2022年行業(yè)分析電子專用設(shè)備和儀器“十一五”專項(xiàng)規(guī)劃

電子專用設(shè)備和儀器“十一五”專項(xiàng)規(guī)劃電子專用設(shè)備和儀器制造業(yè)是為電子信息產(chǎn)業(yè)和國(guó)民經(jīng)濟(jì)進(jìn)展供應(yīng)技術(shù)裝備儀器的基礎(chǔ)性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。大力振興電子專用設(shè)備和儀器制造業(yè)，是貫徹黨的十六大“大力振興裝備制造業(yè)”和《國(guó)務(wù)院關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干看法》精神，落實(shí)《2022-2022年國(guó)家信息化進(jìn)展戰(zhàn)略》，實(shí)現(xiàn)電子信息產(chǎn)業(yè)可持續(xù)進(jìn)展的戰(zhàn)略舉措。

依據(jù)《信息產(chǎn)業(yè)“十一五”規(guī)劃》的總體部署，在深化調(diào)研、廣泛論證的基礎(chǔ)上，編制本規(guī)劃，以此作為“十一五”我國(guó)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)進(jìn)展的指導(dǎo)性文件，作為進(jìn)一步加強(qiáng)和規(guī)范行業(yè)管理、指導(dǎo)重大工程建設(shè)實(shí)施的依據(jù)。本規(guī)劃主要涉及半導(dǎo)體和集成電路專用設(shè)備、電子整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備、新型顯示器件專用設(shè)備、新型電子元器件專用設(shè)備等4種進(jìn)展前景較好的設(shè)備以及電子測(cè)量?jī)x器領(lǐng)域。

一、“十五”回顧

產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大?！笆濉逼陂g，我國(guó)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)規(guī)模增長(zhǎng)較快，銷售收入比“九五”末期翻了一番。依據(jù)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)的統(tǒng)計(jì)，2022年我國(guó)電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)銷售收入44.9億元、工業(yè)增加值14.1億元、利潤(rùn)總額3.7億元。依據(jù)中國(guó)電子儀器行業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，“十五”末期，我國(guó)電子測(cè)量?jī)x器產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)銷售收入77億元、工業(yè)增加值21.9億元、利潤(rùn)總額4.3億元。各項(xiàng)指標(biāo)均實(shí)現(xiàn)大幅增長(zhǎng)。

部分設(shè)備儀器已能滿意國(guó)內(nèi)需求。6英寸集成電路設(shè)備大部分可立足國(guó)內(nèi)；部分8英寸設(shè)備已進(jìn)入生產(chǎn)線使用；TN/STN-LCD全套后工序設(shè)備、部分TFT-LCD后工序設(shè)備和TN/STN-LCD前工序設(shè)備已批量生產(chǎn)；國(guó)產(chǎn)LED后封裝設(shè)備已占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的20%；太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備已基本成套供應(yīng)并實(shí)現(xiàn)出口；軟磁鐵氧體、硬磁鐵氧體等生產(chǎn)線國(guó)產(chǎn)設(shè)備的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率已達(dá)90%，中低檔設(shè)備已全面取代進(jìn)口并實(shí)現(xiàn)出口，為我國(guó)磁性材料產(chǎn)量位居世界第一發(fā)揮了重要作用。部分中低端電子元器件設(shè)備和電子測(cè)量?jī)x器產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化并走向國(guó)際市場(chǎng)。

技術(shù)創(chuàng)新取得新進(jìn)展。“十五”期間，在政府、企業(yè)和討論機(jī)構(gòu)的共同努力下，國(guó)內(nèi)電子專用設(shè)備和儀器技術(shù)創(chuàng)新取得了肯定進(jìn)展。100nm高密度等離子體刻蝕機(jī)、大傾角等離子注入機(jī)已初步實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，步進(jìn)掃描光刻機(jī)和一批8英寸設(shè)備研發(fā)取得重要進(jìn)展。絲印、編帶等片式元件和部分鋰離子電池設(shè)備已研制勝利，表面貼裝焊接設(shè)備已具有較高的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率。光通信測(cè)試儀器技術(shù)水平已接近國(guó)際先進(jìn)水平，部分技術(shù)含量較高的國(guó)產(chǎn)儀器已勝利研制。

