標(biāo)準(zhǔn)解讀

《YS/T 718-2009 平面磁控濺射靶材 光學(xué)薄膜用鈮靶》是中國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)之一，該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了用于光學(xué)薄膜制備過(guò)程中作為平面磁控濺射源的鈮靶的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存等內(nèi)容。

根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，鈮靶按照純度分為Nb-0級(jí)（純度≥99.95%）與Nb-1級(jí)（純度≥99.9%），并明確了不同級(jí)別鈮靶的具體化學(xué)成分要求。此外，還對(duì)鈮靶的外觀質(zhì)量提出了具體要求，如表面應(yīng)光滑無(wú)裂紋、氣孔等缺陷；尺寸偏差也有明確規(guī)定，包括直徑、厚度及平面度等參數(shù)需符合特定范圍內(nèi)的限制值。

在物理性能方面，該標(biāo)準(zhǔn)對(duì)密度、電阻率等關(guān)鍵指標(biāo)設(shè)定了相應(yīng)的限值，并給出了測(cè)試這些性能的方法。同時(shí)，對(duì)于如何進(jìn)行取樣、檢測(cè)樣品準(zhǔn)備以及具體的分析測(cè)試步驟也做了詳細(xì)的描述，確保了測(cè)試結(jié)果的一致性和可靠性。

關(guān)于驗(yàn)收規(guī)則，《YS/T 718-2009》規(guī)定了每批產(chǎn)品出廠前必須經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢查，只有當(dāng)所有項(xiàng)目均達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求時(shí)才能被認(rèn)定為合格品。如果初次檢驗(yàn)不合格，則允許從同一批次中抽取雙倍數(shù)量的樣品進(jìn)行復(fù)檢，最終判定依據(jù)以復(fù)檢結(jié)果為準(zhǔn)。

最后，在包裝、標(biāo)識(shí)、運(yùn)輸和儲(chǔ)存方面，本標(biāo)準(zhǔn)提供了指導(dǎo)原則，旨在保證鈮靶在整個(gè)供應(yīng)鏈過(guò)程中的安全性和完整性。例如，推薦使用防潮、防震材料進(jìn)行包裝，并清晰地標(biāo)明產(chǎn)品的相關(guān)信息如規(guī)格型號(hào)、生產(chǎn)日期等；運(yùn)輸時(shí)應(yīng)注意避免劇烈碰撞；存放條件則建議保持干燥通風(fēng)環(huán)境，遠(yuǎn)離腐蝕性物質(zhì)。


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文檔簡(jiǎn)介

犐犆犛７７．１５０．９９

犎６３

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

犢犛／犜７１８—２００９

平面磁控濺射靶材

光學(xué)薄膜用鈮靶

犉犾犪狋犿犪犵狀犲狋犻狀犵狊狆狌狋狋犲狉犻狀犵狋犪狉犵犲狋—

犖犻狅犫犻狌犿狋犪狉犵犲狋犳狅狉狅狆狋犻犮犪犾犮狅犪狋犻狀犵

２００９１２０４發(fā)布２０１００６０１實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

書

犢犛／犜７１８—２００９

前言

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：利達(dá)光電股份有限公司。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：李智超、楊太禮、付勇、段玉玲、張向東、趙倫。

Ⅰ

書

犢犛／犜７１８—２００９

平面磁控濺射靶材

光學(xué)薄膜用鈮靶

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了平面磁控濺射光學(xué)薄膜用鈮靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存

及訂貨單（或合同）內(nèi)容。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于平面磁控濺射光學(xué)薄膜用鈮靶材。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ／Ｔ２０４０銅及銅合金板材

ＧＢ／Ｔ３６３０鈮板材、帶材和箔材

ＧＢ／Ｔ５１２１（所有部分）銅及銅合金化學(xué)分析方法

ＧＢ／Ｔ５２３１加工銅及銅合金化學(xué)成分和產(chǎn)品形狀

ＧＢ／Ｔ６３９４金屬平均晶粒度測(cè)定方法

ＧＢ／Ｔ１５０７６（所有部分）鉭鈮化學(xué)分析方法

３術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

搭接率犅?tīng)餇顮錉闋顮鐮袪鍫驙銧鍫顮魻釥鐮?/p>

鈮板與背板之間的實(shí)際接合面積占應(yīng)接合面積的百分比。

４要求

４．１材質(zhì)

背板（銅板）和鈮板。

４．２化學(xué)成分

鈮板的牌號(hào)及其化學(xué)成分應(yīng)符合ＧＢ／Ｔ３６３０的規(guī)定；銅板的牌號(hào)及其化學(xué)成分應(yīng)符合ＧＢ／Ｔ５２３１

的規(guī)定。

４．３靶材的尺寸及允許偏差

靶材的尺寸及允許偏差由供需雙方協(xié)商。

４．４表面狀況

靶材表面粗糙度及平面度由供需雙方協(xié)商。

４．５外觀質(zhì)量

鈮板和

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