標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 38614-2020 基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺(tái)測(cè)量方法》是一項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，旨在為基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位及掃描平臺(tái)提供一套統(tǒng)一的測(cè)量方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于利用此類技術(shù)進(jìn)行精密位移控制的應(yīng)用場(chǎng)景，如半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)學(xué)研究等領(lǐng)域。

根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)，首先定義了相關(guān)術(shù)語(yǔ)，包括但不限于柔性鉸鏈、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器等關(guān)鍵組件的概念及其在系統(tǒng)中的作用。接著，詳細(xì)描述了納米定位與掃描平臺(tái)的基本組成結(jié)構(gòu)，以及如何通過(guò)這些特定組件實(shí)現(xiàn)高精度的位置調(diào)整功能。其中特別強(qiáng)調(diào)了柔性鉸鏈設(shè)計(jì)對(duì)于提高系統(tǒng)剛性同時(shí)保持低摩擦特性的重要性，以及壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器因其快速響應(yīng)特性和高分辨率而被廣泛應(yīng)用于此類系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)部分。

標(biāo)準(zhǔn)還規(guī)定了一系列性能參數(shù)指標(biāo)，比如最大行程范圍、分辨率、重復(fù)定位精度等，并給出了相應(yīng)的測(cè)試條件與方法。此外，針對(duì)不同應(yīng)用場(chǎng)景下可能遇到的具體問(wèn)題，提供了幾種典型的實(shí)驗(yàn)案例分析，幫助使用者更好地理解和應(yīng)用此標(biāo)準(zhǔn)來(lái)指導(dǎo)實(shí)際工作。


如需獲取更多詳盡信息，請(qǐng)直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)文檔。

....

查看全部

  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2020-04-28 頒布
  • 2020-11-01 實(shí)施
?正版授權(quán)
GB/T 38614-2020基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺(tái)測(cè)量方法_第1頁(yè)
GB/T 38614-2020基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺(tái)測(cè)量方法_第2頁(yè)
GB/T 38614-2020基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺(tái)測(cè)量方法_第3頁(yè)
GB/T 38614-2020基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺(tái)測(cè)量方法_第4頁(yè)
免費(fèi)預(yù)覽已結(jié)束，剩余16頁(yè)可下載查看

下載本文檔

免費(fèi)下載試讀頁(yè)

文檔簡(jiǎn)介

ICS0104039

N10..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T38614—2020

基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的

納米定位與掃描平臺(tái)測(cè)量方法

Measurementmethodfornanopositioningandscanningstage

basedonflexurehingemechanismandpiezoactuator

2020-04-28發(fā)布2020-11-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T38614—2020

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

測(cè)量條件

4…………………1

測(cè)量?jī)x器

5…………………1

測(cè)量方法

6…………………1

軸向行程

6.1……………1

準(zhǔn)確度

6.2………………2

單向重復(fù)定位精度

6.3…………………2

雙向重復(fù)定位精度

6.4…………………3

遲滯誤差

6.5……………4

線性度

6.6………………5

位移分辨力

6.7…………………………6

角擺偏差

6.8……………6

直線度

6.9………………8

平面度

6.10………………9

正交誤差

6.11…………………………10

Ⅰ

GB/T38614—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)電子測(cè)量?jī)x器標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC153)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位沈陽(yáng)建筑大學(xué)三英精控天津儀器設(shè)備有限公司廣東工業(yè)大學(xué)中國(guó)計(jì)量科

:、()、、

學(xué)研究院蘇州昊通儀器科技有限公司沈陽(yáng)理工大學(xué)

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人須穎戴敬邵萌安冬施玉書賈靜戴超文杰石懷濤

:、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T38614—2020

基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的

納米定位與掃描平臺(tái)測(cè)量方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺(tái)以下簡(jiǎn)稱為平臺(tái)的測(cè)

()

量條件測(cè)量系統(tǒng)和測(cè)量方法

、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于平臺(tái)的研究設(shè)計(jì)生產(chǎn)檢測(cè)及使用

、、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

直線度誤差檢測(cè)

GB/T11336─2004

納米定位與掃描平臺(tái)術(shù)語(yǔ)

GB/T38616—2020

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T38616—2020。

4測(cè)量條件

平臺(tái)的測(cè)量應(yīng)滿足如下條件

:

測(cè)量場(chǎng)地應(yīng)無(wú)影響測(cè)量精度的灰塵振動(dòng)氣流擾動(dòng)和較強(qiáng)磁場(chǎng)

a)、、;

測(cè)量時(shí)的環(huán)境溫度為其變化應(yīng)不大于

b)(20±1)℃,0.5℃/h;

測(cè)量時(shí)的環(huán)境相對(duì)濕度為

c)(50±5)%;

測(cè)量前應(yīng)確認(rèn)平臺(tái)無(wú)影響測(cè)量正確性實(shí)施和測(cè)量結(jié)果的外觀缺陷

d);

測(cè)量時(shí)平臺(tái)處于正常工作狀態(tài)

e)。

5測(cè)量?jī)x器

本標(biāo)準(zhǔn)中推薦使用激光干涉儀以下簡(jiǎn)稱干涉儀角擺偏差也可使用自準(zhǔn)直儀測(cè)量?jī)x器精度應(yīng)滿

(),

溫馨提示

  • 1. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)文本僅供個(gè)人學(xué)習(xí)、研究之用，未經(jīng)授權(quán)，嚴(yán)禁復(fù)制、發(fā)行、匯編、翻譯或網(wǎng)絡(luò)傳播等，侵權(quán)必究。
  • 2. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)均為PDF格式電子版文本（可閱讀打印），因數(shù)字商品的特殊性，一經(jīng)售出，不提供退換貨服務(wù)。
  • 3. 標(biāo)準(zhǔn)文檔要求電子版與印刷版保持一致，所以下載的文檔中可能包含空白頁(yè)，非文檔質(zhì)量問(wèn)題。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論