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YS/T 1123-2016鉑蒸發(fā)料_第1頁
YS/T 1123-2016鉑蒸發(fā)料_第2頁
YS/T 1123-2016鉑蒸發(fā)料_第3頁
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文檔簡介

ICS77.150.99

H68

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YST1123—2016

鉑蒸發(fā)料

Evaporatedplatinummaterial

2016-07-11發(fā)布2017-01-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YST1123—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位有研億金新材料有限公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人張巧霞張濤王興權(quán)向磊萬小勇賀昕張玉利王越王永輝賈存鋒

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YST1123—2016

鉑蒸發(fā)料

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鉑蒸發(fā)料的要求試驗方法檢驗規(guī)則標(biāo)志包裝運輸貯存質(zhì)量證明書及訂貨單

、、、、、、、

或合同內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)用的鉑蒸發(fā)料

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

海綿鉑

GB/T1419—2004

計數(shù)抽樣檢驗程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

GB/T15077—2008

3要求

3.1產(chǎn)品分類

3.1.1產(chǎn)品按照化學(xué)成分分為兩個牌號

IC-Pt99.95、IC-Pt99.99。

3.1.2產(chǎn)品主要分為片狀柱狀如圖所示產(chǎn)品形狀定義及供貨狀態(tài)應(yīng)符合表的要求需方有

、,1。、1,

其他要求時由供需雙方協(xié)商解決

。

說明

:

A長度L長度

———;———;

B寬度D直徑

———;———。

C厚度

———;

圖1鉑蒸發(fā)料示意圖

表1鉑蒸發(fā)料分類

形狀定義供貨狀態(tài)

片狀厚度為長度為寬度為的片材

0.5mm~5mm,5mm~20mm,5mm~20mm加工態(tài)

柱狀直徑為

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