標準解讀

《GB/T 36706-2018 磷化銦多晶》是一項國家標準，該標準詳細規(guī)定了磷化銦多晶材料的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和貯存等方面的內(nèi)容。磷化銦作為一種重要的半導(dǎo)體材料，在光電子器件等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

根據(jù)該標準，磷化銦多晶的純度是關(guān)鍵指標之一，對雜質(zhì)含量提出了嚴格限制，以確保其適用于后續(xù)加工成高質(zhì)量的單晶或薄膜材料。此外，對于磷化銦多晶的外觀質(zhì)量也給出了具體描述，包括但不限于顏色、形狀等特征，旨在保證材料的一致性和可加工性。

在試驗方法部分，《GB/T 36706-2018》介紹了如何通過化學(xué)分析法來測定磷化銦多晶中的主元素（如In、P）含量及主要雜質(zhì)元素（如Fe、Cu、Si等）濃度，同時提供了采用X射線熒光光譜儀進行快速成分分析的方法。這些測試手段為評估磷化銦多晶的質(zhì)量提供了科學(xué)依據(jù)。

關(guān)于檢驗規(guī)則，《GB/T 36706-2018》明確了抽樣方案與判定原則，確保每批次產(chǎn)品均能滿足規(guī)定的性能要求。最后，在包裝、標志、運輸和貯存章節(jié)中，則是對如何妥善處理磷化銦多晶進行了指導(dǎo)，比如使用適當?shù)陌b材料避免物理損傷；在外包裝上清晰標注相關(guān)信息以便于識別；采取必要措施防止運輸過程中發(fā)生泄漏等問題；以及推薦適宜的儲存條件以保持材料性能穩(wěn)定。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2018-09-17 頒布
  • 2019-06-01 實施
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文檔簡介

ICS29045

H83.

中華人民共和國國家標準

GB/T36706—2018

磷化銦多晶

Polycrystallineindiumphosphide

2018-09-17發(fā)布2019-06-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T36706—2018

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位南京金美鎵業(yè)有限公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院中國電子科技集團公司第十

:、、

三研究所廣東先導(dǎo)稀材股份有限公司石家莊麥特達電子科技有限公司中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所云

、、、、

南中科鑫圓晶體材料有限公司

。

本標準主要起草人范家驊邢志國楊桂芳劉文兵李素青王陽李曉嵐孫聶楓劉惠生

:、、、、、、、、、

趙有文惠峰朱劉劉永豪

、、、。

Ⅰ

GB/T36706—2018

磷化銦多晶

1范圍

本標準規(guī)定了磷化銦多晶的要求試驗方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸貯存質(zhì)量證明書及訂貨

、、、、、、、

單或合同內(nèi)容

()。

本標準適用于生產(chǎn)磷化銦單晶用的磷化銦多晶

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

貴金屬及其合金密度的測試方法

GB/T1423

非本征半導(dǎo)體單晶霍爾遷移率和霍爾系數(shù)測量方法

GB/T4326

半導(dǎo)體材料牌號表示方法

GB/T14844

3要求

31牌號

.

磷化銦多晶的牌號表示應(yīng)符合的規(guī)定

GB/T14844。

32電學(xué)性能

.

磷化銦多晶的電學(xué)性能應(yīng)符合表的規(guī)定

1。

表1電學(xué)性能

要求

項目

級級級級級

ABCDE

載流子遷移率

2≥4500≥3500≥3000≥2500≥2500

cm/(V·s)

載流子濃度

1515151616

3≤3×10≤6×10≤8×10≤1×10≤3×10

atoms/cm

33密度

.

磷化銦多晶的理論密度為3實測密度與理論密度的偏差應(yīng)在以內(nèi)即實測密度應(yīng)

4.787g/cm,±5%,

為33

4.548g/cm~5.026g/cm。

34外觀質(zhì)量

.

磷化銦多晶為灰色

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