
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文檔簡介
半導(dǎo)體物理哈爾濱工業(yè)大學(xué)微電子科學(xué)與技術(shù)系張宇峰/pages/zhangyf/
課程性質(zhì):專業(yè)基礎(chǔ)課學(xué)分:4.5(80學(xué)時(shí))4-19周時(shí)間:周二1-2節(jié)、周四3-4節(jié),周五5-6節(jié)(雙)考試時(shí)間:21周周五10:00-12:00教室:致知33、34
哈工大科學(xué)園2A樓602室電話:86413451-822email:yufeng_zhang@緒論本課是一門重要的專業(yè)基礎(chǔ)課了解和熟悉半導(dǎo)體物理的基礎(chǔ)理論,物理概念和主要性質(zhì)掌握研究半導(dǎo)體基本原理和測(cè)量技術(shù)的基本方法,為從事半導(dǎo)體器件、傳感器及應(yīng)用、集成電路、光電子技術(shù)等方面的工作打下必備的基礎(chǔ)。什么是半導(dǎo)體?半導(dǎo)體物理的研究對(duì)象:半導(dǎo)體的電子運(yùn)動(dòng)規(guī)律和基本物理性質(zhì)
導(dǎo)體半導(dǎo)體絕緣體
10-6~10-410-4~1010>1010元素半導(dǎo)體:Si,Ge(IV族)
III-V族半導(dǎo)體:GaAs,InP化合物半導(dǎo)體II-VI族半導(dǎo)體:ZnSIV-IV族半導(dǎo)體:SiC半導(dǎo)體的種類半導(dǎo)體的主要性質(zhì)(一)電阻率的雜質(zhì)敏感特性室溫下純Siρ~2.14×105Ω·cm摻入10-6(原子比)P原子ρ~0.2Ω·cm(二)溫度敏感特性純Si,溫度每增加8度,電阻率相應(yīng)降低50%左右(4)磁敏感特性
霍爾效應(yīng)、磁阻效應(yīng)。(5)壓阻特性(3)光學(xué)特性CdS光敏電阻微電子器件原理微電子工藝基礎(chǔ)集成電路功率器件MEMS傳感器光電器件課程地位和知識(shí)應(yīng)用領(lǐng)域固體物理半導(dǎo)體物理量子力學(xué)半導(dǎo)體材料統(tǒng)計(jì)學(xué)物理本課程討論的主要對(duì)象
—典型的半導(dǎo)體(Si,Ge,GaAs,……)本課程討論的基本問題—?材料的基本物理性質(zhì):晶體結(jié)構(gòu);能帶結(jié)構(gòu);電子基本運(yùn)動(dòng)狀態(tài);(固體物理、第一章)?半導(dǎo)體中的載流子(電子,空穴)及其運(yùn)動(dòng)狀態(tài):p型,n型半導(dǎo)體;電場(chǎng)中的載流子;非平衡載流子;(第二、三、四、五章)?器件物理基礎(chǔ):PN結(jié);M/S接觸;MOS結(jié)構(gòu);異質(zhì)結(jié)(第六、七、八、九章)?半導(dǎo)體傳感器基礎(chǔ):光電;熱電;磁電;壓阻(第十、十一、十二章)
物理
(對(duì)物理問題更深入,更專門的討論):
高等半導(dǎo)體物理;半導(dǎo)體理論;
半導(dǎo)體表面物理;非晶態(tài)半導(dǎo)體物理;
半導(dǎo)體光學(xué)……
材料
(材料性質(zhì),應(yīng)用的物理模型,材料制備,新材料的研制):
體材料;薄膜材料;微結(jié)構(gòu)材料;人工設(shè)計(jì)材料;……相關(guān)課程(領(lǐng)域)
器件
(器件物理;器件原理;器件工藝):
電子器件(雙極型器件,MOS器件,各種特種器件);
光電子器件(激光器,發(fā)光管,光電轉(zhuǎn)換器件);
其他各種效應(yīng)的應(yīng)用(熱電,壓電……)
半導(dǎo)體集成電路—
集成電路原理及其設(shè)計(jì)(線路設(shè)計(jì),版圖設(shè)計(jì),工藝設(shè)計(jì));
集成電路中的物理問題,材料問題……一些具體問題的說明教材—
劉恩科,《半導(dǎo)體物理》1994年版測(cè)驗(yàn)+提問+作業(yè)+出勤—25%
做習(xí)題的目的是幫助理解課程內(nèi)容,且應(yīng)用之討論問題,解決問題.上課—
提倡記筆記.(看自己記的筆記有助于理解,思考)考試(閉卷)—50%
范圍在平時(shí)就會(huì)交代,重點(diǎn)是應(yīng)該自己找的.千萬不要寄希望于考試前“套磁”和復(fù)印課件,作業(yè).
