第六章壓電式傳感器

第一節(jié)壓電效應及壓電材料第二節(jié)壓電傳感器的等效電路及測量電路第三節(jié)壓電傳感器的應用第六章壓電式傳感器第一節(jié)壓電效應及壓電材料一、壓電效應順壓電效應：某些電介質(zhì)，當沿著一定方向?qū)ζ涫┝Χ顾冃螘r，內(nèi)部就產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時在它的一定表面上便產(chǎn)生符號相反的電荷，當外力去掉后，又重新恢復到不帶電狀態(tài)。這種現(xiàn)象稱壓電效應。逆壓電效應（電致伸縮效應）：當在電介質(zhì)的極化方向施加電場，這些電介質(zhì)就在一定方向上產(chǎn)生機械變形或機械壓力，當外加電場撤去時，這些變形或應力也隨之消失的現(xiàn)象。電能機械能順壓電效應逆壓電效應在自然界中大多數(shù)晶體都具有壓電效應，但壓電效應十分微弱。隨著對材料的深入研究，發(fā)現(xiàn)石英晶體、鈦酸鋇、鋯鈦酸鉛等材料是性能優(yōu)良的壓電材料。壓電材料可以分為兩大類：壓電晶體和壓電陶瓷。壓電材料的主要特性參數(shù)有：①壓電常數(shù):壓電常數(shù)是衡量材料壓電效應強弱的參數(shù)，它直接關(guān)系到壓電輸出靈敏度。②彈性常數(shù):壓電材料的彈性常數(shù)、剛度決定著壓電器件的固有頻率和動態(tài)特性。二、壓電材料③介電常數(shù):對于一定形狀、尺寸的壓電元件，其固有電容與介電常數(shù)有關(guān)；而固有電容又影響著壓電傳感器的頻率下限。④機械耦合系數(shù)：它的意義是，在壓電效應中，轉(zhuǎn)換輸出能量（如電能）與輸入的能量（如機械能）之比的平方根，這是衡量壓電材料機—電能量轉(zhuǎn)換效率的一個重要參數(shù)。⑤電阻:壓電材料的絕緣電阻將減少電荷泄漏，從而改善壓電傳感器的低頻特性。⑥居里點溫度:它是指壓電材料開始喪失壓電特性的溫度。（一）

石英晶體

石英（SiO2）是一種具有良好壓電特性的壓電晶體。其介電常數(shù)和壓電系數(shù)的溫度穩(wěn)定性相當好，在常溫范圍內(nèi)這兩個參數(shù)幾乎不隨溫度變化，如下兩圖。由圖可見，在20℃～200℃范圍內(nèi)，溫度每升高1℃，壓電系數(shù)僅減少0.016％。但是當?shù)?73℃時，它完全失去了壓電特性，這就是它的居里點。

1.000.990.980.970.960.9520406080100120140160180200dt/d20斜率：－0.016％/℃t℃石英的d11系數(shù)相對于20℃的d11溫度變化特性6543210100200300400500600t/℃相對介電常數(shù)ε居里點石英在高溫下相對介電常數(shù)的溫度特性（二）

壓電陶瓷

1、

鈦酸鋇壓電陶瓷鈦酸鋇（BaTiO3）是由碳酸鋇（BaCO3）和二氧化鈦（TiO2）按1：1分子比例在高溫下合成的壓電陶瓷。它具有很高的介電常數(shù)和較大的壓電系數(shù)（約為石英晶體的50倍）。不足之處是居里溫度低（120℃），溫度穩(wěn)定性和機械強度不如石英晶體。2、

鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷（PZT）鋯鈦酸鉛是由PbTiO3和PbZrO3組成的固溶體Pb（Zr、Ti）O3。它與鈦酸鋇相比，壓電系數(shù)更大，居里溫度在300℃以上，各項機電參數(shù)受溫度影響小，時間穩(wěn)定性好。此外，在鋯鈦酸中添加一種或兩種其它微量元素（如鈮、銻、錫、錳、鎢等）還可以獲得不同性能的PZT材料。因此鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷是目前壓電式傳感器中應用最廣泛的壓電材料。

三、石英晶體（SiO2）的壓電效應天然結(jié)構(gòu)石英晶體的理想外形是一個正六面體，在晶體學中它可用三根互相垂直的軸來表示，其中縱向軸Z－Z稱為光軸；經(jīng)過正六面體棱線，并垂直于光軸的X－X軸稱為電軸；與X－X軸和Z－Z軸同時垂直的Y－Y軸（垂直于正六面體的棱面）稱為機械軸。ZXY(a)理想石英晶體的外形(b)坐標系ZYX通常把沿電軸X－X方向的力作用下產(chǎn)生電荷的壓電效應稱為“縱向壓電效應”，而把沿機械軸Y－Y方向的力作用下產(chǎn)生電荷的壓電效應稱為“橫向壓電效應”，沿光軸Z－Z方向受力則不產(chǎn)生壓電效應。1、石英晶體產(chǎn)生壓電效應原因

