真空講座第10講

第十講：真空密封是由多個(gè)部件，多種不同材料的組件組建而成的。這些各式各樣的零件要用不同的密封方法連接在一起，這些密封方法既要保證零件的可靠連接又要防止通過接頭發(fā)生漏氣，保證真空系統(tǒng)的密封質(zhì)量，把真空系統(tǒng)的漏氣率控制在一定范圍內(nèi)，所以真空密封是真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)、裝配過程中的重要問題。概述真空系統(tǒng)是由真空泵、閥門、撲集器、導(dǎo)管等各種元件通過不同的連接形式組成的，就是真程中的重要問題。有些真空密封除了要求不漏氣之外，還要求能夠允許電流傳輸、運(yùn)動(dòng)的傳輸、材料的遞送或永久密封連接永久密封連接用于不需經(jīng)常拆卸的密封連接處，用這種方法可以保證最好的密封和機(jī)械強(qiáng)度。玻璃與玻璃的封接玻璃與玻璃之間的封接通常是在煤氣或天燃?xì)夂脱鯕獾幕旌匣鹧嬷羞M(jìn)行燒結(jié)熔化而進(jìn)行的。為了保證封接可靠，必須使封接玻璃之間的熱膨脹系數(shù)極為相近，否則會(huì)因封接時(shí)產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)應(yīng)力不致引起炸裂。如果膨脹系數(shù)太大，則應(yīng)采取膨脹系數(shù)介于二者之間的中間玻璃進(jìn)行過渡封接。經(jīng)過封接的地方最好采用退火工藝來消除內(nèi)應(yīng)力，否則封接處也易引起破裂。玻璃熱穩(wěn)定性差，在封接時(shí)應(yīng)注意火焰作用在玻璃上的溫度，因?yàn)闇囟燃眲∽兓矔?huì)引起玻璃的炸裂。玻璃與金屬封接匹配封接和非匹配封接。匹配封接指的是膨脹系數(shù)相近的玻璃和金屬之間的封接，封接處內(nèi)應(yīng)力?。环瞧ヅ浞饨又傅氖桥蛎浵禂?shù)相差較大的玻璃和金屬之間的封接，封接處內(nèi)應(yīng)力大，為了消除玻璃與金屬膨脹系數(shù)相差較大而產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力，一般多采用延展性好的薄壁金屬管與玻璃封接，靠金屬的塑性變形來消除內(nèi)應(yīng)力。2400金屬與金屬的焊接焊接方法金屬之間的焊接方法較多，用于真空密封中的一些焊接方法如圖3所示。無壓熔焊是不使用壓力將被焊件相互接觸，使接觸部位局部加熱，由于金屬表面或邊緣的局部熔比而加壓焊接則是對(duì)加熱或不加熱金屬元件用壓力連接在一起。其中電阻焊需要加熱、冷焊則不需要加熱。率較大的焊劑，因此，它在真空密封連接中只是用在焊接笨重的銅或鐵容器上。電弧焊是以工件與電極間或兩個(gè)電極間的電弧所獲得的熱量為基礎(chǔ)的一種焊接技術(shù)。其中原～60A)碳弧焊是在碳電極和工件之間或兩個(gè)碳電極之間使用直流直接引弧(；100V)接可用來焊鐵、鎳、鋁或銅。這種工藝多用在鋁和不銹鋼的焊接上。在惰性的氬弧或氦弧焊中，工件和鎢電極間使用直流或交流，電弧在氬或氦的氣氛中工作。交流(250～300A；100V)15～200A)銹鋼、銅、銀和鈦等金屬。惰性氣弧焊則是由于電子束焊接是在1.310-Pa真空條件下用電子束轟擊焊件產(chǎn)生的熱量而進(jìn)行的，因此可獲得高質(zhì)量的焊縫。多用于不銹鋼，鋁合金、鎢、鉬及鉭的焊接上。加壓焊接中的電阻焊是對(duì)金屬焊接件在相互壓緊的情況下通過高強(qiáng)度的電流所產(chǎn)生的電阻熱而把被焊件焊接起來的一種焊接工藝。冷焊是通過對(duì)焊件施加足夠的壓力在冷170～250Nmm2500～750N／mm2，不銹鋼為2000N／mm2。冷焊的焊面必須無氧化物和脫脂良好。這種工藝多用于抽成真空的金屬管子的封口。真空技術(shù)對(duì)焊縫的要求真空技術(shù)對(duì)焊縫有如下幾點(diǎn)要求，在設(shè)計(jì)和焊接時(shí)應(yīng)予以注意。