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典型干涉儀及其應(yīng)用第一頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/20232.4.1邁克爾遜干涉儀2
儀器結(jié)構(gòu)、光路3
工作原理4光程差計(jì)算5
極值條件1
邁克耳孫干涉儀6應(yīng)用第二頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023邁克耳孫在工作
邁克耳孫()美籍德國(guó)人
獲1907諾貝爾物理獎(jiǎng)。
1881年設(shè)計(jì)制作,邁克爾遜曾用它做過(guò)三個(gè)重要實(shí)驗(yàn):邁克爾遜-莫雷以太漂移實(shí)驗(yàn);第一次系統(tǒng)地研究了光譜精細(xì)結(jié)構(gòu);首次將光譜線的波長(zhǎng)與標(biāo)準(zhǔn)米進(jìn)行比較,建立了以波長(zhǎng)為基準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度第三頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/20231邁克爾遜干涉儀邁克爾遜干涉儀至今仍是許多光學(xué)儀器的核心。返回第四頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023SM1M2G1G2EM2a1a1′a2a2′半透半反膜補(bǔ)償板反射鏡反射鏡光源觀測(cè)裝置虛薄膜2、儀器結(jié)構(gòu)、光路第五頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023
第六頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/20233、工作原理光束a2′和a1′發(fā)生干涉▲M2、M1平行等傾干涉▲M2、M1有小夾角等厚干涉補(bǔ)償板作用:補(bǔ)償兩臂的附加光程差。十字叉絲等厚條紋SM1M2G1G2EM2a1a1′a2a2′半透半反膜補(bǔ)償板反射鏡反射鏡光源觀測(cè)裝置虛薄膜沒(méi)有補(bǔ)償板,對(duì)干涉有何影響?可以不要補(bǔ)償板?返回第七頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023邁克爾遜等傾干涉第八頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023邁克爾遜等厚干涉返回第九頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/20234光程差計(jì)算∵M(jìn)2′M1為虛薄膜,n1=n2=1∴光束
a2′和
a1′無(wú)半波損失且入射角i1等于反射角i25極值條件相長(zhǎng)相消若M1平移d時(shí),光程差改變2d干涉條紋移過(guò)N條第十頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023干涉條紋和虛空氣膜的對(duì)應(yīng)關(guān)系返回第十一頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/20236邁克爾遜干涉應(yīng)用精度:人眼觀測(cè)/2,光電管:/20,光電外差法/1000。在圖2-34所的裝置中,光電計(jì)數(shù)器用來(lái)記錄干涉條紋的數(shù)目,光電顯微鏡給出起始和終止信號(hào)。當(dāng)光電顯微鏡對(duì)準(zhǔn)待測(cè)物體的起始端時(shí),它向記錄儀發(fā)出一個(gè)信號(hào),使記錄儀開(kāi)始記錄干涉條紋數(shù)。當(dāng)物體測(cè)量完時(shí),光電顯微鏡對(duì)準(zhǔn)物體的末端,發(fā)出一個(gè)終止信號(hào),使記錄儀停止工作。利用就可算出待測(cè)物體的長(zhǎng)度?!鴾y(cè)量微小位移儀--激光比長(zhǎng)儀第十二頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023▲測(cè)折射率nln光路a2中插入待測(cè)介質(zhì),產(chǎn)生附加光程差由此可測(cè)折射率n。M1a2若相應(yīng)移過(guò)N個(gè)條紋則應(yīng)有注意光通過(guò)介質(zhì)兩次第十三頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023▲用邁克耳孫干涉儀測(cè)氣流問(wèn)題:能否根據(jù)上述干涉花樣描述氣流的分布狀況?第十四頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023▲光學(xué)相干CT—
