GB 51136-2015 高清晰版 薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計(jì)規(guī)范

專用

人人文庫(kù)

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計(jì)規(guī)范

Ｃｏｄｅｆｏｒｄｅｓｉｇｎｏｆｔｈｉｎｆｉｌｍｔｒａｎｓｉｓｔｏｒｌｉｑｕｉｄｃｒｙｓｔａｌｄｉｓｐｌａｙｐｌａｎｔ

ＧＢ５１１３６－２０１５

主編部門：中華人民共和國(guó)工業(yè)和信專用息化部

批準(zhǔn)部門：中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

施行日期：２０１６年６月１日

人人文庫(kù)

中國(guó)計(jì)劃出版社

２０１５北京

書

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)專用

薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計(jì)規(guī)范

ＧＢ５１１３６－２０１５

☆

中國(guó)計(jì)劃出版社出版

網(wǎng)址：ｗｗｗ．ｊｈｐｒｅｓｓ．ｃｏｍ

地址：北京市西城區(qū)木樨地北里甲１１號(hào)國(guó)宏大廈Ｃ座３層

郵政編碼：１０００３８電話：（０１０）６３９０６４３３（發(fā)行部）

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北京市科星印刷有限責(zé)任公司印刷

８５０ｍｍ×１１６８ｍｍ１／３２４．２５印張１０６千字

２０１６年３月第１版２０１６年３月第１次印刷

人人文庫(kù)☆

統(tǒng)一書號(hào)：１５８０２４２·８５８

定價(jià)：２６．００元

版權(quán)所有侵權(quán)必究

侵權(quán)舉報(bào)電話：（０１０）６３９０６４０４

如有印裝質(zhì)量問題，請(qǐng)寄本社出版部調(diào)換

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告

第９２６號(hào)

住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

《薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》的公告

現(xiàn)批準(zhǔn)《薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計(jì)規(guī)范專用》為國(guó)家標(biāo)

準(zhǔn)，編號(hào)為ＧＢ５１１３６—２０１５，自２０１６年６月１日起實(shí)施。其

中，第１０．２．５、１０．５．２（２）、１０．６．６（１）條（款）為強(qiáng)制性條

文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版社出版

發(fā)行。

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

２０１５年９月３０日

人人文庫(kù)

前言

本規(guī)范是根據(jù)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)〈２００９年工程建

設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計(jì)劃〉的通知》（建標(biāo)〔２００９〕８８號(hào)）的要求，

由工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院電子工程標(biāo)準(zhǔn)定額站和

中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院會(huì)同有關(guān)單位共同編制完成。

在規(guī)范編制過程中，編制組先后調(diào)查和走訪了國(guó)內(nèi)有關(guān)液晶

顯示器的生產(chǎn)單位、設(shè)計(jì)單位和施工單位，收集了有關(guān)液晶顯示器

工廠的設(shè)計(jì)要求，認(rèn)真總結(jié)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，參考有關(guān)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)外先

進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，并在廣泛征求意見的基礎(chǔ)上，反復(fù)修改專用，經(jīng)審查定稿。

本規(guī)范共分１４章和２個(gè)附錄，主要內(nèi)容包括總則，術(shù)語，基本

規(guī)定，工藝，廠址選擇及總體規(guī)劃，建筑，結(jié)構(gòu)，氣體動(dòng)力，供暖、通

風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化，給水排水，電氣，防靜電，化學(xué)品，空間管理

等。

本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解

釋，由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院負(fù)責(zé)

具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過程中，希望各單位認(rèn)真總

結(jié)經(jīng)驗(yàn)，注意積累資料，如發(fā)現(xiàn)需要修改或補(bǔ)充之處，請(qǐng)將有關(guān)意

見、建議和人人文庫(kù)相關(guān)資料寄送中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院（地址：北京市海淀

區(qū)西四環(huán)北路１６０號(hào)，郵政編碼：１００１４２，傳真：０１０－８８１９３９９９），以

供今后修訂時(shí)參考。

本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：

主編單位：工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院電子工

程標(biāo)準(zhǔn)定額站

中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院

·１·

參編單位：世源科技工程有限公司

信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份

有限公司

上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司

京東方科技集團(tuán)股份有限公司

中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司

中國(guó)電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司

上?；輥嗕X合金制品有限公司

液化空氣（中國(guó)）投資有限公司

主要起草人：黃文勝李強(qiáng)晁陽趙廣鵬鄭秉孝

李驥秦學(xué)禮肖紅梅王凌旭吳曉斌

鐘景華韓方俊張家紅李志偉王開源

杜寶強(qiáng)孫宇明馮衛(wèi)中李專用衛(wèi)何正山

主要審查人：張百哲薛長(zhǎng)立邵慶良關(guān)旭東闞強(qiáng)

葉鳴邵曉鋼任向東孫振安

人人文庫(kù)

·２·

目次

１總則…………………（１）

２術(shù)語…………………（２）

３基本規(guī)定…………………（４）

４工藝…………………（５）

４．１一般規(guī)定………………（５）

４．２基本工序………………（５）

４．３工藝區(qū)劃………………（５）

４．４設(shè)備配置………………專用（６）

５廠址選擇及總體規(guī)劃……（８）

５．１廠址選擇………………（８）

５．２總體規(guī)劃………………（８）

６建筑…………………（１０）

６．１一般規(guī)定………………（１０）

６．２防火及安全疏散…………（１０）

７結(jié)構(gòu)…………………（１３）

７．１一般規(guī)定………………（１３）

７．２廠房結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)……………（１３）

７．３微振動(dòng)控制標(biāo)準(zhǔn)人人文庫(kù)…………（１４）

７．４微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)及測(cè)試…………………（１５）

７．５基座平臺(tái)設(shè)計(jì)……………（１５）

８氣體動(dòng)力…………………（１７）

８．１冷、熱源…………………（１７）

８．２大宗氣體供應(yīng)……………（１８）

８．３特種氣體供應(yīng)……………（１９）

·１·

書

８．４壓縮空氣供應(yīng)……………（２１）

８．５工藝真空和清掃真空……（２２）

９供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化……………（２３）

９．１一般規(guī)定………………（２３）

９．２采暖、通風(fēng)與廢氣處理……（２３）

９．３空氣調(diào)節(jié)與凈化…………（２６）

９．４防排煙…………………（２８）

１０給水排水…………………（２９）

１０．１一般規(guī)定………………（２９）

１０．２一般給水排水…………（２９）

１０．３純水……………………（３０）

１０．４工藝?yán)鋮s循環(huán)水………（３０）

１０．５廢水……………………專用（３１）

１０．６消防給水及滅火設(shè)施……（３１）

１１電氣…………………（３３）

１１．１供配電與照明…………（３３）

１１．２防雷與接地……………（３４）

１１．３火災(zāi)報(bào)警及消防聯(lián)動(dòng)……（３４）

１１．４通信及自控……………（３６）

１２防靜電……………………（３７）

１２．１一般規(guī)定………………（３７）

１２．２防靜電措施……………（３８）

１２．３防人人文庫(kù)靜電接地……………（３９）

１３化學(xué)品……………………（４１）

１３．１一般規(guī)定………………（４１）

１３．２化學(xué)品儲(chǔ)存和配送……（４１）

１３．３管材、閥門……………（４４）

１３．４化學(xué)品廢液收集回收……（４４）

１４空間管理…………………（４６）

·２·

１４．１一般規(guī)定………………（４６）

１４．２管線布置………………（４７）

１４．３共用管道支、吊架………（４８）

附錄Ａ薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)工藝流程……………（４９）

附錄Ｂ微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)ＶＣ曲線………………（５１）

本規(guī)范用詞說明………………（５３）

引用標(biāo)準(zhǔn)名錄…………………（５４）

附：條文說明…………………（５７）

專用

人人文庫(kù)

