華特氣體 公司深度報告：多品類布局+產(chǎn)能品質(zhì)雙升級特氣龍頭空間廣闊

2023-03-312023-03-31多品類布局+產(chǎn)能品質(zhì)雙升級，特氣龍頭空間廣闊分析師：毛正S1050521120001maozheng@當(dāng)前股價(元)94.86總市值(億元)114總股本(百萬股)120流通股本(百萬股)12052周價格范圍(元)48.04-122.8日均成交額(百萬元)130.87相關(guān)研究1、《華特氣體(688268)：Q3業(yè)績延續(xù)高增長，看好電子特種氣體加速放量》2022-11-11買入(維持)基本數(shù)據(jù)市場表現(xiàn)資料來源：Wind，華鑫證券研究—華特氣體(688268.SH)公司深度報告投資要點▌特種氣體國產(chǎn)化先行者，處在產(chǎn)品+客戶快速發(fā)公司主營業(yè)務(wù)以特種氣體的研發(fā)生產(chǎn)及銷售為核心，輔以普通工業(yè)氣體和相關(guān)氣體設(shè)備與工程業(yè)務(wù)，提供氣體一站式綜合應(yīng)用解決方案。目前生產(chǎn)銷售的特種氣體主要包括高純六氟乙烷、高純二氧化碳、光刻氣等約230余種，實現(xiàn)了近20個產(chǎn)品的進口替代，多款產(chǎn)品系國內(nèi)首家。成功實現(xiàn)了對國內(nèi)8寸以上集成電路制造廠商超過80%的客戶覆蓋率。是國內(nèi)唯一一家同時獲得ASML和GIGAPHOTON認證的氣體公司。進入了英特爾、美光科技、德州儀器、臺積電、SK海力士、英飛凌等全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體企業(yè)供應(yīng)鏈體系。▌?wù)?需求+供給三重共振，特種氣體國產(chǎn)替代加我國特種氣體行業(yè)沉淀30余年，政策+需求+供給三重共振，已具備國產(chǎn)化的客觀條件。1)政策端：特種氣體作為新材料領(lǐng)域的關(guān)鍵性材料之一，國家發(fā)改委、科技部、工信部、財政部等多部門相繼出臺多部新興產(chǎn)業(yè)相關(guān)政策，均明確提及并部署了氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。2)需求端：我國電子特氣增速明顯高于全球，根據(jù)TECHCET和SEMI數(shù)據(jù)，2017-2025年我國和全球電子特氣市場CAGR分別為14.22%和6.31%，“集成電路+顯示面板+光伏”，共筑電子特氣需求端核心驅(qū)動力。3)供給端：我國電子特氣呈現(xiàn)海外巨頭壟斷局面，國產(chǎn)化率僅為12%，國產(chǎn)替代空間廣闊。當(dāng)前在顯示面板、離子注入、刻蝕、清洗等環(huán)節(jié)有一定的國產(chǎn)化程度，在前驅(qū)體、含氟光刻氣體等環(huán)節(jié)有較大差距。▌產(chǎn)品+客戶+募資+服務(wù)+錯位五大亮點，特氣龍頭用于芯片制造中蝕刻、清洗等環(huán)節(jié)。高端產(chǎn)品占據(jù)先發(fā)優(yōu)勢，高純?nèi)淄橐褢?yīng)用到半導(dǎo)體5nm先進制程工藝，高純鍺烷已通過韓國第一大存儲器企業(yè)先進制程(5nm)的認證。2)客戶：臺積電、中芯國際、華虹半導(dǎo)體、晶合集成等主要晶圓廠積極擴產(chǎn)，新建產(chǎn)能計劃2022-2025年陸續(xù)投產(chǎn)。作為8寸以上集成電路制造廠商超過80%覆蓋率的特種氣體供應(yīng)商，未來將受益于下游晶圓廠的積極擴產(chǎn)。3)募資：年產(chǎn)1,764噸半導(dǎo)體材料建設(shè)項目擴產(chǎn)建設(shè)項目總證券研究報告公司研究證券研究報告完全達產(chǎn)后年均銷售收入為7.13億元，年均凈利潤約1.22億元，投資回收期為6.82年，財務(wù)內(nèi)部收益率為19.80%。4)服務(wù)：多品種協(xié)同，供應(yīng)和服務(wù)一體化，具備“一站式”綜合服務(wù)能力優(yōu)勢，已形成“境內(nèi)+境外”銷售網(wǎng)絡(luò)，境內(nèi)以華南為主，逐步向華東、華中、西南、東北輻射，境外產(chǎn)品5)錯位：與可比公司在產(chǎn)品類型、客戶及領(lǐng)域、客戶分布區(qū)域等錯位競爭，不存在很明顯的競爭關(guān)系。特種氣體收入高于國內(nèi)行業(yè)平均水平，海外業(yè)務(wù)拓展較同行順利，償債能力高于同行水平。預(yù)測公司2022-2024年收入分別為18.16、22.89、28.71億別為57、41、31倍，給予“買入”投資評級。示公司市占率提升進展不及預(yù)期；主要產(chǎn)品價格及原材料價格波動的風(fēng)險；募集資金投資項目產(chǎn)品認證失敗風(fēng)險；新增產(chǎn)能消化風(fēng)險；行業(yè)競爭加劇預(yù)測指標2021A2022E2023E2024E主營收入(百萬元)1,3471,8162,2892,871增長率(%)34.8%34.8%26.1%25.4%歸母凈利潤(百萬元)99275364增長率(%)21.5%54.0%38.1%32.3%攤薄每股收益(元)1.081.662.293.03ROE(%)9.3%13.1%16.0%18.4%資料來源：Wind，華鑫證券研究2請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明2誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告1、特種氣體國產(chǎn)化先行者，盈利能力持續(xù)增強 61.1、沿革：深耕氣體行業(yè)二十余年，處于“產(chǎn)品+客戶”快速發(fā)展階段 6 1.3、財務(wù)：盈利能力持續(xù)增強，特種氣體驅(qū)動長期增長 82、政策+需求+供給三重共振，特種氣體國產(chǎn)替代加速演進 102.1、行業(yè)介紹：特種氣體廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體等領(lǐng)域 10 2.3、需求端：集成電路+顯示面板+光伏，構(gòu)成需求端核心驅(qū)動力 13 3、產(chǎn)品+客戶+募資+服務(wù)+同行五大亮點，特氣龍頭未來可期 203.1、產(chǎn)品：高端領(lǐng)域占據(jù)先發(fā)優(yōu)勢，在研產(chǎn)品儲備充足 203.2、客戶：國內(nèi)外客戶加速拓展，下游半導(dǎo)體企業(yè)積極擴產(chǎn) 24 3.4、服務(wù)：綜合服務(wù)能力突出，形成“境內(nèi)+境外”銷售網(wǎng)絡(luò) 283.5、同行：特氣收入、國際化進程、償債能力高于同行水平 30 圖表目錄 圖表3：公司股權(quán)結(jié)構(gòu)(截止2022Q3) 7圖表4：公司營業(yè)收入及同比增速，CARG=14.38% 8圖表5：公司歸母凈利潤及同比增速，CARG=27.38% 8 圖表14：2020年中國工業(yè)氣體細分氣體市場規(guī)模占比 11 3請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明3誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效 圖表18：全球特種氣體市場規(guī)模(十億美元) 14圖表19：中國特種氣體市場規(guī)模(億元) 14圖表20：全球電子特氣氣體市場規(guī)模(億美元) 14圖表21：中國電子特氣市場規(guī)模(億元) 14 氣下游應(yīng)用 15圖表24：中國集成電路市場規(guī)模(億元) 15圖表25：中國半導(dǎo)體材料市場規(guī)模(億美元) 15 圖表27：按國家/地區(qū)分列的世界晶圓廠產(chǎn)能 16 圖表29：全球顯示面板市場規(guī)模(十億美元) 16圖表30：光伏累計裝機量(單位：GW) 17圖表31：光伏新增裝機量(單位：GW) 17種氣體競爭格局 18 圖表34：2021年全球前十大電子特氣銷售企業(yè) 18中國特集成電路、顯示面板各環(huán)節(jié)用電子特氣現(xiàn)狀 19 圖表38：華特氣體多項技術(shù)實現(xiàn)先進水平 22 表40：公司各領(lǐng)域客戶產(chǎn)品驗證周期 24 圖表44：募集資金項目投資總額(萬元) 27圖表45：擬使用募集資金金額(萬元) 27 圖表51：華特氣體國內(nèi)子公司區(qū)域布局(截止2022年Q3) 30 4請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明4誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效圖表53：特種氣體可比公司產(chǎn)品及客戶情況 31圖表54：可比公司特種氣體部分營業(yè)收入(億元) 32表55：可比公司特種氣體部分毛利率 32圖表56：可比公司海外營業(yè)收入(億元) 32 圖表58：可比公司流動比率(倍) 32 5請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明5誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明證券研究報告1、特種氣體國產(chǎn)化先行者，盈利能力持續(xù)1.1、沿革：深耕氣體行業(yè)二十余年，處于“產(chǎn)品+客戶”快速發(fā)展階段公司主營業(yè)務(wù)以特種氣體的研發(fā)生產(chǎn)及銷售為核心，輔以普通工業(yè)氣體和相關(guān)氣體設(shè)備與工程業(yè)務(wù)，提供氣體一站式綜合應(yīng)用解決方案。是一家致力于特種氣體國產(chǎn)化，并率先打破極大規(guī)模集成電路、新型顯示面板、高端裝備制造、新能源等尖端領(lǐng)域氣體材料進口制約的民族氣體廠商。