斷層掃描成像新技術(shù)(CT-ComputedTomography)
第二代:
NMRCT-核磁共振成像第一代:
X射線CT
射線CT-工業(yè)CT計(jì)算機(jī)斷層成像
利用邁克耳孫干涉儀原理測(cè)量,空間分辨率可達(dá)微米的量級(jí).第三代:光學(xué)相干CT-OCT(OpticalCoherenceTomography,簡(jiǎn)稱OCT)第十五頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/20231、原理
要實(shí)現(xiàn)微米量級(jí)的空間分辨率(即dm),就要求能測(cè)量t10-14
秒的時(shí)間延遲。激光器的脈沖寬度要很小—10-15秒(飛秒)
樣品中不同位置處反射的光脈沖延遲時(shí)間也不同:數(shù)量級(jí)估計(jì):樣品(1)樣品反射光脈沖的延遲時(shí)間td第十六頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023時(shí)間延遲短至10-14—10-15s,電子設(shè)備難以直接測(cè)量,可利用邁克耳孫干涉儀原理測(cè)量。當(dāng)參考光脈沖和信號(hào)光脈沖序列(眼睛的不同部位反射得到光脈沖序列)中的某一個(gè)脈沖同時(shí)到達(dá)探測(cè)器表面時(shí),就會(huì)產(chǎn)生光學(xué)干涉現(xiàn)象。這種情形,只有當(dāng)參考光與信號(hào)光的這個(gè)脈沖經(jīng)過(guò)相等光程時(shí)才會(huì)產(chǎn)生。因?yàn)?0-15秒的光脈沖大約只有一個(gè)波長(zhǎng)。光源探測(cè)器參考鏡眼睛第十七頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023
測(cè)量不同結(jié)構(gòu)層面返回的光延遲,只須移動(dòng)參考鏡,使參考光分別與不同的信號(hào)光產(chǎn)生干涉。
參考臂掃描可得到樣品深度方向的一維測(cè)量數(shù)據(jù)。光束在平行于樣品表面的方向進(jìn)行掃描測(cè)量,可得到橫向的數(shù)據(jù)。將得到的信號(hào)經(jīng)計(jì)算機(jī)處理,便可得到樣品的立體斷層圖像。
分別記錄下相應(yīng)的參考鏡的空間位置,這些位置便反映了眼球內(nèi)不同結(jié)構(gòu)的相對(duì)空間位置。光源探測(cè)器參考鏡眼睛第十八頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023▲
圖象的斷層分辨率由光的脈寬決定?!?/p>
圖象的橫向分辨率由光束的直徑?jīng)Q定?!?/p>
對(duì)光程較長(zhǎng)的多次散射光有極強(qiáng)的抑制作用。
不同材料或結(jié)構(gòu)的樣品反射光的強(qiáng)度不同。根據(jù)反射光信號(hào)的強(qiáng)弱,賦予其相應(yīng)的色彩,這樣便得到樣品的假彩色圖。(2)樣品反射光脈沖強(qiáng)度的處理(3)OCT成像的特點(diǎn):即使透明度很差的樣品,仍可得到清晰的圖像。第十九頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/20232.實(shí)驗(yàn)裝置光源電子學(xué)系統(tǒng)計(jì)算機(jī)探測(cè)器光纖耦合器樣品光纖聚焦器反射鏡——光纖化的邁克耳孫干涉儀第二十頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023
大蔥表皮的OCT圖像
實(shí)際樣品大小為10mm×4mm,圖中橫向分辨率約為20m,縱向分辨率約為25m。3.OCT應(yīng)用生物醫(yī)學(xué)材料科學(xué)·····第二十一頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023兔子眼球前部的OCT圖像角膜前表面角膜后表面晶狀體上皮睫狀體第二十二頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/20232.4.2馬赫-澤德干涉儀(Mach-Zehnder)是一種大型光學(xué)儀器,它廣泛應(yīng)用于研究空氣動(dòng)力學(xué)中氣體的折射率變化、可控?zé)岷朔磻?yīng)中等離子體區(qū)的密度分布,并且在測(cè)量光學(xué)零件、制備光信息處理中的空間濾波器等許多方面,有著極其重要的應(yīng)用。特別是,它已在光纖傳感技術(shù)中被廣泛采用。馬赫-澤德干涉儀也是一種分振幅干涉儀,與邁克爾遜干涉儀相比,在光通量的利用率上,大約要高出一倍。這是因?yàn)樵谶~克爾遜干涉儀中,有一半光通量將返回到光源方向,而馬赫-澤德干涉儀卻沒(méi)有這種返回光源的光。