·３·

Ｃｏｎｔｅｎｔｓ

１Ｇｅｎｅｒａｌｐｒｏｖｉｓｉｏｎｓ………（１）

２Ｔｅｒｍｓ……………………（２）

３Ｂａｓｉｃｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ………（４）

４Ｐｒｏｃｅｓｓｄｅｓｉｇｎ……………（５）

４．１Ｇｅｎｅｒａｌｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ……（５）

４．２Ｂａｓｉｃｐｒｏｃｅｓｓ……………（５）

４．３Ｐｒｏｃｅｓｓｌａｙｏｕｔ…………（５）

４．４Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎ…………………專用（６）

５Ｓｉｔｅｓｅｌｅｃｔｉｏｎａｎｄｍａｓｔｅｒｐｌａｎ…………（８）

５．１Ｓｉｔｅｓｅｌｅｃｔｉｏｎ……………（８）

５．２Ｓｉｔｅｍａｓｔｅｒｐｌａｎ…………（８）

６Ａｒｃｈｉｔｅｃｔｕｒａｌｄｅｓｉｇｎ……（１０）

６．１Ｇｅｎｅｒａｌｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ……（１０）

６．２Ｆｉｒｅｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ…………（１０）

７Ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌｄｅｓｉｇｎ…………（１３）

７．１Ｇｅｎｅｒａｌｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ……（１３）

７．２Ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌｄｅｓｉｇｎ………（１３）

７．３Ｖｉｂｒａｔｉｏｎ人人文庫(kù)ｃｏｎｔｒｏｌｓｔａｎｄａｒｄ………………（１４）

７．４Ｖｉｂｒａｔｉｏｎｃｏｎｔｒｏｌｄｅｓｉｇｎａｎｄｔｅｓｔ…………（１５）

７．５Ｐｅｄｅｓｔａｌｄｅｓｉｇｎ…………（１５）

８Ｇａｓｅｓ＆ｕｔｉｌｉｔｉｅｓ…………（１７）

８．１Ｃｏｏｌｉｎｇａｎｄｈｅａｔｉｎｇｓｏｕｒｃｅ………………（１７）

８．２Ｂｕｌｋｇａｓｅｓｓｕｐｐｌｙ………（１８）

８．３Ｓｐｅｃｉａｌｇａｓｅｓｓｕｐｐｌｙ……（１９）

·４·

８．４Ｃｏｍｐｒｅｓｓｅｄａｉｒｓｕｐｐｌｙ…………………（２１）

８．５Ｐｒｏｃｅｓｓａｎｄｃｌｅａｎｉｎｇｖａｃｕｕｍ……………（２２）

９Ｈｅａｔｉｎｇ，ｖｅｎｔｉｌａｔｉｏｎ，ａｉｒｃｏｎｄｉｔｉｏｎｉｎｇａｎｄｃｌｅａｎｉｎｇ……（２３）

９．１Ｇｅｎｅｒａｌｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ……（２３）

９．２Ｈｅａｔｉｎｇ，ｖｅｎｔｉｌａｔｉｏｎａｎｄｗａｓｔｅｇａｓｔｒｅａｔｍｅｎｔ……………（２３）

９．３Ａｉｒｃｏｎｄｉｔｉｏｎｉｎｇａｎｄｃｌｅａｎｉｎｇ……………（２６）

９．４Ｓｍｏｋｅｖｅｎｔｉｎｇ…………（２８）

１０Ｗａｔｅｒｓｕｐｐｌｙａｎｄｄｒａｉｎａｇｅ……………（２９）

１０．１Ｇｅｎｅｒａｌｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ…………………（２９）

１０．２Ｇｅｎｅｒａｌｗａｔｅｒ…………（２９）

１０．３Ｐｕｒｅｗａｔｅｒ……………（３０）

１０．４Ｃｏｏｌｉｎｇｗａｔｅｒ…………（３０）

１０．５Ｗａｓｔｅｗａｔｅｒｔｒｅａｔｍｅｎｔ…………………專用（３１）

１０．６Ｆｉｒｅｗａｔｅｒｓｕｐｐｌｙａｎｄｆｉｒｅ－ｅｘｔｉｎｇｕｉｓｈｉｎｇｆａｃｉｌｉｔｉｅｓ………（３１）

１１Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｄｅｓｉｇｎ…………（３３）

１１．１Ｐｏｗｅｒｓｕｐｐｌｙａｎｄｉｌｌｕｍｉｎａｔｉｏｎ…………（３３）

１１．２Ｌｉｇｈｔｉｎｇｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎａｎｄｇｒｏｕｎｄｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎ………………（３４）

１１．３Ｆｉｒｅａｌａｒｍａｎｄａｕｔｏｍａｔｉｃｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍ…（３４）

１１．４Ａｕｔｏｍａｔｉｃｃｏｎｔｒｏｌ………（３６）

１２Ａｎｔｉ－ｓｔａｔｉｃ………………（３７）

１２．１Ｇｅｎｅｒａｌｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ…………………（３７）

１２．２Ａｎｔｉ－ｓｔａｔｉｃｍｅａｓｕｒｅｓ……（３８）

１２．３Ａｎｔｉ人人文庫(kù)－ｓｔａｔｉｃｇｒｏｕｎｄｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎ…………（３９）

１３Ｃｈｅｍｉｃａｌｓｓｕｐｐｌｙ………（４１）

１３．１Ｇｅｎｅｒａｌｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ…………………（４１）

１３．２Ｃｈｅｍｉｃａｌｓｓｔｏｒａｇｅａｎｄｄｅｌｉｖｅｒｙ…………（４１）

１３．３Ｔｕｂｅａｎｄｖａｌｖｅ…………（４４）

１３．４Ｗａｓｔｅｃｈｅｍｉｃａｌｓｃｏｌｌｅｃｔｉｏｎａｎｄｒｅｃｙｃｌｅ…（４４）

１４Ｓｐａｃｅｍａｎａｇｅｍｅｎｔ………（４６）

·５·

１４．１Ｇｅｎｅｒａｌｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ…………………（４６）

１４．２Ｐｉｐｅｌｉｎｅｌａｙｏｕｔ…………（４７）

１４．３Ｐｉｐｅｓｕｐｐｏｒｔｓａｎｄｈａｎｇｅｒｓ………………（４８）

ＡｐｐｅｎｄｉｘＡＴｙｐｉｃａｌＴＦＴ－ＬＣＤｐｒｏｃｅｓｓｆｌｏｗ……………（４９）

ＡｐｐｅｎｄｉｘＢＳｔａｎｄａｒｄｖｉｂｒａｔｉｏｎｃｏｎｔｒｏｌｃｕｒｖｅ……………（５１）

Ｅｘｐｌａｎａｔｉｏｎｏｆｗｏｒｄｉｎｇｉｎｔｈｉｓｃｏｄｅ………（５３）

Ｌｉｓｔｏｆｑｕｏｔｅｄｓｔａｎｄａｒｄｓ……（５４）

Ａｄｄｉｔｉｏｎ：Ｅｘｐｌａｎａｔｉｏｎｏｆｐｒｏｖｉｓｉｏｎｓ………（５７）

專用

人人文庫(kù)