同時(shí)，目前我國(guó)電子設(shè)備和儀器制造業(yè)還存在很多困難和問題，主要是：產(chǎn)業(yè)進(jìn)展水平總體較低，關(guān)鍵技術(shù)基礎(chǔ)和設(shè)備研發(fā)制造力量仍舊薄弱，難以適應(yīng)電子信息產(chǎn)業(yè)進(jìn)展的需要；產(chǎn)業(yè)集中度低，具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的企業(yè)和企業(yè)集團(tuán)少；對(duì)外依存度高，引進(jìn)國(guó)外技術(shù)的消化汲取工作跟不上；市場(chǎng)環(huán)境不完善，鼓舞外商投資和促進(jìn)國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)進(jìn)展的政策法規(guī)還不健全，設(shè)備儀器關(guān)稅倒掛，政府投入不足；二手設(shè)備大量、廉價(jià)進(jìn)口對(duì)國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)形成了較大沖擊；缺乏能夠開發(fā)具有自主學(xué)問產(chǎn)權(quán)產(chǎn)品的高層次人才。

二、“十一五”面臨的形勢(shì)

（一）市場(chǎng)分析

1、世界市場(chǎng)

世界電子專用設(shè)備和儀器市場(chǎng)規(guī)模多年來(lái)始終保持較快增長(zhǎng)，2000年達(dá)到頂峰，2022年消失大幅下滑，此后開頭緩慢復(fù)蘇，2022年基本恢復(fù)到2000年水平，市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1350億美元，占世界電子信息產(chǎn)品市場(chǎng)規(guī)模的6.84%。估計(jì)將來(lái)幾年市場(chǎng)規(guī)模將以3.5%的增長(zhǎng)率保持穩(wěn)定增長(zhǎng)，到2022年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到1700億美元。其中，半導(dǎo)體和集成電路設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)450億美元，TFT-LCD、PDP、OLED和LED等新型顯示器件專用設(shè)備將超過200億美元，SMT設(shè)備將超過50億美元，電子測(cè)量?jī)x器將達(dá)260億美元。

2、國(guó)內(nèi)市場(chǎng)

“十五”期間，我國(guó)電子專用設(shè)備和儀器市場(chǎng)快速增長(zhǎng)，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)規(guī)模年均增長(zhǎng)超過40%，2022年市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1100億元。隨著國(guó)內(nèi)電子信息產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大，現(xiàn)有設(shè)備和儀器不斷更新?lián)Q代，電子專用設(shè)備和儀器市場(chǎng)規(guī)模將連續(xù)保持高速增長(zhǎng)，估計(jì)“十一五”期間國(guó)內(nèi)電子專用設(shè)備和儀器市場(chǎng)規(guī)模增速將達(dá)15～20%，2022年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)2000-2500億元。

（二）技術(shù)趨勢(shì)

電子專用設(shè)備和儀器的生產(chǎn)技術(shù)和產(chǎn)品更新速度明顯高于其他產(chǎn)業(yè)，先進(jìn)的技術(shù)裝備和儀器在相當(dāng)程度上已成為現(xiàn)代信息科技的融合體。隨著信息技術(shù)的飛速進(jìn)展，電子專用設(shè)備和儀器自動(dòng)化程度及技術(shù)門檻越來(lái)越高。將來(lái)幾年，電子專用設(shè)備和儀器將向數(shù)字化、高精度、集成化、智能化等方向進(jìn)展。

