GB/T 15862-1995離子注入機(jī)通用技術(shù)條件

標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 15862-1995 離子注入機(jī)通用技術(shù)條件》是中國關(guān)于離子注入機(jī)設(shè)備制定的一項國家標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)范離子注入機(jī)的技術(shù)要求、測試方法以及檢驗規(guī)則，確保設(shè)備的性能穩(wěn)定性和產(chǎn)品的質(zhì)量一致性。此標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)闡述了離子注入機(jī)在設(shè)計、制造及使用過程中需要遵循的基本原則和技術(shù)指標(biāo)，適用于半導(dǎo)體工業(yè)中用于材料表面改性處理的各類離子注入設(shè)備。以下是該標(biāo)準(zhǔn)的主要內(nèi)容概覽：

1. 范圍：明確了標(biāo)準(zhǔn)適用的離子注入機(jī)類型，包括常溫、高能、低能及特殊應(yīng)用的離子注入機(jī)，涵蓋了它們的構(gòu)造、功能特性和安全要求。

2. 引用標(biāo)準(zhǔn)：列出了實施本標(biāo)準(zhǔn)時需要參考的其他相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，確保各項技術(shù)要求的一致性和協(xié)調(diào)性。

3. 術(shù)語和定義：對離子注入機(jī)相關(guān)的專業(yè)術(shù)語進(jìn)行了明確界定，如束流強(qiáng)度、能量分辨率、劑量控制精度等，為后續(xù)技術(shù)條款的理解奠定基礎(chǔ)。

4. 基本要求：概述了離子注入機(jī)在機(jī)械結(jié)構(gòu)、電氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等方面應(yīng)滿足的基本條件，確保設(shè)備的穩(wěn)定運行和操作安全。

5. 性能要求：

   • 束流特性：規(guī)定了離子束的強(qiáng)度、能量、劑量控制精度及穩(wěn)定性等關(guān)鍵參數(shù)的最低標(biāo)準(zhǔn)。
   • 注入均勻性：要求離子注入在指定區(qū)域內(nèi)的分布應(yīng)達(dá)到一定的均勻度，以保證半導(dǎo)體器件的性能一致性。
   • 束斑尺寸與形狀：定義了離子束斑的大小及其形狀的控制要求，這對于精確控制注入深度和區(qū)域至關(guān)重要。
   • 能量分辨率與可調(diào)范圍：明確了設(shè)備應(yīng)具備的能量調(diào)節(jié)能力及能量分辨率，以適應(yīng)不同材料和工藝的需求。

6. 試驗方法：詳細(xì)描述了如何測試離子注入機(jī)的各項性能指標(biāo)，包括測試環(huán)境、測試設(shè)備、測試步驟及數(shù)據(jù)處理方法。

7. 檢驗規(guī)則：規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗項目、檢驗頻次及合格判定準(zhǔn)則，確保每臺設(shè)備都符合標(biāo)準(zhǔn)要求。

8. 標(biāo)志、包裝、運輸和儲存：對設(shè)備的標(biāo)識信息、包裝方式、運輸條件及儲存環(huán)境提出了具體要求，以保護(hù)設(shè)備在交付過程中的完好無損。

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