標準解讀

《GB/T 16594-1996 微米級長度的掃描電鏡測量方法》是一項由中國發(fā)布的國家標準，旨在規(guī)定使用掃描電子顯微鏡（SEM）對微米量級尺寸進行精確測量的方法與要求。該標準適用于各類材料表面結構特征的長度測量，包括但不限于線寬、顆粒直徑、孔隙大小等微觀幾何參數(shù)。以下是該標準的主要內容概覽：

  1. 范圍：明確了本標準適用的測量對象和條件，即利用掃描電鏡對樣品表面微米尺度的線性尺寸進行測量。

  2. 引用標準：列出了實施該測量方法時需要參考的其他相關國家標準或國際標準，確保測量過程和技術要求的一致性和準確性。

  3. 術語和定義：對在標準中使用的專業(yè)術語進行了明確界定，幫助使用者準確理解測量中的概念，如分辨率、放大率、測量誤差等。

  4. 儀器要求：詳細描述了進行測量所必需的掃描電鏡設備應具備的技術指標，包括分辨率、穩(wěn)定性、校準要求等，以保證測量結果的可靠性。

  5. 樣品制備：說明了樣品預處理、固定、切割、鍍膜等準備步驟，確保樣品適合于SEM觀測且不引入額外的形變或污染。

  6. 測量方法：

    • 成像條件選擇：根據(jù)被測特征的尺寸和性質，確定合適的加速電壓、工作距離、探測器類型等成像參數(shù)。
    • 圖像獲取：如何正確采集高清晰度的SEM圖像，包括對焦、選擇合適的放大倍數(shù)等操作。
    • 測量技術：介紹了直接測量法、標尺法、圖像分析軟件輔助測量等多種測量手段，并給出了具體操作流程。

  7. 數(shù)據(jù)處理與分析：包括如何從SEM圖像中提取測量數(shù)據(jù)，計算測量結果，以及對測量誤差進行評估和校正的方法。

  8. 質量控制：強調了重復測量、儀器校驗、環(huán)境條件監(jiān)控等措施，以確保測量結果的可重復性和準確性。

  9. 報告：規(guī)定了測量報告應包含的信息，如樣品描述、測量條件、結果數(shù)據(jù)、不確定度分析等，以便于信息的交流和追溯。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現(xiàn)行標準GB/T 16594-2008
  • 1996-11-04 頒布
  • 1997-04-01 實施
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文檔簡介

ICS17.040.01N33中華人民共和國國家標準GB/T16594-1996微米級長度的掃描電鏡測量方法MicrongradelenghtmeasurementbySEM1996-11-04發(fā)布1997-04-01實施國家技術監(jiān)督局發(fā)布

CB/T16594-1996前本標準是一個測量方法標準，其量值可以湖源到長度基準。本標準主要用于測量微小顆粒的直徑、薄層厚度、線條寬度、線條距離、線維直徑、刀刃的曲率半徑本標準可與JG550—88掃描電子顯微鏡檢定規(guī)程并列使用。本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口。本標準起草單位：上海市測試技術研究所、中國船崩總公司725研究所。本標準主要起草人：張訓彪、徐國照、高文華。

中華人民共和國國家標準微米級長度的掃描電鏡測量方法GB/T16594-1996MicrongradelenghtmeasurementbySEM1范圍本標準規(guī)定了用掃描電鏡測量微米級長度的方法，適用于測量0.5～10m的長度，也適用于電子探針分析儀測量微米級長度。2引用標準下列標準包含的條文，通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。在標準出版時，所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性。JJG550-88掃描電子顯微鏡檢定規(guī)程3基本原理這是一種比較測量方法。其基本原理是：先用掃描電鏡獲得待測樣品和微米級標尺（以下簡稱標尺)的二次電子像，然后用比長儀測量出底片上標尺圖像的分度長度（A)和樣品圖像中待測的兩個特征點之間的長度(B)。樣品中待測的實際長度(L)按式(1)計算、········（1）式中一·標尺分度的標定值4標準器和儀器設備4.1標尺：應經(jīng)過法定計地機構標定、4.2掃描電鏡：分辨力優(yōu)于0.01gm.4.3比長儀：量程不小于60mm,誤差不超過士5m:4.4光學顯微鏡：放大倍數(shù)不小于40倍。5試驗方法5.1樣品的準備5.1.1將待測樣品置于樣品柱上，用光學顯微鏡觀測，將樣品的工作面調整到與樣品柱垂直，然后用導電膠將樣品固定、5.1.2若樣品不導電，應在樣品表面噴鍍厚度大約為10nm的金5.1.3將樣品柱置于樣品座上，并調整到標準高度5.1.4按5.1.1～5.1.3方法，將標尺于樣品座上。5.1.5用光學顯微鏡觀測,先將樣品暨于視場中，調節(jié)光學顯微鏡，使樣品工作面正焦5.1.6平移樣品座，使標尺置

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