電子專用設(shè)備制造與工藝、軟件開發(fā)的結(jié)合越來(lái)越緊密，裝備制造商已從單純的供應(yīng)硬件設(shè)備向供應(yīng)全面解決方案和全方位服務(wù)的方向拓展。半導(dǎo)體和集成電路專用裝備將適應(yīng)大直徑、細(xì)線寬、超薄膜等工藝需求，趨向于設(shè)備單片式、集成化和生產(chǎn)線自動(dòng)化。新型電子元器件設(shè)備將以先進(jìn)的精密制造技術(shù)為依托，向系統(tǒng)化、集成化、智能化、靈敏化、綠色化方向進(jìn)展。TFT-LCD專用設(shè)備趨向于加工尺寸增大，精度、集成度、自動(dòng)化程度、產(chǎn)品與工藝結(jié)合程度不斷提高。SMT制造設(shè)備將向多功能、柔性化的集成系統(tǒng)進(jìn)展；電子整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備將全面實(shí)現(xiàn)無(wú)鉛化。隨著對(duì)產(chǎn)品小型化的追求，器件的封裝和組裝技術(shù)開頭消失相互交叉。

電子測(cè)量技術(shù)與通信、計(jì)算機(jī)技術(shù)融合進(jìn)一步加快，軟件技術(shù)所占比重越來(lái)越高。自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)將逐步從基于PC和總線結(jié)構(gòu)向基于網(wǎng)絡(luò)方向進(jìn)展，整機(jī)測(cè)試儀器將向功能模塊化、集成化方向進(jìn)展，數(shù)字通信測(cè)試儀器和通用測(cè)試儀器將向高速度、實(shí)時(shí)化方向進(jìn)展，大量以數(shù)字信號(hào)處理芯片為代表的集成電路和新型元器件應(yīng)用推動(dòng)電子測(cè)量?jī)x器的測(cè)試性能快速提高。

（三）面臨的環(huán)境

當(dāng)前，我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)總量持續(xù)增長(zhǎng)，電子信息產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大，但產(chǎn)業(yè)進(jìn)展總體上仍處于國(guó)際分工的中低端，設(shè)備和儀器制造業(yè)整體水平與發(fā)達(dá)國(guó)家相比還存在較大差距。為實(shí)現(xiàn)我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)健康、可持續(xù)進(jìn)展，必需加快電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)進(jìn)展。

我國(guó)經(jīng)濟(jì)進(jìn)展目前正處于工業(yè)化、市場(chǎng)化、國(guó)際化進(jìn)程加快的階段，將來(lái)幾年，消費(fèi)結(jié)構(gòu)、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)、投資結(jié)構(gòu)將不斷調(diào)整升級(jí)，產(chǎn)業(yè)對(duì)電子專用設(shè)備和儀器的需求將持續(xù)增加。同時(shí)，隨著國(guó)內(nèi)電子信息技術(shù)、加工工藝水平的不斷提高，電子專用設(shè)備和儀器進(jìn)展具備了良好的產(chǎn)業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)。

“十一五”期間，國(guó)家高度重視電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)?！?022-2022年國(guó)家信息化進(jìn)展戰(zhàn)略》將突破集成電路、軟件、關(guān)鍵元器件、關(guān)鍵工藝裝備等基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)的進(jìn)展瓶頸，培育有核心競(jìng)爭(zhēng)力的信息產(chǎn)業(yè)作為我國(guó)信息化進(jìn)展的戰(zhàn)略重點(diǎn)之一，科技中長(zhǎng)期規(guī)劃已將極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝列為國(guó)家科技重大專項(xiàng)，《國(guó)務(wù)院關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干看法》（國(guó)發(fā)[20228號(hào)）將集成電路關(guān)鍵設(shè)備、新型平板顯示器件生產(chǎn)設(shè)備、電子元器件生產(chǎn)設(shè)備、無(wú)鉛工藝的整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備等電子專用設(shè)備列入“十一五”重點(diǎn)突破的關(guān)鍵領(lǐng)域。隨著相關(guān)國(guó)家專項(xiàng)和產(chǎn)業(yè)政策的落實(shí)，電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)進(jìn)展環(huán)境將進(jìn)一步趨好。

