半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)與管理實(shí)踐

半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)與管理實(shí)踐黃展云;陳暉;謝德英;陳弟虎【摘要】以建設(shè)一條〃硅工藝教學(xué)生產(chǎn)線”為目標(biāo)，中山大學(xué)建立了半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)室.詳細(xì)介紹了實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)現(xiàn)狀，包括分區(qū)設(shè)置和儀器配備，結(jié)合微電子專業(yè)特點(diǎn),開(kāi)設(shè)了有關(guān)課程.從三方面詳細(xì)闡述了該實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)和管理實(shí)踐，分別是:建設(shè)規(guī)范化實(shí)驗(yàn)室、建設(shè)安全實(shí)驗(yàn)室和建設(shè)綠色實(shí)驗(yàn)室，有利于實(shí)驗(yàn)教學(xué)工作順利、有效和安全地進(jìn)行.最后，提出三個(gè)需要解決的問(wèn)題，包括師資隊(duì)伍的建設(shè)、實(shí)驗(yàn)室建設(shè)工作計(jì)劃的完善和開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室制度的建立.該實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)，完善了微電子專業(yè)的實(shí)驗(yàn)教學(xué)，有利于提高學(xué)生的實(shí)踐能力和創(chuàng)新能力.【期刊名稱】《實(shí)驗(yàn)室科學(xué)》【年(卷)，期】2016(019)006【總頁(yè)數(shù)】4頁(yè)(P205-208)【關(guān)鍵詞】工藝實(shí)驗(yàn)室;規(guī)范化;安全管理;綠色實(shí)驗(yàn)室【作者】黃展云;陳暉;謝德英;陳弟虎【作者單位】中山大學(xué)電子與信息工程學(xué)院廣東廣州510275;中山大學(xué)電子與信息工程學(xué)院廣東廣州510275;中山大學(xué)電子與信息工程學(xué)院廣東廣州|510275;中山大學(xué)電子與信息工程學(xué)院，廣東廣州I510275【正文語(yǔ)種】中文【中圖分類(lèi)】G482以集成電路為核心的微電子產(chǎn)業(yè)是信息化帶動(dòng)工業(yè)化、加快傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級(jí)的關(guān)鍵技術(shù)和信息社會(huì)發(fā)展的基石，也是世界高科技競(jìng)爭(zhēng)的制高點(diǎn)之一，在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中占據(jù)著重要的地位［1］。其中集成電路產(chǎn)業(yè)是全球高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的前沿與核心，是最具活力和挑戰(zhàn)性的戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)。自2000年以來(lái)，在國(guó)家政策的大力支持下，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)得到了高速的發(fā)展［2］。伴隨著產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展的步伐，為了迎合產(chǎn)業(yè)的需求，需要大量的應(yīng)用型專業(yè)人才［3-4］。集成電路就是把一定數(shù)量的常用電子元件，如電阻、電容、晶體管等，以及這些元件之間的連線，通過(guò)半導(dǎo)體工藝集成在一起的具有特定功能的電路。這些電子元件的制作過(guò)程，需要昂貴的設(shè)備和苛刻的實(shí)驗(yàn)環(huán)境條件，運(yùn)轉(zhuǎn)和維護(hù)的費(fèi)用很大，國(guó)內(nèi)也僅有幾所高校擁有可供教學(xué)的集成電路工藝線。