潔凈室檢測潔凈室檢測報告

干凈室檢測干凈室檢測報告干凈室檢測篇一:干凈室各工程檢測方法總結高效過濾器檢漏一、說明。泄漏測試的目的，是要確認：濾網的材料無破損，安裝恰當。FFU系統，天花板上是負壓，假設是邊框機有微粒日后照舊會產生問題。因此，邊框掃描一樣重要。濾網泄漏測試根本上是上游的顆幾種不同的方式，適用在不同的場合。測試方式有：1.2.3.全效率測試法，4.外氣測試法。后兩種現在使用格外少。二、方法氣溶膠光度計測試法氣膠光度計測試法是最早期的測試方式，但是由于效果格外好，到今天照舊沿用。氣膠光度計〔AerosolPhotometer〕是微粒計數器的一DOP是一種油性化學物質，現改用PAO,加壓或加熱霧化之后，可以產生次微米等級的微粒，可用來模擬無DOP/PAO與氣膠光度計，但是隨著PSL由于時只要把PSL溶液霧化，導入濾網上游即可PAO/DOP過濾器檢漏一.說明照舊沿用。氣膠光度計〔AerosolPhotometer〕是微粒計數器的一種，總體強度，不是微粒數目。DOP是一種油性化學物質，加壓或加熱霧化驗證微粒。1泄漏的定義是泄漏出上游濃度萬分之一，由于氣膠光度計可以直接顯示上下游微粒濃度的比值，因此掃描濾網格外便利。也正因其準確、牢靠，美國食品與藥品管制局〔FDA〕規(guī)定，在其管轄范圍內〔食品加工場所與醫(yī)療制藥場所P與氣膠光度計。近年來由于人們疑心DOP會導致癌癥，因此多改用PAO。PAO和DOP二.測試儀器1本測試法使用儀器為氣膠光度計〔AerosolPhotometer〕與微粒產生器〔lr。氣膠光度計的顯示版有模擬與數字兩種，每不需要校正。三.測試方式描以覺察泄漏、更換或修補、重測，其步驟說明如下在圖面上記錄濾網數量并編號。使用氣膠產生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，將PAO打入濾網上游，微粒1020PAO。微粒愈多愈簡潔找出泄漏，但是超過50微克以后差異不大，少于10則很難使用。微粒濃度可用風量粗略計算，再用氣膠光度計確認。網四周可用塑料簾掩蓋以確保測試之準確在濾網外表掃描，掃描之路徑可由外而內或沿長/短邊迂回檢測.干凈度測試一、說明測試完畢，其它測試對干凈度影響不大，或是屬于其它環(huán)境測試。二、測試儀器干凈度測試使用微粒計數器，儀器須經校正合格且仍在有效期限內，交附報告時須附合格之校正文件。微粒計數器有不同規(guī)格，最常見的是流量1cfm，最小粒徑可測到0.3mm或是0.1mm，單位多是立方英呎。至于應使用何種設備，要依業(yè)主的標準而定。一般在產業(yè)界，多依以下方式選擇微粒計數器。Class1000或更高：0.5μmClass100：0.3μm，0.5umClass1到Class10：0.1μmISO為基準，則要把結果作換算。單位換算，不影響上限的計算程序。三、測試步驟：均已完成，并已修換破損局部。確認測試位置與測試點數。取樣時間：每點的取樣時間依照等級與粒徑不同而異，假設取樣時間小于一分鐘，則以一分鐘為準。且將檢測儀器以適當之架臺支撐，不行以手持支撐。測量點數以公式計算〔與209E一樣。四、驗收標準：則該分析值也必需小于規(guī)定值。一、測試目的能因現場的限制，室內換氣量還必需用風速乘以出口面積來換算。風速重要。但是需注明是濾網風速測量或是無塵室室內風速測量。二、使用儀器無塵室里面使用的HEPA/ULPA濾網，其送出氣流的速度多半都掌握在0.5m/s以內，因此所使用的風速計必需是低速型。濾網風速測量可使用單點式風速計如電子式壓力計協作皮氏管、熱線式風速計。也可以使用多點式風速計如ShortridgeVelgrid16點風速計。輪葉式風速計因使用范圍不同，通常不在無塵室內使用。熱線式風速計〔HotWire〕雖然高0.5m/s用，一般熱反響風速計常用的是Thermeister式風速計。轉輪式風速計由期限內。三、測試步驟在圖面上記錄濾網尺寸、數量并編號。取樣點位于濾網下方75-150mm處。1平方英尺取一4平方英尺取一點。5秒的平均。并標明不合格測試點。型無塵室測試時，特別留意取樣時風速計不行受到干擾，以免影響準確度。四、數據分析對標準差來代表，其計算步驟如下。1.平均值：2.標準差風量及平衡性測試一、說明使用。只有在無法使用氣罩的場合〔氣罩體積較大，有時會受限制，才風與回風，正值代表送風，負值代表回風或排氣。