石英晶體具有壓電效應，是由其內(nèi)部結(jié)構(gòu)決定的。組成石英晶體的硅離子Si4+和氧離子O2-在XOY平面投影，如圖(a)。為討論方便，將這些硅、氧離子等效為圖(b)中正六邊形排列，圖中“＋”代表Si4+，“－”代表2O2-。

(b)(a)++---YXXY+

當作用力FX=0時，正、負離子（即Si4+和2O2-）正好分布在正六邊形頂角上，形成三個互成120o夾角的電偶極矩P1、P2、P3，此時正負電荷中心重合，電偶極矩的矢量和等于零，即P1＋P2＋P3＝0當晶體受到沿X方向的壓力（FX<0）作用時，晶體沿X方向?qū)a(chǎn)生收縮，正、負離子相對位置隨之發(fā)生變化，此時正、負電荷中心不再重合，電偶極矩在X方向的分量為(P1+P2+P3)X>0在Y、Z方向上的分量為（P1+P2+P3）Y=0（P1+P2+P3）Z=0由上式看出，在X軸的正向出現(xiàn)正電荷，在Y、Z軸方向則不出現(xiàn)電荷。Y+++---XP1P2P3FXXY++++－－－－FX+++---P1P2P3（P1+P2+P3）X<0（P1+P2+P3）Y=0（P1+P2+P3）Z=0Y+++--X-+++－－－FXFXP2P3P1+－當晶體受到沿X方向的拉力（FX＞0）作用時，其變化情況如圖（c）。此時電極矩的三個分量為在X軸的正向出現(xiàn)負電荷，在Y、Z方向則不出現(xiàn)電荷。這種沿X軸施加力，而在垂直于X軸晶面上產(chǎn)生電荷的現(xiàn)象即為前面所說的縱向壓電效應。當晶體受到沿Y(機械軸)方向施拉力FY＞0時，(P1+P2+P3)X>0在X軸的正向出現(xiàn)正電荷，在Y、Z軸方向則不出現(xiàn)電荷。當晶體受到沿Y(機械軸)方向施壓力FY<0時，(P1+P2+P3)X<0在X軸的正向出現(xiàn)負電荷，在Y、Z軸方向則不出現(xiàn)電荷。FYXY++++－－－－+++---P1P2P3Y+++--X-+++－－－P2P3P1+－FYFYFY與沿X方向施壓力（FX<0）作用相同與沿X方向施拉力（FX＞0

）作用相同晶體在Z軸方向力FZ的作用下，因為晶體沿X方向和沿Y方向所產(chǎn)生的正應變完全相同，所以，正、負電荷中心保持重合，電偶極矩矢量和等于零。這就表明，沿Z(即光軸)方向的力FZ作用下，晶體不產(chǎn)生壓電效應。這種沿Y軸施加力，而在垂直于X軸晶面上產(chǎn)生電荷的現(xiàn)象即為前面所說的橫向壓電效應。2、縱向壓電效應若從晶體上沿y方向切下一塊如圖所示的晶片，當沿電軸方向施加作用力Fx時，在與電軸x垂直的平面上將產(chǎn)生電荷，其大小為式中,d11為x方向受力的壓電系數(shù)d11=2.31×10-12C/N

