GB/T 40333-2021真空計四極質(zhì)譜儀的定義與規(guī)范

ICS23160

J78.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T40333—2021/ISO142912012

:

真空計四極質(zhì)譜儀的定義與規(guī)范

Vacuumgauges—Definitionsandspecificationsforquadrupole

massspectrometers

(ISO14291:2012,IDT)

2021-05-21發(fā)布2021-12-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T40333—2021/ISO142912012

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

術(shù)語和定義

2………………1

部組件

2.1………………1

物理參數(shù)

2.2……………4

符號和縮略語

3……………8

四極質(zhì)譜儀的原理

4………………………8

制造商提供的四極質(zhì)譜儀說明書

5………………………9

質(zhì)量范圍

5.1……………9

離子源類型

5.2…………………………9

離子檢測器類型

5.3……………………9

質(zhì)量分辨率

5.4…………………………9

質(zhì)量數(shù)穩(wěn)定性

5.5………………………9

靈敏度

5.6………………9

線性響應(yīng)范圍

5.7………………………9

最小可檢分壓力

5.8……………………9

最小可檢濃度

5.9………………………9

最大工作壓力

5.10……………………10

掃描參數(shù)

5.11…………………………10

信號輸出

5.12…………………………10

電位

5.13………………10

檢測器技術(shù)規(guī)范

5.14…………………10

設(shè)定值

5.15……………10

最高烘烤溫度

5.16……………………10

標(biāo)稱工作環(huán)境

5.17……………………10

預(yù)熱時間

5.18…………………………10

燈絲材料

5.19…………………………10

電子放射電流

5.20……………………10

更換燈絲

5.21…………………………11

更換檢測器

5.22………………………11

腔室接口

5.23…………………………11

安裝方向

5.24…………………………11

Ⅰ

GB/T40333—2021/ISO142912012

:

尺寸

5.25………………11

內(nèi)部容積

5.26…………………………11

傳感器頭和電控單元的質(zhì)量

5.27……………………11

電控單元的輸入電源

5.28……………11

電纜

5.29………………11

軟件

5.30………………11

接口關(guān)系

5.31…………………………11

貯存和運(yùn)輸條件

5.32…………………11

制造商另給出的四極質(zhì)譜儀的說明

6……………………12

質(zhì)量分辨率

6.1…………………………12

圖形系數(shù)

6.2……………12

靈敏度的溫度系數(shù)

6.3…………………12

四極質(zhì)譜儀傳感器清洗

6.4……………12

去氣

6.5…………………12

去氣電源

6.6……………12

圖片

6.7…………………12

檢測記錄

6.8……………12

放氣率

6.9………………12

參考文獻(xiàn)

……………………13

Ⅱ

GB/T40333—2021/ISO142912012

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)使用翻譯法等同采用真空計四極質(zhì)譜儀的定義與規(guī)范

ISO14291:2012《》。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC18)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位蘭州空間技術(shù)物理研究所安徽皖儀科技股份有限公司安徽歌博科技有限公司

:、、、

湖南維格磁流體股份有限公司惠州飛凱新材料有限公司沈陽真空技術(shù)研究所有限公司

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人成永軍孫雯君趙瀾李亞麗陳聯(lián)黃文平王國東朱迎青左澤凡言繼春

:、、、、、、、、、、

王功發(fā)錢天景陳修明董猛袁征難王玲玲

、、、、、。

Ⅲ

GB/T40333—2021/ISO142912012

:

引言

四極質(zhì)譜儀現(xiàn)在不但可應(yīng)用于真空檢漏和殘余氣體分析而且還可作為定量分析儀器應(yīng)用

(QMS),

在諸如物理和化學(xué)氣相沉積以及刻蝕等過程控制中

,。

總壓力混合氣體組分儀器參數(shù)設(shè)置環(huán)境條件等因素均會對四極質(zhì)譜計的測量結(jié)果測量不確定

、、、、

度產(chǎn)生重要影響因此四極質(zhì)譜儀的校準(zhǔn)不可能覆蓋到所有應(yīng)用場合校準(zhǔn)要滿足特定的使用條件或

。,,

標(biāo)準(zhǔn)化條件

。

同時為方便用戶比較不同制造商生產(chǎn)的四極質(zhì)譜計的性能并能夠正確使用儀器有必要對此標(biāo)

,,

準(zhǔn)化

。

本標(biāo)準(zhǔn)通過規(guī)范術(shù)語和參數(shù)邁出了確立四極質(zhì)譜儀標(biāo)準(zhǔn)化校準(zhǔn)過程方向的第一步

,。

Ⅳ

GB/T40333—2021/ISO142912012

:

真空計四極質(zhì)譜儀的定義與規(guī)范

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)界定了四極質(zhì)譜儀相關(guān)的術(shù)語并規(guī)定了制造商說明書中需要的參數(shù)用于正常的校準(zhǔn)和分

,,

壓力測量質(zhì)量的保證

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于配備了電子轟擊型離子源的四極質(zhì)譜儀這樣的四極質(zhì)譜儀通常用于測量質(zhì)荷比

。

mz小于的物質(zhì)配有如化學(xué)電離光電離場致電離等其他類型的離子源以及主要用于檢測

(/)300。、、,

質(zhì)荷比mz大于的特定有機(jī)物質(zhì)的四極質(zhì)譜儀不在本標(biāo)準(zhǔn)適用范圍內(nèi)

(/)300,。

2術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

21部組件

.

211

..

四極質(zhì)譜儀quadrupolemassspectrometerQMS

;

軸向入射的離子進(jìn)入由四個電極通常為桿組成的四極透鏡系統(tǒng)透鏡加有成臨界比的射頻和直

(),

流電場使得僅讓一定質(zhì)荷比的離子通過的一種質(zhì)譜儀

,。

[2]定義

[ISO3529