須留意的是反向測量時，其測量范圍通常會降低。二、測試儀器風量測量應當使用氣罩〔wgd，氣罩的測量范圍是15~2500cfm，準確度要求為讀數的±3%。由于氣罩本身會產生壓期限的儀器，于正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格之校正文件。三、測試步驟：在圖面上記錄濾網尺寸、數量并編號。使用恰當尺寸氣罩將出風口完全罩住，然后測量與計錄。并標明不合格測試點。記錄全部原始數值，以及分析后的數值。四、數據分析：驟如下。平均值：將全部風測量量值取算數平均壓差測試一、說明當的正壓以維持干凈度，這已經是個monsense，在209的舊版本10到25Pascal之間。壓力測量的時機，應當是在風速、風量、平行度等與氣門窗都必需關上，全部的風扇也必需維持正常運轉。二、測試儀器±5%，測量范圍式壓力設計值而定，一般0~5mmAq〔0–50Pascal〕即可涵蓋室內外壓力差之測量。儀器需經校正合格且仍在有效期限內之才可以使用，檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。三、測試步驟必需在風速、風量、氣流等測試完成后，才能測試壓力，并且排氣與MAU要完全正常運轉。全部門與開口都要關閉。室外大氣壓力假設為0.0mmAq表壓力。測定干凈區(qū)域與相鄰較次級干凈區(qū)域之壓差，再測量房間與Gowningroom之間壓差，最終測量Gowningroom與外部之壓差。5~12Pa，并無強制規(guī)定。溫濕度檢測一、說明粒掌握沒有甚么影響，因此溫濕度測試屬于第三級測試〔Level3。但測量又分為一般測量和進階測量〔GeneralTestsandComprehensives，一般測量只是測量溫濕度在測量點的實時數據〔單一測數據，下。進階測量適用在對溫濕度要求比較高的場所。二、測試儀器：量和進階測量使用儀器的精度一樣，溫度測量范圍是0-100℃，準確是±0.2℃。濕度測量范圍是10﹪到95﹪，準確度是±2﹪。一般測量要求溫度之顯示值可顯示0.1℃的變化，濕度的顯示值可顯示1﹪的變化。進階測量則要求溫度之顯示值可顯示0.05℃的變化，濕的顯示0.1﹪三、測試程序：確認空調系統已經安裝完成，并已完成測試、調整、平衡?？照{系統供給正確的運轉環(huán)境，因此系統要先平衡才能測試。24小時以上。測試點數為每個房間至少量一點，并且每個溫濕度掌握區(qū)至少量一點，例如每個DryCoil的掌握范圍要量一點，測量高度為(高架)地板1.00m。光照度測試一、測前預備干凈室全部開孔皆需封閉氣密處理完成測試前空調系統應已完成測試、調整、平衡，并已連續(xù)運轉24小時以上。干凈室環(huán)境需清潔完成二、測試目的三、測試儀器專業(yè)照度儀無塵室光源至少使用100小時以上，測試前需點亮2小時以上。確認測試點及配置圖編號。1.2m10秒記錄。噪音度測試竣工圖面〔初版〕與相關標準確認干凈室全部開孔皆需封閉氣密處理完成。測試前空調系統應已完成測試、調整、平衡，并已連續(xù)運轉24小時以上。干凈室環(huán)境需清潔完成。二、測試目的三、測試儀器專業(yè)噪音儀40m21點為量測點，另針對業(yè)主要求局部增加測試點數。五、測試步驟：a.無塵室全部空調設備及公用設備均為運轉狀態(tài)。b.確認測試點及配置圖編號。c.1.2m10秒后記錄最大值。氣流流向檢測一、測試目的都測試完畢且通過之后進展，過早進展可能得不到正確的數據。二、測試方法一般而言平行度的測量，是由肉眼觀看所打算。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA風飄舞，然后測量氣流平行度。在無塵室內普遍使用的高分子材料Flo-Viz，是用尼龍抽成單絲所制成，由于質量很輕因此適合作無塵室平三、測試儀器1.支架2.鉛垂線3.Flo-Viz細線4氣流流向檢測儀四、測試步驟用支架設立垂線作為基準線。=tan-1(/1220)6.3m×3m1點。假設是使用煙霧，其方式很類似，就是在濾網下施放煙霧，然后將鉛了。導電度可視為電流流經或繞過某物體之簡潔程度(relativeease)，電阻的倒數即導電度二.