·６·

１總則

１．０．１為在薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計(jì)中貫徹執(zhí)行國(guó)家的

有關(guān)法律、法規(guī)和規(guī)定，滿足薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)要求，確

保人身和財(cái)產(chǎn)安全，做到安全可靠、節(jié)能環(huán)保、技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理

和確保質(zhì)量的要求，制定本規(guī)范。

１．０．２本規(guī)范適用于新建、改建、擴(kuò)建薄膜晶體管液晶顯示器工

廠的工程設(shè)計(jì)。

１．０．３薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)

符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。專用

人人文庫(kù)

·１·

２術(shù)語

２．０．１薄膜晶體管液晶顯示器ｔｈｉｎｆｉｌｍｔｒａｎｓｉｓｔｏｒｌｉｑｕｉｄ

ｃｒｙｓｔａｌｄｉｓｐｌａｙ（ＴＦＴ－ＬＣＤ）

使用薄膜晶體管作為控制像素開關(guān)，采用有源矩陣直接驅(qū)動(dòng)

像素方式的液晶顯示器。

２．０．２全自動(dòng)物料搬送系統(tǒng)ａｕｔｏｍａｔｅｄｍａｔｅｒｉａｌｈａｎｄｌｉｎｇ

ｓｙｓｔｅｍ（ＡＭＨＳ）

在一個(gè)過程或邏輯動(dòng)作系統(tǒng)中，一系列相關(guān)的自動(dòng)化設(shè)備及

裝置協(xié)調(diào)、合理地對(duì)物料進(jìn)行移動(dòng)、儲(chǔ)存或控制的專用系統(tǒng)。

２．０．３玻璃基板ｇｌａｓｓｓｕｂｓｔｒａｔｅ

由表面極其平整的薄玻璃片構(gòu)成的液晶顯示器件的基本部

件。

２．０．４陣列ａｒｒａｙ

在玻璃基板上通過成膜、光刻、刻蝕等半導(dǎo)體工藝技術(shù)，制作

有規(guī)則排列的特定薄膜晶體管（開關(guān)器件）陣列，以形成數(shù)據(jù)線、存

儲(chǔ)電容和信號(hào)線的工藝。

２．０．５彩膜ｃｏｌｏｒｆｉｌｔｅｒ（ＣＦ）

在透明基板上依規(guī)則排列紅、綠、藍(lán)三基色的圖形，只能使所

需要的色光人人文庫(kù)通過的濾光片，又稱彩色濾色片。

２．０．６成盒ｃｅｌｌ

將已制備好的薄膜晶體管液晶顯示器陣列玻璃基板和彩色濾

光片玻璃基板組裝到一起，使兩塊玻璃基板之間充有液晶材料，加

上適應(yīng)的電場(chǎng)即可進(jìn)行圖像顯示的液晶盒（屏）的工藝過程。

２．０．７空間管理ｓｐａｃｅｍａｎａｇｅｍｅｎｔ

為有效利用空間、縮短工作流程，對(duì)大到整個(gè)廠區(qū)的建筑物布

·２·

局、地下管線規(guī)劃，小到一棟建筑物內(nèi)部各個(gè)專業(yè)間的配置協(xié)調(diào)而

進(jìn)行的設(shè)計(jì)。

２．０．８干法刻蝕ｄｒｙｅｔｃｈｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓ

在氣相中對(duì)基板表面、被蝕刻物質(zhì)進(jìn)行刻蝕的方法。

２．０．９等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積ｐｌａｓｍａｅｎｈａｎｃｅｄｃｈｅｍｉ－

ｃａｌｖａｐｏｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＰＥＣＶＤ）

利用等離子體的活性促進(jìn)反應(yīng)，能在較低溫度下進(jìn)行化學(xué)氣

相沉積法的反應(yīng)。

專用

人人文庫(kù)

·３·

３基本規(guī)定

３．０．１薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用資源，保護(hù)環(huán)

境，防止和減少在生產(chǎn)建設(shè)活動(dòng)中產(chǎn)生的廢氣、廢水、廢液、廢渣、

粉塵以及噪聲、振動(dòng)、電磁波輻射對(duì)環(huán)境的污染和危害。

３．０．２薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

１根據(jù)生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)，應(yīng)采用節(jié)能環(huán)保的新技術(shù)、新設(shè)備、

新材料；

２應(yīng)滿足設(shè)備安裝、調(diào)試檢修、安全生產(chǎn)、維護(hù)管理的要求；

３應(yīng)采取措施滿足消防安全的要求；專用

４應(yīng)采取節(jié)約能源措施；

５應(yīng)滿足薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)所需要超大空間潔凈

環(huán)境的要求。

３．０．３薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)線的設(shè)計(jì)能力應(yīng)符合經(jīng)濟(jì)規(guī)

模的要求，設(shè)計(jì)中應(yīng)根據(jù)企業(yè)發(fā)展規(guī)劃為今后生產(chǎn)發(fā)展或工藝改

進(jìn)預(yù)留條件。

人人文庫(kù)

·４·

４工藝

４．１一般規(guī)定

４．１．１工藝設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

１應(yīng)確保生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量；

２應(yīng)預(yù)防和減少職業(yè)病危害因素對(duì)勞動(dòng)者健康的損害和影

響，降低工人勞動(dòng)強(qiáng)度；

３應(yīng)具有靈活性和適應(yīng)性；

４應(yīng)有利于降低工程造價(jià)和運(yùn)行費(fèi)用。

４．１．２工藝設(shè)計(jì)中所確定的生產(chǎn)空間及其布置專用、生產(chǎn)環(huán)境參數(shù)和

動(dòng)力供應(yīng)要求應(yīng)滿足工藝生產(chǎn)的要求，并應(yīng)為生產(chǎn)技術(shù)的升級(jí)改

造預(yù)留必要的條件。

４．１．３與生產(chǎn)工藝直接相關(guān)的生產(chǎn)部門宜采用連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的生產(chǎn)

組織方式，其他輔助生產(chǎn)部門的工作班次可根據(jù)生產(chǎn)需要確定。

４．２基本工序

４．２．１生產(chǎn)加工工序可按本規(guī)范附錄Ａ所列各段工序內(nèi)容和流

程確定。

４．２．２生產(chǎn)的主要工序應(yīng)完整、配套，陣列、彩膜和成盒工序段宜

設(shè)置在同一廠區(qū)人人文庫(kù)內(nèi)。

４．２．３工廠中應(yīng)設(shè)置與主生產(chǎn)工藝有關(guān)的輔助生產(chǎn)和有關(guān)技術(shù)