(1)特種氣體：作為公司的核心業(yè)務(wù)，定位是推動特種氣體的國產(chǎn)化，帶動公司品牌影響力，奠定行業(yè)地位，為公司提供持續(xù)增長的強勁動力。(2)普通工業(yè)氣體：作為公司的基礎(chǔ)性業(yè)務(wù)，定位是一方面其面向的客戶廣泛且需求量大，能夠為公司提供穩(wěn)定的收入，另一方面有利于維護現(xiàn)有上游供應(yīng)商、經(jīng)營渠道以及客戶關(guān)系，可以支撐特氣業(yè)務(wù)的快速發(fā)展。(3)氣體設(shè)備與工程：作為公司的輔助性業(yè)務(wù)，定位是以“一站式”服務(wù)滿足客戶的綜合需求，進一步提高服務(wù)能力，增強客戶粘性。圖表1：公司主要產(chǎn)品及應(yīng)用領(lǐng)域別應(yīng)用領(lǐng)域特種氣體(230余種)1、廣泛用于集成電路、新型顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程，主要包括清洗、蝕刻、光刻等，具體情況如下：①清洗、蝕刻：高純四氟化碳、高純六氟乙烷、高純二氧化碳等；②光刻氣：氪氖混合氣、氟氖混合氣等；③外延氣體、成膜氣體：高純氨、硅烷等；④摻雜氣體：乙硼烷、三氯化硼、磷烷等；⑤其他：氮(6N)、氫氣(6N)、氬(5.5N)等；2、除電子領(lǐng)域外，用于醫(yī)療、測量、食品等眾多領(lǐng)域的產(chǎn)品：①醫(yī)療氣體：醫(yī)用氧、血氣測定氣等，用于診斷、手術(shù)、醫(yī)學(xué)研究等；②標準氣體：由高純碳氫氣體配制，在物理、化學(xué)、生物工程等領(lǐng)域中用于校準測量儀器和測量過程，評價準確度和檢測能力，確定材料的特性量值；③激光氣體：氦氖激光氣、密封束激光氣等，用于國防建設(shè)、激光加工等；④食品氣體：二氧化碳、乙炔、氬等，用于飲料氣體、蔬菜/水果保鮮等；⑤電光源氣體：氬、氪、氖、氙及其混合氣，用于電器、燈具生產(chǎn)。普通工業(yè)氣體(10余種)主要為氧、氮、氬、工業(yè)氨等氣體，在金屬冶煉、化工、機械制造、家電照明等眾多產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。氣體設(shè)備與工程1、氣體設(shè)備包括低溫絕熱氣瓶、汽化器、撬裝裝置等，可廣泛用于氣體的存儲、充裝等過程；2、氣體工程主要是為客戶提供的供氣系統(tǒng)設(shè)計、安裝、維修服務(wù)。資料來源：公司公告，華鑫證券研究深耕氣體行業(yè)二十年，從發(fā)展普通工業(yè)氣體轉(zhuǎn)向電子特種氣體。公司1999年成立于廣東佛山，從事普通工業(yè)氣體的充裝、零售；2005年公司基本完善珠三角的氣體銷售和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，并正式確立特種氣體為研發(fā)方向；2012年成立亞太氣體子公司，銷售網(wǎng)絡(luò)向海外擴張；2017年公司Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne等4種光刻混合氣通過全球最大光刻66誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告機供應(yīng)商ASML產(chǎn)品認證；2019年公司成功登陸科創(chuàng)板,并致力于推動新產(chǎn)線及新產(chǎn)品的有效擴充；2021年獲得光刻用準分子激光機和極紫外光刻(EUV)的開發(fā)商和制造商日本GIGAPHOTON株式會社的認證。圖表2：公司發(fā)展歷史資料來源：公司公告，公司招股說明書，華鑫證券研究1.2、股權(quán)：股權(quán)結(jié)構(gòu)集中，實控人擁有63.59%表決權(quán)股權(quán)結(jié)構(gòu)集中，實控人石平湘、石思慧持股比例達36.63%。石平湘直接持有公司10.56%的股份，并通過華特投資、華弘投資、華和投資和華進投資間接持有公司21.57%的股份，石思慧直接持有公司4.49%的股份，石平湘、石思慧為父女關(guān)系，且雙方已簽訂一致行動協(xié)議，并約定對華特氣體的相關(guān)重大事項保持一致行動關(guān)系，石平湘、石思慧直接與間接合計持有公司36.63%的股份,為公司共同實際控制人。另外，石平湘控制的華特投資作為華弘投資、華和投資、華進投資的執(zhí)行事務(wù)合伙人,能夠控制華弘投資、華和投資、華進投資所持有的公司表決權(quán)，持有表決權(quán)比例為63.59%。圖表3：公司股權(quán)結(jié)構(gòu)(截止2022Q3)資料來源：公司公告，公司招股說明書，華鑫證券研究7請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明7誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告1.3、財務(wù)：盈利能力持續(xù)增強，特種氣體驅(qū)動長期增長近三年公司營收加速增長，利潤持續(xù)增長。受國內(nèi)半導(dǎo)體市場需求持續(xù)增長、稀有氣體銷售量增長及新增產(chǎn)品投產(chǎn)、原客戶新導(dǎo)入產(chǎn)品、新客戶導(dǎo)入等因素的影響，近年來公司營業(yè)收入實現(xiàn)快速增長。2017-2022Q3年公司營業(yè)收入分別為7.87億、8.18億、8.44億元、10.00億元、13.47億元、14.03億元，CAGR達到14.38%，同期取得歸母凈利潤分別為0.49億元、0.68億元、0.73億元、1.06億元、1.29億元、1.86億元，CAGR達27.38%。我們預(yù)計，隨著公司縱向產(chǎn)品深入延伸發(fā)展，橫向擴充產(chǎn)品品類，加上境內(nèi)外半導(dǎo)體客戶的拓展，未來營收將延續(xù)高速增長趨勢。圖表4：公司營業(yè)收入及同比增速，CARG=14.38%資料來源：WIND，華鑫證券研究圖表5：公司歸母凈利潤及同比增速，CARG=27.38%資料來源：WIND，華鑫證券研究凈利率穩(wěn)步提升，銷售費用率下降明顯。毛利率方面：2017-2022Q3年公司毛利率分別為33.27%、32.91%、35.38%、25.98%、24.19%、27.79%，近兩年毛利率下降主要系公司為長期發(fā)展，持續(xù)擴大半導(dǎo)體行業(yè)的客戶規(guī)模，讓利向海外大型氣體公司出口相關(guān)產(chǎn)品，以快速進入集成電路終端客戶。凈利率方面：2017-2022Q3年公司凈利率分別為6.17%、8.30%、8.60%、10.65%、9.59%、13.26%，凈利率穩(wěn)步增長主要系國內(nèi)半導(dǎo)體市場需求增長，特種氣體銷售量對應(yīng)增長及新增產(chǎn)品和客戶增長所致，其中2022年前三季度凈利率增長明顯主要受限電政策、原料價格大幅上漲等因素，公司對市場發(fā)展的準確判斷及提早布局產(chǎn)品的擴產(chǎn)。期間費用方面：公司成本控制較好，銷售費用、管理費用、財務(wù)費用穩(wěn)步降低，研發(fā)投入穩(wěn)步增加，銷售費用2020年后下降明顯主要系執(zhí)行新收入準則，將銷售產(chǎn)品相關(guān)的運雜費用調(diào)整至營業(yè)成本，研發(fā)費用增加主要系公司加大對前驅(qū)體、氨水等高端半導(dǎo)體干濕化學(xué)品的研發(fā)投入。8請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明8誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告圖表6：公司毛利率與凈利率資料來源：WIND，華鑫證券研究圖表7：公司期間費用資料來源：WIND，華鑫證券研究特種氣體貢獻主要收入，“定制化+高附加值”屬性支撐毛利率。收入構(gòu)成方面：特種氣體業(yè)務(wù)貢獻公司一半以上收入，且占比呈逐年提升態(tài)勢，2016-2022H1公司特種氣體營收占比為分別為54%、47%、48%、54%、55%、60%、75%，近兩年占比提升幅度較大。分業(yè)務(wù)毛利率方面：普通工業(yè)氣體由于屬于同質(zhì)化產(chǎn)品，供應(yīng)商較多、客戶用量較大，因此毛利率相對特種氣體較低；特種氣體由于其具有定制化、高附加值、客戶粘性強等特點，毛利率較高。此外，對于境外業(yè)務(wù)，客戶主要為專業(yè)氣體公司，通過其銷售渠道打入國際知名半導(dǎo)體制造企業(yè)，其產(chǎn)品毛利率相對國內(nèi)直銷產(chǎn)品略低。圖表8：公司分業(yè)務(wù)收入構(gòu)成資料來源：公司公告，華鑫證券研究圖表9：公司分業(yè)務(wù)毛利率資料來源：公司公告，華鑫證券研究國內(nèi)業(yè)務(wù)集中華南地區(qū)，海外業(yè)務(wù)持續(xù)拓展。公司業(yè)務(wù)在國內(nèi)主要集中于華南地區(qū)，并向華東、華中等區(qū)域拓展，2016-2021公司國內(nèi)業(yè)務(wù)中，華南區(qū)域的占比分別為65.9%、64.8%、58.4%、58.6%、52.5%、49.6%。公司海外業(yè)務(wù)進展順利，2016-2021年海外業(yè)務(wù)占比分別22.9%、16.8%、19.6%、22.5%、23.7%、26.9%，占比不斷提高。9請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明9誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明證券研究報告圖表10：公司國內(nèi)分區(qū)域業(yè)務(wù)占比資料來源：公司公告，華鑫證券研究圖表11：公司國內(nèi)外業(yè)務(wù)占比資料來源：公司公告，華鑫證券研究2、政策+需求+供給三重共振，特種氣體國產(chǎn)替代加速演進2.1、行業(yè)介紹：特種氣體廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體等領(lǐng)域特種氣體指運用在特定領(lǐng)域中，對純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體。