對(duì)于半導(dǎo)體工藝的實(shí)驗(yàn)教學(xué)這一環(huán)節(jié)，很多時(shí)候都是依靠參觀集成電路的生產(chǎn)車(chē)間，不能參與操作，這對(duì)于深化學(xué)生對(duì)集成電路有關(guān)理論課程，以及提高學(xué)生的動(dòng)手能力、創(chuàng)新能力和團(tuán)隊(duì)合作精神上，是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的［5］。中山大學(xué)作為〃國(guó)家集成電路人才培養(yǎng)基地”之一，在微電子人才培養(yǎng)方面肩負(fù)著重要的使命［6］。因此，中山大學(xué)建設(shè)了半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)室，在半導(dǎo)體工藝的實(shí)驗(yàn)教學(xué)方面進(jìn)行實(shí)踐。整個(gè)半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)過(guò)程，采取與企業(yè)實(shí)際生產(chǎn)相近的流水線，學(xué)生分組完成從硅片到半導(dǎo)體器件的一系列工藝，這有助于培養(yǎng)學(xué)生學(xué)以致用、團(tuán)隊(duì)協(xié)作和臨場(chǎng)應(yīng)對(duì)的能力，加深了對(duì)現(xiàn)有工藝的了解，使得學(xué)生畢業(yè)后可以盡快融入企業(yè)，滿足企業(yè)對(duì)人才的需求。半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)室是中山大學(xué)新建的一個(gè)專業(yè)實(shí)驗(yàn)室，隸屬學(xué)校國(guó)家級(jí)物理實(shí)驗(yàn)教學(xué)中心，主要承擔(dān)物理科學(xué)與工程技術(shù)學(xué)院微電子專業(yè)本科生的實(shí)驗(yàn)教學(xué)工作，同時(shí)也對(duì)外開(kāi)放，為研究生提供科研平臺(tái)。目標(biāo)是建設(shè)一條〃硅工藝教學(xué)生產(chǎn)線”，并在集成電路工藝與平板顯示人才培養(yǎng)方面形成特色，達(dá)到微電子領(lǐng)域人才培養(yǎng)的國(guó)際化水平。借鑒國(guó)夕卜知名大學(xué)(StanfordUniversity)半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)教學(xué)的內(nèi)容和流程，結(jié)合物理科學(xué)與工程技術(shù)學(xué)院的實(shí)際情況和條件，確定如何建立工藝實(shí)驗(yàn)室和配置儀器設(shè)備。實(shí)驗(yàn)室分為五個(gè)區(qū)域：純水空調(diào)機(jī)房區(qū)、黃光區(qū)、濕法刻蝕區(qū)、氧化擴(kuò)散區(qū)和鍍膜區(qū)。由于工藝實(shí)驗(yàn)主要涉及微米尺度的器件和結(jié)構(gòu)的制作，對(duì)實(shí)驗(yàn)環(huán)境有特定的需要，具體包括兩方面：一是需要潔凈實(shí)驗(yàn)室，該實(shí)驗(yàn)室需要配備專門(mén)的隔離空間及回風(fēng)過(guò)濾系統(tǒng)，因此必須對(duì)實(shí)驗(yàn)場(chǎng)地進(jìn)行改造和裝修；二是需要為設(shè)備配置氣動(dòng)、工藝氣體、吹掃氣體等用途的供氣管道，保證教學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備的正常運(yùn)行。目前實(shí)驗(yàn)室已配備了實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)的相關(guān)儀器，包括：曝光機(jī)、凈化顯影機(jī)、加熱板、勻膠機(jī)、濕法刻蝕實(shí)驗(yàn)臺(tái)、超聲清洗機(jī)、三管擴(kuò)散爐及其凈化塔系統(tǒng)、電阻蒸發(fā)鍍膜機(jī)；器件外觀觀察和特性測(cè)試儀器包括半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀、薄膜分析儀、金相顯微鏡等。