、測量目的測量地板上點與點之間(FloorPointtoPoint)的電阻，和地板與大地間(FloortoGround)的電阻三、PointtoPoint檢測過程溫濕度需已經測試調整合格每組數據需使用兩個電極電阻計之開路電壓為500奧姆，內阻至少 奧姆5組數據，取平均值四、FloortoGround檢測過程溫濕度需已經測試調整合格子上Owner20個位置每位置取不同的5點測量，再取平均值平均之電阻應小于一百萬歐姆自凈力量檢測一、測試目的水平。二、測試儀器顆粒測試儀〔品牌TE，型號：、、顆粒釋放器。三、測試位置四、測試步驟在測試開頭之前要保證凈房空調系統正常運轉24以上，讓干凈環(huán)境到達一個穩(wěn)定的水平。每立方英尺體積的空氣中含有的0.3um顆粒數量，連續(xù)測試數分鐘，待取一個穩(wěn)定的數據，此時，再將該房間的整個空調系統全部斷電。在該房間內釋放顆粒，使于外界非干凈區(qū)域的顆粒自使整個干凈室0.3um10100倍。此時再啟動空調系統，使其正常運行，測試該干凈室內顆粒濃度恢復到之前水平所需要的時間靜電檢測一、測試目的另外在無塵室里面，假設是物體外表帶有靜電，就很簡潔吸引灰塵造成污真物體在該氣流場中之剩余外表電壓。二、測試程序于無塵室內離地32英吋(813mm)處，測量該位置之空氣中正離10個，或由業(yè)主自己打算。在同一位置做剩余電壓測試。干凈室檢測篇二:干凈室監(jiān)測與檢測技術〔保藏版〕()干凈室檢測篇三:無塵室測試與認證無塵室測試與認證使用者在開無塵室的等級給供貨商時，有以下幾個小技巧。首先是等級定義的模式如下： ClassX(atYμm)其中X是無塵室的等級，例如100或 等等，Y是粒徑如0.2μm,0.5μm等，可復就是使用者規(guī)定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必需滿足該等級的限度。這樣可以削減紛爭，以下是幾個例子： Class1(0.1μm,0.2μm,0.5μm) Class100(0.2μm,0.5μm)Class100(0.1μm,0.2μm,0.5μm)在Classes100(M3.5)andGreater(Class100，1000，....)，一般看一個粒徑即可。在ClassesLessthan100(M3.5)(Class10，1....)，一般要看多幾個粒徑。其次個技巧是規(guī)定無塵室的狀態(tài)，例如： ClassX(atYμm)，At-rest供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態(tài)下驗收。第三個技巧是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時無塵室都很干凈，微粒掌握力量測試不易，這時可以干脆把驗收上限壓低，例如： Class (0.3μm)，As-built Class (0.5μm=1000)，As-built這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態(tài)時，照舊有足夠的微粒掌握力量。以下兩個表是Fed-Std-209EISO-的等級定義。1.209E的公制和英制兩套標準，雖然有公淆。2.在兩表中0.5mm幾乎消滅在每一個等級定義中，表示粒徑0.5mm的粒子格外具有代表性。3.在干凈度的分類上，不管是在高干凈度，或是低干凈度，ISO- 的范圍比209E都來的廣，因此具有將來性。四、無塵室測試范圍 但凡和無塵室環(huán)境掌握有關的因素，都在證的范圍之內。在無塵室完工之前，業(yè)主、施工單位、與測試單位?應就以下幾個主題做具體爭論并達成協議，以利測試進展。1.待測無塵室涵蓋范圍、等級、面積、濾網位置、與數量2.測試的目的3.測試程序4.使用儀器5.測試報告撰寫方式與內容6.工期 在測試前，將以義清楚，可以使測試順當進展，覺察問題時也可以盡快排解，對業(yè)主和施工單位都有利。IEST-0062有一個表說明測試工程，以及適用狀態(tài)，具有相當參考價值表列如下。干擾。固然這是IEST的建議，我們可以自行打算。至于測試的工程選擇，NEBB建議：依重要性分成三級，說明如下。第一級〈LevelI〉:第無塵室都應至少應做的測試。第一級測試工程包括：A.風速測量B.風測C.D.E.F.