服務(wù)設(shè)施。

４．３工藝區(qū)劃

４．３．１陣列、彩膜和成盒工藝段核心生產(chǎn)區(qū)域的工藝區(qū)劃應(yīng)符合

下列規(guī)定：

·５·

１工藝區(qū)劃應(yīng)根據(jù)工藝特點(diǎn)和環(huán)境要求進(jìn)行組合，且宜采用

疊層布置。

２工藝區(qū)劃應(yīng)避免工藝設(shè)備之間振動(dòng)、電磁輻射、熱輻射和

空氣污染的影響。

３進(jìn)入生產(chǎn)區(qū)的人流和物流入口應(yīng)分別設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置相應(yīng)

人身和物料凈化設(shè)施。

４生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)設(shè)置設(shè)備搬入口和搬入通道；生產(chǎn)區(qū)域設(shè)備安

裝平面高于室外地坪１．５ｍ以上時(shí)，應(yīng)設(shè)置設(shè)備吊裝搬入平臺(tái)。

５各工藝段內(nèi)的工藝設(shè)備應(yīng)依工藝流程并按工序集中的原

則進(jìn)行布置。

６生產(chǎn)輔助部門中與生產(chǎn)密切聯(lián)系的部門應(yīng)靠近生產(chǎn)區(qū)。

４．３．２生產(chǎn)區(qū)設(shè)置參觀設(shè)施時(shí)，參觀區(qū)域及其通道的環(huán)境應(yīng)與生

產(chǎn)環(huán)境隔離，并應(yīng)保證生產(chǎn)區(qū)域物流和人員疏散專用通道的通暢。

４．３．３工廠中應(yīng)設(shè)有原、輔材料和廢料倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)施，庫(kù)房設(shè)置應(yīng)符

合下列規(guī)定：

１根據(jù)所存儲(chǔ)物料的物理化學(xué)特性和存儲(chǔ)環(huán)境要求，應(yīng)

分類設(shè)置各類庫(kù)房。其中化學(xué)品的物理化學(xué)特性應(yīng)以有關(guān)化

學(xué)品供應(yīng)商提供的化學(xué)品安全數(shù)據(jù)說明書為準(zhǔn)，化學(xué)品儲(chǔ)存區(qū)

域的設(shè)計(jì)應(yīng)符合本規(guī)范第１３．２．１條～第１３．２．６條的有關(guān)規(guī)

定。

２主要原、輔材料和產(chǎn)品庫(kù)房應(yīng)設(shè)裝卸貨平臺(tái)。

４．３．４核心生產(chǎn)區(qū)域設(shè)有技術(shù)夾層時(shí)，應(yīng)在技術(shù)夾層設(shè)置設(shè)備搬

運(yùn)和檢修通人人文庫(kù)道。

４．４設(shè)備配置

４．４．１生產(chǎn)設(shè)備和輔助設(shè)備的選擇應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工

業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》ＧＢ５０４７２的有關(guān)規(guī)定，且宜采用自動(dòng)化程

度高、耗能低、排放少的設(shè)備。

４．４．２陣列、彩膜和成盒工序應(yīng)采用玻璃基板卡匣或其他專用工

·６·

裝搬運(yùn)產(chǎn)品，批量生產(chǎn)線宜采用全自動(dòng)物料搬送系統(tǒng)。生產(chǎn)區(qū)采

取多層布置方式時(shí)，跨層生產(chǎn)區(qū)之間的產(chǎn)品搬運(yùn)宜設(shè)置自動(dòng)垂直

運(yùn)輸設(shè)備。

４．４．３化學(xué)氣相沉積和物理氣相沉積設(shè)備安裝區(qū)域應(yīng)配置潔凈

室專用的檢修起重設(shè)備。

專用

人人文庫(kù)

·７·

５廠址選擇及總體規(guī)劃

５．１廠址選擇

５．１．１廠址選擇應(yīng)符合工業(yè)布局和地區(qū)建設(shè)規(guī)劃的要求，應(yīng)按建

設(shè)規(guī)模、原材料來源、交通運(yùn)輸、供電、供水、供氣、工程地質(zhì)、企業(yè)

協(xié)作條件、場(chǎng)地現(xiàn)有設(shè)施、環(huán)境保護(hù)和產(chǎn)品市場(chǎng)流向各因素進(jìn)行技

術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。

５．１．２廠址選擇應(yīng)符合下列規(guī)定：

１應(yīng)避免生產(chǎn)的危險(xiǎn)或有害因素對(duì)周邊人群居住或活動(dòng)環(huán)

境產(chǎn)生影響；專用

２應(yīng)避開大氣含塵量高及含有對(duì)工藝生產(chǎn)有影響的化學(xué)物

質(zhì)的區(qū)域；

３建設(shè)場(chǎng)地環(huán)境的振源和振動(dòng)值不得對(duì)工藝生產(chǎn)造成不利

影響。

５．１．３廠址應(yīng)具有滿足生產(chǎn)生活及發(fā)展規(guī)劃所必需的水源、電源

和燃?xì)?，輸電、輸水線路應(yīng)短捷、可靠。

５．１．４廠址選擇應(yīng)滿足企業(yè)遠(yuǎn)期發(fā)展規(guī)劃的需要。

５．１．５工程地質(zhì)、水文復(fù)雜的地帶和抗震設(shè)防烈度高于８度的地

區(qū)及具有開采價(jià)值的礦藏區(qū)不得選為廠址。

５．１．６薄人人文庫(kù)膜晶體管液晶顯示器工廠應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《防洪標(biāo)

準(zhǔn)》ＧＢ５０２０１的Ⅰ級(jí)防洪標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)，場(chǎng)地設(shè)計(jì)標(biāo)高應(yīng)高于設(shè)計(jì)頻

率水位０．５ｍ。

５．２總體規(guī)劃

５．２．１工廠的總體規(guī)劃應(yīng)符合所在地區(qū)的規(guī)劃要求，并應(yīng)有利于

聯(lián)合同鄰近工業(yè)企業(yè)在交通運(yùn)輸、動(dòng)力設(shè)施、綜合利用和生活設(shè)施

·８·

等方面的協(xié)作。

５．２．２工廠的總平面布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

１總平面布置應(yīng)符合生產(chǎn)工藝流程及微振控制要求。生產(chǎn)廠

房根據(jù)生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和各種功能區(qū)的具體要求，宜聯(lián)合多層布置。

２生產(chǎn)區(qū)、動(dòng)力輔助區(qū)、倉(cāng)儲(chǔ)區(qū)和辦公、生活區(qū)各功能區(qū)域應(yīng)

合理布置。各種輔助和附屬設(shè)施宜鄰近其服務(wù)的車間，動(dòng)力供應(yīng)