根據(jù)物理科學(xué)與工程技術(shù)學(xué)院的專業(yè)特點(diǎn)和培養(yǎng)方案，已在實(shí)驗(yàn)室開(kāi)設(shè)了〃集成電路制造工藝實(shí)驗(yàn)”課程。該課程是后端專業(yè)課，對(duì)象是高年級(jí)的本科生，是在學(xué)習(xí)〃半導(dǎo)體物理”、“現(xiàn)代半導(dǎo)體器件”和〃集成電路和微加工”理論課程之后而開(kāi)設(shè)的獨(dú)立實(shí)驗(yàn)課，是理論教學(xué)的深化和補(bǔ)充，具有很強(qiáng)的實(shí)踐性。實(shí)驗(yàn)室的課程開(kāi)設(shè)主要是針對(duì)本學(xué)院的微電子學(xué)專業(yè)的本科生，一次能容納30-40名學(xué)生同時(shí)進(jìn)行工藝、器件設(shè)計(jì)與制作的實(shí)驗(yàn)，滿足約200人的專業(yè)實(shí)驗(yàn)課的需要。同時(shí)可為高年級(jí)本科生和科學(xué)研究團(tuán)隊(duì)，在工藝、器件設(shè)計(jì)與制作方面開(kāi)展創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)和研究，提供支撐平臺(tái)。目前開(kāi)設(shè)的實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目包括工藝仿真實(shí)驗(yàn)、單項(xiàng)工藝實(shí)驗(yàn)、綜合設(shè)計(jì)制作實(shí)驗(yàn)和創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)。工藝仿真實(shí)驗(yàn)是利用TCAD(TechnologyComputerAidedDesign，半導(dǎo)體工藝仿真以及器件仿真工具)軟件進(jìn)行半導(dǎo)體工藝流程的模擬，讓學(xué)生對(duì)相關(guān)理論課程有了更深的理解，豐富了工藝實(shí)驗(yàn)教學(xué)內(nèi)容；單項(xiàng)工藝實(shí)驗(yàn)?zāi)依斯韫に嚨牧鶄€(gè)典型實(shí)驗(yàn)，如硅片清洗、熱氧化、光刻、濕法刻蝕、擴(kuò)散、金屬蒸鍍；綜合設(shè)計(jì)制作實(shí)驗(yàn)是單項(xiàng)實(shí)驗(yàn)的深化，包括半導(dǎo)體工藝流程綜合實(shí)驗(yàn)和晶圓器件測(cè)試，讓學(xué)生對(duì)半導(dǎo)體工藝的整個(gè)流程有了更全面、更深入的了解；創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)是為本科生開(kāi)放一些儀器設(shè)備，進(jìn)行創(chuàng)新性實(shí)驗(yàn)和課題研究，提高學(xué)生的科研能力和創(chuàng)新能力。實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)和管理模式直接關(guān)系到實(shí)驗(yàn)室的發(fā)展，以及實(shí)驗(yàn)教學(xué)工作能否順利、有效和安全地進(jìn)行。下面從三個(gè)方面進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)和管理實(shí)踐，目標(biāo)是把半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)室建設(shè)成規(guī)范化、安全、綠色實(shí)驗(yàn)室。3.1建設(shè)規(guī)范化實(shí)驗(yàn)室半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)室作為比較特殊的實(shí)驗(yàn)室，實(shí)驗(yàn)室的運(yùn)行必須在一個(gè)封閉、潔凈無(wú)污染的環(huán)境中進(jìn)行。