壓力測量其次級〈LevelII〉:其次級測試，雖然也是與干凈度與氣流有關，但是只有在特別狀況下才需要進展。A.氣流平行度測量〈只適用層流型無塵室〉B.空間泄漏測試〈幾乎已被壓差測試取代〉C.恢復率測試〈依建議只適用亂流型無塵室〉D.粒子沉降測試〈近年來已經很少做〉第三級〈LevelIII〉:第三級測試就與氣流無關，都是屬于環(huán)境因素。A.照度與B.C.D.溫濕度測試這里說明NEBBNEBB所認定的根本要求，業(yè)主可視狀況自行修改。NEBB唯一的要求是，假設是修改后的程序比較寬松，就不能說是符合NEBB標準。氣流測量無塵室內的氣流掌握，是維持干凈度的關鍵，因此高效過濾網〈HEPAFilter〉的出口速度掌握，是格外重要的課題。由于濾NEBB的標準。一、濾網速度與均勻度測量1?測試目的 氣流是掌握干凈度與溫濕度的最主要因乘以出口面積來換算。風速重要，因此多只需要測量風量?！矠V網外表〕或是無塵室室內風速測量〔工作高度。2?使用儀器 無塵室里面使用的HEPA/ULPA濾網，其送出氣流的速度多半都掌握在0.5m/s以內，因此所使用的風速計必需屬于低速風速測量可使用單點式風速計如電子式壓力計協作皮氏管、熱線式風速計。也可以使用多點式風速計如ShortridgeVelgrid16點風速計〔HotWire〕雖然高頻響應良好，但是低速時〈0.5m/s以下〉準確性很低，因此不很適用，一般熱反響風速計常用的是Thermeister式風速計。轉輪式風速計由于本身重量問題，也不適用低速。NEBB的要求是在50fpm到120fpm之間〈0.25m/s到0.6m/s±5percentofthereading〞的準確度。檢驗儀器須經校正合格，且仍在有效期限內。于正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格的校正文件。3?測試步驟(1)在圖面上記錄濾網尺寸、數量并編號。(2)75-150mm處。(3)每一個濾網下，假設是使用單點式風速計，則每1平方英尺取一點；假設是使用多點式風速計，4600㎜×1200㎜濾網為例，單點式風速計要量82點。(4)5秒的平均。(5)(6)記錄全部原始數值，以及分析后的數值。干擾，以免影響準確度。4?數據分析風速測量很簡潔，但是均勻度必需由數據分析來判定。均勻度是由相對標準差來代表，其計算步驟如下。1.平均值：將全部風速測量值取算數平均VAM(V1+V2+。+VN)/N2.標準差：計算全部風速測量值的標準差3.相對標準差：相對標準差是一個100得到百分比RSD=SDV/VAM×100流場合，固然期望相對標準差愈低愈好。5?驗收標準驗收基準必需是由業(yè)主訂定，設計團隊依照業(yè)主要求設計空調系統，有以下三種。1.20﹪2.測量之平均風速，應在設計規(guī)格之±5﹪以內3.相對標準差應在±15%以內關于第一條的規(guī)定，差距大于20﹪表示這一區(qū)已經有足夠條件產生區(qū)域亂流，必在設計規(guī)格±10﹪以內，總量才是±5﹪以內。一般空調則是個別出風口±20﹪以內，總量±10﹪以內。二、濾網風量與均勻度測量1?說明 風測量量的目的通常是用來計算換氣量，一般是在非單式各樣的出風口、回風口、排氣量時使用。只有在無法使用氣罩的場合〔氣罩體積較大，有時會受限制，才能使用風速乘以面積等于風量的方式，用風速來換算風量。換算風量時，須留意出風口之有效面積以及修正系數的取得。在排氣口，使用換算法的準確度格外差，應盡量避開。同樣氣罩通量送風與回風，正值代表送風，負值代表回風或排氣。須留意的是反向測量時，其測量范圍通常會降低。2?測試儀器： 風測量量應當使用氣罩〔wgd，氣罩的測量范圍是cfm，準確度要求為讀數的±3%。由于氣罩本身會產生壓損，因此其外形并且做具體比對。氣罩的校正格外重要，必需主機連同罩子一起校正，才能得到準確校正值。檢驗時必需使用校正合格且仍在有效期限的儀器，于正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格之校正文件。3?測試步驟：(1)(2)使用恰當尺寸氣罩將出風口完(3)依驗收標準分析全部風量，計算平均值、(4)記錄全部原始數值，以及分析后的數值。4?由相對標準差來代表，其計算步驟如下。1.平均值：將全部風測量量值取算數平均QAM=(Q1+Q2+。+QN)/N2.