固體物理部分測(cè)驗(yàn)+作業(yè)—25%教材及主要參考書
教材:《半導(dǎo)體物理學(xué)》劉恩科等編著電子工業(yè)出版社(第四版)2002年參考書:(1)DonaldA.Neamen:SemiconductorPhysicsandDevices(U.S.A.)(2)RobertF.Pierret:SemiconductorDevice
Fundamentals(Part1)
(3)Chih-TangSah:FundamentalofSolid-StateElectronics(U.S.A.)(4)錢佑華,徐致中:《半導(dǎo)體物理》
(5)葉良修:《半導(dǎo)體物理學(xué)》
(6)李名復(fù):《半導(dǎo)體物理學(xué)》
(7)夏建白:《現(xiàn)代半導(dǎo)體物理》第1章半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)
本章主要討論半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。定性介紹能帶理論,利用薛定諤方程和Kroning-Penney模型近似推導(dǎo)關(guān)于半導(dǎo)體中電子的狀態(tài)和能帶特點(diǎn)。闡述本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu),引入了有效質(zhì)量和空穴的概念。最后簡單介紹幾種半導(dǎo)體材料的能帶結(jié)構(gòu)。1單電子原子的電子狀態(tài)(氫原子)§1.1半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)和能帶§1.1.1原子中的電子狀態(tài)電子的能量狀態(tài)2多電子原子的電子狀態(tài)與氫原子一樣是量子化的,電子狀態(tài)取決于四個(gè)量子數(shù)(1)量子數(shù)(n,l,ml,ms)(2)簡并度(能級(jí)可能有的微觀狀態(tài))(3)電子填充(泡利不相容原理和能量最低原理)§1.1半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)和能帶
§1.1.2晶體中的電子狀態(tài)1、共有化運(yùn)動(dòng)概念:原子組成晶體后,電子殼層將發(fā)生交迭,由于相同殼層上的電子具有相同的能量,所以電子可以從一個(gè)原子轉(zhuǎn)移到另一個(gè)原子上去,從而電子可以在整個(gè)晶體中運(yùn)動(dòng)
特點(diǎn):1.外層電子受原子束縛輕,電子殼層交疊大,共有化運(yùn)動(dòng)顯著
2.電子只能在相同支殼層之間轉(zhuǎn)移,作共有化運(yùn)動(dòng)§1.1半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)和能帶
§1.1.2晶體中的電子狀態(tài)互相靠近時(shí),原子中的電子除受本身原于的勢(shì)場(chǎng)作用,還受到另一個(gè)原子勢(shì)場(chǎng)的作用能級(jí)將分裂為二個(gè)彼此相距很近的能級(jí);兩個(gè)原子靠得越近,分裂得越厲害。圖(b)示意地畫出了八個(gè)原子互相靠近時(shí)能級(jí)分裂的情況??梢钥吹剑總€(gè)能級(jí)部分裂為八個(gè)相距很近的能級(jí)。2、能帶形成例如:兩個(gè)原子§1.1半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)和能帶
§1.1.2晶體中的電子狀態(tài)當(dāng)N個(gè)原子彼此靠近時(shí),原來分屬于N個(gè)原子的相同的價(jià)電子能級(jí)必然分裂成屬于整個(gè)晶體的N個(gè)能量稍有差別的能帶。能帶特點(diǎn):(1)分裂的每一個(gè)能帶稱為允帶,允帶間的能量范圍稱為禁帶,且能帶是準(zhǔn)連續(xù)的
(2)內(nèi)層電子受到的束縛強(qiáng),共有化運(yùn)動(dòng)弱,能級(jí)分裂小,能帶窄;外層電子受束縛弱,共有化運(yùn)動(dòng)強(qiáng),能級(jí)分裂明顯,能帶寬?!?.1半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)和能帶