實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備非常昂貴，實(shí)驗(yàn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生有毒有害的廢液、廢水和廢氣，在半導(dǎo)體制造和器件測(cè)試的過(guò)程中，也存在著廣泛的安全隱患，因此，對(duì)實(shí)驗(yàn)室必須進(jìn)行規(guī)范化管理，建立一系列規(guī)范、科學(xué)的管理規(guī)章制度［7］。首先建立健全實(shí)驗(yàn)室的安全建設(shè)與管理規(guī)章制度及儀器安全操作規(guī)程，把對(duì)學(xué)生、教師、實(shí)驗(yàn)室工作人員的要求，以書(shū)面的形式確定下來(lái)，規(guī)章制度及安全操作規(guī)程應(yīng)掛貼在墻上，如目前已建立的規(guī)章制度有《潔凈實(shí)驗(yàn)室守則》、《潔凈室安全衛(wèi)生工作管理?xiàng)l例》、《潔凈室消防安全守則》、《進(jìn)入離開(kāi)潔凈室注意事項(xiàng)》等。再就是形成了實(shí)驗(yàn)室日常工作管理檔案［8］，以文檔的方式記錄實(shí)驗(yàn)室日常的運(yùn)行情況，包括教學(xué)實(shí)驗(yàn)安排、值班記錄、耗材消耗和購(gòu)買(mǎi)情況、儀器維修記錄、安全和技能培訓(xùn)記錄、開(kāi)放實(shí)驗(yàn)安排等等，這些將成為實(shí)驗(yàn)室的歷史記錄，保障實(shí)驗(yàn)室和教學(xué)活動(dòng)的有序進(jìn)行。對(duì)于化學(xué)藥品的管理，特別著眼于危險(xiǎn)化學(xué)品待分類(lèi)和安全存放。在潔凈室內(nèi)要用到大量的化學(xué)溶液，如酸類(lèi)藥品（濃硫酸、濃鹽酸、濃硝酸、氫氟酸）、堿類(lèi)藥品（氫氧化鈉、TMAH、氨水）和有機(jī)藥品（顯影液、清洗液、剝離液、丙酮、乙醇、異丙醇），這里有不少是屬于危險(xiǎn)化學(xué)品，制定化學(xué)藥品使用安全守則，如《強(qiáng)酸使用注意事項(xiàng)》、《堿類(lèi)有機(jī)類(lèi)化學(xué)品注意事項(xiàng)》。實(shí)驗(yàn)室內(nèi)不存放大量危險(xiǎn)化學(xué)品，對(duì)于實(shí)驗(yàn)室已有的危險(xiǎn)化學(xué)品要做到三個(gè)〃必須”：必須加上標(biāo)識(shí)，標(biāo)識(shí)必須清晰，必須分類(lèi)存放，比如易揮發(fā)的藥品存放在有通風(fēng)設(shè)備的房間，強(qiáng)氧化劑不能跟強(qiáng)還原劑存放在同一藥品柜，易潮解的藥品必須存放在防潮柜里等。存放危險(xiǎn)化學(xué)藥品的柜子必須帶鎖，并由專人保管。使用前必須填寫(xiě)《中山大學(xué)危險(xiǎn)品日常使用登記表》，這樣也方便統(tǒng)計(jì)使用危險(xiǎn)品的數(shù)量。實(shí)驗(yàn)中使用化學(xué)試劑時(shí)，要先看清楚標(biāo)簽和注意事項(xiàng)，或者查閱相關(guān)的安全資料，查明是否對(duì)人體造成傷害，藥品使用完畢要放回原位。對(duì)于廢棄的化學(xué)藥品，分類(lèi)存放，加上清晰的標(biāo)簽及時(shí)送到學(xué)校設(shè)備處各充一處理。對(duì)于實(shí)驗(yàn)室的儀器設(shè)備必須重視日常使用、維護(hù)和管理工作。制定用戶手冊(cè)，規(guī)范儀器使用流程，儀器設(shè)備使用前，必須對(duì)學(xué)生進(jìn)行培訓(xùn)，講解儀器設(shè)備的原理、性能和操作方法，確保學(xué)生安全規(guī)范地使用儀器設(shè)備；制定《貴重儀器使用登記》手冊(cè)，每次使用前后都要對(duì)儀器的性能進(jìn)行觀察，方便判斷儀器在何時(shí)何種情況下出現(xiàn)故障；實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，要把儀器設(shè)備恢復(fù)到原始的狀態(tài)，把有關(guān)的實(shí)驗(yàn)用品整理好才能離開(kāi)，如有儀器設(shè)備損壞，須及時(shí)報(bào)告教師。