GaNLED芯片工藝簡(jiǎn)介

GaNLED芯片工藝簡(jiǎn)介第一頁(yè)，共51頁(yè)。LED白光第二頁(yè)，共51頁(yè)。LED的前程第三頁(yè)，共51頁(yè)。LED芯片的實(shí)物照片第四頁(yè)，共51頁(yè)。LED發(fā)光管是怎樣練成的襯底材料生長(zhǎng)或購(gòu)買襯底LED結(jié)構(gòu)MOCVD生長(zhǎng)芯片加工芯片切割器件封裝Sapphire藍(lán)寶石2-inch第五頁(yè)，共51頁(yè)。襯底片

第六頁(yè)，共51頁(yè)。氮化物L(fēng)ED發(fā)光管的器件結(jié)構(gòu)及發(fā)光機(jī)理electrons電子空穴復(fù)合發(fā)光P歐姆接觸N歐姆接觸藍(lán)寶石或碳化硅第七頁(yè)，共51頁(yè)。MOCVD外延藍(lán)寶石緩沖層N-GaNp-GaNMQW第八頁(yè)，共51頁(yè)。MOCVD機(jī)臺(tái)第九頁(yè)，共51頁(yè)。第一步清洗有機(jī)物金屬離子第十頁(yè)，共51頁(yè)。第二步n區(qū)光刻

第十一頁(yè)，共51頁(yè)。爆光機(jī)第十二頁(yè)，共51頁(yè)。刻蝕Cl2+Bcl3+Ar第十三頁(yè)，共51頁(yè)。PlasmalabSystem133第十四頁(yè)，共51頁(yè)。去膠3#液第十五頁(yè)，共51頁(yè)。p電極蒸發(fā)第十六頁(yè)，共51頁(yè)。蒸發(fā)機(jī)臺(tái)第十七頁(yè)，共51頁(yè)。P電極光刻第十八頁(yè)，共51頁(yè)。P電極腐蝕KI+I2第十九頁(yè)，共51頁(yè)。去膠丙酮+酒精第二十頁(yè)，共51頁(yè)。P電極合金O2第二十一頁(yè)，共51頁(yè)。合金爐第二十二頁(yè)，共51頁(yè)。N電極光刻第二十三頁(yè)，共51頁(yè)。N電極蒸發(fā)第二十四頁(yè)，共51頁(yè)。N剝離第二十五頁(yè)，共51頁(yè)。N退火N2第二十六頁(yè)，共51頁(yè)。P壓焊點(diǎn)光刻第二十七頁(yè)，共51頁(yè)。P壓焊點(diǎn)蒸發(fā)第二十八頁(yè)，共51頁(yè)。P壓焊點(diǎn)剝離第二十九頁(yè)，共51頁(yè)。鈍化層沉積氣體，功率第三十頁(yè)，共51頁(yè)。PECVD機(jī)臺(tái)第三十一頁(yè)，共51頁(yè)。鈍化層光刻第三十二頁(yè)，共51頁(yè)。鈍化層刻蝕第三十三頁(yè)，共51頁(yè)。鈍化層去膠丙酮第三十四頁(yè)，共51頁(yè)。中道終測(cè)檢驗(yàn)第三十五頁(yè)，共51頁(yè)。LED芯片制作LED芯片制作---LASER/裂片LASER/裂片生產(chǎn)流程:第三十六頁(yè)，共51頁(yè)。減薄第三十七頁(yè)，共51頁(yè)。劃片第三十八頁(yè)，共51頁(yè)。LED芯片制作LED芯片制作---LASER/裂片LASER/裂片目的：將２寸的Ｗafer通過(guò)高溫劃片，再用裂片機(jī)進(jìn)行剁成若干個(gè)所要的小chip.第三十九頁(yè)，共51頁(yè)。裂片第四十頁(yè)，共51頁(yè)。擴(kuò)膜第四十一頁(yè)，共51頁(yè)。劃片,裂片工作流程圖劃片前晶片背面劃片后背面劃片后,側(cè)視圖裂片后,側(cè)視圖擴(kuò)膜后,正視圖第四十二頁(yè)，共51頁(yè)。測(cè)試分檢第四十三頁(yè)，共51頁(yè)。測(cè)試機(jī)第四十四頁(yè)，共51頁(yè)。LED芯片制作LED芯片制作---分選分選目的:根據(jù)型號(hào)規(guī)格要求把同一Wafer上相同型號(hào)規(guī)格的晶片分到同一BIN上．分選的流程１．通過(guò)網(wǎng)絡(luò)讀出分類好的Mapping圖２．核對(duì)Mapping圖３.通過(guò)做晶粒教導(dǎo)，INK點(diǎn)設(shè)定、自動(dòng)對(duì)位等步驟，設(shè)置工藝參數(shù)，（比如設(shè)定雙胞胎、電極刮傷、發(fā)光區(qū)沾污的合理的分?jǐn)?shù)值），然后就可以正常的進(jìn)行分選。

第四十五頁(yè)，共51頁(yè)。LED:What’sinside?electrodessemiconductorchipepoxydomebondwires“silvercup”reflectorDesignGrowthProcessingPackaging

CharacterizationApackagedLEDDifferentpartsofanLEDProcessflow:第四十六頁(yè)，共51頁(yè)。交通燈第四十七頁(yè)，共51頁(yè)。全彩顯示第四十八頁(yè)，共51頁(yè)。Photometryisjustlikeradiometryexceptthateverythingisweightedbythespectralresponseoftheeye光學(xué)知識(shí)Solidangle:sr=2(1-cos(θ/2))立體角:第四十九頁(yè)，共51頁(yè)。如何理解光通量(Lumen)和發(fā)光強(qiáng)度(Mcd)470nmLED:3000mcd(20mA)P