但是，信息技術(shù)的快速進(jìn)展，電子信息產(chǎn)品更新?lián)Q代速度不斷加快，對(duì)電子專用設(shè)備和儀器提出了更高要求，并進(jìn)一步提高了產(chǎn)業(yè)進(jìn)入技術(shù)門檻。當(dāng)前，全球電子專用設(shè)備和儀器的美日歐競(jìng)爭(zhēng)格局已基本形成，企業(yè)間的大規(guī)模重組兼并不斷涌現(xiàn)，跨國(guó)公司的行業(yè)壟斷現(xiàn)象日漸突出，市場(chǎng)進(jìn)入難度增大。由于我國(guó)電子專用設(shè)備和儀器產(chǎn)業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)薄弱，市場(chǎng)環(huán)境和政策環(huán)境尚不完善，研發(fā)人才缺乏，在該領(lǐng)域仍舊受到國(guó)際上較為嚴(yán)格的技術(shù)封鎖，依靠技術(shù)引進(jìn)和產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)展的機(jī)會(huì)相對(duì)較小，將來(lái)產(chǎn)業(yè)進(jìn)展面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。

三、“十一五”進(jìn)展思路和目標(biāo)

（一）進(jìn)展思路

加大國(guó)際合作，加強(qiáng)共性基礎(chǔ)技術(shù)討論，突破關(guān)鍵技術(shù)，縮小電子專用設(shè)備和儀器、工模具與國(guó)外先進(jìn)水平的差距。以數(shù)字電視和新一代移動(dòng)通信等產(chǎn)業(yè)進(jìn)展為契機(jī)，推動(dòng)產(chǎn)品工藝與設(shè)備儀器開發(fā)相結(jié)合，促進(jìn)產(chǎn)用結(jié)合。加強(qiáng)政策引導(dǎo)，加大政府投入，大力進(jìn)展集成電路、平板顯示器件等重大技術(shù)裝備，鼓舞開發(fā)量大面廣的新型元器件生產(chǎn)設(shè)備、表面貼裝和支持無(wú)鉛工藝整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備，加大高性能測(cè)試儀器的研發(fā)力度。

（二）進(jìn)展目標(biāo)

“十一五”期間，我國(guó)電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)保持年均25%的增長(zhǎng)速度，電子測(cè)量?jī)x器產(chǎn)業(yè)保持年均20%的增長(zhǎng)速度，到2022年我國(guó)電子專用設(shè)備儀器國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率力爭(zhēng)超過20%。到2022年，部分12英寸集成電路生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入生產(chǎn)線使用，8英寸集成電路生產(chǎn)設(shè)備和平板顯示器件后段設(shè)備基本立足國(guó)內(nèi)，部分中低端元器件生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)水平接近國(guó)際先進(jìn)水平，初步建立以企業(yè)為主體的技術(shù)創(chuàng)新體系。電子測(cè)量?jī)x器產(chǎn)業(yè)初步把握部分核心技術(shù)，部分滿意國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求。

四、進(jìn)展重點(diǎn)

（一）電子專用設(shè)備

半導(dǎo)體和集成電路專用設(shè)備。重點(diǎn)進(jìn)展8-12英寸集成電路關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備，包括光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、平坦化設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、摻雜設(shè)備、勻膠顯影設(shè)備、快速熱處理設(shè)備、清洗設(shè)備等芯片制造設(shè)備，鍵合設(shè)備、劃片設(shè)備、剪薄設(shè)備、裝片設(shè)備等封裝設(shè)備和專用模具，以及檢測(cè)設(shè)備和材料制備設(shè)備等。樂觀跟蹤化合物半導(dǎo)體技術(shù)，加快化合物半導(dǎo)體（GaAs、InP、GaN、SiC）制造設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。

新型顯示器件專用設(shè)備。力爭(zhēng)形成TFT-LCD移載、清洗等設(shè)備的配套力量；樂觀開展面板生產(chǎn)線陣列和成盒等前道工藝設(shè)備的討論開發(fā)，重點(diǎn)提高濕/干法刻蝕機(jī)、液晶灌注機(jī)等研制水平。加強(qiáng)高亮度LED關(guān)鍵制造設(shè)備、PDP關(guān)鍵制造設(shè)備和OLED關(guān)鍵制造設(shè)備及測(cè)試儀器的開發(fā)生產(chǎn)。