3.2建設(shè)安全實(shí)驗(yàn)室半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)室放置著貴重的工藝制造和測(cè)試儀器設(shè)備，一旦發(fā)生實(shí)驗(yàn)室安全事故，將造成人員傷亡、儀器設(shè)備損毀、教學(xué)科研停滯，使師生員工的家庭以及社會(huì)、國(guó)家蒙受重大的損失，甚至還可能連帶發(fā)生其他刑事或民事的官司或賠償。因此強(qiáng)化實(shí)驗(yàn)室安全管理，才能保障教學(xué)科研的正常運(yùn)行，確保實(shí)驗(yàn)室人員和財(cái)產(chǎn)的安全。建立實(shí)驗(yàn)室安保系統(tǒng)，如實(shí)驗(yàn)室處于24小時(shí)安保監(jiān)控全覆蓋狀態(tài)；安裝煙感系統(tǒng);配備消防設(shè)施等。建立實(shí)驗(yàn)安全工作小組，統(tǒng)籌協(xié)調(diào)安排實(shí)驗(yàn)室安全建設(shè)、運(yùn)行和管理工作，設(shè)立實(shí)驗(yàn)室的安全責(zé)任人和安全管理人，負(fù)責(zé)本實(shí)驗(yàn)室的日常安全管理工作，檢查監(jiān)督實(shí)驗(yàn)室技術(shù)規(guī)范和操作規(guī)程的執(zhí)行情況，定期組織開(kāi)會(huì)［9］。制定安全事故應(yīng)急處置預(yù)案并掛貼在墻上，實(shí)驗(yàn)室危險(xiǎn)部位設(shè)置明顯的危險(xiǎn)標(biāo)識(shí)或安全警示標(biāo)志。定期對(duì)安全設(shè)施設(shè)備進(jìn)行檢查、維護(hù)和更新，確保完好有效，填寫(xiě)安全工作日志或記錄，如制定《半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)室安全檢查表》，定期對(duì)實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行安全檢查，發(fā)現(xiàn)問(wèn)題上報(bào)學(xué)院和整改。對(duì)于進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室工作和實(shí)驗(yàn)的師生，必須先經(jīng)過(guò)安全教育和安全操作規(guī)程培訓(xùn)，本科生進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室應(yīng)簽訂實(shí)驗(yàn)室安全責(zé)任書(shū)。開(kāi)展各種形式的安全教育和宣傳活動(dòng)，增強(qiáng)師生的實(shí)驗(yàn)室安全意識(shí)和自我保護(hù)能力，營(yíng)造良好的安全文化氛圍。使用化學(xué)藥品前，要先看清楚標(biāo)簽和注意事項(xiàng)，或者查閱相關(guān)的安全資料，查明是否對(duì)人體造成傷害，還要學(xué)習(xí)一些化學(xué)藥品傷害的急救方法。使用時(shí)，必須佩戴耐酸堿手套，對(duì)于強(qiáng)酸強(qiáng)堿，須要穿上防酸圍裙，并佩戴防護(hù)面罩。使用儀器前要先了解儀器的性能、配備和正確操作方法，零件及附件嚴(yán)禁拆卸，儀器的參數(shù)不能私自調(diào)整。使用過(guò)程中，必須嚴(yán)格執(zhí)行安全操作規(guī)程，按實(shí)驗(yàn)操作規(guī)范進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作。對(duì)于一些創(chuàng)新和危險(xiǎn)實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目需要進(jìn)行必要和充分的風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估。如曝光機(jī)使用時(shí)應(yīng)戴好防護(hù)眼鏡，以免紫外光灼傷眼睛；氧化擴(kuò)散爐運(yùn)行時(shí)，爐內(nèi)溫度可以達(dá)到1000°C，要注意熱防護(hù)，放置和取拿樣品時(shí)必須佩戴絕熱手套等等。3.3建設(shè)綠色實(shí)驗(yàn)室科技進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展不能以污染環(huán)境、破壞生態(tài)平衡為代價(jià)，科學(xué)研究和實(shí)驗(yàn)教學(xué)過(guò)程中也必須貫徹建設(shè)綠色實(shí)驗(yàn)室的思想［10］。