①設(shè)計(jì)焊縫結(jié)構(gòu)時(shí)，接頭必須焊透，應(yīng)避免產(chǎn)生聚集污物的有害空間。真空技術(shù)中常4正確的焊接總是將焊縫放在真空一側(cè)并且進(jìn)行深度熔焊。錯(cuò)誤的焊接多數(shù)都會(huì)形成死②焊縫應(yīng)一次焊好，以避免兩次焊接時(shí)造成有害空間而無法檢漏。孔和塞孔。而且結(jié)構(gòu)焊縫不應(yīng)與密封焊縫相交叉。前矯正。10-Pam3／sm。如果漏率較高，因?yàn)檠a(bǔ)焊不但不易堵住漏孔，反而容易產(chǎn)生應(yīng)力使焊縫產(chǎn)生新的裂縫。金屬釬焊釬焊是利用第三種熔點(diǎn)較低的金屬連接兩個(gè)金屬零件的方法，是一種低溫焊接。該方法是把被焊金屬和低熔點(diǎn)焊料放在一起加熱，使焊料熔液通過毛細(xì)管吸引作用進(jìn)入兩個(gè)被焊零件的很貼近的表面間的間隙中，釬焊焊接的特點(diǎn)是不損傷被焊的金屬件，因而多用于尺寸較小的鋼、50050～200是適于真空釬焊的一些被焊材料及其焊接的溫度和所使用的焊料。在有些物理不相容性的情況中，某些釬焊合金不可與某些特別的金屬釬焊的方式有火焰焊、爐焊和感應(yīng)焊接。用州性焰或還原焰?；鹧驸F焊需要使用焊劑，焊后必須將焊劑從接頭上仔細(xì)地清除干凈，因?yàn)闅埩粼诿芊獾恼婵找粋?cè)的焊劑具有高的出氣率。爐釬焊就是在具有保護(hù)氣氛(真空、中性氣體)的爐中加熱要釬焊的金屬組件。感應(yīng)釬焊利用高頻電流(400～2000kHz)由于真空釬焊的材料蒸氣壓較低，又是在真空條件下焊接的，因此它不但可以保證更高的焊要滿足真空密封的要求，得到不漏的釬焊焊縫，應(yīng)遵循下列各點(diǎn)。要好。②焊件間的間隙不能寬或不規(guī)則。③焊件間互相搭接部分的最小值必須是3mm以上，以便讓毛細(xì)力吃進(jìn)釬焊合金。④如果要釬焊熱膨脹系數(shù)不同的金屬，必須使組件在冷卻過程中壓縮釬焊合金。5⑥如果要避免釬焊合金在表面上流動(dòng)，必須在面上涂碳或鉻。⑦在用于真空密封的釬焊中，最好選擇搭接和梯接，如圖6所示。可拆密封連接在真空系統(tǒng)需要經(jīng)常拆卸的地方，應(yīng)用可拆密封連接，這種連接在密封性能和機(jī)械強(qiáng)度上雖構(gòu)有如下幾種。撓性連接撓性連接件主要有三種，即真空橡膠管、塑料管和波紋管。真空橡膠管是用橡膠制成的一種50mm7用于靜連接的彈性體密封墊圈丁腈橡膠、氟橡膠、硅橡膠、聚四氯乙烯等彈性體制成圓形截面或矩形截面的環(huán)，然后將其夾在兩個(gè)連接件之間并壓8這些因素對(duì)密封性能的影響，接觸部位金屬表面的粗糙度至少要求加工到3.2/計(jì)910mm、16mm、25mm、40mm等四種規(guī)格。其10abOO用于靜連接的金屬密封墊圈為了適應(yīng)超高真空系統(tǒng)進(jìn)行高溫烘烤的需要，在超高真空管道連接處應(yīng)采用金屬密封墊圈，其材料大都是具有延展性好、蒸氣壓低的一些金屬及合金（等）但是密封時(shí)需要有較大的壓緊力和較嚴(yán)格的調(diào)整技術(shù)，而且重復(fù)使用次數(shù)也較少。O11間即可達(dá)到密封的目的。圖中（a）適用于銦絲，因400oC較大夾緊壓力。圖中450oC12acdc、d用于靜連接的雙重密封墊圈雙重密封圈的密封效果真空橡膠圈在密封時(shí)，通過它所滲漏的氣體量與許多因素有關(guān)。例如橡膠的種類、硬度、蒸差。實(shí)驗(yàn)證明：密封圈兩側(cè)壓差的減小，可極大地提高其密封性能。13aPdSeSePQQ=SeP=C（Pd-P）（1）CP=[C/（Se+C）]Pd（2）如果使用雙重墊圈密封，并在雙重墊圈之間用抽速為S的真空泵抽空，在雙重墊圈之間建立1PP`，13（b）所示。