設(shè)施宜接近負(fù)荷中心。

３建筑物外形宜規(guī)整，行政辦公及生活設(shè)施宜集中設(shè)置。

４原料物料的運(yùn)輸路線應(yīng)短捷、方便，并應(yīng)避免物流與人流

交叉干擾。

５．２．３改建、擴(kuò)建的薄膜晶體管液晶顯示器工廠總平面設(shè)計(jì)，

應(yīng)合理利用現(xiàn)有設(shè)施，并應(yīng)減少改建、擴(kuò)建工程對(duì)生產(chǎn)的影響。

５．２．４對(duì)于有微振控制要求的廠房，應(yīng)實(shí)際測(cè)專用量周圍現(xiàn)有振源和

模擬振源的數(shù)值，并應(yīng)與允許振動(dòng)值比較分析后確定位置選擇。

５．２．５儲(chǔ)存易燃、易爆、有毒物品的庫(kù)房、儲(chǔ)罐、堆場(chǎng)宜布置在場(chǎng)

區(qū)全年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)遠(yuǎn)離火源、主要建（構(gòu)）筑物和

人員集中的地帶。儲(chǔ)存液態(tài)介質(zhì)的儲(chǔ)罐四周應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》ＧＢ５００１６的有關(guān)規(guī)定設(shè)置防止事故泄漏的

防火堤、防護(hù)墻或圍堰。儲(chǔ)存區(qū)宜設(shè)置圍墻和專用出入口。

５．２．６儲(chǔ)存易燃、易爆、有毒物品的庫(kù)房、儲(chǔ)罐、堆場(chǎng)與建筑及道

路的間距應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》ＧＢ５００１６的

有關(guān)規(guī)定。

５．２．７廠區(qū)的豎向設(shè)計(jì)宜充分利用原有地形，減少土石方。當(dāng)采

用階梯布置人人文庫(kù)時(shí)，生產(chǎn)聯(lián)系密切的建筑物、構(gòu)筑物應(yīng)布置在同一臺(tái)階

或相鄰臺(tái)階上。

５．２．８廠區(qū)給水、排水、循環(huán)水及電纜等管線宜選用地下敷設(shè)方

式，廠區(qū)易燃、可燃液體、燃?xì)?、熱力、壓縮空氣、大宗氣體、特種氣

體等管線宜選用地上管架敷設(shè)方式，地上、地下管道的布置應(yīng)符合

現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》ＧＢ５０１８７的有關(guān)規(guī)定。

·９·

６建筑

６．１一般規(guī)定

６．１．１廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)適應(yīng)產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展的靈活

性，并應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求。

６．１．２薄膜晶體管液晶顯示器工廠生產(chǎn)廠房、辦公樓、動(dòng)力廠房

之間的人流、物流宜采用連廊進(jìn)行聯(lián)系。

６．１．３廠房潔凈生產(chǎn)區(qū)內(nèi)不宜設(shè)置變形縫。

６．１．４生產(chǎn)廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)材料的選擇應(yīng)滿足生產(chǎn)對(duì)環(huán)境的氣密、

保溫、隔熱、防火、防潮、防塵、耐久、易清洗的要求專用。

６．１．５廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)傳熱系數(shù)限值應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工

程節(jié)能設(shè)計(jì)規(guī)范》ＧＢ５０７１０的有關(guān)規(guī)定。外墻、外窗、屋面的內(nèi)表

面溫度不應(yīng)低于室內(nèi)空氣露點(diǎn)溫度。

６．１．６廠房應(yīng)根據(jù)工藝及動(dòng)力設(shè)備需要設(shè)置設(shè)備搬入口及設(shè)備

搬入平臺(tái)。

６．１．７廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置工藝設(shè)備、動(dòng)力設(shè)備的搬入及運(yùn)輸安裝通道，

通道寬度應(yīng)滿足人員操作、物料運(yùn)輸、設(shè)備安裝、檢修的要求。

６．１．８潔凈區(qū)內(nèi)位于搬運(yùn)通道的高架地板應(yīng)滿足設(shè)備搬運(yùn)荷載

要求。

６．１．９廠人人文庫(kù)房室內(nèi)裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防

火規(guī)范》ＧＢ５０２２２和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》ＧＢ５０４７２的

有關(guān)規(guī)定。

６．２防火及安全疏散

６．２．１薄膜晶體管液晶顯示器工廠廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二

級(jí)。

·１０·

６．２．２廠房各工作間生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)

準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》ＧＢ５００１６和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)

范》ＧＢ５０４７２的有關(guān)規(guī)定。

６．２．３廠房?jī)?nèi)防火分區(qū)的劃分應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防

火規(guī)范》ＧＢ５００１６和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》ＧＢ５０４７２的

有關(guān)規(guī)定。陣列、成盒、彩膜、模組廠房的潔凈室，在關(guān)鍵工藝設(shè)備

自帶火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及在回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于

０．０１％ｏｂｓ／ｍ的早期煙霧探測(cè)系統(tǒng)后，其每個(gè)防火分區(qū)的最大允

許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。

６．２．４廠房安全出口的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

１安全出口數(shù)目應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》

ＧＢ５００１６和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》ＧＢ５０４７２中的有關(guān)規(guī)

定。專用

２廠房?jī)?nèi)任一點(diǎn)到最近安全出口的距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)

準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》ＧＢ５００１６和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)

范》ＧＢ５０４７２的有關(guān)規(guī)定。

３陣列、成盒、彩膜、模組廠房，在關(guān)鍵工藝設(shè)備自帶火災(zāi)報(bào)

警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于０．０１％ｏｂｓ／ｍ的

高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后，安全疏散距離不得大于本條

第２款規(guī)定的安全疏散距離的１．５倍。當(dāng)潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小

于０．０２人／ｍ２時(shí)，安全疏散距離不得大于１２０ｍ。

４陣列、成盒、彩膜、模組廠房，當(dāng)潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于

０．０２人／ｍ２，且潔凈生產(chǎn)區(qū)與技術(shù)支持區(qū)位于不同的防火分區(qū)時(shí)，

可共用安全人人文庫(kù)出口，安全出口應(yīng)設(shè)置共用前室或安全通道。

６．２．５當(dāng)潔凈廠房的潔凈區(qū)各層靠外墻布置時(shí)，應(yīng)設(shè)可供消防人

員通往廠房潔凈區(qū)的門窗，其洞口間距大于８０ｍ時(shí)，應(yīng)在該段外

墻的適當(dāng)部位設(shè)置專用消防口。專用消防口的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)

家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》ＧＢ５００７３的有關(guān)規(guī)定。

６．２．６穿過不同生產(chǎn)樓層的自動(dòng)化垂直搬運(yùn)系統(tǒng)除物料進(jìn)、出口

·１１·

外，應(yīng)采用耐火時(shí)間不低于０．４ｈ的不燃材料封閉，物料進(jìn)、出口防

火措施應(yīng)按本規(guī)范第１０．６．６條的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

６．２．７易燃、易爆化學(xué)品及氣體的配送間應(yīng)靠外墻布置，房間泄

壓面積應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》ＧＢ５００１６的有

關(guān)規(guī)定，不得設(shè)置在人員密集房間和疏散走道的上方、下方或貼

鄰。

６．２．８易燃、易爆化學(xué)品儲(chǔ)存間、配送間應(yīng)采用不發(fā)生火花的防

靜電地面，腐蝕性化學(xué)品儲(chǔ)存間、配送間應(yīng)采用防腐蝕地面。

專用

人人文庫(kù)