首先要改變傳統(tǒng)的思維方式，要在實(shí)驗(yàn)室的整體運(yùn)作過(guò)程中體現(xiàn)出綠色實(shí)驗(yàn)思想?！熬G色實(shí)驗(yàn)”是指實(shí)驗(yàn)的微型化，節(jié)約化學(xué)試劑，在源頭上減輕污染；試劑的無(wú)毒無(wú)公害化；合理設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)方案，采取綠色化學(xué)實(shí)驗(yàn)新技術(shù)、新方法，減少污染物排放；另一方面從化學(xué)廢液、化學(xué)藥品回收處理措施入手，分類(lèi)回收、集中處理，降低處理難度，防止污染擴(kuò)散，認(rèn)真執(zhí)行有關(guān)有毒、有害化學(xué)廢液的管理，保障社會(huì)安全［11］。體現(xiàn)綠色實(shí)驗(yàn)思想要貫穿整個(gè)實(shí)驗(yàn)過(guò)程，包括實(shí)驗(yàn)準(zhǔn)備、實(shí)驗(yàn)過(guò)程和實(shí)驗(yàn)后，也包括節(jié)省資源、減少排放和廢物處理。實(shí)驗(yàn)前，儀器設(shè)備出現(xiàn)故障，可以帶來(lái)水電和化學(xué)藥品的浪費(fèi)，因此要對(duì)儀器設(shè)備進(jìn)行定期檢查，及時(shí)排除故障。若有條件，可以改善實(shí)驗(yàn)環(huán)境，升級(jí)儀器［12］。如使用顯影機(jī)代替手動(dòng)顯影，既可以提高實(shí)驗(yàn)效率，又可以節(jié)省溶液。少用對(duì)環(huán)境有污染的化學(xué)藥品，購(gòu)買(mǎi)有綠色標(biāo)記的化學(xué)藥品。在物理化學(xué)實(shí)驗(yàn)過(guò)程中，不可避免要產(chǎn)生一些有毒、有害的廢棄物,如不適當(dāng)處理就排放,明顯違反綠色實(shí)驗(yàn)室的原則。在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中，使用化學(xué)藥品要節(jié)約，采用新方法、新技術(shù)，合理設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)方案，減少污染物排放。在擴(kuò)散實(shí)驗(yàn)中，需要選擇擴(kuò)散源，相對(duì)于液態(tài)或氣態(tài)的擴(kuò)散源，固態(tài)擴(kuò)散源毒性較小，使用較安全，因此選擇固態(tài)擴(kuò)散源。在擴(kuò)散過(guò)程中還是會(huì)產(chǎn)生有毒的氣體，如三氧化二硼、三氧化二磷蒸汽，建立過(guò)濾塔系統(tǒng)，減少有毒蒸汽排放到空氣中。實(shí)驗(yàn)后，組織學(xué)生對(duì)一些廢棄物進(jìn)行集中放置，統(tǒng)一回收處理，既保護(hù)了環(huán)境，也增強(qiáng)了學(xué)生的綠色環(huán)保意識(shí)。對(duì)于實(shí)驗(yàn)室用到的氫氟酸溶液使用完畢后，應(yīng)把殘液倒入廢棄的氫氟酸桶內(nèi)，嚴(yán)禁直接倒入下水管道；酸堿性廢液必須稀釋后方可倒入酸堿腐蝕槽內(nèi)(除氫氟酸廢液外)，不可任意傾倒，更不可與有機(jī)溶液混合。濃硫酸廢液需稀釋后并等溶液完全冷卻方可倒入酸堿腐蝕槽內(nèi)。3.4需要解決的問(wèn)題加強(qiáng)師資隊(duì)伍建設(shè)。實(shí)驗(yàn)室人員是建設(shè)、使用和管理實(shí)驗(yàn)室的基本力量，實(shí)驗(yàn)室人員的政治水平、業(yè)務(wù)素質(zhì)及管理能力的高低，直接影響著實(shí)驗(yàn)室教學(xué)、科研和設(shè)備管理工作的質(zhì)量［13］。因此，一方面要提高實(shí)驗(yàn)室管理水平，另一方面要提高學(xué)科專業(yè)技術(shù)能力。如組織實(shí)驗(yàn)室人員參加有關(guān)實(shí)驗(yàn)室管理的研討會(huì)，通過(guò)交流，學(xué)習(xí)高效的實(shí)驗(yàn)室管理方法；參觀其他高校的實(shí)驗(yàn)室，了解實(shí)驗(yàn)室環(huán)境和儀器設(shè)備的合理配置；組織實(shí)驗(yàn)室人員參加培訓(xùn)，提高專業(yè)技能。