§1.1.2晶體中的電子狀態(tài)Si結(jié)構(gòu)能帶的形成
雜化軌道
§1.1半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)和能帶
§1.1.3電子在周期場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)——能帶論電子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)(1)孤立原子中的電子是在該原子的核和其它電子的勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)(2)自由電子是在恒定勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)(3)晶體中的電子是在嚴(yán)格周期性重復(fù)排列的原子間運(yùn)動(dòng)單電子近似——晶體中的某一個(gè)電子是在周期性排列且固定不動(dòng)的原子核的勢(shì)場(chǎng)以及其它大量電子的平均勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng),這個(gè)勢(shì)場(chǎng)也是周期性變化的,而且它的周期與晶格周期相同。
§1.1半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)和能帶
§1.1.3電子在周期場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)——能帶論1、自由電子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)對(duì)于波矢為k的運(yùn)動(dòng)狀態(tài),自由電子的能量E,動(dòng)量p,速度v均有確定的數(shù)值。波矢k可用以描述自由電子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài),不同的k值標(biāo)志自由電子的不同狀態(tài)自由電子的E和k的關(guān)系曲線,呈拋物線形狀。由于波矢k的連續(xù)變化,自由電子的能量是連續(xù)能譜,從零到無限大的所有能量值都是允許的?!?.1半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)和能帶
§1.1.3電子在周期場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)——能帶論2、電子在周期場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)晶體中電子所遵守的薛定諤方程:布洛赫曾經(jīng)證明,滿足式(1-13)的波函數(shù)一定具有如下形式:式中k為波矢,是一個(gè)與晶格同周期的周期性函數(shù),即:式中n為整數(shù)。§1.1半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)和能帶
§1.1.3電子在周期場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)——能帶論式(1-13)具有式(1-14)形式的解,這一結(jié)論稱為布洛赫定理。具有式(1-14)形式的波函數(shù)稱為布洛赫波函數(shù)晶體中的電子運(yùn)動(dòng)服從布洛赫定理
§1.1半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)和能帶
§1.1.3電子在周期場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)——能帶論與自由電子相比,晶體中的電子在周期性的勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)的波函數(shù)與自由電子波函數(shù)形式相似,不過這個(gè)波的振幅uk(x)隨x作周期性的變化,且變化周期與晶格周期相同?!徽{(diào)幅的平面波(uk(x)=uk(x+a))對(duì)于自由電子在空間各點(diǎn)找到電子的幾率相同;而晶體中各點(diǎn)找到電子的幾率具有周期性的變化規(guī)律?!娮硬辉偻耆窒拊谀硞€(gè)原子上,而是進(jìn)行共有化運(yùn)動(dòng)。外層電子共有化運(yùn)動(dòng)強(qiáng),成為準(zhǔn)自由電子。()布洛赫波函數(shù)中的波矢k與自由電子波函數(shù)中的一樣,描述晶體中電子的共有化運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。例題:一維周期勢(shì)場(chǎng)中電子的波函數(shù)應(yīng)當(dāng)滿足布洛赫定理。如果晶格常數(shù)為a,電子波函數(shù)為
