.變更砂漿切換頻率由20刀變更為10刀;3磨床機(jī)臺(tái)不穩(wěn)定a.增加磨床的修刀頻次,由1班/次變更為3次/班;4磨床機(jī)臺(tái)不穩(wěn)定a.升級(jí)磨床工藝標(biāo)準(zhǔn),按開方尺寸分區(qū)設(shè)定磨后尺寸;b.磨床人員將磨后尺寸納入月度績效考核晶磚邊長尺寸持續(xù)改善總結(jié)晶磚邊長尺寸持續(xù)改善

電池轉(zhuǎn)化效率的提升

按改善前的邊長對(duì)應(yīng)的效率為17.7%來計(jì)算,改善后邊長增大了0.08mm,效率可提升0

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