真空基礎(chǔ)知識(shí)課件

1.真空基礎(chǔ)知識(shí)2006-05-29

真空：低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài)。1643年，意大利物理學(xué)家托里拆利(E.Torricelli)首創(chuàng)著名的大氣壓實(shí)驗(yàn)，獲得真空。自然真空：氣壓隨海拔高度增加而減小，存在于宇宙空間。人為真空：用真空泵抽掉容器中的氣體。1.1真空基礎(chǔ)知識(shí)2真空量度單位1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=760mmHg=760(Torr)1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=1.013x105Pa1Torr=133.3Pa1mbar=100Pa1.1真空基礎(chǔ)知識(shí)3真空技術(shù)的應(yīng)用

電子技術(shù)、航空航天技術(shù)、加速器、表面物理、微電子、材料科學(xué)、醫(yī)學(xué)、化工、工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、日常生活等各個(gè)領(lǐng)域。1.1真空基礎(chǔ)知識(shí)51.2真空泵基本原理介紹1654年，德國(guó)物理學(xué)家葛利克發(fā)明了抽氣泵，做了著名的馬德堡半球試驗(yàn)。

原理：當(dāng)泵工作后，形成壓差，p1>p2，實(shí)現(xiàn)了抽氣。6真空泵的分類(lèi)氣體傳輸泵:是一種能將氣體不斷地吸入并排出泵外以達(dá)到抽氣目的的真空泵，例如旋片機(jī)械泵、羅茨泵、油擴(kuò)散泵、渦輪分子泵。氣體捕集泵:是一種使氣體分子短期或永久吸附、凝結(jié)在泵內(nèi)表面的真空泵，例如分子篩吸附泵、鈦升華泵、濺射離子泵、低溫泵和吸氣劑泵。1.2真空泵基本原理介紹7極限壓強(qiáng)(極限真空)最高工作壓強(qiáng)工作壓強(qiáng)范圍（）泵能正常工作的壓強(qiáng)范圍幾種常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍旋片機(jī)械泵蘿茨泵擴(kuò)散泵渦輪分子泵

濺射離子泵

低溫泵真空泵的主要參數(shù)1.2真空泵基本原理介紹氣體傳輸泵氣體捕獲泵9工作過(guò)程是：吸氣—壓縮—排氣。定子浸在油中起潤(rùn)滑，密封和堵塞縫隙的作用。主要參量是：抽速和極限壓強(qiáng)。由于極限壓強(qiáng)較高，常用做前級(jí)泵(預(yù)抽泵)。1.2真空泵基本原理介紹1.旋片機(jī)械泵幾種常用真空泵的工作原理10旋片式機(jī)械泵1.2真空泵基本原理介紹111.2真空泵基本原理介紹2.羅茨泵工作原理圖131.2真空泵基本原理介紹1大齒輪2軸承3密封圈4抽氣口5轉(zhuǎn)子6油密封圈7注油壺8連接器9馬達(dá)10驅(qū)動(dòng)軸11圓形離心潤(rùn)滑器12出氣口13導(dǎo)油管14起重機(jī)眼14羅茨泵極限壓力為5*10-3mbar，正常工作壓力范圍為5*10-2mbar，它的進(jìn)氣口壓力為10mbar。1.2真空泵基本原理介紹151.3真空保養(yǎng)1.真空檢漏沒(méi)有一種真空設(shè)備能夠完全密封，做不到也沒(méi)有必要完全密封；造成的漏點(diǎn)包括：焊接、法蘭、蓋板、工藝氣體管道等；只要達(dá)到而且能夠保持達(dá)到我們所需的真空工藝，就能滿(mǎn)足生產(chǎn)需要。171.3真空保養(yǎng)2.檢漏步驟開(kāi)機(jī)對(duì)各接頭法郎快速粗噴He氣；找到最大漏處，用袋子加100%He氣，調(diào)節(jié)測(cè)量范圍，讀出漏率；對(duì)懷疑處逐點(diǎn)噴氣5~6秒，并隔離檢查注意:進(jìn)行檢漏前，必須先關(guān)閉所有的放氣閥等進(jìn)氣部件He氣:氦氣為無(wú)色無(wú)味，不可燃?xì)怏w，空氣中的含量約為百萬(wàn)分之5.2.181.3真空保養(yǎng)3.泵浦保養(yǎng)真空油根據(jù)實(shí)際情況定期更換排氣過(guò)濾器檢查更換轉(zhuǎn)子葉片檢查并更換油水熱交換器系統(tǒng)檢查氣震過(guò)濾器檢查或更換進(jìn)氣過(guò)濾器檢查或更換排氣葉片等“8”字型轉(zhuǎn)