求電子在這些態(tài)中的波矢§1.2克龍尼克-潘納模型克龍尼克-潘納模型一維周期性勢(shì)函數(shù)薛定諤方程可寫成1)2)由布洛赫定理也是周期函數(shù)代入方程得方程為齊次二階常系數(shù)微分方程,利用特征根求解待定常數(shù)A,B,C,D由邊界條件確定,由波函數(shù)連續(xù)性在x=0處在x=b處上面四個(gè)方程可以唯一確定A,B,C,D整理可得可知§1.2克龍尼克-潘納模型當(dāng)k=n/2a(n=±1、±2、…)時(shí),能量不連續(xù),形成一系列相間的允帶和禁帶。E(k)=E(k+n/a),即E(k)是k的周期性函數(shù),周期為1/a。要討論第一布里淵區(qū)(簡約布里淵區(qū))的E(k)關(guān)系即可在布里淵區(qū)邊界處(k=n/2a),能量出現(xiàn)不連續(xù),形成禁帶.每一布里淵區(qū)對(duì)應(yīng)一個(gè)能帶§1.2克龍尼克-潘納模型
§1.2.1克龍尼克-潘納模型對(duì)于有限的晶體,根據(jù)周期性邊界條件,波矢k只能取分立數(shù)值。對(duì)于邊長為L的立方晶體kx=nx/L(nx=0,±1,±2,…)ky=ny/L(ny=0,±1,±2,…)kz=nz/L(nz=0,±1,±2,…)§1.2克龍尼克-潘納模型由上式可以證明每個(gè)布里淵區(qū)中有N個(gè)k狀態(tài)(N為晶體的固體物理學(xué)原胞數(shù))。由于k是分立的,所以布里淵區(qū)中的能級(jí)是準(zhǔn)連續(xù)的。每個(gè)能帶最多可以容納2N個(gè)電子。能帶理論的應(yīng)用
能帶產(chǎn)生的原因:定性理論(物理概念):晶體中原子之間的相互作用(電子共有化運(yùn)動(dòng)),使能級(jí)分裂形成能帶。定量理論(量子力學(xué)計(jì)算):電子在周期場(chǎng)中運(yùn)動(dòng),其能量不連續(xù)形成能帶。
能帶(energyband)包括允帶和禁帶。允帶(allowedband):允許電子能量存在的能量范圍。禁帶(forbiddenband):不允許電子存在的能量范圍。
能帶理論的應(yīng)用
允帶又分為空帶、滿帶、導(dǎo)帶、價(jià)帶??諑В╡mptyband):不被電子占據(jù)的允帶。滿帶(filledband):允帶中的能量狀態(tài)(能級(jí))均被電子占據(jù)。導(dǎo)帶(conductionband):電子未占滿的允帶(有部分電子。)價(jià)帶(valenceband):被價(jià)電子占據(jù)的允帶(低溫下通常被價(jià)電子占滿)。用能帶理論解釋導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體的導(dǎo)電性:能帶理論的應(yīng)用金屬中,由于組成金屬的原子中的價(jià)電子占據(jù)的能帶是部分占滿的,所以金屬是良好的導(dǎo)電體半導(dǎo)體和絕緣體的能帶類似,即下面是已被價(jià)電子占滿的滿帶(其下面還有為內(nèi)層電子占滿的若干滿帶),亦稱價(jià)帶,中間為禁帶,上面是空帶。因此,在外電場(chǎng)作用下并不導(dǎo)電,但是這只是絕對(duì)溫度為零時(shí)的情況。半導(dǎo)體中導(dǎo)帶的電子和價(jià)帶的空穴參與導(dǎo)電,這是與金屬導(dǎo)體的最大差別。絕緣體的禁帶寬度很大,激發(fā)電子需要很大的能量,在通常溫度下,能激發(fā)到導(dǎo)帶中的電子很少,所以導(dǎo)電性很差。能帶理論的應(yīng)用半導(dǎo)體禁帶寬度比較小,數(shù)量級(jí)在1eV左右,在通常溫度下已有不少電子被激發(fā)到導(dǎo)帶中去,所以具有一定的導(dǎo)電能力,這是絕緣體和半導(dǎo)體的主要區(qū)別。室溫下,金剛石的禁帶寬度為6~7eV,它是絕緣體;硅為1.12eV,鍺為0.67eV,砷化鎵為1.43eV,所以它們都是半導(dǎo)體。能帶理論的應(yīng)用§1.3半導(dǎo)體中電子(在外力下)的運(yùn)動(dòng)有效質(zhì)量
