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文檔簡(jiǎn)介
鍍膜學(xué)習(xí)總結(jié)演示文稿第一頁(yè),共二十四頁(yè)。鍍膜生產(chǎn)流程介紹上片臺(tái):嚴(yán)格注意玻璃面朝上放置,經(jīng)過驗(yàn)證膜層與玻璃面的結(jié)合更好,不易出現(xiàn)問題清洗機(jī):根據(jù)玻璃厚度的不同調(diào)整毛刷的高度,保證清洗干凈的同時(shí)不傷害玻璃表面凈化室:主要目的是觀察玻璃的清洗及干燥結(jié)果,保證進(jìn)入濺射室的玻璃干凈和干燥第二頁(yè),共二十四頁(yè)。過渡室和緩沖室:主要作用是由過渡室到濺射室真空度是逐步減小的,目的是為了保證濺射室的真空度(過渡室真空度10-2mbar,緩沖室真空度10-4mbar)濺射室:真空磁控濺射過程,該濺射室共分為五個(gè)室緩沖室和過渡室:作用和玻璃進(jìn)入濺射室相同,主要是為了保證濺射室的真空度檢測(cè)室:所用儀器為在線分光光度計(jì),主要是在線檢測(cè)產(chǎn)品的重要參數(shù),包括a*、b*、ΔE和Y噴粉機(jī):對(duì)于一些不重要的訂單或者是膜面不易被氧化的產(chǎn)品選擇對(duì)膜面噴粉,主要是保護(hù)膜面不被劃傷貼膜:對(duì)于一些重要的訂單或者是容易氧化的產(chǎn)品進(jìn)行貼膜,保護(hù)膜面不被氧化和劃傷下片臺(tái):在調(diào)試完樣品進(jìn)行生產(chǎn)的過程中主要是對(duì)樣品進(jìn)行抽檢,主要是看膜面的狀態(tài),還有就是經(jīng)過酒精擦拭后膜面的狀態(tài)和經(jīng)過鋼化后膜面的狀態(tài)。第三頁(yè),共二十四頁(yè)。磁控濺射過程第四頁(yè),共二十四頁(yè)。玻璃在高真空的環(huán)境下,通入適量的工藝氣體(惰性氣體Ar或反應(yīng)氣體O2、N2)并保持真空度穩(wěn)定,以磁控靶為陰極,加上交流電源(旋轉(zhuǎn)靶)或直流電(非旋轉(zhuǎn)靶),在高電壓作用下,工藝氣體發(fā)生電離,形成等離子體,電子在電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用下,進(jìn)行高速螺旋運(yùn)動(dòng),碰撞氣體分子,產(chǎn)生更多的正離子和電子,正離子達(dá)到一定能量后撞擊陰極靶材,被濺射出的靶材沉積在玻璃基片上形成薄膜第五頁(yè),共二十四頁(yè)。銀靶NiCr靶濺射室ZnAl靶第六頁(yè),共二十四頁(yè)。第七頁(yè),共二十四頁(yè)。第八頁(yè),共二十四頁(yè)。第九頁(yè),共二十四頁(yè)。產(chǎn)品容易出現(xiàn)的問題SSC和STN容易出現(xiàn)的問題脫膜劃傷毛刷印Low-e容易出現(xiàn)的問題脫模小白點(diǎn)劃傷毛刷印水跡第十頁(yè),共二十四頁(yè)。磁控脫膜的原因分析原片因素原片存放因素
玻璃表面越新鮮,表面活性越大,與膜層的結(jié)合力越強(qiáng),反之則差。使用存放期過長(zhǎng)的玻璃,由于玻璃表面霉變和附著的污物會(huì)大量增加,而且附著力很強(qiáng),清洗環(huán)節(jié)很難清除掉,這就造成膜層與基片的結(jié)合力大大降低,從而導(dǎo)致脫膜。一般要求玻璃原片存放期不超過一個(gè)月,淋雨的玻璃不要用。片切割因素
保證無油切割,若不能無油切割,應(yīng)在正式清洗前用稀鹽酸或陰離子去垢劑進(jìn)行預(yù)清洗,目前我們單位還不能保證無油切割保證放片時(shí)玻璃面朝上放置水質(zhì)因素水處理設(shè)備
在玻璃清洗時(shí)應(yīng)用去離子水,去離子水純度應(yīng)控制在電阻率10M歐姆以上,否則會(huì)因水質(zhì)不純導(dǎo)致原片清洗不凈而脫膜。
第十一頁(yè),共二十四頁(yè)。管道和水箱的雜質(zhì)