則1P`=[C/(Se+C)]P(3)1兩種情況相比較，顯然P`=（P/Pd）P（4）1P=101Pa1Pd=105PaP`=10所獲得的真空度。雙重密封法蘭結(jié)構(gòu)14OO形圈之間設(shè)有排氣空腔，用真空泵抽氣的密封法蘭15O1O1O21.3×10O1.310-~1.310-Pa時(shí)影響最顯著，后者在真空度為1.310-~1.310-Pa時(shí)影響最顯著。因此這種結(jié)構(gòu)在設(shè)計(jì)上把超高真空側(cè)的密封圈選OO1.310-Pa，則獲得1.310-Pa的超高真空是完全可能的。真空規(guī)管的密封連接真空規(guī)管密封連接的形式如圖16所示?？繑Q緊螺母或壓帽壓縮膠圈來實(shí)現(xiàn)密封。電輸入密封連接電輸入密封的設(shè)計(jì)要求將電輸入到真空容器中去進(jìn)行供電，在各種真空設(shè)備上是經(jīng)常遇到的，對(duì)于金屬真空設(shè)備來電線的溫度等因素考慮，對(duì)輸電線本身及真空密封材料的設(shè)計(jì)要求是度過高時(shí)破壞真空橡膠圈和影響真空室的真空度。時(shí)應(yīng)涂以真空油脂。③輸電線的直徑應(yīng)大小適當(dāng)，不應(yīng)使電流密度過大，以防輸電線過熱。④由于輸電線上有一定的電壓，因此必須使它與連接密封處絕緣，特別是高壓輸電線，更不絕緣材料有真空橡膠，玻璃，陶瓷、玻璃布板、玻璃布棒、黃蠟布，聚四氟乙烯等。⑤應(yīng)考慮頻率的影響。在低頻下頻率對(duì)密封的影響并不大，但是在高頻下，輸電線同絕緣材108Hz因此必須降低輸電線的電阻率或采用其他材料。500oC用任何不能承受溫度的材料。3.6.2電輸入密封的結(jié)構(gòu)3.6.2電輸入密封的結(jié)構(gòu)常用的電輸入密封結(jié)構(gòu)有如下幾種。①接線柱式密封17空設(shè)備上最常采用的把電引入到真膜設(shè)備上即常常用這種結(jié)構(gòu)對(duì)鍍膜室內(nèi)的照明裝置供電。18結(jié)構(gòu)。②固定式導(dǎo)電桿密封19d≤20mm（b）型。動(dòng)密封連接等機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)；真空鍍膜設(shè)備工件架的轉(zhuǎn)動(dòng)等。密封連接在長期工作中必須保證外界環(huán)境不向真空容器內(nèi)漏氣或使漏氣維持在設(shè)計(jì)要求的范圍之內(nèi)。32動(dòng)連接接觸密封分述如下。11①固體密封件中潤滑的作用及潤滑材料的選擇過這些溝槽滲漏到真空容器中去。圖32真空動(dòng)密封連接的分類使用石蠟較稠的潤滑劑時(shí)應(yīng)注意，在較高溫度下石蠟會(huì)強(qiáng)烈蒸發(fā)，（60oC1.310-g/cm2.mi）。為了保證用液體潤滑的真空動(dòng)密封具有長期的工作能40~50oC②接觸式真空動(dòng)密封的結(jié)構(gòu)接觸式真空動(dòng)密封結(jié)構(gòu)，最常采用的有如下幾種類型。（a）O33101000r/min0.2m/s復(fù)運(yùn)動(dòng)的距離較長時(shí)，通常在孔壁上開密封槽。（b）J型橡膠圈密封J1020%~35%，安裝好后彈性體在密封中呈截錐形（34），在大氣壓作用2m/s（c）JO型橡膠圈密封35J2m/s2000r/min23623，把3250.8/。3712，235，6910837的接合處保持氣密性。381523467。橡膠圈在壓縮狀態(tài)下，能保證氟塑料密封環(huán)與軸表面為恒彈性接觸。在這種結(jié)構(gòu)中，對(duì)密封環(huán)的線性磨損還可作機(jī)械補(bǔ)償。2139所示。圖中a1條件是＜2γ/P1式中γ—2—密封高壓側(cè)壓力1