·１２·

７結(jié)構(gòu)

７．１一般規(guī)定

７．１．１陣列、彩膜、成盒廠房的建筑工程抗震設(shè)防類別宜采用重

點(diǎn)設(shè)防類。

７．１．２陣列、彩膜、成盒廠房工藝樓層梁的間距或無梁樓蓋厚板

上洞口的間距宜符合６００ｍｍ的模數(shù)。

７．１．３陣列、彩膜、成盒廠房結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)應(yīng)滿足工藝設(shè)備的微振動(dòng)

控制標(biāo)準(zhǔn)。

７．１．４廠房上部結(jié)構(gòu)與基礎(chǔ)之間不應(yīng)設(shè)置橡膠專用隔震支座。

７．２廠房結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

７．２．１廠房的結(jié)構(gòu)宜采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)或鋼－混凝土混合結(jié)

構(gòu)。

７．２．２生產(chǎn)廠房核心區(qū)結(jié)構(gòu)與周邊的支持區(qū)、辦公區(qū)結(jié)構(gòu)之間宜

設(shè)置伸縮縫。

７．２．３核心區(qū)的樓層結(jié)構(gòu)與支承屋面的主體結(jié)構(gòu)間不宜設(shè)置伸

縮縫。

７．２．４廠房的屋蓋系統(tǒng)根據(jù)其開間和跨度大小可采用下列結(jié)構(gòu)

形式：人人文庫(kù)

１現(xiàn)澆鋼筋混凝土屋蓋；

２鋼梁加鋼樓承板的現(xiàn)澆鋼筋混凝土屋面；

３鋼屋架、鋼梁加鋼樓承板的現(xiàn)澆鋼筋混凝土屋面；

４有保溫層的壓型鋼板輕型屋面。

７．２．５生產(chǎn)廠房核心區(qū)不應(yīng)設(shè)置伸縮縫時(shí)，應(yīng)采取措施減少溫度

變化和混凝土收縮對(duì)結(jié)構(gòu)的影響。

·１３·

７．２．６當(dāng)工藝生產(chǎn)采用疊層布置時(shí)，框架結(jié)構(gòu)宜設(shè)置柱間支

撐。

７．２．７樓層使用荷載標(biāo)準(zhǔn)值應(yīng)根據(jù)設(shè)備的布置、重量和基座平臺(tái)

的做法確定。

７．２．８樓板及屋蓋的吊掛荷載應(yīng)根據(jù)吊掛層的做法、管道及設(shè)備

的布置等因素確定。

７．２．９廠房結(jié)構(gòu)整體抗震計(jì)算中，建筑的重力荷載代表值宜按樓

層的實(shí)際設(shè)備荷載情況確定。

７．２．１０廠房結(jié)構(gòu)計(jì)算應(yīng)根據(jù)設(shè)備的實(shí)際布置范圍、運(yùn)輸安裝情

況，驗(yàn)算局部的梁、柱、基礎(chǔ)滿足正常使用極限狀態(tài)和承載能力極

限狀態(tài)的要求。

７．２．１１生產(chǎn)廠房結(jié)構(gòu)整體計(jì)算時(shí)，應(yīng)采用樓層框架梁的實(shí)際抗

彎剛度進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析。專用

７．２．１２生產(chǎn)廠房核心區(qū)樓層的鋼筋混凝土梁不宜采用預(yù)應(yīng)力結(jié)

構(gòu)。

７．２．１３核心區(qū)的廠房結(jié)構(gòu)采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)時(shí)，鋼筋混凝土

的梁角、柱角宜采用切角做法。

７．２．１４工藝生產(chǎn)樓層的鋼筋混凝土梁或鋼梁梁頂?shù)钠秸葢?yīng)滿

足２ｍ內(nèi)不大于２ｍｍ，５０ｍ內(nèi)不大于２５ｍｍ的要求。

７．２．１５廠房?jī)?nèi)的參觀走道宜采用鋼結(jié)構(gòu)。

７．２．１６設(shè)備的基礎(chǔ)不應(yīng)跨越伸縮縫。

７．３微振動(dòng)控制標(biāo)準(zhǔn)

７．３．１有人人文庫(kù)微振控制要求的工藝設(shè)備應(yīng)由制造廠商提供設(shè)備臺(tái)座

處的振動(dòng)評(píng)價(jià)方法、微振動(dòng)控制標(biāo)準(zhǔn)及要求。

７．３．２有微振控制要求的工藝設(shè)備的支承面振動(dòng)值應(yīng)在相應(yīng)微

振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)曲線以下。微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)曲線可按本規(guī)范附錄Ｂ采用。

７．３．３曝光機(jī)、涂布機(jī)等工藝設(shè)備應(yīng)滿足生產(chǎn)廠商對(duì)設(shè)備支承部

位的動(dòng)態(tài)剛度標(biāo)準(zhǔn)值要求。

·１４·

７．４微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)及測(cè)試

７．４．１微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)應(yīng)包括下列因素：

１廠房外部振源；

２廠房?jī)?nèi)部操作人員行走；

３生產(chǎn)和動(dòng)力設(shè)備運(yùn)行；

４管道內(nèi)流體流動(dòng)；

５工藝設(shè)備的固有頻率。

７．４．２同一個(gè)工藝生產(chǎn)樓層中，垂直方向可按不同設(shè)備的微振動(dòng)

控制要求選擇不同的微振動(dòng)控制標(biāo)準(zhǔn)，水平方向應(yīng)按全部設(shè)備中

最嚴(yán)格的微振動(dòng)控制標(biāo)準(zhǔn)要求選擇。

７．４．３核心區(qū)樓層結(jié)構(gòu)應(yīng)采用小柱距的布置方案，ＶＣ－Ｃ微振動(dòng)

控制標(biāo)準(zhǔn)的區(qū)域柱距不宜大于６ｍ；ＶＣ－Ａ、ＶＣ－Ｂ專用微振動(dòng)控制標(biāo)準(zhǔn)

的區(qū)域柱距不宜大于１０ｍ。

７．４．４首層地板應(yīng)采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)，厚度不宜小于４００ｍｍ，

并應(yīng)與主體結(jié)構(gòu)連成整體。

７．４．５微振動(dòng)控制在工程建設(shè)中應(yīng)按下列步驟進(jìn)行微振動(dòng)測(cè)試

及分析評(píng)估工作：

１場(chǎng)地環(huán)境振源的調(diào)查、振動(dòng)測(cè)試及分析評(píng)估；

２結(jié)構(gòu)樓層的動(dòng)力特性測(cè)試及分析評(píng)估；

３支持區(qū)動(dòng)力設(shè)備運(yùn)行時(shí)基座平臺(tái)上的振動(dòng)測(cè)試及分析評(píng)