連接水處理設(shè)備和清洗機(jī)水箱的管道應(yīng)定期吹掃清洗。因?yàn)楣艿乐腥魵埩舨涣鲃?dòng)的水時(shí)間久了,會(huì)滋生細(xì)菌、藻類,在使用時(shí)會(huì)帶到水箱里,使清洗水本身旅游活動(dòng)過關(guān),造成鍍膜不牢。清洗機(jī)清洗刷
清洗刷使用一段時(shí)間后,上面會(huì)殘留一些污物,包括油污、絮狀物、灰塵等,若不能有效地進(jìn)行清洗,也會(huì)帶來污染,造成脫膜風(fēng)機(jī)
風(fēng)壓大小,風(fēng)刀角度調(diào)整的好壞將影響到原片能否吹干,若吹不干,鍍膜后,肯定脫膜,必須保證進(jìn)入真空室的玻璃干燥4.真空度
真空度必須達(dá)到一定標(biāo)準(zhǔn)方可鍍膜,否則,會(huì)因氣體中殘留雜質(zhì)氣體,導(dǎo)致膜層成分不純,結(jié)合力不強(qiáng),一般應(yīng)控制在10-3mbar。第十二頁(yè),共二十四頁(yè)。工藝氣體、靶材若使用純度不高的工藝氣體或靶材,會(huì)使膜層中雜質(zhì)成分偏高,產(chǎn)生大面積針孔,進(jìn)而導(dǎo)致脫膜包裝、儲(chǔ)存環(huán)節(jié)
鍍膜玻璃應(yīng)儲(chǔ)存在干燥、通風(fēng)的環(huán)境中。潮濕的環(huán)境易引起鍍膜玻璃發(fā)霉,膜層脫落,Low-e玻璃包裝要求:農(nóng)膜+干燥劑,同時(shí)要求切、磨及鋼化在8h之內(nèi)完成,鋼化后8h要包裝好,72h內(nèi)要合成中空使用環(huán)境鍍漠玻璃并不是任何環(huán)境下都可使用,它的使用是有條件的。在污染的環(huán)境中慎用,否則,會(huì)使鍍膜玻璃的壽命大打折扣。如:用在浴池的鍍膜玻璃會(huì)因長(zhǎng)期處于熱的環(huán)境中,使膜層的附著力大大降低;而用在廚房的鍍膜玻璃,則會(huì)因廚房產(chǎn)生的酸性氣體與膜層發(fā)生反應(yīng),導(dǎo)致脫膜。第十三頁(yè),共二十四頁(yè)。常規(guī)試驗(yàn)為了保證產(chǎn)品的質(zhì)量做的一些常規(guī)試驗(yàn):酒精擦拭試驗(yàn)色差洗刷試驗(yàn)?zāi)退釅A試驗(yàn)氣候循環(huán)試驗(yàn)尾氣試驗(yàn)海水浸泡試驗(yàn)?zāi)退酀{試驗(yàn)第十四頁(yè),共二十四頁(yè)。膜層底層介質(zhì)膜:用來提高銀與玻璃表面的附著力,同時(shí)兼顧調(diào)節(jié)膜系光學(xué)性能和顏色的作用。決定銀層的增長(zhǎng)情況用于降低銀層的反射率阻擋鈉在鋼化過程中從玻璃擴(kuò)散到膜層中第十五頁(yè),共二十四頁(yè)。保護(hù)層:保護(hù)銀層免受沉積過程中等離子體的破壞保護(hù)銀層免受鋼化過程中氧氣和其它污染物的侵襲通過影響銀層與頂層電介質(zhì)層之間的附著力來改善膜層的耐磨性功能膜:控制整個(gè)膜系的表面電阻,決定膜系的輻射率,并直接影響膜系的透射比和反射比,由于銀質(zhì)軟,不耐磨,因此銀層兩側(cè)需加保護(hù)層外層介質(zhì)膜:決定膜系的耐刮傷性、耐磨性和耐化學(xué)侵襲性在可見光和近紅外太陽(yáng)能光譜中減反射作用第十六頁(yè),共二十四頁(yè)。常用單層膜及其作用Si3N4膜:在所有材料中,它的耐酸/堿性最好最好的擴(kuò)散層,通常用于半導(dǎo)體行業(yè)與鍍有鎳鉻的銀層之間有足夠的附著力抗劃傷性最好可直接鍍于玻璃面上作鈉離子阻擋層缺點(diǎn):與銀層的親和性非常差NiCr膜:使銀層和Si3N4層之間具有良好的附著力可作鈉離子的阻擋層,是銀層很好的保護(hù)層缺點(diǎn):吸收性太強(qiáng)第十七頁(yè),共二十四頁(yè)。TiO2膜:1、具有足夠的耐酸/堿性2、能夠用作擴(kuò)散層3、與鍍有鈦?zhàn)钃鯇拥你y層之間有良好的附著力4、高折光指數(shù)意味著因刮擦而引起的膜層厚度微小變化會(huì)顯示較大的光學(xué)影響(不太適宜做頂層電介質(zhì)層)5、具有好的折射率,能改善透光率(適宜做底層電介質(zhì)層)ZnO膜:是銀膜的種子膜層。