結(jié)構(gòu)示意圖第二十三頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023馬赫-澤德干涉儀結(jié)構(gòu)示意圖G1、G2是兩塊分別具有半反射面A1、A2的平行平面玻璃板;M1、M2是兩塊平面反射鏡;四個(gè)反射面通常安排成近乎平行,其中心分別位于一個(gè)平行四邊形的四個(gè)角上,平行四邊形長(zhǎng)邊的典型尺寸是1-2m;光源S置于透鏡L1的焦平面上。S發(fā)出的光束經(jīng)L1準(zhǔn)直后在A1上分成兩束,它們分別由M1、A2反射和由M2反射、A2透射,進(jìn)入透鏡L2,出射的兩光相遇,產(chǎn)生干涉。第二十四頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023工作原理假設(shè)S是一個(gè)單色點(diǎn)光源,所發(fā)出的光波經(jīng)L1準(zhǔn)直后入射到反射面A1上,經(jīng)A1透射和反射、并由M1和M2反射的平面光波的波面分別為W1和W2;一般情況下,W1相對(duì)于A2的虛像W1’與W2互相傾斜,形成一個(gè)空氣隙,在W2上將形成平行等距的直線干涉條紋(圖中畫(huà)出了兩支出射光線在W2的P點(diǎn)虛相交),條紋的走向與W2和W1′所形成空氣楔的楔棱平行。當(dāng)有某種物理原因(例如,使W2通過(guò)被研究的氣流)使W2發(fā)生變形,則干涉圖形不再是平行等距的直線,從而可以從干涉圖樣的變化測(cè)出相應(yīng)物理量(例如,所研究區(qū)域的折射率或密度)的變化。第二十五頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023條紋的定域問(wèn)題在實(shí)際應(yīng)用中,為了提高干涉條紋的亮度,通常都利用擴(kuò)展光源,此時(shí)干涉條紋是定域的。當(dāng)四個(gè)反射面嚴(yán)格平行時(shí),條紋定域在無(wú)窮遠(yuǎn)處,或定域在L2的焦平面上;當(dāng)M2和G2同時(shí)繞自身垂直軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),條紋虛定域于M2和G2之間(圖2-37)。即通過(guò)調(diào)節(jié)M2和G2,可使條紋定域在M2和G2之間的任意位置上,從而可以研究任意點(diǎn)處的狀態(tài)。第二十六頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023馬赫--澤德光纖干涉儀在光纖傳感器中,大量利用光纖馬赫-澤德干涉儀進(jìn)行工作。圖2-38是一種用于溫度傳感器的馬赫-澤德干涉儀結(jié)構(gòu)示意圖。由激光器發(fā)出的相干光,經(jīng)分束器分別送入兩根長(zhǎng)度相同的單模光纖。參考臂光纖不受外場(chǎng)作用;信號(hào)臂放在需要探測(cè)的溫度場(chǎng)中;由二光纖出射的兩個(gè)激光束產(chǎn)生干涉。溫度的變化引起信號(hào)臂光纖的長(zhǎng)度、折射率變化,從而使信號(hào)臂傳輸光的相位發(fā)生變化;二光纖輸出光的干涉效應(yīng)變化;通過(guò)測(cè)量此干涉效應(yīng)的變化,即可確定外界溫度的變化。第二十七頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/20232.4.3法布里-珀羅干涉儀法布里--珀羅(Fabry-Perot)干涉儀特點(diǎn)分辨率極高的光譜儀;構(gòu)成激光諧振腔。1.法布里--珀羅干涉儀的結(jié)構(gòu)2.法布里--珀羅干涉儀的應(yīng)用研究光譜的超精細(xì)結(jié)構(gòu)激光器的諧振腔第二十八頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/20231.法布里--珀羅干涉儀的結(jié)構(gòu)主要由兩塊平行放置的平面玻璃板或石英板G1、G2組成,如圖2-39所示。兩板的內(nèi)表面鍍銀或鋁膜,或多層介質(zhì)膜--提高表面反射率。兩鍍膜面應(yīng)精確地保持平行,其平行度一般要求達(dá)到λ(1/20-1/100)。--為了得到尖銳的條紋干涉儀的兩塊玻璃板(或石英板)通常制成有一個(gè)小楔角(1′-10′),以避免沒(méi)有鍍膜表面產(chǎn)生的反射光的干擾。兩板之間的光程可以調(diào)節(jié)
--法布里-珀羅干涉儀;如果兩板間放一間隔圈,使板間的距離固定不變--法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具。第二十九頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023F-P與MK干涉條紋比較
等傾干涉,F(xiàn)-P相鄰兩透射光的光程差表達(dá)式與MK干涉儀的完全相同,所以條紋的形狀、間距、徑向分布很相似。