標準差：計算全部風測量量值的標準差3.相對標準差：相對標準差是一個百分比，將標準差除以平均值，再乘以100得到百分比RSD=SDQ/QAM×100 如前述在垂直層固然期望相對標準差愈低愈好。但是氣罩一般適用在非單一流向型無塵室，其濾網掩蓋率并非100﹪，因此計算相對標準差就沒意義。在一般空調更是不需計算相對標準差。5?驗收標準：驗收基準必需是由業(yè)主訂定，一般可承受范圍與風速一樣，條列如下。1.相鄰兩點之風量20﹪2.測量之平均風量，應在設計規(guī)格之±5﹪以內±15%[Next]1?測試目的測。2?測試方法一般而言平行度的測量，是由肉眼觀看所打算。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質棉線。在無塵室里面一般不使用煙霧，由于煙霧所含微粒太多，生怕會造成污染。干冰加熱水可以制造水霧，水霧對半導體是無污染，但是在制藥廠或生化無塵室，又怕細菌會粘著，因此也有缺點。All〔多功能酒精？，是一種水性溶液，根本上是水加染料，然后用超音波打成水霧，釋放出之后就形成可見霧氣。煙霧或水霧的共同優(yōu)點是只要粒子夠小，煙霧可隨可正確的反映氣流運動模式。但是其共同問題是滯空性缺乏，觀短。測量平行度需要花一些時間，因此需要大量煙霧或水霧，對無塵室可能造成污染。 另一種方式是使用輕質細線，讓細線隨風飄測量氣流平行度。在早期由于棉線比較重，因此只有在風速很強能使用。無塵室的風速較低，生怕吹不動棉線，平行度根本無法測量。在無塵室內普遍使用的高分子材料Flo-Viz，是用尼龍抽成單絲所制成，由于質量很輕因此適合作無塵室平行度測量。夾角，就可打算氣流的平行度。3?測試儀器1.2.3.Flo-Viz細線4?測試步驟1.用支架設2.將細線在室內懸吊，使其自然下垂，細線會隨空氣流向飄移。3.2135mm處將鉛垂線與懸吊相交作為測量起點。915mm處測量懸吊線偏移鉛垂線的量(mm)。5.偏移角=tan-1(懸吊線徧移量/1220)。6.每3m×3m區(qū)域量1點。偏移角θ= 假設是，其方式很類似，就是在濾網下施放煙霧，然后將鉛垂線的上端與煙霧相接觸，之后如上圖所示，將紅線當成煙霧，再計算夾角就可以了。5?使用三維超音波風速計 三維超音波風速計是試驗適用量儀器，拿進半導體廠內測量氣流平行度的時機不多，固然由于十足，準確度自然較高。假設非用不行，其測試方式是把風速計架好，校準水平與方位，將探頭高度調整到1525mm，然后測量三維風速。三維風速的合量與垂直線的夾角，就是氣流的平行度。6?14度。7?測試報告測試報告需包括：1.全部的測量位置2.垂直水平方向位3.4.與允收基準的比較濾網流量之數據分析平均值QAMQAM=(Q1+Q2+。+QN)/NQAM=719.38cfm標準差SDqSDQ=17.71相對標準差RSDRSD=SDQ/QAM=17.71/719.38=2.46% 2.2壓力測量一、說明 壓力測量的目的是確認無塵室空調系統的壓力設定。無塵室內維持相當的正壓以維持干凈度，這已經是個monsense，在209舊版本中，正壓有建議值，但是后來就取消了。目前常見的正壓值約是10到25Pascal之間。 壓力測量的時機，應當是在風速、風量、平度等與氣流直接相關的測試完畢之后馬上測量，尤其不行在干凈度測量畢之后才測量壓力。由于假設壓力不對，要馬上調整以免影響干凈度。測量時，全部門窗都必需關上，全部的風扇也必需維持正常運轉。二、測試儀器： 壓力測量可使用傾斜管壓力計，指針式壓力計，或是電式壓力計，總之只要測量范圍與準確度滿足要求即可。壓力計之準確度要求為讀數的±5%，測量范圍式壓力設計值而定，一般0~5mmAq〔0–50Pascal〕即可涵蓋室內外壓力差之測量。儀器需經校正合格且仍在有效期限內之才可以使用，檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。三、測試步驟：1.必需在風速、風量、氣流等測試完成后，才能測試壓力，并且排氣與MAU要完全正常運轉。2.全部門與開口都要關閉。室外大氣壓力假設為0.0mmAq表壓力。3.測定干凈區(qū)域與相鄰較次級干凈GowningroomGowningroom與外部之壓差。4.5~12Pa，并無強制規(guī)定。5.記錄全部數值。四、驗收標準：無塵室室內外壓差之驗收標準是由業(yè)主所指定。