rena技術(shù)員培訓(xùn)課件

清洗設(shè)備培訓(xùn)目錄第一部分：RENA清洗機設(shè)備概況第二部分：單晶清洗機設(shè)備概況第三部分：RENA管路圖第四部分：RENA電路圖第五部分：RENA機械原理第六部分：西門子PLC第一部分RENA清洗機設(shè)備概況1.1.1RENA整機6注：公司一般會根據(jù)需要在RENA前后加裝上料臺、下料臺用來代替人工手工放片。在下料臺也會安裝吸片裝置，用以挑出損壞，破碎的片子。1.1.1RENA整機1.1.2冷卻器1.1.4電控柜內(nèi)部1.1.5化學(xué)品輸送及排風(fēng)管道1.1.6氣、水輸送管道CDADIwaterCoolingwaterCitywater

CDACoolingwaterInTex目的

：a）去除硅片表面的污染物；b）絡(luò)合硅片表面沾污的金屬離子；c）在硅片表面腐蝕出絨面。InOxSide目的

：a）去除硅片表面的磷硅玻璃；b）去掉硅片背面及周邊p-n結(jié)。1.2RENA清洗工藝原理1.2.1清洗目的1.2.2工作流程

制絨槽上料臺下料臺干燥漂洗3#酸洗漂洗2#堿洗吹干漂洗1#InOxSide刻蝕槽上料臺下料臺干燥漂洗3#酸洗漂洗2#漂洗1#堿洗Intex1.2.3RENA一次清洗工藝RENA刻蝕原理方程：3SI+4HNO3+18HF——3H2[SIF6]+4NO2+8H2O

SIO2+HF——H2[SIF6]+H2O氟硅酸RENA制絨（HF、HNO3）原理方程：Si+2HNO3+6HF=H2[SiF6]+2HNO2+2H2O

3Si+4HNO3+18HF=3H2[SiF6]+4NO+8H2O3Si+2HNO3+18HF=3H2[SiF6]+2NO+4H2O+3H25Si+6HNO3+30HF=5H2[SiF6]+2NO2+4NO+10H2O+3H2

制備絨面的目的及機理17 減少光的反射率，提高短路電流（Isc），最終提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率。 解釋機理：當光入射到一定角度的斜面或粗糙的表面，光會反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，從而增加吸收率。絨面減少反射的機理堿洗（KOH）的目的及機理18

多孔硅的反射率是很低的，但如果不去除，對后道的擴散和絲網(wǎng)印刷不利，電池效率受嚴重影響。堿洗槽：KOH溶液，主要去除制絨后形成的多孔硅反應(yīng)如下：多孔硅Si+2KOH+H2O

K2SiO3+2H2酸洗(HF、HCL)的目的及機理19酸洗槽：

HF去除硅片在清洗過程中形成的很薄的SiO2層，反應(yīng)如下：

SiO2+6HF=H2[SiF6]+2H2O

HCl去除硅表面金屬雜質(zhì)，鹽酸具有酸和絡(luò)合劑的雙重作用，氯離子能與Pt2+、Au3+、Ag+、Cu+、Cd2+、Hg2+等金屬離子形成可溶于水的絡(luò)合物?？涛g(HF、HNO3、H2SO4)的目的和機理