(15)圖中b是具有液體靜密封的裝置，其中P-P應(yīng)等于液柱高度，一般把密封容器2設(shè)置在真1 2設(shè)置中間抽氣室。一旦中間室的壓力增大，則會(huì)產(chǎn)生向真空室噴出密封液體的危險(xiǎn)。3蒸氣壓力值?？梢?，這些金屬做為液態(tài)密封物質(zhì)是可以的。對(duì)于不同壓差的最大間隙對(duì)于不同壓差的最大間隙（μ）液體密封物質(zhì)溫度（oC）表面張力（N/m1.0105（Pa）1.3104（Pa）鎵4073514.7112錫30052010.478汞154879.572鉛3504208.464鉍3003707.456有機(jī)液體2025~300.5~0.63.8~4.5表３易熔金屬的蒸氣壓力金屬熔化溫度（金屬熔化溫度（oC）t汞-38.9-520鎵29.8500銦156500錫232500鉍271300tptptp401.310-41261333003.27104100402002.261033601.071057111.310-78591.310-69651.310-56001.310-86671.310-77461.310-68231.310-7----4741.310-75361.310-66091.310-5溫度（溫度（oC）和蒸氣壓力(Pa)p1.310-61.7310-1＜10-10＜10-10＜10-10＜10-10①磁流體真空動(dòng)密封原理磁流體也稱為鐵磁流體或磁液。它是將摻入到載液中的鐵磁性微粒（＜10nm）用分散劑均4具有在通常離心力和磁場作40123440b）和非磁性體（40c）在真空轉(zhuǎn)軸動(dòng)密封技術(shù)中，磁性流體轉(zhuǎn)軸動(dòng)密封技術(shù)具有零泄漏、無固體摩擦、能耗小、無機(jī)械磨損、壽命長、適于傳遞高轉(zhuǎn)速（120000r/min）10-30~120oC度下工作時(shí)必須采用冷卻或升溫措施，從而導(dǎo)致密封裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜化。②磁流體軸密封的結(jié)構(gòu)真空磁流體軸密封的整體結(jié)構(gòu)如圖41所示。磁性流體位于兩個(gè)支撐軸承的一側(cè)，軸承可以采取潤滑措施。磁流體轉(zhuǎn)軸密封部位通常采用的幾4240每個(gè)磁鐵與其對(duì)應(yīng)的一對(duì)極靴構(gòu)成各自獨(dú)立的磁42（c）只使用一個(gè)磁鐵，是一種單磁路多級(jí)磁流體密封結(jié)構(gòu)。這種結(jié)結(jié)構(gòu)，對(duì)其設(shè)計(jì)計(jì)算方法給予介紹。③磁流體密封耐壓計(jì)算及其影響因素分析磁流體兩側(cè)面的磁場強(qiáng)度有關(guān)，從而與磁性流體在軸向的厚度有關(guān)，而軸向厚度取決于磁43大，但注入量達(dá)到一定值后，耐壓不再增大，而是穩(wěn)定在一個(gè)恒定狀態(tài)。（磁流體與轉(zhuǎn)軸接觸表面間的相對(duì)速度增大會(huì)導(dǎo)致摩擦功耗增加而使磁性4420m/s磁流體密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵問題是保證密封件具有足夠的耐壓能力。磁流體密封破壞機(jī)理的靠工作的最基本條件。磁流體密封結(jié)構(gòu)的實(shí)際許用耐壓能力ΔP可由下式給出。式中 ——磁流體平均磁化強(qiáng)度，A/m—B—最大工作磁感應(yīng)強(qiáng)度，T0Δλ—β—N密封級(jí)數(shù)n安全系數(shù)該式的特點(diǎn)在于：不僅從量值上正確全面地計(jì)算了耐壓值，可以作為密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的最基磁流體平均磁化強(qiáng)度磁流體平均磁化強(qiáng)度可定義為式中 Hmax