五、使用發(fā)煙管： 壓力測量的目的是確認氣流可以依照設計的方向移動。假設是沒有規(guī)定壓力值，只需確認流向正確，或是在不便利測量的區(qū)域，可考慮使用發(fā)煙管檢視空氣流向，但是需要業(yè)主同意。發(fā)煙管在調系統測試調整時，是格外便利可*的工具之一，雖然不供給數值，但是可以確認氣流流向，也可檢視泄漏，并且隨著煙霧的移動，可確認泄漏位置或縮小檢查范圍。無塵室完整性測試 另一個與壓力有關的測試是空間的完整性測試，完整性測試的英文原文是IntegrityTest，Integrity有完好無缺的意思，像濾網的泄漏測試，有些人就稱之為Filter“sIntegrityTest。絡。2.3濾網泄漏測試濾網的泄漏測試應當是無塵室測試中，最復雜、最耗時間的測量工程。泄漏測試的目的，是要確認：1.濾網的材料無破損，2.安裝恰當。濾網出廠前固然要經過泄漏測試，但是在搬運與安裝框漏進無塵室風口。就算是FFU系統，天花板上是負壓，假設是邊框機有微粒日后照舊會產生問題。因此，邊框掃描一樣重要。在不同的場合。測試方式有：1.氣膠光度計測試法，2.微粒計數器測試法，3.全效率測試法，4.外氣測試法，說明如下。一、氣膠光度計測試法1.說明氣膠光度計測試法是最早期的測試方式，但是由于效果格外好，到今日照舊沿用。氣膠光度計〔AerosolPhotometer〕是微粒計數的是微粒的總體強度，不是微粒數目。DOP是一種油性化學物質，加壓或加熱霧化之后，可以產生次微米等級的微粒，可用來模擬無塵室的微粒，因此被當成驗證微粒。泄漏的定義是泄漏出上游濃度萬分之一，由。也正因其準確、可*，美國食品與藥品管制局〔FDA〕規(guī)定，在其管轄范圍內〔食品加工場所與醫(yī)療制藥場所，全部的濾網泄漏測試必需使用DOP與氣膠光度計。近年來由于人們疑心DOP會導致癌癥，因此多改PAO。PAODOP的特性類似，使用上無多大差異。2.測試儀器本測試法使用儀器為氣膠光度計〔AerosolPhotometer〕與微粒產生器〔lr。氣膠光度計的顯示版有模擬與數字兩種，每年必需要校正。特別留意： 使用DOP或是PAO當成挑戰(zhàn)微粒時，千萬不行以使用微粒計數器掃描。由于微粒計數器假設是沾到DOP或是PAO等油性粒子，生怕很快就要進廠保養(yǎng)，清洗雷射頭了。3.測試方式 濾網泄漏測試的步驟，大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網與邊框掃描以覺察泄漏、更換或修補、重測，其步驟說明如下。1.在圖面上記錄濾網數量并編號。2.確定空調系統正常運轉并可供測試，風速與風量必需調整平衡完畢。3.使用氣膠產生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，將PAO打入濾網上游，微粒濃度是大約每公升空氣含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈簡潔找出泄漏，但是超過50微克以后差異不大，少于10則很難使用。微粒濃度可用風量粗略計算，再用氣膠光度計確認。4.上游微粒濃度確認后，就可以在濾網外表掃描，查找泄漏，必要時濾網四周可用塑料簾掩蓋以確保測試之準確。5.在濾網外表掃描，掃描之路徑可由外而內或沿長/短邊迂回檢測，其方式如下：a.每一濾網和其邊框均需測試。b.濾網之外表時，將探漏器擺設如圖(b)，用短邊方向前進，掩蓋全濾網c.掃描濾網邊框時，尤其濾網與CeilingGrid之間，探漏器擺設可以如上圖〔a〕或〔，涵蓋全部接縫。利用微粒計數器之方錐形采樣器25mm50mm/sec速度儀動。e.氣膠光度計上的讀數是上下游百分比值，因此假設是數值大于0.01，即可疑心為泄漏，可退回約100mm反復再測，假設沒有持續(xù)高讀數，則可連續(xù)測試，反之即為有6.濾網假設有破損則應修補或更，7.邊框假設有泄漏，應重安裝、調整，直到無泄漏為8.記錄時必需登記掃描結果，泄漏狀況與處理方式。4.驗收基準但凡連續(xù)性讀值超過0.01﹪視為泄漏，每一片濾網測試及修換后均不得2.每一片濾網的修補面積不得大于濾網面3。3.38㎜〔1.5英吋。二、微粒計數器測試法1.