制定實(shí)驗(yàn)室建設(shè)工作計(jì)劃，保障實(shí)驗(yàn)室的安全工作環(huán)境。包括建立健全實(shí)驗(yàn)教學(xué)管理制度、實(shí)驗(yàn)室規(guī)章制度的規(guī)范化建設(shè)、實(shí)驗(yàn)室安全和綠色管理等，從而確保實(shí)驗(yàn)教學(xué)活動(dòng)有序進(jìn)行，充分發(fā)揮實(shí)驗(yàn)儀器的教學(xué)效益，提高實(shí)驗(yàn)教學(xué)質(zhì)量。建立和完善開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室制度。學(xué)生完成基礎(chǔ)教學(xué)實(shí)驗(yàn)后，可以自行進(jìn)行設(shè)計(jì)性、綜合性、研究性實(shí)驗(yàn)，發(fā)掘?qū)嶒?yàn)室現(xiàn)有儀器設(shè)備與相關(guān)科研項(xiàng)目的聯(lián)系。如結(jié)合光電科學(xué)和材料學(xué)等研究領(lǐng)域，開(kāi)設(shè)創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)。從而達(dá)到培養(yǎng)學(xué)生科研能力、分析問(wèn)題和解決問(wèn)題的能力、團(tuán)隊(duì)合作精神，提高學(xué)生的創(chuàng)新能力。然而開(kāi)放式教學(xué)也給實(shí)驗(yàn)室管理和教師工作帶來(lái)了一定的困難［14］，如實(shí)驗(yàn)室的開(kāi)放時(shí)間安排，藥品和儀器的管理，參與人員的工作安排等，可以參考國(guó)夕卜開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室的管理模式［15］，建立一系列的開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室制度，才能保障開(kāi)放實(shí)驗(yàn)順利進(jìn)行。實(shí)驗(yàn)室是實(shí)踐實(shí)驗(yàn)教學(xué)的基地，實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)和管理工作千絲萬(wàn)縷，任務(wù)也十分繁重。隨著中山大學(xué)微電子專業(yè)教學(xué)改革開(kāi)展和逐步深入，建成了半導(dǎo)體工藝實(shí)驗(yàn)室，開(kāi)始了管理實(shí)踐。需要吸取國(guó)內(nèi)夕卜實(shí)驗(yàn)室管理的寶貴經(jīng)驗(yàn)，設(shè)定目標(biāo)，不斷加強(qiáng)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)和提升實(shí)驗(yàn)室管理水平，以與時(shí)俱進(jìn)的觀念來(lái)實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)和管理的新突破，更好地為實(shí)驗(yàn)教學(xué)服務(wù)，培養(yǎng)出適應(yīng)行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)的創(chuàng)新人才?！鞠嚓P(guān)文獻(xiàn)】［1］陳偉元，吳清鑫，吳塵，等.高職微電子技術(shù)專業(yè)實(shí)驗(yàn)室的構(gòu)建［J］.實(shí)驗(yàn)室研究與探索，2012,31(7):227-229.［2］廖榮，劉玉榮.微電子工藝實(shí)習(xí)教學(xué)改革探索［J］.實(shí)驗(yàn)室研究與探索，2010,29(8):274-276.［3］楊虹.面向21世紀(jì)的微電子技術(shù)人才的培養(yǎng)［J］.重慶郵電學(xué)院學(xué)報(bào)，2003(增刊):51-52.［4］易紅.高校實(shí)驗(yàn)教學(xué)與創(chuàng)新人才培養(yǎng)［J］.實(shí)驗(yàn)室研究與探索