工業(yè)氣體指用于工業(yè)生產(chǎn)制造的氣體，根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域的不同，可分為大宗氣體和特種氣體。大宗氣體指純度要求低于5N，產(chǎn)品產(chǎn)銷量大的工業(yè)氣體。特種氣體指被應(yīng)用于特定領(lǐng)域，對純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的工業(yè)氣體。特種氣體種類繁多，單一品種產(chǎn)銷量較小，根據(jù)不同用途，對不同純度組成、有害雜質(zhì)允許的最高含量、產(chǎn)品的包裝儲運等都有極其嚴格的要求，屬于高技術(shù)、高附加值產(chǎn)品。圖表12：工業(yè)氣體的分類資料來源：億渡數(shù)據(jù)，華鑫證券研究中國特種氣體行業(yè)沉淀30余年，已具備國產(chǎn)化的客觀條件。中國特種氣體萌芽于上世誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明證券研究報告紀80年代，彼時美國空氣化工產(chǎn)品公司(APCI)進軍中國，成為第一家在華投資海外氣體企業(yè)。APCI主要向國內(nèi)鋼鐵公司、化學(xué)品公司等銷售空分、制氧裝置等工業(yè)氣體設(shè)備。上世紀90年代國內(nèi)特種氣體行業(yè)進入起步期，由于當(dāng)時國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)主要以外資、合資為主，未考慮國內(nèi)相關(guān)材料配套產(chǎn)業(yè)的帶動，行業(yè)發(fā)展較為滯后；2007年后，隨著國家政策的支持、國外資本的增加和國內(nèi)自主創(chuàng)新能力的提升，行業(yè)進入加速發(fā)展期。隨著不斷的經(jīng)驗積累和技術(shù)進步，業(yè)內(nèi)領(lǐng)先企業(yè)已在部分產(chǎn)品上實現(xiàn)突破，達到國際通行標準，逐步實現(xiàn)了進口替代，特種氣體國產(chǎn)化具備了客觀條件。資料來源：億渡數(shù)據(jù)，華鑫證券研究電子特氣是特種氣體的一個重要分支，是半導(dǎo)體行業(yè)的“糧食”和“源”。特種氣體按應(yīng)用領(lǐng)域分類可分為電子特氣、醫(yī)療氣體、標準氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等。根據(jù)億渡數(shù)據(jù)，2020年中國特種氣體市場規(guī)模約占工業(yè)氣體市場規(guī)模的20%。在特種氣體行業(yè)中，電子特氣占據(jù)主要市場份額，約為60%。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”。此外，電子特氣是第二大半導(dǎo)體材料，在半導(dǎo)體材料的需求中占比15%，僅此于硅片及硅基材料的32%，在半導(dǎo)體市場持續(xù)增長的環(huán)境下，電子特氣作為半導(dǎo)體的主要材料發(fā)展前景廣闊。圖表14：2020年中國工業(yè)氣體細分氣體市場規(guī)模占比資料來源：億渡數(shù)據(jù)，華鑫證券研究圖表15：半導(dǎo)體材料需求占比資料來源：億渡數(shù)據(jù)，華鑫證券研究電子特氣對純度和質(zhì)量要求最高。特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、1111誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告空氣分離、氣體充裝、氣體混配、氣體檢測、鋼瓶處理等工藝，工藝流程對純度、精度等要求高，一般要求大于等于5N，其中電子半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)μ胤N氣體的純度和質(zhì)量穩(wěn)定性要求最高，純度一般大于6N。例如，12寸、90nm制程的集成電路制造技術(shù)要求電子特氣的純度要在5N-6N以上，有害的氣體雜質(zhì)濃度需要控制在ppb最高，純度一般大于6N。例如，12寸、90nm制程的集成電路制造技術(shù)要求電子特氣的純度達到ppt(10?12達到ppt(10?12)級別。純度每提升一個N以及粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個數(shù)量級都將帶來工藝復(fù)雜度和難度的顯著提升。圖表16：特種氣體主要生產(chǎn)工序資料來源：億渡數(shù)據(jù)，華鑫證券研究特種氣體行業(yè)是我國產(chǎn)業(yè)政策重點支持發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)之一。特種氣體作為新材料領(lǐng)域的關(guān)鍵性材料之一，廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保、醫(yī)療等領(lǐng)域，近年來得到國家政策的大力支持。國家發(fā)改委、科技部、工信部、財政部等多部門相繼出臺多部新興產(chǎn)業(yè)相關(guān)政策，均明確提及并部署了氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，有力推動了氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。請誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明證券研究報告圖表17：近年來特種氣體行業(yè)政策政策名稱頒布時間頒布單位主要內(nèi)容《重點新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2021年版)》2021.12工業(yè)和信息化部將包括六氟乙烷、八氟環(huán)丁烷等在內(nèi)的多種特種氣體列為重點新材料《廣東省制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展“十四五”規(guī)劃》2021.07廣東省人民政府依托廣州、深圳、珠海、東莞等市加快氟聚酰亞胺、光刻膠、高純度化學(xué)試劑、電子氣體、碳基、高密度封裝基板等材料研發(fā)生產(chǎn)《中華人民共和國國民經(jīng)濟和社會發(fā)展第十四個五年規(guī)劃和2035年遠景要》2021.03中共中央發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。聚焦新一代信息技術(shù)、生物技術(shù)、新能源、新材料、高端裝備、新能源汽車、綠色環(huán)保以及航空航天、海洋裝備等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，加快關(guān)鍵核心技術(shù)創(chuàng)新應(yīng)用。《關(guān)于擴大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)投資培育壯大新增長點增長極的指導(dǎo)意見》2020.09國家發(fā)展改革委、科技部、工業(yè)和信息化部、財政部加快新材料產(chǎn)業(yè)強弱項。圍繞保障大飛機、微電子制造、深海采礦等重點領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定，加快在光刻膠、高純靶材、高溫合金、高性能纖維材料、高強高導(dǎo)耐熱材料、耐腐蝕材料、大尺寸硅片、電子封裝材料等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破。《新時期促進集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》2020.07國務(wù)院聚焦高端芯片、集成電路裝備和工藝技術(shù)、集成電路關(guān)鍵材料、集成電路設(shè)計工具、基礎(chǔ)軟件、工業(yè)軟件、應(yīng)用軟件的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)，不斷探索構(gòu)建社會主義市場經(jīng)濟條件下關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)新型舉國體制?！吨攸c新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2019版)》2019.12國家工信部將用于集成電路和新型顯示的電子氣體的特種氣體、高純氯氣、三氯氫硅、鍺烷、氯化氫、氧化亞氮、羰基硫、乙硼烷、砷烷、磷烷、甲硅烷、二氯二氫硅、高純?nèi)然?、六氯乙硅烷、四氯化硅等列為重點新材料本)》2019.01國家發(fā)展改革委鼓勵類：改性型、水基型膠粘劑和新型熱熔膠，環(huán)保型吸水劑、水處理劑，分子篩固汞、無汞等新型高效、環(huán)保催化劑和助劑，納米材料，功能性膜材料，超凈高純試劑、光刻膠、電子氣、高性能液晶材料等新型精細化學(xué)品的開發(fā)與生產(chǎn)。資料來源：各政府官網(wǎng)，華鑫證券研究近年來特種氣體產(chǎn)業(yè)政策聚焦于電子特氣細分領(lǐng)域。2019年，國家工信部發(fā)布了《重點新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2019版)》，該目錄將用于集成電路和新型顯示的電子氣體的特種氣體、高純氯氣、三氯氫硅、鍺烷、氯化氫、氧化亞氮、羰基硫、乙硼烷、砷烷、磷烷、甲硅烷、二氯二氫硅、高純?nèi)然?