標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 1553-2009 硅和鍺體內(nèi)少數(shù)載流子壽命測定 光電導(dǎo)衰減法》與前版《GB/T 1553-1997 硅和鍺體內(nèi)少數(shù)載流子壽命測定 光電導(dǎo)衰減法》相比,主要在以下幾個方面進(jìn)行了調(diào)整和完善:

  1. 技術(shù)內(nèi)容更新:新版標(biāo)準(zhǔn)對測量原理、測試設(shè)備的要求、以及實驗操作步驟進(jìn)行了細(xì)化和明確,以適應(yīng)技術(shù)進(jìn)步和儀器設(shè)備的發(fā)展,提高了測試的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

  2. 精度要求提升:針對測量精度,2009版標(biāo)準(zhǔn)對測試結(jié)果的準(zhǔn)確度和精密度提出了更嚴(yán)格的要求,確保了測試數(shù)據(jù)的可靠性和對比性,有助于提高半導(dǎo)體材料性能評估的一致性。

  3. 術(shù)語和定義:對部分專業(yè)術(shù)語進(jìn)行了修訂或新增,使其更加科學(xué)、規(guī)范,便于讀者理解和應(yīng)用,同時也與國際標(biāo)準(zhǔn)相接軌。

  4. 試驗方法優(yōu)化:改進(jìn)了光電導(dǎo)衰減法的具體實施步驟,包括樣品制備、信號采集與處理等方面,旨在減少測試過程中的誤差來源,增強(qiáng)測試方法的實用性和有效性。

  5. 環(huán)境條件控制:加強(qiáng)了對測試環(huán)境條件(如溫度、濕度、電磁干擾等)的控制要求,明確了這些因素對測試結(jié)果可能產(chǎn)生的影響及相應(yīng)的補(bǔ)償措施,提升了測試環(huán)境的標(biāo)準(zhǔn)化水平。

  6. 數(shù)據(jù)處理與分析:提供了更詳盡的數(shù)據(jù)處理方法和分析指導(dǎo),包括統(tǒng)計分析方法的應(yīng)用,幫助用戶更好地理解測試數(shù)據(jù),進(jìn)行有效的質(zhì)量控制和性能評估。

  7. 標(biāo)準(zhǔn)適用范圍:雖然基本適用范圍保持不變,仍專注于硅和鍺材料,但新版標(biāo)準(zhǔn)考慮到了新材料和新工藝的發(fā)展,對一些特殊類型的半導(dǎo)體材料或結(jié)構(gòu)也給出了適用性說明。


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  • 2009-10-30 頒布
  • 2010-06-01 實施
?正版授權(quán)
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文檔簡介

ICS29045

H80.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T1553—2009

代替

GB/T1553—1997

硅和鍺體內(nèi)少數(shù)載流子壽命測定

光電導(dǎo)衰減法

Testmethodsforminoritycarrierlifetimeinbulkgermanium

andsiliconbymeasurementofphotoconductivitydecay

2009-10-30發(fā)布2010-06-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

硅和鍺體內(nèi)少數(shù)載流子壽命測定

光電導(dǎo)衰減法

GB/T1553—2009

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京復(fù)興門外三里河北街16號

郵政編碼:100045

網(wǎng)址www.spc.net.cn

電話:6852394668517548

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社秦皇島印刷廠印刷

各地新華書店經(jīng)銷

開本880×12301/16印張1字?jǐn)?shù)24千字

2010年1月第一版2010年1月第一次印刷

書號:155066·139552

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犌犅/犜1553—2009

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T1553—1997《硅和鍺體內(nèi)少數(shù)載流子壽命測定光電導(dǎo)衰減法》。

本標(biāo)準(zhǔn)與原標(biāo)準(zhǔn)相比,主要有如下變化:

———新增加少子壽命值的測量下限范圍;

———刪除了有關(guān)“斬切光”的內(nèi)容;

———本標(biāo)準(zhǔn)將GB/T1553—1997中第7章“試劑和材料”和第8章“測試儀器”并為第6章“測量儀

器”;

———本標(biāo)準(zhǔn)增加了“術(shù)語”章和“體壽命”的解釋;

———本標(biāo)準(zhǔn)在“干擾因素”章增加了對各干擾因素影響的消除方法。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A為規(guī)范性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:峨嵋半導(dǎo)體材料廠。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:江莉、楊旭。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:

———GB1553—1979、GB5257—1985、GB/T1553—1997。

犌犅/犜1553—2009

硅和鍺體內(nèi)少數(shù)載流子壽命測定

光電導(dǎo)衰減法

1范圍

1.1本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅和鍺單晶體內(nèi)少數(shù)載流子壽命的測量方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于非本征硅和鍺單晶體

內(nèi)載流子復(fù)合過程中非平衡少數(shù)載流子壽命的測量。

1.2本標(biāo)準(zhǔn)為脈沖光方法。這種方法不破壞試樣的內(nèi)在特性,試樣可以重復(fù)測試,但要求試樣具有特

殊的條形尺寸和研磨的表面,見表1。

表1單位為毫米

類型長度寬度厚度

A15.02.52.5

B25.05.05.0

C25.010.010.0

1.3本標(biāo)準(zhǔn)可測的最低壽命值為10μs,取決于光源的余輝,而可測的最高壽命值主要取決于試樣的尺

寸,見表2。

表2單位為微秒

材料類型A類型B類型C

p型鍺32125460

n型鍺64250950

p型硅

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