——密封間隙中的最大工作磁場強(qiáng)度H——密封間隙中的最小工作磁場強(qiáng)度minM(H)——磁流體的磁化曲線由（16）式可知，磁流體的 值越大，越有利于密封耐壓的提高。因此，在選取磁流體材料時(shí)應(yīng)予以考慮。境溫度偏高或偏低時(shí)應(yīng)選擇能夠用于該溫度范圍的磁流體。β這一系數(shù)定量反映了轉(zhuǎn)軸線相對(duì)于極靴軸線出現(xiàn)偏心振動(dòng)等情況是對(duì)密封耐壓的降低作用。eLgr的關(guān)系為式r取值范圍為（0，1），β的對(duì)應(yīng)取值為（1，0），r的值，決定著LgLgr定義式及（18）Lg（16）值，（0.8），再推r值，然后；根據(jù)實(shí)際實(shí)際結(jié)構(gòu)精度所能限制的轉(zhuǎn)軸最大偏心量，計(jì)算出密封間隙LgB0是密封齒型間隙中工作磁感應(yīng)強(qiáng)度的最大值，它的取值體現(xiàn)了磁回路結(jié)構(gòu)材料的性質(zhì)對(duì)0結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的限制。由耐壓公式（16）B0取值盡可能大，而根據(jù)磁極靴極B0不能超過極靴材料的飽和磁感應(yīng)強(qiáng)度值。否則，極靴材B0值，保證極靴工作在磁導(dǎo)B0=1.0~1.6T2T。此外，對(duì)轉(zhuǎn)軸偏心影響的研究結(jié)果表明，適當(dāng)提高轉(zhuǎn)軸和導(dǎo)磁極靴的磁飽和程度，可以降42（a）,(b0效。NnNN否則各極齒間磁場分布不均現(xiàn)象嚴(yán)重。在一般低壓密封中（耐壓1~2個(gè)大氣壓），可以采用42（c）所示的單磁路級(jí)密封結(jié)構(gòu)，按實(shí)際耐壓要求，計(jì)算出所需要的總級(jí)數(shù)NN/2。如果外界壓差過高，則應(yīng)采用多組串聯(lián)的結(jié)構(gòu)形式。n密封可靠性所要求的保險(xiǎn)程度。Δλ齒型結(jié)構(gòu)的最大相對(duì)導(dǎo)磁率差Δ定義為極齒間隙中磁場強(qiáng)度最大、最小值之差與最大值之比，即Δ=Hmax-Hmin）/Hmax。根據(jù)磁場分析，當(dāng)極靴未達(dá)到磁飽和時(shí)，Δ只與齒型結(jié)設(shè)計(jì)要點(diǎn)之一就是使Δ值盡可能大。G0越少，永久磁鐵的體積就越小，該齒型結(jié)構(gòu)也就越好。至此，可以看出，磁流體真空轉(zhuǎn)軸密封的設(shè)計(jì)計(jì)算主要包括兩個(gè)內(nèi)容。一是極靴齒型結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)計(jì)算，即設(shè)計(jì)出Δ大G小的最佳極齒結(jié)構(gòu)和合適的極齒數(shù)目，以保證密封結(jié)構(gòu)具有足0夠的耐壓能力，并算出Δ和G的值；二是整個(gè)磁路的設(shè)計(jì)與校核計(jì)算，目標(biāo)是保證密封間0隙中的實(shí)際最大工作磁感應(yīng)強(qiáng)度接近選定的B值，整個(gè)磁路內(nèi)部工作參數(shù)合適，外部結(jié)構(gòu)合0理。下面將分別討論這兩項(xiàng)內(nèi)容的設(shè)計(jì)計(jì)算方法。④最佳極齒結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)與計(jì)算如圖和梯形極齒（如圖是較為理想的兩種常用齒型。前者耐壓耐壓能力也較大。因此，這里主要介紹這兩種齒型的結(jié)構(gòu)參數(shù)設(shè)計(jì)要點(diǎn)。aΔ和G的計(jì)算o如前所述，齒型結(jié)構(gòu)的最大相對(duì)導(dǎo)磁率差Δ和幾何磁導(dǎo)G是評(píng)價(jià)齒型優(yōu)劣的關(guān)鍵指標(biāo)，也是磁o需要，對(duì)于一個(gè)給定的齒型結(jié)構(gòu)（如圖45標(biāo)注），可按如下簡化方法得到Δ和Go的值。L/Ltg