、六氯乙硅烷、四氯化硅等列為重點新材料。2020年，國務(wù)院發(fā)布了《新時期促進集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》，明確指出要聚焦高端芯片、集成電路裝備和工藝技術(shù)、集成電路關(guān)鍵材料、集成電路設(shè)計工具、基礎(chǔ)軟件、工業(yè)軟件、應(yīng)用軟件的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)，不斷探索構(gòu)建社會主義市場經(jīng)濟條件下關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)新型舉國體制。2021年，廣東省政府印發(fā)了《廣東省制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展“十四五”規(guī)劃》，關(guān)于半導(dǎo)體及集成電路重點細分領(lǐng)域發(fā)展空間布局，在材料與關(guān)鍵元器件的布局中要加快電子氣體等材料的研發(fā)和生產(chǎn)。我們認為，特種氣體作為我國產(chǎn)業(yè)政策重點支持的對象，伴隨著半導(dǎo)體材料國產(chǎn)替代的大趨勢，未來特種氣體行業(yè)有望實現(xiàn)蓬勃發(fā)展。2.3、需求端：集成電路+顯示面板+光伏，構(gòu)成需求端核心驅(qū)動力電子特氣行業(yè)需求旺盛，我國增速明顯高于全球。隨著國家政策的推動、高新技術(shù)的誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告發(fā)展，以及下游需求的不斷增長，特種氣體市場規(guī)模持續(xù)快速增長。根據(jù)Acumen數(shù)據(jù)，2021年全球特種氣體市場規(guī)模為97億美元，預(yù)計到2030年市場規(guī)模將達到207億美元，2022-2030年的CAGR為8.9%；根據(jù)億渡數(shù)據(jù)，中國特種氣體市場規(guī)模2017-2026年由175億美元增至808億元，2017-2026CAGR為18.53%。在電子特氣細分領(lǐng)域中，根據(jù)TECHCET數(shù)據(jù)，全球電子特氣市場規(guī)模2017-2025年由36.91億美元增至60.23億美元，2017-2025CAGR為6.31%；根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，中國電子特氣市場規(guī)模2017-2025年由109.30億增至316.60億元，2017-2025CAGR為14.22%。我國電子特種氣體市場規(guī)模的增長率明顯高于全球電子特種氣體增長率，未來有較大發(fā)展空間。圖表18：全球特種氣體市場規(guī)模(十億美元)資料來源：ACUMEN，華鑫證券研究圖表20：全球電子特氣氣體市場規(guī)模(億美元)資料來源：TECHCET，派瑞特氣招股書，華鑫證券研究圖表19：中國特種氣體市場規(guī)模(億元)資料來源：億渡數(shù)據(jù)，華鑫證券研究圖表21：中國電子特氣市場規(guī)模(億元)資料來源：SEMI，派瑞特氣招股說明書，華鑫證券研究“集成電路+顯示面板+光伏”，共筑電子特氣需求端核心驅(qū)動力。根據(jù)中商產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)，特種氣體下游應(yīng)用涉及電子半導(dǎo)體、化工、醫(yī)療環(huán)保等行業(yè)，占比分別為43%、38%和9%。在電子半導(dǎo)體需求持續(xù)增加和國家政策的推動下，特種氣體在該領(lǐng)域中的占比或?qū)⒊掷m(xù)增加。電子特種氣體主要用集成電路、顯示面板、LED(發(fā)光二極管)、光伏等領(lǐng)域，根據(jù)億渡數(shù)據(jù)，電子特氣應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的占比高于62%。其中，集成電路、LED、光伏等屬于半導(dǎo)體細分應(yīng)用領(lǐng)域，應(yīng)用占比分別為43%、13%和6%。此外，在電子行業(yè)中，21%的電子特氣應(yīng)用于顯示面板。我們認為，中國經(jīng)濟結(jié)構(gòu)正在優(yōu)化升級，政府重點扶持高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)如集成電路、顯示面板及發(fā)光二級管，電子特氣為集成電路、顯示面板及發(fā)光二級管的重要原材料，同時“碳中和”及“碳達峰”對光伏行業(yè)發(fā)展的推動作用，下游行業(yè)請誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明證券研究報告的高速發(fā)展加大下游企業(yè)對電子特氣的需求。圖表22：中國特種氣體下游應(yīng)用占比統(tǒng)計資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院，華鑫證券研究圖表23：2021年電子特氣下游應(yīng)用資料來源：億渡數(shù)據(jù)，華鑫證券研究(1)集成電路我國集成電路持續(xù)高速增長，帶動電子特氣等半導(dǎo)體材料成長。近年來，國內(nèi)半導(dǎo)體市場發(fā)展迅速，在建及未來規(guī)劃建設(shè)的產(chǎn)能為特種氣體提供了廣闊的市場空間。隨著信息化、智能化技術(shù)的快速發(fā)展，半導(dǎo)體芯片及器件產(chǎn)品在半導(dǎo)體照明、新一代移動通信、智能電網(wǎng)、新能源汽車、消費類電子等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，集成電路市場規(guī)模實現(xiàn)快速增長。據(jù)中商產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)，2016-2022年我國集成電路銷售額增長速率基本維持在15%以上，預(yù)計2022年將達到11,386億元。得益于集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，晶圓制造等半導(dǎo)體材料市場亦同步增長。根據(jù)中商產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)，2017-2022年國內(nèi)半導(dǎo)體材料呈穩(wěn)定增長態(tài)勢，2022年國內(nèi)半導(dǎo)體材料市場規(guī)模達到107億美元圖表24：中國集成電路市場規(guī)模(億元)資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院，華鑫證券研究圖表25：中國半導(dǎo)體材料市場規(guī)模(億美元)資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院，華鑫證券研究我國晶圓廠數(shù)量及產(chǎn)能市場份額逐漸攀升，拉動下游電子特氣市場需求。在集成電路領(lǐng)域，當(dāng)前全球晶圓廠已進入加速投建階段。根據(jù)中商產(chǎn)業(yè)研究院統(tǒng)計，2017-2020年，全球62座新投產(chǎn)的晶圓廠中有26座來自中國大陸，占比超過40%，成為增速最快的地區(qū)。根SEMI至少增加38個新的300mm晶圓廠，臺灣其中中國大陸占據(jù)20%市場份額。同時，我國晶圓廠產(chǎn)能份額逐漸攀升，根據(jù)ESIA數(shù)據(jù)，誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告除中國大陸以外的所有半導(dǎo)體產(chǎn)區(qū)在2015年至2020年的五年內(nèi)的份額均出現(xiàn)下降，其中中國大陸從1995年占全球產(chǎn)量的14．4%上升到2020年的22．8%。我們認為，我國正積極承接全球第三次半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移，隨著全球晶圓廠的加速擴建以及產(chǎn)能的逐步釋放，下游市場對電子特種氣體的需求廣闊，電子特種氣體的市場空間將持續(xù)擴大。圖表26：全球300mm晶圓廠數(shù)量及占比圖表27：按國家/地區(qū)分列的世界晶圓廠產(chǎn)能資料來源：SEMI，華鑫證券研究(2)顯示面板資料來源：ESIA，華鑫證券研究我國顯示面板規(guī)模及份額持續(xù)增長，為電子特氣市場提供穩(wěn)定增長空間。顯示面板行業(yè)早期主要集中在日本、韓國以及中國臺灣，在國家產(chǎn)業(yè)政策支持、技術(shù)實現(xiàn)突破等多重利好因素的推動下，我國顯示面板行業(yè)取得了長足進步，形成了以京東方、TCL科技、深天馬、維信諾等重點企業(yè)領(lǐng)銜的產(chǎn)業(yè)集群，是全球第一大顯示面板產(chǎn)業(yè)集中地。根據(jù)DSCC統(tǒng)計數(shù)據(jù)，2021年中國大陸顯示面板產(chǎn)能全球市場份額約57%，較2016年增加28個百分點，預(yù)計在2025年產(chǎn)能占比將達到58%。根據(jù)precedenceresearch數(shù)據(jù)，2021年全球顯示器市場規(guī)模估計為1569億美元，預(yù)計到2030年將達到2971億美元左右，預(yù)計在2022年至2030年的預(yù)測期內(nèi)將以7.35%的復(fù)合年增長率增長。我們認為，隨著國內(nèi)市場面板出貨量穩(wěn)定提升以及OLED面板滲透率的進一步提高，未來面板行業(yè)仍具備穩(wěn)定的增長空間,電子特氣作為重要原材料，將持續(xù)收益。