YS/T 35-2012高純銻化學(xué)分析方法鎂、鋅、鎳、銅、銀、鎘、鐵、硫、砷、金、錳、鉛、鉍、硅、硒含量的測(cè)定高質(zhì)量分辨率輝光放電質(zhì)譜法

ICS7704030

H13..

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T35—2012

代替

YS/T35.1~35.4—1992

高純銻化學(xué)分析方法

鎂鋅鎳銅銀鎘鐵硫砷金

、、、、、、、、、、

錳鉛鉍硅硒含量的測(cè)定

、、、、

高質(zhì)量分辨率輝光放電質(zhì)譜法

Methodforchemicalanalysisofhighpurityantimony—Determinationof

manesiumzincnickelcoersilvercadiumironsulfurarsenic

g,,,pp,,,,,,

oldmananeseleadbismuthsiliconselenium—Hih-mass

g,g,,,,g

resolutionglowdischargemassspectrometry

2012-12-28發(fā)布2013-06-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T35—2012

前言

本標(biāo)準(zhǔn)是按照給出的規(guī)則起草的

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)代替高純銻化學(xué)分析方法

YS/T35.1~35.4—1992《》。

本標(biāo)準(zhǔn)與相比主要變化如下

YS/T35.1~35.4—1992:

對(duì)原標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了整合修訂合四為一采用高質(zhì)量分辨率輝光放電質(zhì)譜儀測(cè)定高純銻的化學(xué)

———,,

成分

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位峨嵋半導(dǎo)體材料廠

:。

本標(biāo)準(zhǔn)參與起草單位北京有色金屬研究總院蘭州金川新材料科技股份有限公司

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人程高明李繼東孫平秦芳林楊衛(wèi)東丁國(guó)江廖敏丁翠邱平

:、、、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———YS/T35.1~35.4—1992。

Ⅰ

YS/T35—2012

高純銻化學(xué)分析方法

鎂鋅鎳銅銀鎘鐵硫砷金

、、、、、、、、、、

錳鉛鉍硅硒含量的測(cè)定

、、、、

高質(zhì)量分辨率輝光放電質(zhì)譜法

1范圍

本方法規(guī)定了純度w高純銻中鎂鋅鎳銅銀鎘鐵硫砷金錳鉛鉍硅

(Sb)≥99.999%、、、、、、、、、、、、、、

硒含量的測(cè)定方法

。

本方法適用于純度w高純銻中鎂鋅鎳銅銀鎘鐵硫砷金錳鉛鉍硅

(Sb)≥99.999%、、、、、、、、、、、、、、

硒含量的測(cè)定各元素測(cè)定范圍為-7-4w

。1.0×10%~1.5×10%(%)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

金屬礦石及相關(guān)材料中涉及分析化學(xué)的相關(guān)術(shù)語(yǔ)

ASTME135、

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的以及下列術(shù)語(yǔ)適用于本文件

ASTME135。

31

.

高質(zhì)量分辨率high-massresolution

大于的質(zhì)量分辨率

3500。

4方法提要

41方法原理

.

將一個(gè)試樣安裝到等離子體放電室并對(duì)樣品進(jìn)行濺射從試樣表面飛濺出來(lái)的原子被離子化聚

,。,

焦為離子束通過(guò)雙聚焦扇形磁場(chǎng)質(zhì)量分析儀此時(shí)質(zhì)譜離子流按磁場(chǎng)或加速電壓或二者進(jìn)行掃

。,()()

描收集

。

42結(jié)果分析

.

421質(zhì)量Mi的同位素的離子流是測(cè)量的總離子流減去來(lái)自所有其他干擾源的貢獻(xiàn)部分一部分

..。

所測(cè)量離子流可能僅源自離子檢測(cè)器檢測(cè)器噪聲另一部分可能源自與所測(cè)雜質(zhì)元素質(zhì)量分辨不完

()。

全且質(zhì)量接近但不等于Mi的干擾元素或分子的離子信號(hào)在所有這些情況下必須對(duì)干擾貢獻(xiàn)部分

。,

進(jìn)行評(píng)價(jià)并應(yīng)從所測(cè)量的信號(hào)中扣除

,。

422如果在Mi處所測(cè)量的離子流中無(wú)法明確干擾部分