我國(guó)三氯化硼行業(yè)主要生產(chǎn)廠商及其產(chǎn)能、產(chǎn)品等級(jí)、生產(chǎn)工藝分析_第1頁(yè)
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我國(guó)三氯化硼行業(yè)主要生產(chǎn)廠商及其產(chǎn)能、產(chǎn)品等級(jí)、生產(chǎn)工藝分析

高純?nèi)然鹬饕糜贗C制造工藝中技術(shù)要求很高、對(duì)電路成品率影響很大的化學(xué)氣相淀積（CVD）成膜過程和等離子干法刻蝕過程，會(huì)對(duì)IC產(chǎn)品的品質(zhì)帶來很關(guān)鍵的作用，并且不能使用其他電子氣體進(jìn)行取代。它的雜質(zhì)含量和純度直接影響IC、電子元器件的質(zhì)量、性能、技術(shù)指標(biāo)和成品率。為保證IC產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性，對(duì)工藝配套原料氣提出很高的要求，要求三氯化硼純度必須在99.999%（5N）以上。2016

年以前我國(guó)尚不具備5N

以上高純?nèi)然饸怏w的生產(chǎn)能力，完全依靠從美、英、日等國(guó)的幾家大公司進(jìn)口。進(jìn)口產(chǎn)品不但價(jià)格昂貴、訂購(gòu)周期長(zhǎng)，而且由于涉及敏感用途受到一定的限制和制約。因此，迫切需要通過國(guó)內(nèi)自主創(chuàng)新，研制開發(fā)5N以上的高純?nèi)然?，并形成批量穩(wěn)定供應(yīng)能力，滿足電子元器件老品和在研新品的使用要求，從根本上解決關(guān)鍵配套材料高純?nèi)然鹨蕾囘M(jìn)口、受制于人的被動(dòng)局面。國(guó)際上只有美國(guó)空氣產(chǎn)品公司、美國(guó)普萊克斯公司、英國(guó)BOC公司等幾大國(guó)外氣體公司有能力生產(chǎn)和供應(yīng)純度5N以上的高純?nèi)然饸怏w。截止2018

年底我國(guó)開展三氯化硼提純生產(chǎn)的單位至少有3

家，同時(shí)還有許多公司處在項(xiàng)目研發(fā)論證中，由于三氯化硼粗品合成技術(shù)成熟，且在合成中使用了劇毒化學(xué)品氯氣，因此電子級(jí)三氯化硼廠商大都采用外購(gòu)粗產(chǎn)品提純的路線，廠商本身不合成三氯化硼。2019年新三板掛牌公司深冷能源和湖北荊州太和氣體分別上馬了200噸和150

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