資料來源：DSCC，華鑫證券研究圖表29：全球顯示面板市場規(guī)模(十億美元)資料來源：PRECEDENCERESEARCH，華鑫證券研究(3)光伏行業(yè)請誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告光伏產(chǎn)業(yè)受益于雙碳政策快速發(fā)展，為電子特氣進一步打開空間。當(dāng)前碳中和成為全球共識，近年來世界主要國家或組織都相繼提出了碳中和目標和時間，同時出臺相應(yīng)新能源政策，對光伏等新能源發(fā)電產(chǎn)業(yè)有著長遠的支持。2022年6月，我國《“十四五”可再生能源發(fā)展規(guī)劃》中指出，“十四五”期間,可再生能源發(fā)電量增量在全社會用電量增量中的占比超過50%,風(fēng)電和太陽能發(fā)電量實現(xiàn)翻倍。根據(jù)wind數(shù)據(jù)顯示，2012-2021年中國光伏累計裝機容量由6.7GW增長至306.4GW，GAGR達52.88%；2012-2021全球光伏累計裝機量由101.7GW增長至843.1GW，CAGR達26.49%。2012-2021年中國光伏新增裝機容量由1.1GW增長至54.9GW，GAGR達54.84%；2012-2021全球光伏新增裝機量由29.5GW增長至132.8GW，CAGR達18.18%，中國在光伏產(chǎn)業(yè)增速明顯高于全球平均水平。我們認為，電子特氣作為太陽能電池生產(chǎn)中重要的原材料，在“碳中和”及“碳達峰”的政策利好下，將伴隨著光伏行業(yè)的快速增長進一步擴大其需求量。圖表30：光伏累計裝機量(單位：GW)資料來源：WIND，BP，華鑫證券研究圖表31：光伏新增裝機量(單位：GW)資料來源：WIND，BP，華鑫證券研究2.4、供給端：國產(chǎn)替代空間廣闊，國內(nèi)企業(yè)差異化競爭我國電子特氣呈現(xiàn)海外巨頭壟斷局面，國產(chǎn)替代空間廣闊。我國電子特氣較海外起步較晚，在技術(shù)、品種、規(guī)模、品牌等方面尚存差距，海外工業(yè)氣體巨頭經(jīng)過多年的發(fā)展和兼并收購，已經(jīng)形成了少數(shù)幾家氣體生產(chǎn)企業(yè)占據(jù)全球市場大多數(shù)份額的市場格局。根據(jù)金宏氣體招股書數(shù)據(jù)，2018年全球半導(dǎo)體用電子氣體市場中，空氣化工、普萊克斯、林德集團、液化空氣和大陽日酸等五大公司控制著全球90%以上的市場份額，形成寡頭壟斷的局面。在國內(nèi)市場，海外幾大氣體巨頭控制了88%的份額，國產(chǎn)化率僅為12%，國產(chǎn)替代空間廣闊。根據(jù)LinxConsulting數(shù)據(jù)，2021年全球前十大電子特氣銷售企業(yè)中，國內(nèi)僅派瑞特氣一家企業(yè)入圍。請誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告圖表32：全球電子特種氣體競爭格局資料來源：金宏氣體招股書，華鑫證券研究資料來源：金宏氣體招股書，華鑫證券研究圖表34：2021年全球前十大電子特氣銷售企業(yè)公司名稱總部所在地排名林德德國1默克德國2韓國3大陽日酸4液化空氣國5KDK6昭和電工7Wonik韓國8派瑞特氣9英特格美國資料來源：派瑞特氣招股書，華鑫證券研究各環(huán)節(jié)國產(chǎn)化程度不一，含氟光刻氣體等較大技術(shù)難度的產(chǎn)品國產(chǎn)化進程緩慢。電子特種氣體生產(chǎn)工藝中，技術(shù)難點主要體現(xiàn)在氣體合成制備、氣體純化、規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用等環(huán)節(jié)。電子特種氣體的前沿技術(shù)發(fā)展趨勢體現(xiàn)在兩方面：一是作為半導(dǎo)體工藝中的耗用原材料，需根據(jù)不同工藝環(huán)節(jié)的使用需求量身定制，跟隨半導(dǎo)體工藝技術(shù)的升級進行產(chǎn)品研發(fā)；二是氣體行業(yè)自身生產(chǎn)技術(shù)的進步，例如氣體合成、氣體純化等關(guān)鍵技術(shù)的進步，同樣會推動電子特種氣體及下游半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。當(dāng)前電子特氣在顯示面板、離子注入、刻蝕、清洗等環(huán)節(jié)擁有一定的國產(chǎn)化程度，同時在前驅(qū)體、含氟光刻氣體等環(huán)節(jié)或產(chǎn)品仍然擁有較大差距。請誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告圖表35：中國特集成電路、顯示面板各環(huán)節(jié)用電子特氣現(xiàn)狀應(yīng)用領(lǐng)域工藝環(huán)節(jié)技術(shù)難度國產(chǎn)化進程有待突破的產(chǎn)品或技術(shù)具備一定基礎(chǔ)，但距離國外企業(yè)仍有明顯差成膜合成技術(shù)與分析技術(shù)成熟度是成膜氣體制備的關(guān)鍵距。目前六氟化鎢、一氧化氮等已滿足技術(shù)和供應(yīng)要求，實現(xiàn)批量應(yīng)用；氨氣和一氧化二氮等已經(jīng)在90-65nm以上工藝節(jié)點量產(chǎn)應(yīng)乙烯、丙烷等碳氫類產(chǎn)品制備中，國內(nèi)等離子合成、催化加氫、純化技術(shù)以及溶解充裝技術(shù)有待加強高純氟氣作為含氟激光氣光刻的基礎(chǔ)混配氣體，其腐蝕潑，市場流通少，提純難度較高，生產(chǎn)工藝控制復(fù)非含氟類混合氣體的國產(chǎn)化研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化基本完成，如氧氦、氦氮、氪氖、氬氙氖等，主要應(yīng)用于14nm以上工藝的激光氣體含氟光刻氣體國產(chǎn)化進程緩慢，關(guān)鍵原材料高純氟氣的制備、純化、分析技術(shù)受限集成電路雜洗高效電解氟化技術(shù)、氟化合成技術(shù)以及高腐蝕性氣體氣相雜質(zhì)分析的難度較大國產(chǎn)化程度較高，在氟甲烷、六氟化硫、八氟丙烷、八氟環(huán)丁烷、氟化氫、氯化氫、氯氣等刻蝕類氣體，以及三氟化氮、六氟乙烷等清洗類氣體已實現(xiàn)突破。除了少量品種之外，大部分在不同制程均實現(xiàn)批量供貨六氟丁烯、六氟丙烷等氣體受限于制備、分離、提純、痕量分析等技術(shù)尚未完全突破離子注入大部分屬于劇毒產(chǎn)品，對于生產(chǎn)技術(shù)、包裝容器、閥門和充裝技術(shù)的要求較高國產(chǎn)化程度較高，磷烷和砷烷等已完全滿足技術(shù)和供應(yīng)要求，在不同制程均實現(xiàn)批量供貨三氟化硼、四氟化鍺等產(chǎn)品的開發(fā)，以及劇毒危險氣體的無害化生產(chǎn)、無害化處理和安全包裝容器方面，與國外相比有較大差距其他(前驅(qū)體等)合成、分析、應(yīng)用測試、包裝容器等技術(shù)要求高，產(chǎn)品種類多，開發(fā)難度大國產(chǎn)化程度較低，目前三十多種前驅(qū)體中，國內(nèi)僅在三甲基鎵、三甲基銦、三乙基鎵、四乙氧基硅等十余種產(chǎn)品有所突破，初具規(guī)模大部分產(chǎn)品尚處于開發(fā)中，高效有機合成、固體化合物提純、痕量指標分析等技術(shù)有待提高顯示面板、刻蝕、摻雜同位素分離及分析國產(chǎn)化程度較高，三氟化氮等清洗氣體，六氟化硫、四氟化碳、氯氣等刻蝕氣體，硅烷、磷烷、一氧化二氮等成膜氣體均已基本實現(xiàn)國產(chǎn)化三氟化硼等少部分氣體國產(chǎn)化程度較低資料來源：公司公告，華鑫證券研究國內(nèi)電子特氣企業(yè)產(chǎn)品差異化競爭，不同企業(yè)擁有各自獨特優(yōu)勢。華特氣體自主研發(fā)碳氟類、光刻稀混氣類、氫化物、氮氧化合物等產(chǎn)品；派瑞特氣主營三氟化氮、六氟化鎢、氯化氫、氟化氫、四氟化硅、氘氣、六氟丁二烯、高純碳氟類氣體、高純稀有氣體、混合氣等其他高純氣體；南大光電主要包括氫類電子特氣產(chǎn)品和含氟電子特氣產(chǎn)品。同時，不同企業(yè)間擁有其獨特優(yōu)勢，如凱美特氣于2021年相繼通過了法國液空、美國相干的稀有氣體、混配氣認證，電子特氣業(yè)務(wù)開始逐漸放量；華特氣體已實現(xiàn)20多種氣體產(chǎn)品的進口替代，是國內(nèi)唯一一家通過荷蘭ASML和日本GIGAPHOTON株式會社認證的氣體公司；金宏氣體的檢測中心獲得CNAS認證，其超純氨產(chǎn)品已經(jīng)基本實現(xiàn)進口替代，占據(jù)國內(nèi)大部分市場。我們認為，在當(dāng)前電子特氣國產(chǎn)化率較低的背景下，差異化競爭能夠快速滲透細分賽道，取得先發(fā)優(yōu)勢，未來電子特氣國產(chǎn)化進程有望加速演進。請誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明證券研究報告氣公司概況類型企業(yè)名稱主要業(yè)務(wù)情況關(guān)東電化林德液化空氣大陽日酸空氣化工昭和電工隸屬于SK集團，是韓國三大企業(yè)集團之一，以能源化工、信息通訊半導(dǎo)體、營銷服務(wù)為三大主力產(chǎn)業(yè)。SKMaterials是三氟化氮、六氟化鎢主要供應(yīng)商。主營業(yè)務(wù)為基礎(chǔ)化學(xué)品、精密化學(xué)品以及鐵業(yè)務(wù)，特種氣體主要產(chǎn)品有六氟化硫、四氟化碳、三氟甲烷、六氟乙烷、三氟化氮、等氟化氣體，電池材料主要產(chǎn)品為六氟磷酸鋰、硼氟化鋰等。主要產(chǎn)品包括氧氣、氮氣、氬氣、稀有氣體、碳氧化物、氦氣、氫氣等。