GB/T 15074-2008電子探針定量分析方法通則

犐犆犛７１．０４０．９９

犖５３

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１５０７４—２００８

代替ＧＢ／Ｔ１５０７４—１９９４

電子探針定量分析方法通則

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２００８０６１６發(fā)布２００９０３０１實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

書

犌犅／犜１５０７４—２００８

目次

前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅲ

１范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

２規(guī)范性引用文件!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

３方法原理!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

４電子探針分析儀基本結(jié)構(gòu)!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

５儀器的環(huán)境條件!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

６測量前的準(zhǔn)備!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２

７測量條件的選擇!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

８標(biāo)樣的選擇!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!３

９測量過程概述!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４

１０電子束入射電流的測量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４

１１標(biāo)樣中的元素Ｘ射線強(qiáng)度測量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４

１２試樣中各元素的Ｘ射線強(qiáng)度測量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!５

１３電子探針定量分析的基本校正!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!６

１４測量不確定度!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!７

１５結(jié)果報(bào)告!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!８

Ⅰ

書

犌犅／犜１５０７４—２００８

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ１５０７４—１９９４《電子探針定量分析方法通則》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＧＢ／Ｔ１５０７４—１９９４相比主要變化如下：

———增加了引用標(biāo)準(zhǔn)，吸收了國際國內(nèi)近年發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)內(nèi)容；

———部分術(shù)語按ＩＳＯ２３８３３：２００６進(jìn)行了修改；

———刪除了原標(biāo)準(zhǔn)附錄Ａ；

———增加了測量不確定度評價要求（見第１４章）。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：核工業(yè)北京地質(zhì)研究院，北京鋼鐵研究總院。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：范光、朱衍勇、葛祥坤、張宜、毛允靜。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１５０７４—１９９４。

Ⅲ

犌犅／犜１５０７４—２００８

電子探針定量分析方法通則

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子探針定量分析過程中儀器的安裝要求、工作條件、標(biāo)樣選擇、基本操作過程、各種

校正處理方法及結(jié)果報(bào)告內(nèi)容。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于具有波譜儀的電子探針分析儀對試樣中各元素組成定量分析測量及數(shù)據(jù)處理。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ／Ｔ４９３０微束分析電子探針分析標(biāo)準(zhǔn)樣品技術(shù)條件導(dǎo)則（ＧＢ／Ｔ４９３０—２００８，ＩＳＯ１４５９３：

２００３，ＩＤＴ）

ＧＢ／Ｔ２０７２５波譜法定性點(diǎn)分析電子探針顯微分析導(dǎo)則（ＧＢ／Ｔ２０７２５—２００６，ＩＳＯ１７４７０：２００４，

ＩＤＴ）

ＩＳＯ２２３０９：２００６微束分析能譜定量分析

ＩＳＯ２３８３３：２００６微束分析電子探針顯微分析（ＥＰＭＡ）術(shù)語