單色面光源。相同點(diǎn):不同點(diǎn):MK:等振幅的雙光束干涉、條紋寬模糊、可見(jiàn)度較差F-P:振幅急劇減少的多光束干涉、亮條紋細(xì)銳,可見(jiàn)度好第三十頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023金屬鍍膜對(duì)干涉圖樣強(qiáng)度的影響當(dāng)干涉儀兩板內(nèi)表面鍍金屬膜時(shí),由于金屬膜對(duì)光產(chǎn)生強(qiáng)烈吸收,使得整個(gè)干涉圖樣的強(qiáng)度降低?!枪庠诮饘賰?nèi)表面反射時(shí)的相位變化,R為金屬膜內(nèi)表面的反射率??梢?jiàn),由于金屬膜的吸收,干涉圖樣強(qiáng)度降低了[1-A/(1-R)]2倍,嚴(yán)重時(shí),峰值強(qiáng)度只有入射光強(qiáng)的幾十分之一。R+T+A=1假設(shè)金屬膜的吸收率為A,則根據(jù)能量守恒關(guān)系有當(dāng)干涉儀兩板的膜層相同時(shí),考慮膜層吸收時(shí)的透射光干涉圖樣強(qiáng)度公式返回第三十一頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023應(yīng)用之一:研究光譜的超精細(xì)結(jié)構(gòu)即是將一束光中不同波長(zhǎng)的光譜線分開(kāi)--分光。衡量一個(gè)分光元件性能的好壞有三個(gè)技術(shù)指標(biāo):自由光譜范圍--能夠分光的最大波長(zhǎng)間隔;分辨本領(lǐng)--能夠分辨的最小波長(zhǎng)差;角色散--使不同波長(zhǎng)的光分開(kāi)的程度。第三十二頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023自由光譜范圍--標(biāo)準(zhǔn)具常數(shù)對(duì)多光束干涉,若有兩個(gè)波長(zhǎng)為λ1和λ2(且λ2>λ1)的光入射至標(biāo)準(zhǔn)具。由于兩種波長(zhǎng)的同級(jí)條紋角半徑不同,將得到如圖2-41所示的兩組干涉圓環(huán)。λ2的干涉圓環(huán)比λ1的干涉圓環(huán)直徑小,前者用實(shí)線表示,后者用虛線表示。!!!隨著λ1和λ2的差別增大,同級(jí)圓環(huán)半徑相差也變大。當(dāng)λ1和λ2相差很大,使λ2的第m級(jí)干涉條紋與λ1的第m+1級(jí)干涉條紋重疊,就引起了不同級(jí)次的條紋混淆,達(dá)不到分光之目的。第三十三頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023繼續(xù)討論對(duì)于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)具分光元件來(lái)說(shuō),存在一個(gè)允許的最大分光波長(zhǎng)差,稱為自由光譜范圍(Δλ)f。-標(biāo)準(zhǔn)具常數(shù)對(duì)于靠近條紋中心的某一點(diǎn)(θ)處,λ2的第m級(jí)條紋與λ1的第m+1級(jí)條紋發(fā)生重疊時(shí),其光程差相等,有(Δλ)f亦稱為標(biāo)準(zhǔn)具所能產(chǎn)生單色光的波長(zhǎng)范圍,若用頻率表示,則有第三十四頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023分辨本領(lǐng)分光儀器所能分辨開(kāi)的最小波長(zhǎng)差(Δλ)m稱為分辨極限;定義:分辨本領(lǐng)“能分辨開(kāi)”?--瑞利判據(jù),光學(xué)中約定的標(biāo)準(zhǔn)。瑞利判據(jù):兩個(gè)等強(qiáng)度波長(zhǎng)的亮條紋只有當(dāng)它們的合強(qiáng)度曲線中央極小值低于兩邊極大值的81%時(shí),才算被分開(kāi)(圖2-42)λ1λ2第三十五頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023標(biāo)準(zhǔn)具分辨本領(lǐng)的計(jì)算如果不考慮標(biāo)準(zhǔn)具的吸收損耗,λ1和λ2的透射光合強(qiáng)度為
式中,1和2是在干涉場(chǎng)上同一點(diǎn)上的兩波長(zhǎng)條紋所對(duì)應(yīng)的相位差。設(shè)I1i=I2i=Ii,1-2=ε,則在合強(qiáng)度極小值處(圖中F點(diǎn))。λ1λ2第三十六頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023標(biāo)準(zhǔn)具分辨本領(lǐng)的計(jì)算極小值強(qiáng)度為
極大值強(qiáng)度為
