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沈陽芯源微電子設備企業(yè)標Q/KSMJ01.13.01—TRACK2016-06-01發(fā) 2016-06-10實沈陽芯源微電子設備發(fā)TRACK產(chǎn)品的單元序號排序范命名規(guī)表1常用單元名序L／M／S型設C／F／SF／CF型設單元名英文縮單元名英文縮123456789OVEN序L／M／S型設C／F／SF／CF型設單元名英文縮單元名英文縮按序進行排序，再向右按從前向后的方向接著排序，以數(shù)字按序進行排序，見圖1；圖1按從左向右，從前向后的方圖圖圖時

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