估；

４工人人文庫(kù)藝設(shè)備運(yùn)行時(shí)基座平臺(tái)上的振動(dòng)測(cè)試及分析評(píng)估。

７．５基座平臺(tái)設(shè)計(jì)

７．５．１有微振控制要求的設(shè)備基座平臺(tái)應(yīng)根據(jù)工藝樓層的微振

控制標(biāo)準(zhǔn)、設(shè)備的技術(shù)要求選擇合適的結(jié)構(gòu)方案。

７．５．２基座平臺(tái)的鋼筋混凝土部分厚度不宜小于２００ｍｍ。

７．５．３基座平臺(tái)的結(jié)構(gòu)部分與周邊的架空地板及其支承鋼梁之

·１５·

間應(yīng)設(shè)置伸縮縫，縫寬不宜大于１０ｍｍ。

７．５．４基座平臺(tái)的基本頻率應(yīng)避開其下支承結(jié)構(gòu)的基本頻

率。

專用

人人文庫(kù)

·１６·

８氣體動(dòng)力

８．１冷、熱源

８．１．１工廠人工冷、熱源宜采用集中設(shè)置的冷（熱）水機(jī)組和供

熱、換熱設(shè)備。機(jī)型和設(shè)備應(yīng)根據(jù)工廠所在地區(qū)的氣候、能源結(jié)

構(gòu)、政策、價(jià)格及環(huán)保規(guī)定選擇，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

１熱源應(yīng)優(yōu)先采用工廠余熱和城市、區(qū)域供熱；

２具有城市工業(yè)燃?xì)夤?yīng)的地區(qū)，可采用燃?xì)忮仩t、燃?xì)鉄?/p>

水機(jī)組供熱或燃?xì)馕帐嚼洌幔┧畽C(jī)組供冷、供熱；

３無上述能源供應(yīng)的地區(qū)，可采用燃油鍋爐專用供熱，電動(dòng)壓縮

式冷水機(jī)組供冷和燃油吸收式冷（熱）水機(jī)組供冷、供熱；

４在夏熱冬冷地區(qū)、干旱缺水地區(qū)的辦公樓等建筑可采用空

氣源熱泵或地源熱泵冷（熱）水機(jī)組供冷、供熱；

５有天然水等資源可以利用時(shí)，可采用水源熱泵冷（熱）水機(jī)

組供冷、供熱。

８．１．２在同時(shí)需要供冷和供熱的工況下，冷水機(jī)組宜根據(jù)負(fù)荷要

求選用熱回收機(jī)組，并宜采用自動(dòng)控制的方式調(diào)節(jié)機(jī)組的供熱量。

８．１．３冷、熱源設(shè)備臺(tái)數(shù)和單臺(tái)容量應(yīng)根據(jù)全年冷、熱負(fù)荷工況

合理選擇，并宜保證設(shè)備在滿負(fù)荷和部分負(fù)荷工況下均能安全、高

效運(yùn)行。人人文庫(kù)

８．１．４過渡季節(jié)或冬季需用一定量的供冷負(fù)荷時(shí)，宜利用冷卻塔

作為冷源設(shè)備。

８．１．５冷水機(jī)組的冷凍水供、回水溫差宜為７℃，在滿足工藝及

空調(diào)用冷凍水溫度的前提下，應(yīng)加大冷凍水供、回水溫差和提高冷

水機(jī)組的出水溫度。

８．１．６當(dāng)冷負(fù)荷變化較大時(shí)，冷源系統(tǒng)的部分或全部設(shè)備宜采用

·１７·

變頻調(diào)速控制。

８．１．７冷水機(jī)組的能效比不應(yīng)低于現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《冷水機(jī)組能效

限定值及能源效率等級(jí)》ＧＢ１９５７７的規(guī)定值，并應(yīng)優(yōu)先選用能效

比高的設(shè)備。

８．１．８電動(dòng)壓縮式冷水機(jī)組的選型應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建

筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》ＧＢ５００１９的有關(guān)規(guī)定。

８．１．９燃油燃?xì)忮仩t應(yīng)選用帶比例調(diào)節(jié)燃燒器的全自動(dòng)鍋爐，且

每臺(tái)鍋爐宜獨(dú)立設(shè)置煙囪，煙囪的高度應(yīng)滿足現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《鍋爐

大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》ＧＢ１３２７１和項(xiàng)目環(huán)境評(píng)價(jià)報(bào)告的要求。

８．１．１０鍋爐房排放的大氣污染物應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《大氣污

染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》ＧＢ１６２９７和所在地區(qū)有關(guān)大氣污染物排放標(biāo)

準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定。

８．２大宗氣體供應(yīng)專用

８．２．１大宗氣體輸送系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

１工廠應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求確定大宗氣體的種類，其氣體品質(zhì)

應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求；

２大宗氣體的供氣方式應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐?/p>

供氣狀況各種因素確定；

３氫氣、氧氣管道的終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管，放散管應(yīng)引

至室外并應(yīng)高出建筑的屋脊１ｍ，氫氣放散管道上應(yīng)設(shè)置阻火器；

４潔凈廠房?jī)?nèi)氣體管道的干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾

道內(nèi)；人人文庫(kù)

５潔凈室內(nèi)的氫氣管道應(yīng)明敷，穿過潔凈室的墻壁或樓板處

的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)

采取密封措施；

６氫氣管道不得穿過不使用此類氣體的房間，當(dāng)必須穿過時(shí)

應(yīng)設(shè)套管或使用雙層管；

７氫氣和氧氣管道應(yīng)設(shè)置靜電泄導(dǎo)的接地設(shè)施。

·１８·

８．２．２高純大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)工藝設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《大

宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》ＧＢ５０７２４的有關(guān)規(guī)定。

８．２．３大宗氣體純化間或氣體入口室內(nèi)設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w裝

置時(shí)，其火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

１可燃?xì)怏w裝置應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；

２氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥；

３應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；

４應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置連鎖。

８．２．４大宗氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，并應(yīng)

符合下列規(guī)定：

１氣體純度大于或等于９９．９９９９％時(shí)，宜采用內(nèi)壁電拋光的

奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管，閥門應(yīng)采用隔膜閥、波紋管閥；

２氣體純度大于或等于９９．９９９％、露點(diǎn)低專用于－７６℃時(shí)，宜采

用內(nèi)壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管或內(nèi)壁電拋光的低

碳奧氏體不銹鋼無縫鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；

３氣體純度大于或等于９９．９９％、露點(diǎn)低于－６０℃時(shí)，宜采

用內(nèi)壁拋光的奧氏體不銹鋼無縫鋼管，除可燃?xì)怏w管道宜采用波

紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥；

４氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。

８．２．５大宗氣體管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定：

１不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，宜采用自動(dòng)氬弧焊或等離子熔融

對(duì)接焊；

２管道與設(shè)備或閥門的連接宜采用表面密封的接頭或雙卡

套，接頭或人人文庫(kù)雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；

３管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備連接的要求，當(dāng)采用軟管連

接時(shí)，應(yīng)采用金屬軟管。

８．３特種氣體供應(yīng)

８．３．１特種氣體供應(yīng)應(yīng)采用外購(gòu)鋼瓶氣體、液態(tài)氣體，在工廠內(nèi)