在刻蝕過程中，HF對二氧化硅的腐蝕發(fā)生如下反應(yīng)：

SiO2+6HF=H2[SiF6]+2H2O

溶液中加入H2SO4的目的是增大溶液的黏度及密度，使溶液與硅片更好的接觸。

HNO3主要是用來刻蝕硅片邊緣處的P-N結(jié)的，相當于等離子刻蝕。堿洗（KOH）的目的及機理22

KOH溶液，主要去除多孔硅和中和硅表面殘余的酸。 反應(yīng)如下：Si+2KOH+H2O

K2SiO3+2H2酸洗(HF)的目的及機理23酸洗槽（去PSG）：

氫氟酸能夠溶解二氧化硅是因為氫氟酸能與二氧化硅作用生成易揮發(fā)的四氟化硅氣體。

若氫氟酸過量，反應(yīng)生成的四氟化硅會進一步與氫氟酸反應(yīng)生成可溶性的絡(luò)和物六氟硅酸?？偡磻?yīng)式為：1.3.1InTex操作系統(tǒng)主界面制絨槽HF+HNO3+DICDADIwaterDIwaterDIwaterHF+HCIKOHCDA1.3.2InOxSIde操作系統(tǒng)主界面蝕刻槽HF+HNO3+H2SO4+DIDIwaterDIwaterDIwaterHFKOHCDA1.3.3RENA主界面詳細說明進口處統(tǒng)計歸零準備上料（自動模式下才會出現(xiàn)）出口處統(tǒng)計歸零進口處硅片統(tǒng)計出口處硅片統(tǒng)計刻蝕槽溫度三個電機分別控制三段滾輪堿槽溫度門狀態(tài)(綠色為關(guān)閉灰色為開啟)1.3.3RENA主界面詳細說明登陸筐,可輸入登陸名密碼后登陸(不同的登陸名有不同的權(quán)限)記事本鎖定窗戶正在使用的工藝文件機器自動運行時的開始和停止燈塔測試(點擊后燈塔全部亮)1.3.3RENA主界面詳細說明關(guān)閉模式手動模式服務(wù)模式(權(quán)限最高)自動模式切換到初始界面按扭進入服務(wù)模式按扭進入手動模式按扭工藝文件進入手動添加界面曲線圖進入報警信息界面取消蜂鳴取消報警1.3.3RENA主界面詳細說明各添加桶狀態(tài)冷水機狀態(tài)儲液箱狀態(tài)儲液箱進口溫度儲液箱設(shè)定溫度儲液箱實際溫度冷水機內(nèi)自來水的電導(dǎo)率集中供液是否READY機器內(nèi)化學(xué)品排放是否READY1.3.4RENA手動模式狀態(tài)詳解

1）刻蝕槽界面RENA刻蝕槽界面介紹MODEMAN&MODEAUTO----自動運行時單個槽的自動手動切換PTFILLINGDI----儲液槽加純水PTFILLINGCHEMIE----儲液槽加化學(xué)藥品SYSTERMRINSING----整個系統(tǒng)(包括外槽內(nèi)槽儲液槽)用純水清洗SYSTERMDRAINING----整個系統(tǒng)排液BATHCHANGE----刻蝕槽儲液槽排空,再重新配液STARTMAINFUNCTION----在手動模式下單個槽運行工藝RINSEBATHSTART----開始用純水不斷清洗(只有在槽內(nèi)加滿純水后次按鍵才有作用)RINSEBATHSTOP----純水清洗結(jié)束FILLBATH----給刻蝕槽加化學(xué)藥品(如果儲液槽內(nèi)是純水則加的是純水)DRAINBATH----刻蝕槽排液RENA刻蝕槽功能第一次配槽的設(shè)定體積實際加入的體積未加入的體積(點擊上圖的RESTREMAINVOL.可以清零）流量2）RENISE1界面RENISE1功能MODEMAN&MODEAUTO----自動運行時單個槽的自動手動切換FILLINGDI----給槽內(nèi)加純水（RENISE１的水是RENISE２槽的水溢流過來的）DRAINING----整個槽排液STARTPROCESS----在手動模式下單個槽運行工藝STOP----結(jié)束操作RENISE1槽的狀態(tài)3）RENA堿槽界面堿槽功能MODEMAN&MODEAUTO----自動運行時單個槽的自動手動切換FILLINGDI----給槽內(nèi)加純水FILLINGCHEMIE----加化學(xué)藥品（初始配槽）RINSING----用純水清洗DRAINING----整個槽排液STARTCIRCULATION----開始循環(huán)（只有加滿純水或化學(xué)藥品后此功能才起作用，此步驟程序內(nèi)有時間計算，會自動停止，是整個槽達到READY的基本條件之一）STARTETCHING----在手動模式下單個槽運行工藝STOP----結(jié)束操作初始配槽時KOH和水的體積4）RENISE2界面介紹RENISE2功能MODEMAN&MODEAUTO----自動運行時單個槽的自動手動切換FILLINGDI----給槽內(nèi)加純水（RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流過來的）DRAINING----整個槽排液STARTPROCESS----在手動模式下單個槽運行工藝STOP----結(jié)束操作RENISE2槽的狀態(tài)5）HF槽界面介紹HF槽功能MODEMAN&MODEAUTO----自動運行時單個槽的自動手動切換FILLINGDI----給槽內(nèi)加純水FILLINGCHEMIE----加化學(xué)藥品（初始配槽）RINSING----用純水清洗DRAINING----整個槽排液STARTCIRCULATION----開始循環(huán)（只有加滿純水或化學(xué)藥品后此功能才起作用，此步驟程序內(nèi)有時間計算，會自動停止，是整個槽達到READY的基本條件之一）STARTETCHING----在手動模式下單個槽運行工藝STOP----結(jié)束操作初始配槽時HF和水的體積6）RENISE3界面介紹RENISE3功能MODEMAN&MODEAUTO----自動運行時單個槽的自動手動切換FILLINGDI----給槽內(nèi)加純水（RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流過來的）DRAINING----整個槽排液STARTPROCESS----在手動模式下單個槽運行工藝STOP----結(jié)束操作RENISE３槽的狀態(tài)7）DRYER2功能DRYER2功能MODEMAN&MODEAUTO----自動運行時單個槽的自動手動切換AIRKNIFEON----手動模式開啟風(fēng)刀AIRKNIFERESET----風(fēng)刀復(fù)位風(fēng)刀狀態(tài)8）COOLINGUNIT功能COOLINGUNIT功能MODEMAN&MODEAUTO----自動運行時單個槽的自動手動切換FILLING----給冷水機加自來水（冷水機上有液位顯示）DRAINING----冷水機排水（自來水）‘冷水機狀態(tài)9）RENA傳動功能RENA傳動功能傳動狀態(tài)(3個)同時控制3個傳動10）RENA劑量瓶三個液位傳感器,低于低液位傳感器或高于高液位傳感器機器都會報警,低于中液位傳感器并且高于低液位傳感器系統(tǒng)開始加液,加液時添加桶上方的氣動閥打開(顏色變?yōu)榫G色)。下圖為刻蝕槽添加桶畫面RENA劑量瓶堿槽添加桶HF槽添加桶HON3的添加桶下方與其他三個添加桶不同,只有一個RV880/45,這個限流閥是生產(chǎn)過程中微量補液用的,而在第一次配槽時HNO3是不經(jīng)過劑量瓶,由流量計控制直接進儲液箱的,KOH,HF都是從劑量瓶往槽內(nèi)添加.所以配槽時由于HNO3的管路不同,劑量瓶也和其他三個劑量瓶不同.RENA劑量瓶第二部分單晶清洗機設(shè)備概況