晶體中的電子在外電場(chǎng)作用下運(yùn)動(dòng)時(shí),不但受到外力的作用,而且還受到晶體內(nèi)部原子及電子對(duì)它的作用,運(yùn)動(dòng)電子的加速度應(yīng)該是晶體內(nèi)部勢(shì)場(chǎng)和外場(chǎng)作用的綜合效果。然而引進(jìn)晶體電子有效質(zhì)量之后,無需涉及到內(nèi)部勢(shì)場(chǎng)對(duì)電子的作用,而使問題變得簡單?!?.3半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng)有效質(zhì)量§1.3.1有效質(zhì)量概念的引入(1)問題的提出自由電子在外力作用下運(yùn)動(dòng)規(guī)律滿足經(jīng)典力學(xué)
另外晶體中電子加速度:即:f合=f外+f內(nèi)外場(chǎng)力作用:f外
帶正電的離子
f內(nèi)帶負(fù)電的電子原因晶體中電子受周期性勢(shì)場(chǎng)的相互作用:a=f合/m0=(f外+f內(nèi))/m0§1.3半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng)有效質(zhì)量§1.3.1有效質(zhì)量概念的引入(2)有效質(zhì)量f內(nèi)求解困難經(jīng)典力學(xué)一致引入一個(gè)參數(shù),使稱為電子有效質(zhì)量概念:將晶體中電子的加速度與外加的作用力聯(lián)系起來,并且包含了晶體中的內(nèi)力作用效果。電子的慣性質(zhì)量內(nèi)部勢(shì)場(chǎng)作用含義牛頓力學(xué)處理問題§1.3半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng)有效質(zhì)量§1.3.1有效質(zhì)量概念的引入(1)電子運(yùn)動(dòng)速度量子力學(xué)概念波粒二相性(2)電子能量E及k的變化(外力場(chǎng)作用)hk稱為準(zhǔn)動(dòng)量§1.3半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng)有效質(zhì)量§1.3.2晶體中電子運(yùn)動(dòng)(E-k描述)(3)加速度a及外力作用內(nèi)力作用(勢(shì)場(chǎng)相互作用)E§1.3半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng)有效質(zhì)量§1.3.2晶體中電子運(yùn)動(dòng)(E-k描述)用泰勒級(jí)數(shù)展開可以近似求出極值附近的E(k)與k的關(guān)系以一維情況為例,設(shè)能帶底位于k=0,將E(k)在k=0附近按泰勒級(jí)數(shù)展開,取至k2項(xiàng),得到§1.3半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng)有效質(zhì)量§1.3.3利用給出E(k)~k關(guān)系§1.3半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng)有效質(zhì)量§1.3.4關(guān)于的討論(1)有效質(zhì)量與慣性質(zhì)量不同,存在類比關(guān)系(2)有效質(zhì)量概括了半導(dǎo)體內(nèi)部勢(shì)場(chǎng)的作用,使得在解決半導(dǎo)體中電子在外力作用下的運(yùn)動(dòng)規(guī)律時(shí),可以不涉及到半導(dǎo)體內(nèi)部勢(shì)場(chǎng)的作用??梢灾苯佑蓪?shí)驗(yàn)測(cè)定,因而可以很方便地解決電子的運(yùn)動(dòng)規(guī)律(3)有效質(zhì)量可正可負(fù)在能帶底電子有效質(zhì)量是正值在能帶頂電子有效質(zhì)量是負(fù)值(4)有效質(zhì)量與能帶有關(guān)曲線曲率半徑有效質(zhì)量與能量函數(shù)對(duì)于k的二次微商成反比,能帶越窄,二次微商越小,有效質(zhì)量越大。內(nèi)層電子的能帶窄,有效質(zhì)量大外層電子的能帶寬,有效質(zhì)量小
