電子設(shè)備制造企業(yè)溫室氣體排放核算指南

附件3電子設(shè)備制造企業(yè)溫室氣體排放核算方法與報(bào)告指南（試行）編制說明一、編制的目的和意義根據(jù)“十二五”規(guī)劃《綱要》提出的“建立完善溫室氣體統(tǒng)計(jì)核算制度，逐步建立碳排放交易市場”和《“十二五”控制溫室氣（國發(fā)[201141號(hào)）提出的“加快構(gòu)建國家、地送溫室氣體排放和能源消費(fèi)數(shù)據(jù)制度”的要求，為保證實(shí)現(xiàn)20202005年下降40-45%的目標(biāo)，室氣體排放情況，制定相關(guān)政策提供支撐。二、編制過程本指南由國家發(fā)展改革委委托北京中創(chuàng)碳投科技有限公司力支持。三、主要內(nèi)容《中國電子設(shè)備制造企業(yè)溫室氣體排放核算方法和報(bào)告指電子設(shè)備制造的具有法人資格的生產(chǎn)企業(yè)和視同法人的獨(dú)立核算單位。四、需要說明的問題本指南對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)工業(yè)生產(chǎn)過程排放計(jì)算涉及的參數(shù)推薦值的確定，主要參考了IPCC、WRI、臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)部工業(yè)局發(fā)布的數(shù)值。鑒于企業(yè)溫室氣體核算和報(bào)告是一項(xiàng)全新的復(fù)雜工作，本予以反饋，以便今后做出進(jìn)一步的修改。本指南由國家發(fā)展和改革委員會(huì)提出并負(fù)責(zé)解釋和修訂。目 錄一、適用范圍 1二、引用文件和參考文獻(xiàn) 1三、術(shù)語和定義 2四、核算邊界 4五、核算方法 6（一）化石燃料燃燒排放 7（二）工業(yè)生產(chǎn)過程排放 9（三）凈購入電力、熱力產(chǎn)生的排放 12六、質(zhì)量保證和文件存檔 13七、報(bào)告內(nèi)容和格式規(guī)范 14附錄一：報(bào)告格式模板 16附錄二：相關(guān)參數(shù)推薦值 23一、適用范圍本指南適用于我國電子設(shè)備制造企業(yè)溫室氣體排放量的核氣體排放。二、引用文件和參考文獻(xiàn)本指南引用的文件主要包括：《省級(jí)溫室氣體清單編制指南（試行《2006年IPCC本指南在編制過程中還參考和借鑒了下列文件：（臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)部工業(yè)局公布；《溫室氣體議定書——企業(yè)核算與報(bào)告標(biāo)準(zhǔn)（2004年修訂版《歐盟針對(duì)EUETS本指南采用下列術(shù)語和定義。溫室氣體大氣層中那些吸收和重新放出紅外輻射的自然和人為的氣態(tài)成分。本指南的溫室氣體是指《京都議定書》附件A所規(guī)定的七種溫室氣體，分別為二氧化碳（CO2）、甲烷（CH4）、氧化亞氮（N2O）、氫氟碳化物（HFCs）、全氟化碳（PFCs）、六氟化N2O、CH4以外的五種溫室氣體。電子設(shè)備制造企業(yè)電子設(shè)備制造企業(yè)指的是計(jì)算機(jī)通信和其他電子設(shè)備制造企業(yè)。報(bào)告主體具有溫室氣體排放行為并應(yīng)核算和報(bào)告排放量的法人企業(yè)或視同法人的獨(dú)立核算單位?；剂先紵欧呕剂吓c氧氣進(jìn)行充分燃燒產(chǎn)生的溫室氣體排放。工業(yè)生產(chǎn)過程排放原材料在工業(yè)生產(chǎn)過程中除化石燃料燃燒之外的由于物理的溫室氣體排放。凈購入的電力和熱力產(chǎn)生的CO2排放的電力或熱力生產(chǎn)環(huán)節(jié)產(chǎn)生的CO2排放?；顒?dòng)水平購入的蒸汽量等。排放因子示在給定操作條件下某一活動(dòng)水平的代表性排放率。碳氧化率燃料中的碳在燃燒過程中被氧化的百分比?？涛g刻蝕是按照掩模圖形或設(shè)計(jì)要求對(duì)半導(dǎo)體襯底表面或表面覆蓋薄膜進(jìn)行選擇性腐蝕或剝離的過程。