/L和L/L的值，直接從圖46h s s g中查取該齒型的Δ值和系數(shù)G2算出該齒型的幾何磁導(dǎo)G=RL[6.287(L/L－4＋o g t

G] (19)2式中轉(zhuǎn)軸半徑R、齒型間隙L可以是任意的長度單位，G的單位為對(duì)應(yīng)的長度平方。g ocp梯形齒，可根據(jù)比值t/和b/，由圖47及表5中查取齒型的最大相對(duì)導(dǎo)磁率ΔλcpG=2πRbλo cp(20)間的比例關(guān)系有關(guān)，而不受各參數(shù)獨(dú)立取值的影L/L=3~5tgL/L=20~30s g值的取值范圍是：b/δ=30~4t/δ=1.54傾角α=40~60o。按此最佳取值選定各比值，代入前面已設(shè)計(jì)出的密封間隙值L（或），即可算出齒型的各結(jié)構(gòu)參數(shù)值。g⑤磁路的設(shè)計(jì)與校核計(jì)算42的實(shí)際工作參數(shù)，確保密封件具有足夠的耐壓能力。永久磁鐵幾何尺寸的設(shè)計(jì)計(jì)算，主要是保證間隙中的最大工作磁感應(yīng)強(qiáng)度B。利用磁路工o作氣隙的參數(shù)，即前面計(jì)算出的極靴齒型區(qū)的密封間隙L和幾何磁導(dǎo)G，根據(jù)磁路磁壓定律g o和磁通量連續(xù)原理，可得到如下永久磁鐵幾何尺寸設(shè)計(jì)公式軸向長度Lm

=2f1

L/Hog m

(21橫截面積Sm

=0.5fBNG/B2o o m

(22式中的f為磁路的磁壓損失系數(shù),等于永久磁鐵產(chǎn)生的磁壓與作用在工作間隙上的有用磁壓之1比。它包含了導(dǎo)磁極靴和轉(zhuǎn)軸上的磁壓損失，磁鐵與極靴接觸面處的氣隙磁壓損失，磁力線在工作間隙中曲線疚的磁壓損失等因素。f2量與通過極齒的有用磁通量之比。它考慮的因素有極靴、轉(zhuǎn)軸側(cè)面的漏磁通，永久磁鐵側(cè)面的漏磁通，極齒邊緣效應(yīng)的漏磁通等。ff1 2周圍環(huán)境的材料以及加工工藝等因素有關(guān)，永久磁鐵的自退磁效應(yīng)也應(yīng)通過這兩個(gè)系數(shù)考慮，因此其取值范圍很寬，一般為1.2~2或更大。Bo