說明DOP/PAO與氣膠光度計，但是隨著制造周密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒漸漸不容許在無塵室使用，因此消滅使用干式灰塵當成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計數器在下游掃描，查找泄漏，根本概念完全一樣。經過科學家一步步爭論結果，覺察PSL由于微粒的粒徑與濃度可以掌握，因此是目前最廣為使用的PSL溶液霧化，導入濾網上游即可。2.測試儀器 數器測試法使用儀器是微粒計數器、微粒稀釋器與微粒，微粒計數器每一年要校正一次，微粒稀釋器與微粒產生器不用校正，但是微粒稀釋器要定期保養(yǎng)以免堵塞。3.測試方式 測試步膠法一樣，大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網與邊框掃描以覺察泄漏、更換或修補、重測，其步驟說明如下。1.在圖面上記錄濾網數量并編號。2.確定空調系統正常運轉并可供測試，風速與風量必需調整平3.PSL打入濾方英尺至少有80萬顆微粒，并且維持該濃度直到掃描完畢為止。為保護微粒計數器，一般會在微粒計數器空氣吸入口加裝固定倍率的微粒稀釋器4.離是25㎜。5.微粒計數器測試法的掃描速度，是一個上游濃度的函數，不是一個定值，其計算公式如下：SRCCLS：0.01﹪FS：流量，一般是1cfmDP：探漏器尺寸，沿移動NP6.由上式可看出，上游濃度愈高，掃描可以愈快。掃描的方式與氣膠法一樣，路徑可由外而內或沿長/短邊迂回檢測。7.濾網假設有破損則應修補或更，然后重再測。8.邊框假設有泄漏，應重9.記錄時必需登記掃描結果，泄漏狀況與處理方式。4.驗收基準1.0.01﹪視為泄漏，2.每一片3﹪。3.38㎜〔1.5英吋。三、全效率測試法1.說明在某些場所如袋進袋出濾網系統〔tnm，或是濾網位于風管中段〔〕上游可施放微粒但下游無法掃描，就必需使用全效率分析比較，假設是下游微粒含量超過某定值則判定為泄漏，整片濾網要更0.005﹪0.001﹪為泄漏。盡管如此，其準確商的責任。2.測試儀器全效率測試法可應用在不同場所，只要和FDA有關，就必需使用氣膠光度計，和半導體有關，就必需使用微粒計數氣。前述袋進袋出濾網系統由于都是用在醫(yī)院與生化試驗室，因此都是用氣膠光度計。3.測試方式全校律法的測試步驟根本上也是上游施放挑戰(zhàn)粒子，下游抽氣檢驗，以打算其總體性能表現。其測試步驟如下。1.在圖面上記錄濾網數量并編號。2.確定空調系統正常運轉并可供測試，3.使用氣膠產生器或微粒產生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，使微粒濃度到達與維持在規(guī)定4.上游微粒濃度確認后，就可以5.假設是下游濃度超過設定值則判定為泄漏，需要更換濾網。4.驗收基準由于全效率測試法并非全面積掃描，也沒有邊框的問題，因此只能規(guī)定有泄漏就得換。四、外氣測試法1.說明外氣測試法根本上是測試空調相里面的高效濾網時使用，由于該濾網測試法較不行*。2.測試儀器外氣測試法大部份用在空調箱，使用儀器取決于主系統，只要和FDA有關，就必需使用氣膠光度計，和半導體有關，就必需使用微粒計數氣。3.測試方式外氣測試法的測試步驟如下。1.在圖面上記錄濾網數量并編號。2.確定空調系統正常運轉并可3.使用氣膠光度計或微粒計數4.上游微粒濃度確認后，就可以在濾網外表掃5.覺察6.邊框部份也要掃描。4.驗收基準1.但凡連續(xù)性讀值超過0.01﹪視為泄漏，每一片濾網測試及修換后均不得有泄漏，邊框也不得有泄漏。2.每一片濾網的修補面積不得大于濾網面3﹪。3.38㎜〔1.5英吋。2.4干凈度測量一、說明 干凈度測試是無塵室性能測試的核心，氣流測試、壓與泄漏測試，都只在確認無塵室的干凈度不受外來影響，因此干凈都放在前述幾項測試都通過之后。干凈度測試完畢，與落塵有關素就都測試完畢，其它測試對干凈度影響不大，或是屬于其它環(huán)境測試。二、測試儀器 使用微粒計數器，儀器須經校正合有效期限內，于檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。微粒計數器有不同規(guī)格，最常見的是流量1cfm，最小粒徑可測到0.3mm或是0.1mm，單位多是立方英呎。至于應使用何種機臺，要依業(yè)主的規(guī)范而定。