（CVD）腔室清洗化學(xué)氣相淀積（CVD）指把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的過程。CVD腔室清洗是利用化學(xué)反應(yīng)清洗腔室內(nèi)殘余物質(zhì)的過程。（一）企業(yè)邊界食堂、車間浴室、保健站等）。造企業(yè)的工業(yè)生產(chǎn)過程排放主要來源于半導(dǎo)體生產(chǎn)中刻蝕與CVD腔室清洗工藝產(chǎn)生的排放。1。報(bào)告主體應(yīng)核算的排放源類別和氣體種類包括：化石燃料燃燒排放。指化石燃料在各種類型的固定或移燃燒生成的CO2排放；CVD腔室清洗過程中由于化學(xué)反應(yīng)或氣體泄漏等造成的溫室氣體排放。引發(fā)，此處依照規(guī)定也計(jì)入報(bào)告主體的排放總量中。其他溫室氣體排放。報(bào)告主體如果存在其他產(chǎn)品的生產(chǎn)在此不再贅述。報(bào)告主體進(jìn)行企業(yè)溫室氣體排放核算的完整工作流程主要包括：確定核算邊界；識(shí)別排放源；收集活動(dòng)水平數(shù)據(jù)；選擇和獲取排放因子數(shù)據(jù)；分別計(jì)算化石燃料燃燒排放量、工業(yè)生產(chǎn)過程排放量、企業(yè)凈購入的電力和熱力產(chǎn)生的排放量；匯總計(jì)算企業(yè)溫室氣體排放量。電子設(shè)備制造企業(yè)的溫室氣體排放總量應(yīng)等于邊界內(nèi)所有生產(chǎn)系統(tǒng)的化石燃料燃燒所產(chǎn)生的排放量、工業(yè)生產(chǎn)過程排放算：E＝EE E E

\*MERGEFORMAT(1)燃燒 過程 電力 熱力其中，E 企業(yè)溫室氣體排放總量，tCO2eE 企業(yè)邊界內(nèi)化石燃料燃燒產(chǎn)生的排放量，tCO2E 企業(yè)邊界內(nèi)工業(yè)生產(chǎn)過程各種溫室氣體的排放量，tCO2eE 企業(yè)凈購入的電力產(chǎn)生的排放量，tCO2E 企業(yè)凈購入的熱力產(chǎn)生的排放量，tCO2按照以下方法分別核算上述各類溫室氣體排放量。（一）化石燃料燃燒排放計(jì)算公式n化石燃料燃燒導(dǎo)致的二氧化碳排放量是企業(yè)核算和報(bào)告年度內(nèi)各化石燃料燃燒產(chǎn)生的二氧化碳排放量的加總，按公式計(jì)算。ni\*MREOM()i1其中，2E 企業(yè)邊界內(nèi)化石燃料燃燒產(chǎn)生的排放量，tCO2i 報(bào)告期內(nèi)第iGJi 第iC2/Ji 化石燃料種類活動(dòng)水平數(shù)據(jù)的獲取電子設(shè)備制造企業(yè)化石燃料燃燒的活動(dòng)水平是核算和報(bào)告年度內(nèi)各種燃料的消耗量與平均低位發(fā)熱量的乘積，按公式計(jì)算。i i i其中，iii

報(bào)告期內(nèi)第iGJi或液體燃料，單位為GJ/t；對(duì)氣體燃料，單位為i燃料，單位為t；對(duì)氣體燃料，單位為萬Nm3。i 化石燃料種類符合GB17167《用能單位能源計(jì)量器具配備和管理通則》要求。GB/T213《煤的發(fā)熱量測GB/T384GB/T22723《天然氣能量的測定》等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。排放因子數(shù)據(jù)的獲取電子設(shè)備制造企業(yè)消耗的化石燃料燃燒的排放因子由燃料的單位熱值含碳量和碳氧化率等參數(shù)計(jì)算得到，計(jì)算如公式所示：i i i 12其中，2第itCOGJ2iC i南附錄二所提供的推薦值i二所提供的推薦值i 化石燃料種類（一）工業(yè)生產(chǎn)過程排放CVD生產(chǎn)過程中生成的副產(chǎn)品（溫室氣體）的排放構(gòu)成。原料氣包括C2F6C3F8C4F6C5F8、CHF3、CH2F2、CH3F。副產(chǎn)品包括但不限于：CF4、C2F6、C3F8?？涛g工序與CVD腔室清洗工序產(chǎn)生的溫室氣體排放按公式(5)計(jì)算。其中，

