GB/T 34898-2017微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)MEMS諧振敏感元件非線(xiàn)性振動(dòng)測(cè)試方法

ICS31200

L55.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34898—2017

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

MEMS諧振敏感元件非線(xiàn)性

振動(dòng)測(cè)試方法

Microelectromechanicalsystemtechnology—Testmethodforthe

nonlinearvibrationoftheMEMSresonantsensitiveelement

2017-11-01發(fā)布2018-05-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T34898—2017

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

敏感元件非線(xiàn)性振動(dòng)測(cè)試特性參數(shù)

4……………………1

測(cè)試方法及其選用原則

5…………………2

光學(xué)測(cè)試法

5.1…………………………2

電學(xué)測(cè)試法

5.2…………………………2

敏感元件非線(xiàn)性振動(dòng)幅頻響應(yīng)和相頻響應(yīng)測(cè)試方法

6…………………2

光學(xué)測(cè)試方法

6.1………………………2

電學(xué)測(cè)試方法

6.2………………………3

敏感元件非線(xiàn)性振動(dòng)頻率響應(yīng)彎曲系數(shù)測(cè)試方法

7……………………4

敏感元件非線(xiàn)性跳躍振幅閾值測(cè)試方法

8………………5

非線(xiàn)性振動(dòng)引起的敏感元件頻率偏移測(cè)試方法

9………5

自激閉環(huán)系統(tǒng)鎖相閉環(huán)系統(tǒng)和鎖幅閉環(huán)系統(tǒng)的頻率偏移

9.1、………5

間歇激勵(lì)閉環(huán)系統(tǒng)的頻率偏移

9.2……………………5

附錄規(guī)范性附錄敏感元件非線(xiàn)性振動(dòng)數(shù)學(xué)模型和彎曲系數(shù)

A()……6

附錄規(guī)范性附錄敏感元件頻率響應(yīng)非線(xiàn)性跳躍

B()…………………9

附錄規(guī)范性附錄非線(xiàn)性振動(dòng)引起的敏感元件的頻率偏移

C()………10

GB/T34898—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京遙測(cè)技術(shù)研究所中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人李慶豐金小鋒李海斌朱悅程紅兵

:、、、、。

Ⅰ

GB/T34898—2017

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

MEMS諧振敏感元件非線(xiàn)性

振動(dòng)測(cè)試方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了諧振式傳感器中諧振敏感元件以下簡(jiǎn)稱(chēng)敏感元件非線(xiàn)性振動(dòng)特性參數(shù)的

MEMS()

測(cè)試方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于敏感元件在研制和生產(chǎn)過(guò)程中關(guān)于非線(xiàn)性振動(dòng)特性和敏感元件閉環(huán)系統(tǒng)頻率偏移的

測(cè)試其他非敏感元件可參考使用

,MEMS。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

機(jī)械振動(dòng)與沖擊術(shù)語(yǔ)

GB/T2298

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語(yǔ)

GB/T26111(MEMS)

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)微機(jī)械量評(píng)定總則

GB/T26112(MEMS)

3術(shù)語(yǔ)和定義

和界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T2298GB/T26111。

31

.

非線(xiàn)性振動(dòng)non-linearvibration

隨著振動(dòng)幅度的變化彈性恢復(fù)力與位移不成線(xiàn)性關(guān)系的振動(dòng)

,。

32

.

非線(xiàn)性跳躍non-linearjump

當(dāng)振動(dòng)系統(tǒng)的振動(dòng)幅度超過(guò)某一閾值時(shí)頻率響應(yīng)曲線(xiàn)的跳躍現(xiàn)象

。

33

.

頻率偏移frequencydeviation

敏感元件閉環(huán)系統(tǒng)輸出的頻率相對(duì)于敏感元件固有振動(dòng)頻率的偏移

。

4敏感元件非線(xiàn)性振動(dòng)