·１９·

應(yīng)設(shè)置儲(chǔ)存、分配系統(tǒng)。

８．３．２特種氣體供應(yīng)儲(chǔ)存分配系統(tǒng)設(shè)備應(yīng)根據(jù)特種氣體的性質(zhì)

和儲(chǔ)存數(shù)量布置在獨(dú)立的建（構(gòu)）筑物內(nèi)或生產(chǎn)廠房的專用房間

內(nèi)。

８．３．３布置在獨(dú)立的建（構(gòu)）筑物內(nèi)或區(qū)域的特種氣體設(shè)備的火

災(zāi)危險(xiǎn)性的確定應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》

ＧＢ５００１６的有關(guān)規(guī)定。

８．３．４布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的自燃、可燃特種氣體設(shè)備分配間的火

災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按甲類確定。

８．３．５新建工廠的大宗硅烷站應(yīng)布置在獨(dú)立建筑物或構(gòu)筑物內(nèi)，

改、擴(kuò)建項(xiàng)目的大宗硅烷站可與工廠其他氣體供應(yīng)站房布置在同

一棟建筑物內(nèi)，并應(yīng)用防爆墻與其他氣體供應(yīng)間隔開。

８．３．６特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜、氣瓶架的設(shè)置專用應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)

準(zhǔn)《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》ＧＢ５０６４６的有關(guān)規(guī)定。

８．３．７可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)符合下列規(guī)定：

１硅烷氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于１２００次／ｈ，且氣瓶

柜的負(fù)壓應(yīng)連續(xù)監(jiān)控；

２自燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外、紅外火焰探測(cè)器及自

動(dòng)滅火系統(tǒng)；

３可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火系統(tǒng)；

４自燃、可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼

板。

８．３．８特人人文庫(kù)種氣體系統(tǒng)吹掃氮?dú)獾脑O(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

１特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)鈶?yīng)與獨(dú)立的氮?dú)庠催B接，并不得

與公用氮?dú)饣蚬に嚨獨(dú)庀到y(tǒng)相連；

２不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)獠坏霉灿猛坏獨(dú)庠矗?/p>

３吹掃氮?dú)夤芫€應(yīng)設(shè)置止回閥。

８．３．９特種氣體排氣與廢氣處理的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

１特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮?dú)庀♂屌c連續(xù)吹掃裝置，

·２０·

防止空氣倒流造成污染和腐蝕；

２不相容性特種氣體的排氣不得接入同一排氣主管；

３自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體的排氣應(yīng)經(jīng)過尾氣處理

裝置進(jìn)行處理，確保達(dá)到國(guó)家規(guī)定的允許排放標(biāo)準(zhǔn)。

８．３．１０生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的可燃和毒性特種氣體管道應(yīng)明敷，穿過生

產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，

套管與管道之間應(yīng)采用密封措施?？扇?、毒性、腐蝕性氣體管道的

機(jī)械連接處應(yīng)置于排風(fēng)罩內(nèi)。

８．３．１１特種氣體和吹掃氣體的管道和管件應(yīng)采用奧氏體超低碳

不銹鋼無縫鋼管，內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理。

８．３．１２可燃、氧化性特種氣體管道應(yīng)設(shè)置靜電泄導(dǎo)的接地設(shè)施。

８．３．１３室外布置的特種氣體管道應(yīng)架空布置。

８．３．１４具有自燃、劇毒性、強(qiáng)腐蝕性的特種氣專用體宜采用雙套管設(shè)

計(jì)，內(nèi)管走工藝氣體，套管間可采用封閉或開放形式。

８．４壓縮空氣供應(yīng)

８．４．１干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、供氣量和供氣品質(zhì)的

要求，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

１干燥壓縮空氣系統(tǒng)的供氣規(guī)模應(yīng)按生產(chǎn)工藝所需實(shí)際用

氣量及系統(tǒng)損耗量確定；

２供氣設(shè)備可集中布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的供氣站或生產(chǎn)廠房

外的綜合動(dòng)力站；

３供氣設(shè)備應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備，空氣壓縮機(jī)應(yīng)選

用無油潤(rùn)滑人人文庫(kù)空氣壓縮機(jī)。

８．４．２風(fēng)冷式空氣壓縮機(jī)及風(fēng)冷式干燥裝置的設(shè)備布置應(yīng)防止

冷卻空氣發(fā)生短路現(xiàn)象。

８．４．３當(dāng)干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于－７６℃時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋

光不銹鋼管；當(dāng)干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于－４０℃時(shí)，應(yīng)采用不銹

鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。

·２１·

８．４．４壓縮空氣系統(tǒng)的管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

１壓縮空氣主管路設(shè)計(jì)宜布置成環(huán)狀或支狀系統(tǒng)；

２壓縮空氣主管道的直徑應(yīng)按全系統(tǒng)實(shí)際用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)，

主支管道的直徑應(yīng)按局部系統(tǒng)實(shí)際用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)，支管道的直

徑應(yīng)按設(shè)備最大用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)；

３干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于－４０℃時(shí)，用于管道連接的密

封材料宜選用金屬墊片或聚四氟乙烯墊片；

４采用軟管連接時(shí)，宜選用金屬軟管。

８．５工藝真空和清掃真空

８．５．１工藝真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

１工藝真空系統(tǒng)的抽氣能力應(yīng)按生產(chǎn)工藝所需實(shí)際用氣量

及系統(tǒng)損耗量確定；專用

２供氣設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的一個(gè)或多個(gè)供氣站內(nèi)；

３工藝真空設(shè)備應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備；

４工藝真空設(shè)備應(yīng)根據(jù)工藝系統(tǒng)的實(shí)際情況選用水環(huán)式或

干式真空泵；

５工藝真空系統(tǒng)宜設(shè)置真空壓力過低保護(hù)裝置。

８．５．２工藝真空系統(tǒng)的管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

１工藝真空管路設(shè)計(jì)應(yīng)布置成支狀系統(tǒng)；

２工藝真空主管道的直徑應(yīng)按全系統(tǒng)實(shí)際抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)；

主支管道的直徑應(yīng)按照局部系統(tǒng)實(shí)際抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)，支管道的

直徑應(yīng)按設(shè)備最大抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)；

３工人人文庫(kù)藝真空系統(tǒng)的管道材料宜根據(jù)工藝真空系統(tǒng)的真空壓

力及真空特性選用不銹鋼管或厚壁聚氯乙烯管道；

４采用軟管連接時(shí)，應(yīng)選用金屬軟管。

８．５．３潔凈室（區(qū)）宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)，潔凈室內(nèi)的吸塵

系統(tǒng)管道宜暗敷。

·２２·

９供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化

９．１一般規(guī)定

９．１．１潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級(jí)以及潔凈室形式應(yīng)根據(jù)生

產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求確定。

９．１．２潔凈室（區(qū)）的氣流組織應(yīng)根據(jù)潔凈度等級(jí)以及生產(chǎn)工藝

要求確定。

９．１．３凈化空調(diào)系統(tǒng)分開設(shè)置的原則除應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電

子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》ＧＢ５０４