業(yè)務(wù)遍布全球，主要為冶金、化工、能源等行業(yè)供應(yīng)氧氣、氮氣、氬氣、氫氣、一氧化氮等產(chǎn)品，為汽車、制造業(yè)、食品、醫(yī)藥、科技等行業(yè)提供工業(yè)氣體、制氣設(shè)備、安全裝置等。在亞洲、歐洲、北美等地設(shè)有30多家子公司，主營業(yè)務(wù)覆蓋鋼鐵、化工、電子、汽車、建筑、造船、食品和醫(yī)藥等多個領(lǐng)域?？商峁┈F(xiàn)場制備氣體和儲存氣體相關(guān)設(shè)備業(yè)務(wù)。主營業(yè)務(wù)為銷售和服務(wù)空分氣體、特種氣體、氣體設(shè)備等。主要產(chǎn)品為大宗氣體與稀有氣體。2016年10月，空氣化工將服務(wù)于半導(dǎo)體制程行業(yè)的化合物特種氣體業(yè)務(wù)剝離。主營業(yè)務(wù)涉及石油、化學(xué)、無機、鋁金屬、電子信息等多種領(lǐng)域。產(chǎn)品包括高純四氟甲烷、三氟甲烷、二氟甲烷、六氟乙烷、三氯化硼、氯、溴化氫、六氟化硫、氨等。華特氣體派瑞特氣南大光電昊華科技金宏氣體雅克科技主營業(yè)務(wù)為先進前驅(qū)體材料、電子特氣、光刻膠及配套材料等三大關(guān)鍵半導(dǎo)體材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。在電子特種氣體領(lǐng)域，產(chǎn)品主要包括氫類和含氟電子特氣。中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司隸屬于中國船舶集團，2002年在國內(nèi)成功開發(fā)出了高純?nèi)胤N氣體，主要產(chǎn)品包括三氟化氮、六氟化鎢、四氟化硅，氘氣，雙三氟甲基磺酰亞胺鋰等。主營業(yè)務(wù)為先進前驅(qū)體材料、電子特氣、光刻膠及配套材料等三大關(guān)鍵半導(dǎo)體材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。在電子特種氣體領(lǐng)域，產(chǎn)品主要包括氫類和含氟電子特氣。主營業(yè)務(wù)分為高端氟材料、電子化學(xué)品(含電子特種氣體)、航空化工材料、工程及技術(shù)服務(wù)四大板塊。在電子特種氣體領(lǐng)域，產(chǎn)品主要為三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫等。主營業(yè)務(wù)特種氣體、大宗氣體和天然氣。主要特種氣體產(chǎn)品超純氨、氫氣、氧化亞氮、氦氣、混合氣、醫(yī)用氣體、碳氟氣體等。主營業(yè)務(wù)包括電子材料、液化天然氣保溫板材和阻燃劑，電子材料包括半導(dǎo)體前驅(qū)體材料/旋涂絕緣介質(zhì)(SOD)、電子特種氣體、半導(dǎo)體材料輸送系統(tǒng)(LDS)、光刻膠和硅微粉等產(chǎn)品。資料來源：公司公告，華鑫證券研究行業(yè)競爭將逐步趨向于綜合服務(wù)能力的競爭。氣體的產(chǎn)品種類豐富，而多數(shù)客戶在其生產(chǎn)過程中對氣體產(chǎn)品亦存在多樣化需求?？蛻粼诳紤]成本、倉儲管理、供應(yīng)穩(wěn)定等方面的同時，也提出更多的定制化的需求，這對氣體供應(yīng)商的技術(shù)、工藝水平和產(chǎn)品種類都提出了更高、更全面的要求。為了保持氣體供應(yīng)的穩(wěn)定，雙方會建立長久的合作關(guān)系。此外，由于氣體產(chǎn)品的特殊性，其使用過程中的包裝物、管道以及供氣系統(tǒng)的處理均會對最終使用的產(chǎn)品性能產(chǎn)生影響，因此客戶更希望供應(yīng)商能夠提供氣體包裝物的處理、檢測、維修，供氣系統(tǒng)、潔凈管道的建設(shè)、維護等全面的專業(yè)性增值服務(wù)。3、產(chǎn)品+客戶+募資+服務(wù)+錯位五大亮點，3.1、產(chǎn)品：高端領(lǐng)域占據(jù)先發(fā)優(yōu)勢，在研產(chǎn)品儲備充足近20個產(chǎn)品實現(xiàn)進口替代，多款產(chǎn)品系國內(nèi)首家。公司目前生產(chǎn)銷售的特種氣體主要包括高純六氟乙烷、高純二氧化碳、光刻氣等約230余種，是國內(nèi)首家打破高純六氟乙烷、高純?nèi)淄椤⒏呒儼朔?、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純一氧化氮、Ar/F/Ne混合氣、Kr/Ne混合氣、Ar/Ne混合氣、Kr/F/Ne混合氣等產(chǎn)品進口制約的氣體公司，并220誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告實現(xiàn)了近20個產(chǎn)品的進口替代。公司自主研發(fā)的氟碳類、光刻稀混氣類、氫化物、氮氧化合物等產(chǎn)品主要應(yīng)用在芯片制程工藝中的刻蝕、清洗、光刻、外延、沉積/成膜、離子注入等環(huán)節(jié)。圖表37：華特氣體多項產(chǎn)品率先實現(xiàn)進口替代產(chǎn)品突破年份量產(chǎn)時間國內(nèi)市場份額國內(nèi)外主要企業(yè)是否為國內(nèi)首家高純六氟乙烷2011201360.26%綠菱氣體、昭和電工、關(guān)東電化國內(nèi)首家高純氨2011201314.73%昭和電工、金宏未明確高純一氧化氮20112013住友精化國內(nèi)首家高純四氟化碳2012201421.17%昭和電工、關(guān)東電化國內(nèi)首家高純四氟化碳2012201421.17%綠菱氣體、昭和電工、關(guān)東電化國內(nèi)首家高純?nèi)淄?014201614.50%綠菱氣體、昭和電工、關(guān)東電化國內(nèi)首家Ar/F/Ne混合氣2014201660%團、普萊克斯集團等國內(nèi)首家Kr/Ne混合氣20142016Ar/Ne混合氣20142016Ar/Xe/Ne混合氣20142016Kr/F/Ne混合氣20142016高純八氟環(huán)丁烷201520166.40%綠菱氣體、昭和電工、關(guān)東電化未明確超高純氬20162017林德集團未明確鍺烷混氫20162017空氣化工集團未明確高純八氟丙烷20172018關(guān)東電化國內(nèi)首家超高純氦20172018液化空氣集團、普萊克斯集團未明確超高純氮20172017林德集團未明確高純氪20162017團、普萊克斯未明確高純一氟甲烷2018小規(guī)模試用昭和電工、關(guān)東電化、大未明確高純二氟甲烷2018小規(guī)模試用昭和電工、關(guān)東電化未明確高純一氧化碳201620182060%住友精化、大陽日酸國內(nèi)首家氦氧混合氣20182018空氣化工產(chǎn)品集團、普萊克斯集團未明確資料來源：公司招股書，華鑫證券研究公司的技術(shù)積累日益深厚，掌握自主研發(fā)的特種氣體生產(chǎn)關(guān)鍵環(huán)節(jié)核心技術(shù)。經(jīng)過持續(xù)的研發(fā)創(chuàng)新和多年的技術(shù)積累，公司在氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、分析檢測等特種氣體生產(chǎn)關(guān)鍵環(huán)節(jié)形成了自主研發(fā)的核心技術(shù)，技術(shù)水平均達到國際先進水平。截至2022年6月末，公司已獲專利158項，參與制定1項國際標準、47項國家標準、1項行業(yè)標準和7項團體標準，承擔(dān)了國家重大科技專項(02專項)中的《高純?nèi)淄榈难邪l(fā)與中試》課題等重點科研項目，于2017、2019年和2021年作為氣體公司入選“中國電子化工材料專業(yè)十強”，是唯一三屆入選該獎項的氣體公司。21請21誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告圖表38：華特氣體多項技術(shù)實現(xiàn)先進水平技術(shù)先進性核心技術(shù)名稱具體表征先進氣體純化技術(shù)氣體純化是通過多重高效吸附、精餾等方式，對氣體原料中的水分、空氣、金屬離子、顆粒物等雜質(zhì)進行去除，將氣體純度提至5N (99.999%)、6N(99.9999%)乃至7N(99.99999%)吸附方面，公司通過對分子篩種類、性能等的研發(fā)，雜質(zhì)吸附水平較高，如高純四氟化碳中的鹵代烴，公司可控制在0.5ppm(0.5*10^6)，高于行業(yè)1-2ppm的吸附水平；精餾方面，公司能分離沸點相差2℃組分，高于分離沸點相差5℃的行業(yè)一般水平氣體混配技術(shù)氣體混配是指根據(jù)不同需求，運用重量法、分壓法、動態(tài)體積法等方法，將兩種或兩種以上組分的氣體按照特定比例混合，對配制過程的累計誤差控制、配制精度、配制過程的雜質(zhì)控制等均有極高要求在管線布局方面，公司根據(jù)氣體性質(zhì)進行針對性研究，真空環(huán)境可達0.01pa，高于行業(yè)一般的0.3pa；在配氣控制方面，可結(jié)合環(huán)境溫度、濕度、風(fēng)速等的影響，配氣誤差達到±2%以內(nèi)，高于行業(yè)一般的±5%的誤差水平氣瓶處理技術(shù)氣瓶處理在氣體存儲、運輸、使用的過程中對保持氣體品質(zhì)意義重大，通過去離子水清洗、內(nèi)壁研磨、鈍化等工藝，解決鋼瓶內(nèi)壁吸附雜質(zhì)的二次污染、與載氣發(fā)生反應(yīng)等問題研磨方面，公司可使光潔度達到0.1~0.5μm，高于行業(yè)一般的0.5μm；鈍化方面，公司能使腐蝕性氣體1年內(nèi)量值變化不超過1%，高于行業(yè)一般的5%；抽真空方面，公司能使真空環(huán)境達0.01pa，高于行業(yè)一般的0.3pa先進氣體分析檢測技術(shù)由于氣體“看不見、摸不著”的特點，其參數(shù)量化均依賴于分析檢測，需基于對檢測對象的分析判斷，建立專門的檢測方法，通過氣相色譜儀、微量氧分儀等設(shè)備對氣體的純度、顆粒物等進行精準檢測，對氣體產(chǎn)品質(zhì)量的控制具有重要意義相比于行業(yè)內(nèi)一般的檢測水平(檢測精度為1-0ppb)，公司對多種氣體的檢測精度可達0.1ppb(0.1*10-9)，而且對于重組分檢測、百分比濃度含氟量的檢測等行業(yè)難題均建立了獨特的檢測方法資料來源：公司公告，華鑫證券研究研發(fā)力度持續(xù)增強，擁有充足的研發(fā)儲備。