YS/T 791-2012鉑靶

ICS7712099

H68..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T791—2012

鉑靶

Platinumtarget

2012-11-07發(fā)布2013-03-01實(shí)施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T791—2012

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)由有研億金新材料股份有限公司負(fù)責(zé)起草

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人王永輝朱曉光楊永剛楊華程軼歐雷繼鋒熊曉東江軒

:、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T791—2012

鉑靶

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鉑靶的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存及合同或訂貨單

、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體器件用的各類鉑濺射靶材以下簡稱鉑靶其他用途的鉑靶材也可參照使用

(),。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范幾何公差形狀方向位置和跳動公差標(biāo)注

GB/T1182(GPS)、、

海綿鉑

GB/T1419—2004

貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

GB/T15077—2008

3要求

31產(chǎn)品分類

.

鉑靶按照純度分為兩個(gè)牌號外形主要為圓形和矩形

IC-Pt99.95、IC-Pt99.99。。

32化學(xué)成分

.

鉑靶的化學(xué)成分應(yīng)符合中的及的規(guī)定未規(guī)定元素和揮發(fā)物

GB/T1419—2004Pt99.95Pt99.99,

控制限及分析方法的由供需雙方協(xié)商確定

,。

33外觀質(zhì)量

.

331鉑靶表面應(yīng)平整無劃傷裂紋凸起等缺陷無顆粒附加物和其他沾污應(yīng)清潔光滑無指痕無

..,、、;;,,

油污和銹蝕

。

332鉑靶表面粗糙度Ra值應(yīng)不大于

..1.6μm。

34幾何尺寸與允許偏差

.

341圓形鉑靶的直徑?主要有厚度通常為

..25mm~300mm,1mm~10mm。

342矩形鉑靶的尺寸主要有長度寬度厚度通常為

..:20mm~300mm,20mm~300mm,1mm~

倒角半徑R通常為

10mm,0.5mm~3mm。

343圓形和矩形鉑靶的尺寸及其允許偏差應(yīng)符合表的規(guī)定經(jīng)雙方協(xié)商可提供其他規(guī)格及允許

..1。,

偏差的鉑靶

。

344鉑靶的幾何公差平行度垂直度等若需方有特殊要求可按技術(shù)協(xié)議或