GB/T 15861-1995離子束蝕刻機(jī)通用技術(shù)條件

標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 15861-1995 離子束蝕刻機(jī)通用技術(shù)條件》這一標(biāo)準(zhǔn)文件規(guī)定了離子束蝕刻機(jī)應(yīng)滿足的基本技術(shù)要求、測(cè)試方法以及檢驗(yàn)規(guī)則，旨在確保設(shè)備的性能穩(wěn)定性和加工質(zhì)量的一致性。以下是該標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容的概述：

1. 范圍：明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用的離子束蝕刻機(jī)類型，通常用于半導(dǎo)體、微電子、光學(xué)元件等領(lǐng)域中的材料精密加工，通過(guò)離子束轟擊實(shí)現(xiàn)材料表面的精確蝕刻。

2. 引用標(biāo)準(zhǔn)：列出了實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)需要參考的其他相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)或行業(yè)規(guī)范，這些標(biāo)準(zhǔn)涉及電氣安全、機(jī)械安全、環(huán)境條件等方面的要求。

3. 術(shù)語(yǔ)和定義：對(duì)離子束蝕刻機(jī)相關(guān)的專業(yè)術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了明確界定，便于讀者理解和執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容。

4. 分類與型號(hào)：根據(jù)離子束能量、加工面積、設(shè)備結(jié)構(gòu)等特點(diǎn)，對(duì)離子束蝕刻機(jī)進(jìn)行分類，并規(guī)定了型號(hào)命名規(guī)則，以便用戶根據(jù)需求選擇合適的機(jī)型。

5. 技術(shù)要求：

   • 性能指標(biāo)：包括離子束的能量范圍、束流穩(wěn)定性、加工精度、均勻性等關(guān)鍵參數(shù)的具體要求。
   • 安全性：確保設(shè)備在操作、維護(hù)過(guò)程中的電氣安全、機(jī)械安全及防護(hù)措施達(dá)到國(guó)家相關(guān)安全標(biāo)準(zhǔn)。
   • 環(huán)境適應(yīng)性：設(shè)備需能在規(guī)定的溫度、濕度、潔凈度等環(huán)境下正常工作，且對(duì)周圍環(huán)境的影響控制在允許范圍內(nèi)。
   • 可靠性：規(guī)定了設(shè)備連續(xù)工作時(shí)間、故障率等指標(biāo)，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

6. 試驗(yàn)方法：詳細(xì)說(shuō)明了如何對(duì)離子束蝕刻機(jī)的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行測(cè)試和驗(yàn)證，包括測(cè)試環(huán)境、測(cè)試設(shè)備、測(cè)試步驟和判定準(zhǔn)則。

7. 檢驗(yàn)規(guī)則：包括出廠檢驗(yàn)、型式檢驗(yàn)的項(xiàng)目、抽樣方案及合格判定標(biāo)準(zhǔn)，確保每臺(tái)出廠設(shè)備均符合技術(shù)要求。

8. 標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存：對(duì)設(shè)備的標(biāo)識(shí)信息、包裝方式、運(yùn)輸條件及貯存環(huán)境提出了具體要求，以保護(hù)設(shè)備在流通和存放期間不受損害。

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