2021年，公司投入研發(fā)費用4,720.30萬元，同比增長55.43%。公司注重技術(shù)引進和產(chǎn)品開發(fā)工作，在不斷地加強國際技術(shù)合作和引進消化國際領(lǐng)先技術(shù)，在技術(shù)、工藝和設(shè)備等方面與國外企業(yè)的差距不斷縮小。截至2021年末，公司在研項目42個，其中進口替代項目13個，填補全球技術(shù)空白項目1個，填補國內(nèi)技術(shù)空白項目2個，行業(yè)首創(chuàng)1個，可廣泛應(yīng)用于芯片制造中蝕刻、清洗等重要環(huán)節(jié)。我們認為，隨著研發(fā)力度的加大與技術(shù)的夯實，未來在研項目有望加速落地,公司特種氣體在國內(nèi)的市場份額有望進一步提升。22請22誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告圖表39：華特氣體在研進口替代及創(chuàng)新項目(截止21年報)技術(shù)水平擬達到目標項目進展應(yīng)用場景行業(yè)首創(chuàng)應(yīng)急排空設(shè)備的研發(fā)實現(xiàn)天然氣緊急狀態(tài)下安全排空生產(chǎn)調(diào)試應(yīng)急搶險救援填補全球技術(shù)空白某氫化物合成研發(fā)99.999%純度并實現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)實驗小試芯片先進制程的原子沉積或離子注入填補國內(nèi)技術(shù)空白鍺烷的純化項目TSA的合成純化研制突破高純乙鍺烷合成與純化研制技術(shù)，建立分析方法實驗滿足半導(dǎo)體行業(yè)對乙鍺烷的使用要求研究TSA的合成與純化工藝，實現(xiàn)99.9%的高純TSA產(chǎn)品，為規(guī)?；a(chǎn)線提供技術(shù)支持調(diào)研用于ALD低溫生長氧化硅和氮化硅薄膜，用于生產(chǎn)先進的存儲器和邏輯芯片羰基硫研發(fā)高純二氧化硫生產(chǎn)研發(fā)半導(dǎo)體用六氟丁二烯純化研制高純乙烯研發(fā)六氟丙烯生產(chǎn)研發(fā)半導(dǎo)體級四氟化硅研發(fā)99.95%純度并實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)實驗芯片的蝕刻或清洗99.995%純度并實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)實驗芯片的蝕刻或清洗99.99%純度并實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)項目驗收小批量生產(chǎn)芯片的蝕刻或清洗99.999%純度并實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)項目驗收并小批量生產(chǎn)芯片制造中蝕刻鋁金屬表面的介質(zhì)層薄膜99.999%純度并實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)實驗芯片的干式蝕刻99.999%純度并實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)入量產(chǎn)。芯片制造的干式蝕刻5N產(chǎn)品純化生產(chǎn)進進口替代八氟丙烷合成與純化研制稀混光刻氣的研制鍺烷純化及鍺烷混合氣分析技術(shù)研發(fā)超高純氣體的研發(fā)攻關(guān)高純一氧化碳項目高純二氧化碳項目高純二氟甲烷研發(fā)攻關(guān)99.999%純度并實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)段，合成裝置在安裝過程中。芯片制造的干式蝕刻進一步降低成本，提高生產(chǎn)效率實驗用于芯片的光刻建立5N5鍺烷的生產(chǎn)線實驗規(guī)?；a(chǎn)芯片制造的制程建立99.9999%超高純氣體生產(chǎn)線實驗芯片制造的制程99.997%純度并實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)用于半導(dǎo)體及電子產(chǎn)品的刻蝕突破高純二氧化碳的技術(shù)，純度達到99.9998%實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)在半導(dǎo)體的清洗和干燥過程中有極強應(yīng)用場景99.9992%純度并實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)項目驗收并實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)芯片的蝕刻或清洗資料來源：公司公告，華鑫證券研究“長認證周期+強客戶黏性”行業(yè)屬性，打造高端應(yīng)用領(lǐng)域的先發(fā)優(yōu)勢。在集成電路、新型顯示面板等特種氣體的下游高端應(yīng)用領(lǐng)域，客戶對氣體供應(yīng)商會進行審廠、產(chǎn)品認證兩輪嚴格的審核認證，其周期一般長達2-3年，而公司經(jīng)過多年行業(yè)沉淀在高端市場領(lǐng)域形成了突破，積累了中芯國際、華潤微電子、長江存儲等眾多優(yōu)質(zhì)客戶，尤其在集成電路領(lǐng)域，對8寸芯片廠商的覆蓋率處于行業(yè)領(lǐng)先地位。此外，為了保持氣體供應(yīng)穩(wěn)定，客戶在與氣體供應(yīng)商建立合作關(guān)系后不會輕易更換氣體供應(yīng)商，且雙方會建立反饋機制以滿足客戶的個性化需求，客戶粘性不斷強化。公司目前高純?nèi)淄橐褢?yīng)用到半導(dǎo)體5nm先進制程工藝，高純鍺烷已通過韓國第一大存儲器企業(yè)先進制程(5nm)的認證。我們認為，公司作為特種氣體的高端應(yīng)用領(lǐng)域的先行者，其“長認證周期+強客戶黏性”的行業(yè)屬性，為公司帶來先發(fā)優(yōu)勢，未來公司高端領(lǐng)域份額有望進一步增加。23請23誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明圖表40：公司各領(lǐng)域客戶產(chǎn)品驗證周期請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明客戶領(lǐng)域驗證時間光伏能源光纖光纜顯示面板集成電路資料來源：公司公告，華鑫證券研究3.2、客戶：國內(nèi)外客戶加速拓展，下游半導(dǎo)體企業(yè)積極擴產(chǎn)國內(nèi)唯一一家同時獲得ASML和GIGAPHOTON認證的廠商。2017年，公司自主研發(fā)的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne4種混合氣得到全球最大光刻機制造廠商ASML的認證，全球僅4家通過該認證，國內(nèi)僅有公司通過了該認證；2021年，公司自主研發(fā)的Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne混合氣獲得光刻用準分子激光機和極紫外光刻 (EUV)的開發(fā)商和制造商日本GIGAPHOTON株式會社的認證，公司目前是國內(nèi)唯一一家同時通過荷蘭ASML公司和日本GIGAPHOTON株式會社認證的氣體公司。海外業(yè)務(wù)加速拓展，已打入全球知名半導(dǎo)體企業(yè)供應(yīng)鏈。公司當(dāng)前進入了英特爾 (Hynix)、英飛凌等全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體企業(yè)供應(yīng)鏈體系。得到了液化空氣集團、林德集團等海外大型氣體公司的認可。公司產(chǎn)品出口至東亞、東南亞、西亞、北美、歐洲等50余個國家和地區(qū)。我們認為，公司在海外認證及客戶拓展進程，充分顯示了行業(yè)下游客戶對公司技術(shù)水平和生產(chǎn)管理能力等方面認可，這有助于提升公司品牌和影響力，有助于國內(nèi)終端的開拓并加速進入全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體客戶。圖表41：公司部分海外客戶資料來源：華特氣體招股說明書，華鑫證券研究國內(nèi)8寸以上集成電路制造廠商超過80%覆蓋率。公司成功實現(xiàn)了對國內(nèi)8寸以上集成電路制造廠商超過80%的客戶覆蓋率，解決了長江存儲、中芯國際、華虹宏力、華潤微電子、臺積電(中國)等客戶多種氣體材料的進口制約。截止2021年底，公司已經(jīng)基本覆蓋了內(nèi)資12寸芯片廠商，有10多個產(chǎn)品已經(jīng)批量供應(yīng)14納米先進工藝，超過5個產(chǎn)224誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告品供應(yīng)到7納米先進工藝，超過1個產(chǎn)品進入到5納米先進工藝。長江存儲為公司最大客戶，客戶集中度不斷提升。國內(nèi)終端客戶主要包括：中芯國際、長江存儲、華潤微電子、士蘭微、英諾賽科、HW、HS、合肥晶合、晶科能源、華虹半導(dǎo)體、芯恩(青島)、和艦芯片制造(蘇州)、潤陽悅達光伏、仕佳電子、京東方、華星光電等。其中長江存儲2020-2022年連續(xù)三年均是公司最大客戶，2022年1-9月營收占比達16.47%?？蛻艏卸炔粩嗵嵘?，2019-2022Q3前五大客戶合計占比分別為14.09%、19.23%、23.94%、35.32%。