外層電子,在外力的作用下可以獲得較大的加速度?!?.3半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng)有效質(zhì)量§1.3.4關(guān)于的討論(5)能帶中電子運(yùn)動(dòng)規(guī)律(E~k關(guān)系)偶函數(shù)奇函數(shù)晶體中電子運(yùn)動(dòng)可由下式表示:§1.3半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng)有效質(zhì)量§1.3.4關(guān)于的討論§1.4本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu)
§1.4.1導(dǎo)電條件導(dǎo)電的必要條件:外加電場(chǎng),載流子滿帶中的電子不導(dǎo)電雖包含電子但并未填滿的能帶才有一定的導(dǎo)電性,即不滿的能帶中的電子才可以導(dǎo)電絕對(duì)溫度為零時(shí),純凈半導(dǎo)體的價(jià)帶被價(jià)電子填滿,導(dǎo)帶是空的不導(dǎo)電載流子:晶體中荷載電流(或傳導(dǎo)電流)的粒子。無外加電場(chǎng)作用滿帶不滿帶電子波矢狀態(tài)是正負(fù)對(duì)稱分布的,狀態(tài)和具有相同的能量大小相等方向相反的速度能帶成對(duì)的電子電流都抵消掉,總電流為零。外加電場(chǎng)作用I=﹣
滿帶不滿帶在一定的溫度下,價(jià)帶頂部附近有少量電子被激發(fā)到導(dǎo)帶底附近,在價(jià)帶留下空狀態(tài),價(jià)帶和導(dǎo)帶電子都是未填滿狀態(tài),導(dǎo)帶電子和價(jià)帶中電子都可以參與導(dǎo)電§1.4本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu)
§1.4.1導(dǎo)電條件§1.4本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu)
§1.4.2空穴的概念研究價(jià)帶中電子狀態(tài)的需要在牛頓第二定律中要求有效質(zhì)量為正值,但價(jià)帶頂電子的有效質(zhì)量為負(fù)值。這在描述價(jià)帶頂電子的加速度遇到困難。為了解決這一問題,引入空穴的概念。概念:價(jià)帶頂部附近的電子激發(fā)到導(dǎo)帶后留下的價(jià)帶空狀態(tài)在絕對(duì)零度時(shí),晶體中的電子都被束縛在共價(jià)鍵上,晶體中任何局部都是電中性的。共價(jià)鍵上一個(gè)電子掙脫共價(jià)鍵的束縛,形成導(dǎo)電電子,在原共價(jià)鍵處形成空位,電中性被破壞,多出一個(gè)正電荷。當(dāng)另一個(gè)共價(jià)電子填這個(gè)空位…相當(dāng)于空位在移動(dòng),并且這個(gè)空位帶有一個(gè)正電荷,反映了價(jià)電子的運(yùn)動(dòng),把這個(gè)空位就稱為空穴§1.4本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu)
§1.4.2空穴的概念對(duì)本征半導(dǎo)體,導(dǎo)帶中出現(xiàn)多少電子,價(jià)帶中就對(duì)應(yīng)出現(xiàn)多少空穴,導(dǎo)帶上電子參與導(dǎo)電,價(jià)帶上空穴也參與導(dǎo)電金屬中載流子為電子,半導(dǎo)體中有兩種載流子即電子和空穴。這一點(diǎn)是半導(dǎo)體同金屬的最大差異,正是由于這兩種載流子的作用,使半導(dǎo)體表現(xiàn)出許多奇異的特性,可用來制造形形色色的器件?!?.4本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu)
§1.4.2空穴的概念§1.4本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu)
§1.4.2空穴的概念空穴具有正的有效質(zhì)量
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