GB/T 16944-2009電子工業(yè)用氣體氮

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜１６９４４—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７

電子工業(yè)用氣體氮

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２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜１６９４４—２００９

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７《電子工業(yè)用氣體氮》。

本標準與ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７相比主要變化如下：

———修改電子工業(yè)用氮的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的第１章，本版的第１章）；

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的第２章，本版的第２章）；

———修改技術指標內(nèi)容（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的第３章，本版的第３章）；

———修改電子工業(yè)用氮抽樣和判定規(guī)則（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的４．１，本版的４．１）；

———增加電子工業(yè)用氮采樣要求（見４．１．３）；

———修改氫、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的４．３、４．４、４．６，本版的

４．３）；

———修改總烴分析方法的檢測限（１６９４４—１９９７的４．７，本版的４．４）；

———修改水分含量的分析方法（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的４．５，本版的４．６）；

———修改標志、包裝、貯運及安全（ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７的第５章，本版的第５章）；

———增加規(guī)范性附錄Ａ，并把測定電子工業(yè)用氮中的氫、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的方法寫入該

附錄（見附錄Ａ）。

本標準的附錄Ａ為規(guī)范性附錄。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。

本標準起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設計院。

本標準主要起草人：周澤義、周鵬云。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１６９４４—１９９７。

Ⅰ

書

犌犅／犜１６９４４—２００９

電子工業(yè)用氣體氮

１范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氣體氮的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于以深冷法從空氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氮，以及經(jīng)電化學方法得到的氮。它們在超大

規(guī)模集成電路制造中用作保護、吹掃、覆蓋、加壓，化學氣相淀積等。

分子式：Ｎ２。

相對分子質(zhì)量：２８．０１３４（按２００５年國際相對原子質(zhì)量計算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ／Ｔ３８６４工業(yè)氮

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９９３）

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

ＧＢ１４１９４永久氣體氣瓶充裝規(guī)定

ＧＢ１６９１２深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關氣體安全技術規(guī)程

ＪＢ／Ｔ５９０５真空多層絕熱低溫液體容器

ＪＢ／Ｔ６８９７低溫液體運輸車

ＪＢ／Ｔ６８９８低溫液體貯運設備使用安全規(guī)則

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

壓力容器安全技術監(jiān)察規(guī)程

壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定

３技術要求

電子工業(yè)用氣體氮的質(zhì)量應符合表１的要求。

表１技術指標

項目指標

－２

氮（Ｎ２）純度（體積分數(shù)）／１０≥９９．９９９９９９．９９９６

－６

氫（Ｈ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．１１．０

－６

氧（Ｏ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．２０．５

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分數(shù)）／１０－６＜０．１０．５

－６

二氧化碳