圖表42：公司前五大客戶情況年度序號客戶名稱營收占營收占比年度序號客戶名稱營收占營收占比1長江存儲16.47%1長江存儲9.24%2中芯國際7.91%2CommerceEnterprises4.89%3液化空氣集團4.45%度3液化空氣集團4.04%4林德集團3.26%4中芯國際3.47%5SOLEMATERIALSCO,LTD3.23%5ECOMATEINTLCO.,LIMITED2.29%前五名客戶合計35.32%前五名客戶合計23.94%年度序號客戶名稱營收占營收占比年度序號客戶名稱營收占營收占比年度1長江存儲5.99%1中芯國際3.42%2Commerce4.18%2長江存儲3.01%3中芯國際3.84%度3液化空氣集團2.98%4液化空氣集團3.25%4CommerceEnterprises2.76%5華潤微電子1.96%51.93%前五名客戶合計19.23%前五名客戶合計14.09%資料來源：公司公告，華鑫證券研究公司將受益于下游晶圓廠的積極擴產(chǎn)。當(dāng)前主要晶圓廠紛紛宣布積極的擴產(chǎn)計劃和資本開支計劃，以應(yīng)對芯片短缺問題。晶圓代工龍頭臺積電看好5G、HPC、汽車電子的長期增長趨勢，在全球范圍內(nèi)積極擴產(chǎn)。中國大陸廠商中，中芯國際計劃在北京、上海、深圳、天津分別新建10/10/4/10萬片/月的12英寸芯片產(chǎn)能，工藝制程為28nm及以上。此外，華虹半導(dǎo)體、士蘭微、華潤微、晶合集成等廠商均有擴產(chǎn)計劃。從投產(chǎn)時間來看，絕大部分新建產(chǎn)能計劃在2022-2025年陸續(xù)投產(chǎn)。公司作為8寸以上集成電路制造廠商超過80%覆蓋率的特種氣體供應(yīng)商，未來將受益于下游晶圓廠的積極擴產(chǎn)。25請25誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效證券研究報告圖表43：下游晶圓廠產(chǎn)能擴產(chǎn)情況公司地點投資金額產(chǎn)能工藝制程預(yù)計投產(chǎn)時間臺積電美國亞利桑那120億美元2萬片/月2024年中國南京28.87億美元2萬片/月2022年下半年中國臺灣高雄-4萬片/月6/7nm、22/28nm2024年中國臺灣臺南1.5萬片/月3nm2022年中國臺灣新竹1-2萬片/月3nm2022年中國臺灣竹科寶山4座12英寸晶圓廠2nm2025年中芯國際天津-擴增4.5萬片/月8英寸2021-2023年北京擴增1萬片/月12英寸2021-2023年北京76億美元10萬片/月28nm12英寸2024-2025年上海88.7億美元10萬片/月28nm12英寸2024-2026年深圳23.5億美元4萬片/月28nm12英寸2022年天津75億美元10萬片/月28nm12英寸-紹興-擴增至9萬片/1月28-180nm8英寸2021-2022年寧波3萬片/月8英寸2022-2023年華虹集團無錫52億美元12英寸55/65-90nm2022年晶合集成合肥165億美元4萬片/月12英寸40-55nm2021-2023年粵芯半導(dǎo)體廣州370億元8萬片/月12英寸55-90nm投產(chǎn)55nm2024年海辰半導(dǎo)體無錫14億美元11.5萬片/月8英寸2021-2023年士蘭微廈門50億美元擴增至6萬片/月12英寸65-90nm2021-2022年杭州26億元擴增至8萬片/月8英寸2021-2022年華潤微重慶75.5億元3萬片/月12英寸2022-2025年聞泰科技上海120億元3-4萬片/月12英寸2022-2025年比亞迪長沙、濟南30億元3-4萬片/月8英寸2022-2025年資料來源：半導(dǎo)體器件應(yīng)用網(wǎng)，華鑫證券研究3.3、募資：可轉(zhuǎn)債募投項目，打開利潤新增長點已通過上海證券交易所科創(chuàng)板上市委員會審議。為配合國家政策發(fā)展，順應(yīng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化的潮流，深化公司在高端半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的業(yè)務(wù)布局，提升公司產(chǎn)品覆蓋領(lǐng)域和綜合競爭力，公司擬向不特定對象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券。截止2022年末，該申請以獲得上海證券交易所科創(chuàng)板上市委員會審議通過，等待獲得中國證券監(jiān)會作出同意注冊批示。本次募資不超6.46億元，用于年產(chǎn)1764噸半導(dǎo)體材料建設(shè)項目、研發(fā)中心建設(shè)項目、補充流動資金。26請26誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明證券研究報告圖表44：募集資金項目投資總額(萬元)資料來源：公司公告，華鑫證券研究圖表45：擬使用募集資金金額(萬元)資料來源：公司公告，華鑫證券研究(1)年產(chǎn)1,764噸半導(dǎo)體材料建設(shè)項目擴產(chǎn)建設(shè)項目建設(shè)期預(yù)計為2年。公司將通過江西華特在現(xiàn)有空余場地上擴建生產(chǎn)基地，擴大現(xiàn)有特種氣體生產(chǎn)規(guī)模，同時進一步豐富特種氣體產(chǎn)品種類，以滿足日益增長的市場需求。本項目總投資4.66億元，預(yù)計建設(shè)期為2年，建成后將生產(chǎn)高純一氧化碳、高純一氧化氮、高純六氟丙烷及異構(gòu)體、電子級溴化氫、電子級三氯化硼、超高純氫氣、超純氪氣、超純氖氣、超純氦氣和超純氙氣共1,764噸，主要用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中刻蝕、沉積、摻雜、光刻等領(lǐng)域。圖表46：年產(chǎn)1764噸半導(dǎo)體材料項目各產(chǎn)品情況序號產(chǎn)品產(chǎn)能(噸/年)產(chǎn)品主要應(yīng)用1高純一氧化碳0用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的干法蝕刻,為化學(xué)氣相沉積工藝過程提供碳源2高純一氧化氮40用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的氧化、化學(xué)氣相沉積工3高純六氟丙烷及其異構(gòu)體800新一代等離子體刻蝕氣體,主要應(yīng)用于3DNAND制造過程4電子級溴化氫300用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的蝕刻工藝5電子級三氯化硼300用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的擴散摻雜工藝6超高純氫氣9廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中襯底的制備、氧化工藝、外延工藝以及化學(xué)氣相沉積(CAD)中7超純氪氣/氖氣/氙氣/氦氣稀有氣體5廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的光刻、蝕刻工藝及產(chǎn)品冷卻、激光等電光源、載人航空航天等領(lǐng)域合計1764資料來源：公司公告，華鑫證券研究預(yù)計T+6年完全達產(chǎn)。對于高純六氟丙烷、電子級溴化氫、電子級三氯化硼產(chǎn)品，考慮到相關(guān)產(chǎn)品為新產(chǎn)品，需要一定的客戶驗證周期，從通過客戶驗證導(dǎo)入客戶到產(chǎn)能完全釋放所需的時間可能更長。公司預(yù)計T+6年將完全達產(chǎn)，完全達產(chǎn)后年均銷售收入為7.13億元，年均凈利潤約1.22億元，投資回收期為6.82年(所得稅后，含建設(shè)期)，財務(wù)內(nèi)部收益率(所得稅后)為19.80%。通過本項目的實施，公司將新增高純六氟丙烷、電子級溴化氫、電子級三氯化硼等產(chǎn)品的生產(chǎn)能力，進一步完善公司電子特氣產(chǎn)品布局，擴充公司氣體產(chǎn)品種類，為公司后續(xù)的業(yè)績增長提供產(chǎn)能支撐，貢獻新的利潤增長點。同時，提升半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)鏈自主可控227誠信、專業(yè)、穩(wěn)健、高效請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明請閱讀最后一頁重要免責(zé)聲明證券研究報告能力，加速半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化進程。圖表47：年產(chǎn)1764噸半導(dǎo)體材料項目產(chǎn)能釋放進度資料來源：公司公告，華鑫證券研究圖表48：年產(chǎn)1764噸半導(dǎo)體材料項目營收及凈利潤資料來源：公司公告，華鑫證券研究(2)研發(fā)中心建設(shè)項目建設(shè)期預(yù)計為2年。項目實施主體為江西華特電子化學(xué)品有限公司，用地選址地塊位于江西省九江市永修縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)星火工業(yè)園，該場地為公司現(xiàn)有場地，預(yù)計建設(shè)期為2年，項目總投資7,665萬元。通過項目的實施，滿足了公司日益增長的研發(fā)場地以及研發(fā)設(shè)備需求，進一步豐富現(xiàn)有的產(chǎn)品研發(fā)序列，加速完成特種氣體新產(chǎn)品、半導(dǎo)體前驅(qū)體材料等研發(fā)產(chǎn)業(yè)化工作，同時進一步強化公司的純化技術(shù)、氣瓶處理技術(shù)等公司核心技術(shù)的儲備，保持技術(shù)領(lǐng)先優(yōu)勢，鞏固公司主營產(chǎn)品在市場的領(lǐng)先地位。(3)補充流動資金公司綜合考慮現(xiàn)有資金情