這是由于ZnO膜具有光滑的特性,能使上面的銀膜更均勻,提高銀膜的性能,增強(qiáng)膜系的透過率與輻射率。缺點(diǎn):抗酸/堿能力有限由于增長(zhǎng)結(jié)構(gòu)的原因,材料容易擴(kuò)散抗刮傷能力有限第十八頁(yè),共二十四頁(yè)。膜系舉例SDT11-74(T):玻璃//Si//ZnAl//Ag//NiCr//ZAO//Si//Si//ZAO////Ag//NiCr//ZAO//Si//SiSEE11-50(T)玻璃//Ti//NiCr//Ag//NiCr//Si//Si//Si3.可鋼雙銀低輻射鍍膜玻璃膜系設(shè)計(jì)如下:玻璃//Si3N4//TiO2//NiCr//ZnO//Ag//NiCr//TiO2//ZnO//Ag//NiCr//TiO2//Si3N4第十九頁(yè),共二十四頁(yè)。鍍膜產(chǎn)品鍍膜產(chǎn)品代號(hào)編制規(guī)則第二十頁(yè),共二十四頁(yè)。玻璃的厚度本公司代號(hào),用S表示表示Low-e的品種,用E、D、S分別表示單銀、雙銀和遮陽(yáng)型(注:SSC和STN為熱反射)表示膜系代碼表示基片種類:0表示超白、1表示白玻、2表示綠玻、3表示灰玻、4表示茶玻、5表示藍(lán)玻表示基片原產(chǎn)地:1表示廣南、2表示深南、3表示昆山、4表示信義只有當(dāng)基片是色玻時(shí)才使用:F表示F綠、H表示H綠、E表示歐洲灰、B表示藍(lán)星灰、C表示水晶灰、K表示淺藍(lán)、T表示福特藍(lán)、S表示海洋藍(lán)表示6mm廣南白玻單片LOW-E玻璃的可見光透過率表示是否可鋼化,如有(T)有為可鋼,無為不可鋼例如:8SEA12-70(T)由SGT生產(chǎn)的A膜系以8mm深南白玻為基片的可鋼單銀LOW-E玻璃,當(dāng)以6mm白玻為基片時(shí)其鋼化后的可見光透過率為70%8SSN24F-50由SGT生產(chǎn)的N膜系以8mm信義F綠玻為基片的不可鋼遮陽(yáng)型LOW-E(單銀)玻璃,當(dāng)以6mm白玻為基片時(shí)其可見光透過率為50%第二十一頁(yè),共二十四頁(yè)。成熟產(chǎn)品介紹單銀Low-e系列:SSNI代、SSNII代、SSP、SEE雙銀Low-e系列SDT熱反射系列SSC、STNSSNI代與SSNII代在參數(shù)上沒有什么差別,主要是在顏色上有區(qū)別SSP稱為高性能玻璃,主要體現(xiàn)在相關(guān)參數(shù)上包括可見光反射率、SC和g值上,SSP較SSN系列均較小,40T和50T比較明顯SEE高透型,目前主要有SEE1-83T和SEE-86T,可見光透過率在76左右,SC在0.7左右U值在1.7左右,應(yīng)用在北方比較好SDT雙銀相對(duì)于單銀,有更低的SC和U值目前生產(chǎn)的Low-e還不能均質(zhì)化處理SSC和STN主要區(qū)別是在顏色上,參數(shù)差別不是很大,目前生產(chǎn)的熱反射玻璃均是可鋼的,熱反射玻璃可以均質(zhì)化處理,均質(zhì)化處理后玻璃顏色和參數(shù)會(huì)有微小變化,但是可以忽略不計(jì)第二十二頁(yè),共二十四頁(yè)。根據(jù)低輻射鍍膜玻璃的性能特點(diǎn)可分為:高透型Low-e玻璃(SC≥0.5,以采暖為主的北方適用,我們單位生產(chǎn)的SSN1/0-70T、SEE-83T/86T)相關(guān)特點(diǎn):具有較高的可見光透過率具有較高的太陽(yáng)能透過率,冬季太陽(yáng)熱輻射透過玻璃進(jìn)入室內(nèi)增加室內(nèi)的熱能具有極高的中遠(yuǎn)紅外反射率,優(yōu)良的隔熱性能,較低U值。遮陽(yáng)型Low-e玻璃(SC<0.5,以空調(diào)制冷的南方適用,本單位生產(chǎn)的其它Low-e均為遮陽(yáng)型)相關(guān)特點(diǎn):具有適宜的可見光透過率和較低的遮陽(yáng)系數(shù),
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