標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 37959-2019 含工藝腔室類集成電路裝備設(shè)計(jì)信息模型》是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)，主要針對含工藝腔室的集成電路裝備制造領(lǐng)域。該標(biāo)準(zhǔn)定義了設(shè)計(jì)信息模型的基本框架和內(nèi)容要求，旨在通過標(biāo)準(zhǔn)化的設(shè)計(jì)信息表達(dá)方式來提高集成電路裝備的研發(fā)效率與質(zhì)量，促進(jìn)上下游產(chǎn)業(yè)鏈的信息共享。

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容，它首先明確了術(shù)語和定義部分，對關(guān)鍵概念如“工藝腔室”、“設(shè)計(jì)信息模型”等進(jìn)行了詳細(xì)說明，確保在使用過程中各方能夠基于共同的理解進(jìn)行溝通。接著，標(biāo)準(zhǔn)提出了設(shè)計(jì)信息模型應(yīng)包含的主要組成部分，包括但不限于設(shè)備結(jié)構(gòu)描述、功能特性、材料屬性、制造工藝參數(shù)等方面的數(shù)據(jù)，并規(guī)定了這些數(shù)據(jù)的具體格式及表示方法，以便于不同系統(tǒng)之間的互換性和兼容性。

此外，《GB/T 37959-2019》還特別強(qiáng)調(diào)了對于含工藝腔室類集成電路裝備而言，其特殊性在于需要考慮更多關(guān)于環(huán)境控制（如溫度、濕度）、氣體流動管理等因素的影響，在設(shè)計(jì)信息模型中也相應(yīng)地增加了對此類特性的描述要求。這有助于制造商更好地理解和實(shí)現(xiàn)客戶對于特定應(yīng)用場景下的需求，同時(shí)也為后續(xù)維護(hù)和服務(wù)提供了依據(jù)。

最后，該標(biāo)準(zhǔn)還介紹了如何利用所建立的設(shè)計(jì)信息模型來進(jìn)行產(chǎn)品生命周期管理，涵蓋了從初步設(shè)計(jì)到最終退役整個過程中的各個環(huán)節(jié)，比如虛擬仿真測試、成本估算、性能優(yōu)化等，從而幫助企業(yè)在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)降低成本、縮短開發(fā)周期。


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....

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  • 2019-08-30 頒布
  • 2020-03-01 實(shí)施
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GB/T 37959-2019含工藝腔室類集成電路裝備設(shè)計(jì)信息模型_第1頁
GB/T 37959-2019含工藝腔室類集成電路裝備設(shè)計(jì)信息模型_第2頁
GB/T 37959-2019含工藝腔室類集成電路裝備設(shè)計(jì)信息模型_第3頁
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文檔簡介

ICS3524050

J07..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T37959—2019

含工藝腔室類集成電路裝備

設(shè)計(jì)信息模型

InformationmodelforcontainingprocesschamberICequipmentdesign

2019-08-30發(fā)布2020-03-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T37959—2019

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

術(shù)語和定義

2………………1

縮略語

3……………………2

模型體系

4…………………2

含工藝腔室類集成電路裝備建模仿真設(shè)計(jì)過程的一般規(guī)定

4.1……2

含工藝腔室類集成電路裝備建模仿真設(shè)計(jì)軟件平臺結(jié)構(gòu)體系

4.2…………………3

含工藝腔室類集成電路裝備建模仿真設(shè)計(jì)信息模型

5…………………4

概念模型

5.1……………4

要素

5.2…………………4

關(guān)系

5.3…………………5

信息模型元素

5.4………………………5

附錄資料性附錄含工藝腔室類集成電路裝備設(shè)計(jì)信息模型示例

A()………………13

GB/T37959—2019

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國自動化系統(tǒng)與集成標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC159)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中車信息技術(shù)有限公司清華大學(xué)北京機(jī)械工業(yè)自動化研究所有限公司中國石

:、、、

油規(guī)劃總院

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人顧明程嘉李麗季林紅陳莉曹自立張穎黎曉東王海丹王峰

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T37959—2019

含工藝腔室類集成電路裝備

設(shè)計(jì)信息模型

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了含工藝腔室類集成電路裝備建模仿真設(shè)計(jì)軟件平臺信息模型規(guī)定了搭建含工藝腔

,

室類集成電路裝備建模仿真設(shè)計(jì)軟件平臺的一般性要求

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于含工藝腔室類集成電路裝備的建模仿真設(shè)計(jì)軟件

。

2術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

21

.

建模modeling

使用軟件為被設(shè)計(jì)對象建立用于仿真的幾何模型

CAD。

22

.

仿真simulation

利用計(jì)算機(jī)虛擬模型復(fù)現(xiàn)實(shí)際系統(tǒng)中發(fā)生的本質(zhì)過程并通過對系統(tǒng)虛擬模型的實(shí)驗(yàn)來研究存在

,

的或設(shè)計(jì)中的系統(tǒng)

。

23

.

仿真流程模板simulationprocesstemplate

用于描述定制化的仿真流程信息的一種文件保存了一個仿真流程的完整邏輯關(guān)系

XML,。

注包含軟件模塊求解邏輯順序和上下游傳輸?shù)淖兞啃畔?/p>

:、。

24

.

參數(shù)parameters

仿真設(shè)計(jì)過程中對結(jié)果有較顯著影響的可調(diào)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)定值

、。

25

.

實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)designofexperiment

一種有計(jì)劃的研究對過程要素進(jìn)行一系列有意圖的改變并進(jìn)行效果觀測對結(jié)果進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析

,,,

以便確定效果與要素改變之間的關(guān)系從而更好地了解和控制這一過程

,。

26

.

優(yōu)化設(shè)計(jì)optimaldesign

以數(shù)學(xué)中的最優(yōu)化理論為基礎(chǔ)以計(jì)算機(jī)為手段根據(jù)設(shè)計(jì)所追求的性能目標(biāo)建立目標(biāo)函數(shù)在滿

,,,,

足給定的各種約束條件下尋求最優(yōu)的設(shè)計(jì)方案的過程

,。

27

.

特征值characteristicvalues

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