2.1制絨機制絨機整體外形圖2.1制絨機制絨機的配液、加熱系統(tǒng)制絨機電控柜2.2擴散前酸洗機中聯(lián)酸洗機2.2擴散前酸洗機捷佳創(chuàng)酸洗機2.3去PSG酸洗機捷佳創(chuàng)去PSG酸洗機2.4電氣控制柜電柜內(nèi)部電柜外部2.5甩干機甩干機整體外形圖2.5甩干機甩干機觸摸屏第三部分RENA管路圖

3.1管路圖部件標示3.1.1閥門球閥：球閥它具有旋轉(zhuǎn)90度的動作，旋塞體為球體，有圓形通孔或通道通過其軸線。球閥在管路中主要用來做切斷、分配和改變介質(zhì)的流動方向，它只需要用旋轉(zhuǎn)90度的操作和很小的轉(zhuǎn)動力矩就能關(guān)閉嚴密。氣動閥：氣動調(diào)節(jié)閥就是以壓縮空氣為動力源，以氣缸為執(zhí)行器，并借助于電氣閥門定位器、轉(zhuǎn)換器、電磁閥、保位閥等附件去驅(qū)動閥門，實現(xiàn)開關(guān)量或比例式調(diào)節(jié)，接收工業(yè)自動化控制系統(tǒng)的控制信號來完成調(diào)節(jié)管道介質(zhì)的流量、壓力、溫度等各種工藝參數(shù)。氣動閥球閥3.1.1閥門蝶閥(英文：butterflyvalve)：蝶閥又叫翻板閥,是一種結(jié)構(gòu)簡單的調(diào)節(jié)閥，同時也可用于低壓管道介質(zhì)的開關(guān)控制。是指關(guān)閉件(閥瓣或蝶板)為圓盤，圍繞閥軸旋轉(zhuǎn)來達到開啟與關(guān)閉的一種閥，在管道上主要起切斷和節(jié)流用。蝶閥溢流閥（RELIEFVALVE）：一種液壓壓力控制閥。在液壓設(shè)備中主要起定壓溢流作用和安全保護作用。