一般在產業(yè)界，多依以下方式選擇微粒計數器。Class1000或10：0.1μm 業(yè)主要求的立境范圍超過單一微粒計數器的范圍，則應當使用兩部微粒計數器。目前市面上少見立方公尺的微粒計數器，因此假設是無塵室的干凈度是以ISO為基準，則要把結果作換算。單位換算，不影響賴度上限的計算程序。三、測試步驟：測試調整與平衡已完成，濾網之風速及泄漏測試均，并已修換破損局部。(2)確認測試位置與測試點數：(2.1)測試高度：約1.00m處，或由業(yè)主指定。(2.2)測試點數： 單一流向型無塵室，取樣點數計算公式如下。公制：〔a〕或〔b〕 其中N代表公制的無塵室等級，area是面積，單位是平方公尺，但是小數點要無條件進位。在上兩式中取較小的值，就是無塵室干凈度測試的最小測量點數。英制：〔a〕或〔b〕 其中N代表公制的無塵室等級，area是位是平方英呎，但是小數點要無條件進位。在上兩式中取較小的值，就是無塵室干凈度測試的最小測量點數。 非單一流向型無塵室，取樣點數計算公式為 公制： 其中N代表公制的無塵室等級，area是面積，單位是平方公尺，小數點要無條件進位。這個值，就是無塵室干凈度測試的最小測量點數。 英制： 其中N代表英制的無塵室等級，area是面積，單位是平方英呎，小數點要無條件進位。這個值，就是無塵室干凈度測試的最小測量點數。留意：每個無塵室或無塵獨立隔間的最少測量點數是2點，最少的樣本總數是5個樣本。(3)取樣時間：每點的取樣時間依照等級與粒徑不同而異，可參考NEBB標準TABLE7-2之規(guī)定。假設取樣時間小于一分鐘，則以一分鐘為準。 (4)測試位置應均勻分布在無塵室內，避開在會產生大量粒子之四周，且將檢測儀器以適當之架臺支撐，不行以手持支撐。另外，測試位置需在業(yè)主指定(及/)或標定位置之9m2內。代表該點的最終數據，這個最終數據需小于業(yè)主規(guī)定值。 (5)測量點數依前述NEBB標準之公式計算〔與209E一樣。任一區(qū)域內至少要有二點以上之測試點且須平均分布(除非有設備影響)，并且取樣數需大于或等于5次。任一區(qū)域之測試總點數假設少于10點，需作信任度上限分析(計算UpperConfidentialLimit)。 (6)需紀錄全部數值，包括統計分析數據。四、驗收標準： 干凈度的驗收基準有二，首先是每點的微粒測量平均值必需低于規(guī)定值。也就是假設某一點取樣三次，這三個數據的平均值代表該點的最終數據，這個最終數據需小于業(yè)主規(guī)定值。 任何測量點數少于0點的無塵室〔可能是無塵室內的某一隔間，該隔間必需做信任度上限分析。干凈度的其次個驗收基準就是，任一隔間假設需使用信任度上限分析，則該分析值也必需小于業(yè)主規(guī)定值。一般而言，業(yè)主規(guī)定值都會比潔靜度等級定義少一些。在As-built測試時，規(guī)定值常常定為等級定義的10﹪，At-rest測試時，規(guī)定值常常定為等級定義的15﹪。這樣做的目的是確保在Operating狀態(tài)，潔靜度可以為持在等級定義以下。五、信任度上限分析：任一無塵室或是獨立的隔間，假設是取樣點數小于〔2到9，就必需做信任度上限分析，分析結果需小于。信任度上限分析有五個步驟，說明如下。(1)計算將該房間內，每一取樣點的平均值，也就是每個取樣點的全部樣本的平均值，代表該點的微粒測量值。公式如下其中Ai代表取樣點的平均值，CN是微粒測量值，N是每點的樣本總數。(2)計算在該房間內，全部取樣點數據的平均值〔，公式如下：其中L代表取樣點的平均值，M是房間內微?？偲骄?，L是房間內總的取樣點數。計算標準差〔dn，公式如下：其中D代表標準差，AL是取樣點的平均值，M是房間內微?？偲骄?，L是房間內總的取樣點數。計算標準誤〔dr，公式如下：其中代表標準誤，SD是標準差，L是房間內總的取樣點數。(5)計算信任度上限〔rlt，公式如下： L=M+LrxSE)其中UCL代表信任度上限，M是房間內微?？偲骄?，SE是標準誤，UCLfactor要查表，表列如下。 依照以上步驟所計算出的UCL，就是該房間的信任度上限值。 2.5溫濕度一、說明：粒掌握沒有甚么影響，因此溫濕度測試屬于第三級測試〔l3。但是因無塵室多半同時也是環(huán)控室，所以溫濕度常常就一并測量了。溫濕度測量又分為一般測量和進