EFC=EEFC,iEBP,i,j(5)i i,jC CD放,tCO2ei 第it2ej 第ijt2e原料氣的種類副產(chǎn)品的種類6)計(jì)算C,i1h)i1Ui)1aidi)i\*MREOM()其中，i 第it2e原料氣容器的氣體殘余比例,%i 報(bào)告期內(nèi)第iti 第ii 廢氣處理裝置對(duì)第ii 廢氣處理裝置對(duì)第ii 第i原料氣的種類7)計(jì)算FCiIBiPiIEiSi(7)其中，i 報(bào)告期內(nèi)第iti 第iti 第iti 報(bào)告期內(nèi)第iti 報(bào)告期內(nèi)第it刻蝕工序與CVD腔室清洗工序過程中產(chǎn)生的溫室氣體副產(chǎn)品按公式(8)計(jì)算。EBP,i,j(1h)Bi,jFCi(1ajdj)GWPj(8)其中，j 第ijt2e原料氣容器的氣體殘余比例,%j 第ijt產(chǎn)品/ti 報(bào)告期內(nèi)第itj 廢氣處理裝置對(duì)第jj 廢氣處理裝置對(duì)第jj 第j原料氣的種類副產(chǎn)品的種類轉(zhuǎn)化因子參考附表2.2。廢氣處理裝置對(duì)原料氣與副產(chǎn)品的收集2.2氣體的全球變暖潛勢采用IPCC（二）凈購入電力、熱力產(chǎn)生的排放計(jì)算公式10)計(jì)算。

電力

其中，E電力凈購入的電力產(chǎn)生的排放，tCO2E熱力凈購入的熱力產(chǎn)生的排放，tCO2企業(yè)的凈購入使用的電量，MWh熱力企業(yè)的凈購入使用的熱量，GJ電力區(qū)域電網(wǎng)年平均供電排放因子，tCO2/MWh熱力熱力供應(yīng)的排放因子，tCO2/GJ活動(dòng)水平數(shù)據(jù)獲取入電量數(shù)據(jù)。結(jié)算憑證上的數(shù)據(jù)。排放因子數(shù)據(jù)獲取區(qū)域電網(wǎng)年平均供電排放因子應(yīng)根據(jù)企業(yè)生產(chǎn)地址及目前0.11tCO2/GJ發(fā)布官方數(shù)據(jù)后應(yīng)采用官方發(fā)布數(shù)據(jù)并保持更新。六、質(zhì)量保證和文件存檔報(bào)告主體應(yīng)建立企業(yè)溫室氣體排放報(bào)告的質(zhì)量保證和文件存檔制度，包括以下內(nèi)容：人員負(fù)責(zé)企業(yè)溫室氣體排放核算和報(bào)告工作。建立健全的溫室氣體排放和能源消耗的臺(tái)賬記錄。備的碳氧化率、廢氣處理裝置的收集率以及去除率等參數(shù)。建立企業(yè)溫室氣體排放報(bào)告內(nèi)部審核制度。和有關(guān)的數(shù)據(jù)資料。七、報(bào)告內(nèi)容和格式規(guī)范報(bào)告主體應(yīng)按照本指南附錄一的格式對(duì)以下內(nèi)容進(jìn)行報(bào)告：（一）報(bào)告主體基本信息人信息等。（二）溫室氣體排放量排放量。（三）活動(dòng)水平及其來源報(bào)告主體應(yīng)報(bào)告企業(yè)在報(bào)告年度內(nèi)用于企業(yè)生產(chǎn)的各種燃據(jù)的來源（采用本指南的推薦值或?qū)崪y值。其活動(dòng)水平數(shù)據(jù)及來源。（四）排放因子及其來源報(bào)告主體應(yīng)報(bào)告企業(yè)在報(bào)告年度內(nèi)用于生產(chǎn)的各種燃料的料氣容器的氣體殘余比例、原料氣的利用率、原料氣產(chǎn)生副產(chǎn)品的轉(zhuǎn)化因子、廢氣處理裝置的收集效率與去除效率、報(bào)告主體生產(chǎn)地的區(qū)域電網(wǎng)年平均供電排放因子和熱力供應(yīng)的排放因子等放因子數(shù)據(jù)及來源。附錄一：報(bào)告格式模板中國電子設(shè)備企業(yè)溫室氣體排放報(bào)告（蓋章）：報(bào)告年度：編制日期：年月日氣體排放核算方法與報(bào)告指南（試行）》，本報(bào)告主體核算了年度下：一、企業(yè)基本情況二、溫室氣體排放三、活動(dòng)水平數(shù)據(jù)及來源說明四、排放因子數(shù)據(jù)及來源說明業(yè)將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。