在合強(qiáng)度極大值處(圖中G點(diǎn))。λ1λ2第三十七頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023標(biāo)準(zhǔn)具分辨本領(lǐng)的計(jì)算由瑞利判據(jù),兩個(gè)波長(zhǎng)條紋恰能分辨的條件是由于很小,sin(/2)≈/2,則有則有略去’兩波長(zhǎng)剛能分辨,則有Δ=,標(biāo)準(zhǔn)具的分辨本領(lǐng)為第三十八頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023標(biāo)準(zhǔn)具分辨本領(lǐng)的計(jì)算式中N為條紋的精細(xì)度兩波剛能分辨,則有Δ=,標(biāo)準(zhǔn)具的分辨本領(lǐng)為可見(jiàn),標(biāo)準(zhǔn)具的分辨本領(lǐng)與干涉條紋的級(jí)數(shù)m、精細(xì)度N成正比;F-P標(biāo)準(zhǔn)具的分辨本領(lǐng)極高;例如,h=5mm,N≈30(R≈0.9),λ=0.5μm,則在接近正入射時(shí),標(biāo)準(zhǔn)具的分辨本領(lǐng)為
相當(dāng)于在λ=0.5μm上,標(biāo)準(zhǔn)具能分辨的最小波長(zhǎng)差為8.3×10-7μm,一般光譜儀是達(dá)不到的。上面的討論是把λ1和λ2的譜線視為單色譜線,實(shí)際譜線的本身都有一定的寬度,所以標(biāo)準(zhǔn)具的分辨本領(lǐng)達(dá)不到這樣高。
第三十九頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023角色散角色散:用來(lái)表征分光儀器能夠?qū)⒉煌ㄩL(zhǎng)的光分開(kāi)程度的重要指標(biāo)。定義:?jiǎn)挝徊ㄩL(zhǎng)間隔的光,經(jīng)分光儀所分開(kāi)的角度,用dθ/dλ表示。dθ/dλ愈大,不同波長(zhǎng)的光經(jīng)分光儀分得愈開(kāi)。由法布里-珀羅干涉儀透射光極大值條件
不計(jì)平行板材料的色散,兩邊進(jìn)行微分,可得
角度θ愈小,儀器的角色散愈大。在法-珀干涉儀的干涉環(huán)中心處光譜最純。返回第四十頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023應(yīng)用之二:激光器諧振腔激光工作物質(zhì)在激勵(lì)源的作用下,為激光的產(chǎn)生提供了增益,其增益曲線如圖2-43(b)中的虛線所示。諧振腔為激光的產(chǎn)生提供了正反饋,并具有選模作用;可以看作是由M1、M2構(gòu)成的法布里-珀羅干涉儀。一臺(tái)激光器主要由兩個(gè)核心部件組成:激光工作物質(zhì)(激活介質(zhì))和由M1、M2構(gòu)成的諧振腔。第四十一頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023激光器的縱模激光器產(chǎn)生的激光振蕩頻率,實(shí)際上是一系列滿足干涉條件的頻率。由于激光輸出還必須滿足一定的閾值條件,所以激光輸出頻率只有如圖2-43(b)所示的A、B、C等少數(shù)幾個(gè)。--縱模數(shù)有限
激光器的每一種輸出頻率稱為振蕩縱模m;每一種輸出頻率的頻寬稱為單模線寬Δ1/2;-濾波寬度相鄰兩個(gè)縱模間的頻率間隔稱為縱模間隔Δ
。-自由光譜范圍第四十二頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023縱模頻率激光器輸出的縱模頻率實(shí)際上是滿足法布里-泊羅干涉儀干涉亮條紋條件的一系列頻率。在正入射情況下,滿足下面的關(guān)系:式中n和L分別是諧振腔內(nèi)介質(zhì)有折射率和腔長(zhǎng),m為干涉級(jí)??v模波長(zhǎng)縱模頻率第四十三頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023縱模間隔縱模間隔縱模頻率第四十四頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023單模線寬--儀器寬度對(duì)應(yīng)的帶寬由法布里-泊羅干涉儀的半值寬度激光器中往返光波間相位差單模線寬(波長(zhǎng))單模線寬(頻率)諧振腔的反射率越高,或腔長(zhǎng)越長(zhǎng),譜線寬度越小單色越好。第四十五頁(yè),共五十一頁(yè),2022年,8月28日1/19/2023應(yīng)用之三:干涉濾波片濾光片的作用是只讓某一波段范圍的光通過(guò),而其余波長(zhǎng)的光不能通過(guò)。濾光片的性能指標(biāo)有三個(gè):①中心波長(zhǎng)λ0,它是指透光率最大(TM)時(shí)的波長(zhǎng);②透射帶的波長(zhǎng)半寬度,它是透過(guò)率為最大值一半(T=TM/2)處的波長(zhǎng)范圍Δλ1/2,Δλ1/2大者為寬帶濾光片;Δλ
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