標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 34898-2017 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法》是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)，主要針對MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）中的諧振敏感元件，在其非線性振動特性方面提供了詳細(xì)的測試指導(dǎo)。該標(biāo)準(zhǔn)適用于需要評估或驗(yàn)證MEMS諧振器在非線性條件下性能的研究機(jī)構(gòu)、生產(chǎn)廠家及相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)的專業(yè)人士。

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容，首先定義了MEMS諧振敏感元件的基本概念及其工作原理，并明確了非線性振動的含義與重要性。接著，詳細(xì)描述了進(jìn)行非線性振動測試所需的各種條件準(zhǔn)備，包括但不限于環(huán)境溫度控制、濕度要求以及電磁干擾防護(hù)措施等，以確保測試結(jié)果準(zhǔn)確可靠。

對于具體的測試過程，《GB/T 34898-2017》給出了從樣品準(zhǔn)備到數(shù)據(jù)記錄整個流程的操作指南。這其中包括選擇合適的激勵信號形式（如正弦波）、設(shè)置正確的頻率范圍和幅度值來激發(fā)被測元件進(jìn)入非線性狀態(tài)；同時還需要采用適當(dāng)?shù)臏y量工具和技術(shù)手段（例如激光多普勒測振儀）來捕捉并分析諧振器在此狀態(tài)下表現(xiàn)出的行為特征。

此外，標(biāo)準(zhǔn)還特別強(qiáng)調(diào)了數(shù)據(jù)分析的重要性，指出應(yīng)當(dāng)如何基于實(shí)驗(yàn)獲得的數(shù)據(jù)來進(jìn)行處理與解釋，以便于正確理解MEMS諧振敏感元件在不同條件下的非線性響應(yīng)特性。通過對比理論模型預(yù)測值與實(shí)際測量結(jié)果之間的差異，可以進(jìn)一步優(yōu)化設(shè)計參數(shù)或調(diào)整生產(chǎn)工藝，從而提高產(chǎn)品性能。


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....

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  • 2017-11-01 頒布
  • 2018-05-01 實(shí)施
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文檔簡介

ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34898—2017

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

MEMS諧振敏感元件非線性

振動測試方法

Microelectromechanicalsystemtechnology—Testmethodforthe

nonlinearvibrationoftheMEMSresonantsensitiveelement

2017-11-01發(fā)布2018-05-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T34898—2017

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

敏感元件非線性振動測試特性參數(shù)

4……………………1

測試方法及其選用原則

5…………………2

光學(xué)測試法

5.1…………………………2

電學(xué)測試法

5.2…………………………2

敏感元件非線性振動幅頻響應(yīng)和相頻響應(yīng)測試方法

6…………………2

光學(xué)測試方法

6.1………………………2

電學(xué)測試方法

6.2………………………3

敏感元件非線性振動頻率響應(yīng)彎曲系數(shù)測試方法

7……………………4

敏感元件非線性跳躍振幅閾值測試方法

8………………5

非線性振動引起的敏感元件頻率偏移測試方法

9………5

自激閉環(huán)系統(tǒng)鎖相閉環(huán)系統(tǒng)和鎖幅閉環(huán)系統(tǒng)的頻率偏移

9.1、………5

間歇激勵閉環(huán)系統(tǒng)的頻率偏移

9.2……………………5

附錄規(guī)范性附錄敏感元件非線性振動數(shù)學(xué)模型和彎曲系數(shù)

A()……6

附錄規(guī)范性附錄敏感元件頻率響應(yīng)非線性跳躍

B()…………………9

附錄規(guī)范性附錄非線性振動引起的敏感元件的頻率偏移

C()………10

GB/T34898—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京遙測技術(shù)研究所中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人李慶豐金小鋒李海斌朱悅程紅兵

:、、、、。

Ⅰ

GB/T34898—2017

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

MEMS諧振敏感元件非線性

振動測試方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了諧振式傳感器中諧振敏感元件以下簡稱敏感元件非線性振動特性參數(shù)的

MEMS()

測試方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于敏感元件在研制和生產(chǎn)過程中關(guān)于非線性振動特性和敏感元件閉環(huán)系統(tǒng)頻率偏移的

測試其他非敏感元件可參考使用

,MEMS。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

機(jī)械振動與沖擊術(shù)語

GB/T2298

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語

GB/T26111(MEMS)

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)微機(jī)械量評定總則

GB/T26112(MEMS)

3術(shù)語和定義

和界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T2298GB/T26111。

31

.

非線性振動non-linearvibration

隨著振動幅度的變化彈性恢復(fù)力與位移不成線性關(guān)系的振動

,。

32

.

非線性跳躍non-linearjump

當(dāng)振動系統(tǒng)的振動幅度超過某一閾值時頻率響應(yīng)曲線的跳躍現(xiàn)象

。

33

.

頻率偏移frequencydeviation

敏感元件閉環(huán)系統(tǒng)輸出的頻率相對于敏感元件固有振動頻率的偏移

。

4敏感元件非線性振動

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