定壓溢流作用：在定量泵節(jié)流調(diào)節(jié)系統(tǒng)中，定量泵提供的是恒定流量。當系統(tǒng)壓力增大時，會使流量需求減小。安全保護作用：系統(tǒng)正常工作時，閥門關(guān)閉。只有負載超過規(guī)定的極限（系統(tǒng)壓力超過調(diào)定壓力）時開啟溢流，進行過載保護，使系統(tǒng)壓力不再增加（通常使溢流閥的調(diào)定壓力比系統(tǒng)最高工作壓力高10%～20%）。溢流閥常閉氣動球閥常開隔膜氣動閥常閉隔膜氣動閥隔膜手動閥手動球閥常開氣動球閥3.1.1閥門3.1.1閥門氣動三通球閥減壓閥單向閥減壓閥或溢流閥手動閥/針型閥/限流閥手動三通球閥3.1.1閥門常開氣動蝶閥常閉氣動蝶閥手動蝶閥帶保護功能的溢流閥3.1.2流量控制漿式流量傳感器浮子流量計通用流量計筒式液體過濾器3.1.3泵離心泵薄膜真空泵通用泵隔膜泵雙介質(zhì)泵3.1.4傳感器及其它流量計參數(shù)顯示壓力傳感器加熱器墊片電容傳感器3.2RENA各工藝槽管路圖（詳見RENA電路圖）

3.2.1制絨槽（HF+HNO3）3.2.1制絨槽（HF+HNO3）3.2.1制絨槽（HF+HNO3）3.2.2漂洗1及堿槽（KOH）3.2.2漂洗1及堿槽（KOH）3.2.3漂洗23.2.3漂洗23.2.4酸槽（HF+HCI）3.2.4酸槽（HF+HCI）3.2.5漂洗33.2.5漂洗33.2.6熱風(fēng)刀ACD3.2.6熱風(fēng)刀ACD急停開關(guān)接觸開關(guān)熱繼電器主、副觸點第四部分RENA電路圖

4.1電氣控制電路簡介4.1.1開關(guān)急停開關(guān)接觸開關(guān)（行程開關(guān)）熱繼電器主、副觸點第四部分RENA電路圖

4.1電路圖部件標示4.1.1開關(guān)4.1.1開關(guān)繼電器（接觸器）主觸點繼電器線圈馬達開關(guān)接近開關(guān)壓力開關(guān)4.1.2傳感器溫度傳感器流量傳感器電容傳感器電感式傳感器溫度傳感器電導(dǎo)率傳感器光傳感器4.1.3電機單相電機三相電機循環(huán)泵電機（熱保護）4.1.4其它常用部件三色燈和蜂鳴器日光燈插座現(xiàn)場總線接口電感（電抗）4.2氣動控制減壓閥氣壓表4.2氣動控制限流閥隔膜泵4.3RENA高低壓控制請轉(zhuǎn)到RENA電路圖（.PDF）4.4PID溫度控制應(yīng)用PID溫度控制的甩干機（單晶）4.4PID溫度控制PID溫度控制原理框圖滾輪第五部分RENA機械原理

渦輪箱第五部分RENA機械原理

第六部分西門子PLC

6.1

西門子SIMATICS7-300PLC簡介1、德國西門子（SIEMENS）公司生產(chǎn)的可編程控制器在我國的應(yīng)用也相當廣泛，在冶金、化工、印刷生產(chǎn)線等領(lǐng)域都有應(yīng)用。2、西門子S7系列PLC體積小、速度快、標準化，具有網(wǎng)絡(luò)通信能力，功能更強，可靠性更高。S7系列PLC產(chǎn)品可分為微型PLC（如S7-200），小規(guī)模性能要求的PLC（如S7-300）和中、高性能要求的PLC（如S7-400）等。3、SIMATICS7-300PLC是模塊化型PLC系統(tǒng)，能滿足中等性能要求的應(yīng)用。4、S7-300具備強大的通信功能，S7-300PLC可通過編程軟件