標(biāo)準(zhǔn)解讀
《GB/T 20510-2006 氧化銦錫靶材》這一國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)主要規(guī)定了氧化銦錫(ITO)靶材的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存等內(nèi)容,旨在確保ITO靶材的質(zhì)量可控性與一致性,適用于平面顯示器、太陽(yáng)能電池及其他電子器件制造中使用的ITO靶材。
該標(biāo)準(zhǔn)具體涵蓋了以下幾個(gè)核心方面:
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定義與分類(lèi):明確了ITO靶材的基本概念,以及按照化學(xué)組成、物理形態(tài)或應(yīng)用需求進(jìn)行的分類(lèi)方法。
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技術(shù)要求:詳細(xì)規(guī)定了ITO靶材應(yīng)滿足的化學(xué)成分、物理性能(如密度、晶粒度)、結(jié)構(gòu)特性(如致密度、氧含量)、形貌及尺寸公差等指標(biāo)。特別強(qiáng)調(diào)了銦與氧的比例控制,以保證良好的導(dǎo)電性和透光性平衡。
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試驗(yàn)方法:描述了對(duì)ITO靶材進(jìn)行檢測(cè)和分析的具體實(shí)驗(yàn)手段,包括但不限于X射線熒光光譜法測(cè)定化學(xué)成分、掃描電鏡觀察微觀結(jié)構(gòu)、密度測(cè)量、電阻率測(cè)試等,確保各項(xiàng)性能指標(biāo)可被準(zhǔn)確評(píng)估。
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檢驗(yàn)規(guī)則:制定了產(chǎn)品出廠前的檢驗(yàn)程序,包括抽樣方案、合格判定準(zhǔn)則及不合格品處理辦法,確保每批產(chǎn)品的質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)要求。
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標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存:規(guī)范了ITO靶材在成品階段的標(biāo)識(shí)信息內(nèi)容、包裝材料與方式、運(yùn)輸條件及儲(chǔ)存環(huán)境,以防產(chǎn)品在流轉(zhuǎn)過(guò)程中受損,保持其性能穩(wěn)定。
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- 被代替
- 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替,建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 20510-2017
- 2006-09-26 頒布
- 2007-02-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介
ICS77.150.60H62中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T20510—2006氧化鉤錫靶材Indium-tinoxidetarget2006-09-26發(fā)布2007-02-01實(shí)施中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
GB/T20510—2006前本標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)我國(guó)氧化鋼錫靶材的生產(chǎn)實(shí)踐,參考德國(guó)賀利氏(Heraeus)、美國(guó)Umicore公司氧化細(xì)錫靶材產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)制定的。本標(biāo)準(zhǔn)附錄A為規(guī)范性附錄本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口并負(fù)責(zé)解釋本標(biāo)準(zhǔn)由株洲治煉集團(tuán)有限責(zé)任公司負(fù)責(zé)起草。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:鐘鳴、彭小蘇、陳衛(wèi)飛、陳敬陽(yáng)、李晨輝、譚儀文本標(biāo)準(zhǔn)首次制定。
GB/T20510—2006氧化銦錫靶材范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氧化鋼錫(簡(jiǎn)稱(chēng)ITO)靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和財(cái)存本標(biāo)準(zhǔn)適用于氧化銦錫靶材。規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而,鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB/T351金屬材料電阻系數(shù)測(cè)量方法GB/T1250極限數(shù)伯的表示方法和判定方法GB/T5163可滲性燒結(jié)金屬材料密度的測(cè)定GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則GB/T16535-1996,工程陶瓷線膨脹系數(shù)試驗(yàn)方法術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)表觀密度4pparentdensily每單位體積物質(zhì)的質(zhì)量。3.2相對(duì)密度relativedensity物質(zhì)的密度與參照物的密度的比值。本標(biāo)準(zhǔn)中是指氧化鋼錫靶材的表觀密度與理論密度之比(本標(biāo)準(zhǔn)中氧化銦錫靶材當(dāng)In.O,:SnO.=90:10時(shí),理論密度為7.15g/cm)。3.3失氧率deoxygenationcoefficient氧化銦錫靶材脫氧的百分率。3.4電阻率resislivity在單位長(zhǎng)度上通過(guò)試樣橫截面積的電阻。是衡量物質(zhì)導(dǎo)電性能好壞的一個(gè)物理量·以字母·表示.單位為n·mm/m。在數(shù)值上等于長(zhǎng)1m.截面積為1mm的導(dǎo)體,在溫度20℃時(shí)的電阻值.3.5線膨脹系數(shù)Iinearcxpansivity在指定溫度范圍內(nèi),氧化鋼錫靶材在單位溫度下相對(duì)伸長(zhǎng)量的平均值。用式(1)表示
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