電子整機(jī)裝聯(lián)設(shè)備。重點(diǎn)突破全自動(dòng)精密貼片機(jī)、大尺寸全自動(dòng)精密印刷機(jī)、全自動(dòng)插裝機(jī)、自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備（AOI）等關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，，擴(kuò)大市場(chǎng)占有率。大力支持適應(yīng)無(wú)鉛工藝的貼裝設(shè)備（如無(wú)鉛再流焊機(jī)、無(wú)鉛波峰焊機(jī)等）的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。

新型電子元器件設(shè)備。重點(diǎn)進(jìn)展片式元器件、新型綠色電池、高檔磁性材料、新型印制線路板等量大面廣的新型元器件生產(chǎn)設(shè)備，高頻頻率器件生產(chǎn)設(shè)備、MEMS生產(chǎn)設(shè)備以及電子專用工模具和高精度模具等。

（二）電子測(cè)量?jī)x器

加快進(jìn)展集成電路和電子基礎(chǔ)測(cè)試儀器。重點(diǎn)進(jìn)展高速數(shù)?；旌闲盘?hào)集成電路測(cè)試系統(tǒng)、邊界掃描測(cè)試系統(tǒng)、SoC測(cè)試系統(tǒng)和新型顯示器件參數(shù)測(cè)量?jī)x器、新型電子元器件參數(shù)測(cè)試儀器、印制電路板各類測(cè)試儀器、大功率器件測(cè)試儀器、片式元器件生產(chǎn)線在線測(cè)試儀器系列等。

重點(diǎn)開發(fā)綜合測(cè)試儀、網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)測(cè)試設(shè)備、路測(cè)儀等新一代移動(dòng)通信測(cè)量?jī)x器和測(cè)試系統(tǒng)，以及光通信、衛(wèi)星通信測(cè)試儀器和計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)通信測(cè)試儀器等。以音視頻產(chǎn)品由模擬向數(shù)字技術(shù)過渡為契機(jī)，重點(diǎn)進(jìn)展數(shù)字電視討論開發(fā)、生產(chǎn)用的調(diào)試測(cè)試設(shè)備儀器。樂觀進(jìn)展高性能通用測(cè)試儀器。

五、政策措施

（一）制定落實(shí)促進(jìn)產(chǎn)業(yè)進(jìn)展的政策

樂觀落實(shí)《國(guó)務(wù)院關(guān)于實(shí)施國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)進(jìn)展規(guī)劃綱要若干配套政策》和《關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干看法》，加快制定鼓舞電子專用設(shè)備和儀器進(jìn)展的政策實(shí)施細(xì)則。適時(shí)修訂《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)名目》和《外商投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)名目》，調(diào)整關(guān)稅政策，進(jìn)一步完善相關(guān)政策法規(guī)，營(yíng)造良好的市場(chǎng)環(huán)境。

（二）加大資金扶持力度

加大國(guó)家投入，支持電子專用設(shè)備和儀器的討論開發(fā)。組織實(shí)施極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝等科技重大專項(xiàng)，在國(guó)家年度投資支配中，支持對(duì)結(jié)構(gòu)調(diào)整和產(chǎn)業(yè)升級(jí)有重大影響的設(shè)備和儀器的技術(shù)進(jìn)步項(xiàng)目，在數(shù)字音視頻、移動(dòng)通信、平板顯示器件等國(guó)家專項(xiàng)中重點(diǎn)支持關(guān)鍵設(shè)備儀器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。通過國(guó)家投入帶動(dòng)社會(huì)投資，拓寬融資渠道，推動(dòng)關(guān)鍵設(shè)備和儀器國(guó)產(chǎn)化。

（三）加大國(guó)際合作

鼓舞國(guó)內(nèi)企業(yè)通過國(guó)際合作、并購(gòu)、參股國(guó)外先進(jìn)的研發(fā)制造企業(yè)等方式把握關(guān)鍵技術(shù)，鼓舞國(guó)內(nèi)企業(yè)與國(guó)外企業(yè)廣泛開展聯(lián)合設(shè)計(jì)和制造，通過引進(jìn)消化汲取和再創(chuàng)新，提高對(duì)相關(guān)技術(shù)的把握力量