法人代表(簽字):年月日附表1報(bào)告主體溫室氣體排放量匯總表附表2報(bào)告主體活動(dòng)水平相關(guān)數(shù)據(jù)一覽表附表3報(bào)告主體排放因子相關(guān)數(shù)據(jù)一覽表附表1.1報(bào)告主體20年溫室氣體排放量匯總表t）CO2當(dāng)量（單位：tCO2e）化石燃料燃燒CO2排放工業(yè)生產(chǎn)過程CO2排放工業(yè)生產(chǎn)過程HFCs*工業(yè)生產(chǎn)過程PFCs*工業(yè)生產(chǎn)過程N(yùn)F3排放工業(yè)生產(chǎn)過程SF6排放凈購入的電力和熱力產(chǎn)生的CO2排放企業(yè)溫室氣體排放總量（tCO2e）HFCs和PFCs種類分別報(bào)告其排放量，多于一種HFCs和PFCs時(shí)自行加行報(bào)告。1.2報(bào)告主體排放活動(dòng)水平數(shù)據(jù)Nm3）*無煙煤煙煤褐煤洗精煤其它洗煤型煤石油焦其他煤制品焦炭原油燃料油汽油柴油一般煤油煉廠干氣液化天然氣液化石油氣石腦油航空汽油航空煤油其它石油制品天然氣焦?fàn)t煤氣高爐煤氣轉(zhuǎn)爐煤氣其它煤氣**數(shù)值單位消耗量t消耗量t消耗量t消耗量t消耗量t消耗量t消耗量tt消耗量t消耗量t消耗量tt力電力凈購入量MWh熱力凈購入量GJ*報(bào)告主體應(yīng)自行添加未在表中列出但企業(yè)實(shí)際消耗的其他能源品種；報(bào)告。如果有其他含氟氣體消耗，請自行添加其消耗量。附表1.3報(bào)告主體排放因子和計(jì)算系數(shù)（tC/GJ）（%）*無煙煤煙煤褐煤洗精煤其它洗煤型煤石油焦其他煤制品焦炭原油燃料油汽油柴油一般煤油煉廠干氣液化天然氣液化石油氣石腦油航空汽油航空煤油其它石油制品天然氣焦?fàn)t煤氣高爐煤氣轉(zhuǎn)爐煤氣其它煤氣放**數(shù)值單位%%%%%%利用率%%%%利用率%%NF3產(chǎn)生CF4的轉(zhuǎn)化因子%C2F6產(chǎn)生CF4的轉(zhuǎn)化因子%C3F8產(chǎn)生CF4的轉(zhuǎn)化因子%c-C4F8產(chǎn)生CF4的轉(zhuǎn)化因子%CHF3產(chǎn)生CF4的轉(zhuǎn)化因子%CH2F2產(chǎn)生CF4的轉(zhuǎn)化因子%C4F6產(chǎn)生C2F6的轉(zhuǎn)化因子%c-C4F8產(chǎn)生C2F6的轉(zhuǎn)化因子%C5F8產(chǎn)生C2F6的轉(zhuǎn)化因子%c-C4F8OC3F8的轉(zhuǎn)化因子%廢氣處理裝置對(duì)NF3的收集率%廢氣處理裝置對(duì)SF6的收集率%廢氣處理裝置對(duì)CF4的收集率%廢氣處理裝置對(duì)C2F6的收集率%廢氣處理裝置對(duì)C3F8的收集率%廢氣處理裝置對(duì)C4F6的收集率%廢氣處理裝置對(duì)c-C4F8的收集率%廢氣處理裝置對(duì)c-C4F8O%廢氣處理裝置對(duì)C5F8的收集率%廢氣處理裝置對(duì)CHF3的收集率%廢氣處理裝置對(duì)CH2F%廢氣處理裝置對(duì)CH3F%廢氣處理裝置對(duì)NF3的去除率%廢氣處理裝置對(duì)SF6的去除率%廢氣處理裝置對(duì)CF4的去除率%廢氣處理裝置對(duì)C2F6的去除率%廢氣處理裝置對(duì)C3F8的去除率%廢氣處理裝置對(duì)C4F6的去除率%廢氣處理裝置對(duì)c-C4F8的去除率%廢氣處理裝置對(duì)c-C4F8O%廢氣處理裝置對(duì)C5F8的去除率%廢氣處理裝置對(duì)CHF3的去除率%廢氣處理裝置對(duì)CH2F%廢氣處理裝置對(duì)CH3F%熱力電力tCO2/MWh熱力tCO2/GJ*報(bào)告主體應(yīng)自行添加未在表中列出但企業(yè)實(shí)際消耗的其他能源品種；涵蓋的溫室氣體排放環(huán)節(jié)，應(yīng)自行加行報(bào)告。附錄二：相關(guān)參數(shù)推薦值附表2.1JG143）量(tC/GJ)料無煙煤t26.7c27.4b×10-394%煙煤t19.570db×10-393%褐煤tc96%洗精煤t26.334a25.41b×10-390%其它洗煤ta25.41b×10-390%型煤tdb×10-390%石油焦tcb×10-398%其他煤制品td90%焦炭tab×1