=μH；H、Bo oo m

為組成磁路后永久磁鐵內(nèi)部的實(shí)際工作磁場、磁感應(yīng)強(qiáng)度。為充分利用永磁材料內(nèi)部的磁能，降低永久磁鐵的用料，磁路設(shè)計(jì)時(shí)一般都希望將永磁體內(nèi)部實(shí)際工作點(diǎn)選在永磁材料最大磁能積點(diǎn)H*

，即取H=Hm

，Bm

。如果已知所用永磁材料的退磁曲線，則可以從曲線上直接查出*

B* *

Brc

max三項(xiàng)指標(biāo)值，則可視(23)、(24)式近似算出H和B* *由式如果相差較大，則需按照實(shí)際磁鐵尺寸，修正極靴齒型結(jié)構(gòu)，使磁路內(nèi)部的磁場工作參數(shù)取值合適。修正極齒結(jié)構(gòu)的步驟是：利用式(21)、(22)反算出齒型間隙L和幾何磁導(dǎo)G，再以此g o計(jì)互為依據(jù)地多次反復(fù)，才能最后確定全部密封結(jié)構(gòu)，進(jìn)行校核計(jì)算。磁路校核計(jì)算的主要內(nèi)容，就是驗(yàn)算永久磁鐵的實(shí)際工作點(diǎn)和密封間隙中的工作磁感應(yīng)強(qiáng)H、B，代入式m m直至數(shù)據(jù)吻合為止。如果無退磁曲線，也可用下式來近似代替退磁曲線方程，計(jì)算H和Bm mB=B(H-H

) (25)m r c m c m式中

]3/2rc max將式

=μHo o

聯(lián)立，按設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)和實(shí)際工況決定各個(gè)數(shù)的取值，則可求o得磁路實(shí)際內(nèi)部各工作參數(shù)的取值。例如密封間隙中最大工作磁感應(yīng)強(qiáng)度為Bo及永磁鐵工作點(diǎn)合理，磁路的磁壓、磁流損失較小，說明磁路設(shè)計(jì)合理，便可進(jìn)行整個(gè)密封結(jié)構(gòu)的耐壓能力驗(yàn)算，將各影響因子的精確值代入式中，則得到結(jié)構(gòu)的實(shí)際許用耐壓值，如果該值大于工作中的最大可能壓差，則設(shè)計(jì)工作結(jié)束；否則需要重新修改設(shè)計(jì)。動(dòng)連接非接觸密封動(dòng)連接非接觸密封與接觸密封的主要區(qū)別是向真空容器內(nèi)傳遞運(yùn)動(dòng)和力的桿件和密封器壁間沒非接觸動(dòng)密封的運(yùn)轉(zhuǎn)使用是非常可靠的。減壓密封4813OJJOQS(S=Q/P

=C(P2

-P)/P1 2 2

/P)-1] (27)1 2式中P——附加容器內(nèi)的壓力1P—高真空容器內(nèi)的壓力2從上式可見，要想降低密封抽速S，一是降低流導(dǎo)C，這意味著提高加工精度；二是降低P，即是設(shè)置減壓室(對(duì)附加容器抽空)。1ee

。即要求：S≤0.1Se分子運(yùn)動(dòng)密封向高真空容器傳遞高速旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)可以利用堝49400m/s的數(shù)量級(jí)。這種分子運(yùn)動(dòng)密3~4個(gè)數(shù)量級(jí)。由于這種分子運(yùn)動(dòng)密封的結(jié)構(gòu)特別復(fù)雜，實(shí)際的廣泛應(yīng)用很難做到。磁連接隔板密封）①傳遞旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的電機(jī)（或電磁聯(lián)軸節(jié)）式屏蔽筒密封裝置501334有觀察窗，用以觀察轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)情況。512，把類似結(jié)構(gòu)的外磁鐵13215mm2mm左右的石英隔板410000r/min10一些缺點(diǎn)，在使用范圍上受到一定限制。大時(shí)，可能隔板密封是不適宜的；限；(e)在結(jié)構(gòu)上難以確定真空中從動(dòng)部件的位置。