FX為作用力FXFX++++－－－－－－－－++++XX3、橫瓦向壓擠電效括應若在推同一求切片碑上，勢沿機泡械軸y方向濫施加順作用曬力Fy，則仍肺在與x軸垂席直的平面坦上產(chǎn)儉生電揀荷qy，其大謝小為式中稠：d12——y軸方園向受狐力的柏壓電鳴系數(shù)沿，根爸據(jù)石蠶英晶姜體的豎對稱嚼性，劍有d12=-d11；a、b——晶體掠切片偉的長糊度和膏厚度涌。儉對電荷qx和qy的符碼號由名受壓聾力還羞是受羅拉力杠決定米。++++++++－－－－－－－－FYFYXX四、持陶瓷詠的壓期電效眨應壓電廉陶瓷總屬于跨鐵電缸體一泰類的涌物質(zhì)罵，是驚人工胡制造體的多聽晶壓步電材懼料，咬它具旁有類矛似鐵鞏磁材應料磁寇疇結(jié)宜構(gòu)的典電疇授結(jié)構(gòu)屋。電負疇是青分子擠自發(fā)雀形成櫻的區(qū)看域，財它有份一定節(jié)的極涂化方電向，壁從而針存在溜一定優(yōu)的電鄙場。虛在無社外電偷場作嘉用時察，各禁個電潤疇在種晶體精上雜岸亂分鴉布，交它們著的極闖化效田應被乖相互技抵消雕，因匙此原爭始的扛壓電瞞陶瓷炸內(nèi)極位化強戲度為犯零，產(chǎn)見圖格（a）。(a)極化豎處理鄰前在陶黎瓷上思施加突外電否場時潔，電伴疇的倚極化堪方向洞發(fā)生徐轉(zhuǎn)動娃，趨穩(wěn)向于大按外駛電場靠方向證的排仁列，恰從而費使材救料得狡到極情化?，F(xiàn)外電蔥場愈攝強，浮就腿有更拐多的資電疇犬更完停全地起轉(zhuǎn)向央外電田場方唇向。糧讓外去電場煉強度盲大到握使材縣料的孩極化精達到旅飽和籌的程犧度，放即所穿有電駛疇極酸化方雜向都蹄整齊怨地與倉外電尸場方找向一自致如圖傳（b）所金示。當外不電場異去掉截后，頂電疇拾的極么化方雕向基盯本趨封于原士電場慎方向肺，即派剩余天極化葵強度校很大膨，這靠時的倦材料步才具毛有壓摟電特性,如圖巖（C）所憑示。直流肅電場E(b)極化捆處理秀中(c)極化遲處理紋后剩余極化強度但是便，當進把電摘壓表垃接到醋陶瓷隸片的魔兩個唇電極旦上進茅行測偽量時咬，卻述無法昏測出呆陶瓷啞片內(nèi)撒部存叨在的商極化凱強度些。這陰是因持為陶烤瓷片疏內(nèi)的姻極化呀強度橋總是同以電偶中極矩的形伙式表內(nèi)現(xiàn)出旋來，隔即在看陶瓷揉的一戚端出寶現(xiàn)正癢束縛株電荷王，另烘一端暗出現(xiàn)夜負束至縛電錄荷。張由于嫩束縛暫電荷明的作旱用，反在陶奏瓷片撤的電甜極面樹上吸壓附了牽一層泛來自勵外界柳的自螺由電蒸荷。映這些速自由零電荷型與陶杰瓷片呆內(nèi)的卻束縛黨電荷果符號濁相反騰而數(shù)往量相總等，恰它起丹著屏醬蔽和表抵消佩陶瓷禁片內(nèi)禍極化爬強度攀對外扛界的晃作用雁。所頁以電巨壓表閱不能求測出機陶瓷順片內(nèi)芒的極止化程棕度，單如圖銷。－秀－穴－子－虛－－待－拌－欲－笨－＋小＋栽＋饅＋拉＋＋娃＋抓＋死＋棚＋自由修電荷束縛想電荷電極電極極化悲方向如果艇在陶迅瓷片畫上加誕一個缸與極摸化方窮向平滿行的驢壓力F，如圖伯，陶吳瓷片哪將產(chǎn)謠生壓輛縮形款變（傘圖中紀虛線檢），季片內(nèi)出的正辟、負繞束縛胃電荷昨之間候的距完離變秀小，腥極化臺強度乖也變腳小。戰(zhàn)因此眾，原脫來吸飾附在冤電極蹈上的貴自由的電荷凱，有查一部托分被崗釋放故，而拆出現(xiàn)桂放電湖荷現(xiàn)浩象。毫當壓瀉力撤凝消后治，陶擦瓷片摔恢復匙原狀(這是者一個還膨脹伍過程)，片亦內(nèi)的析正、捉負電責荷之漁間的蘭距離賄變大博，極旋化強伸度也施變大品，因夾此電扭極上須又吸翻附一訓部分趁自由萬電荷固而出揚現(xiàn)充圖電現(xiàn)獲象。榆這種炮由機住械效堂應轉(zhuǎn)每變?yōu)檫M電效般應，鎮(zhèn)或者賴由機離械能黑轉(zhuǎn)變聚為電部能的據(jù)現(xiàn)象恩，就治是正投壓電貍效應肥。＋賺＋洞＋升＋息＋－肺－黃－蜂－屈－－卷－抓－壓－拴－＋穿＋協(xié)＋炒＋卷＋極化幼方向F－＋式中邁：d33——壓電戶陶瓷籍的壓緩電系繩數(shù)；F——作用圈力。同樣挨，若賤在陶千瓷片笛上加暑一個坦與極河化方儲向相宴同的悟電場憶，如換圖，遵由于酬電場兇的方兼向與灘極化倍強度編的方腥向相誦同，趟所以鎖電場雹的作掏用使距極化篩強度擴增大幅。這尺時，右陶瓷象片內(nèi)寺的正直負束已縛電謝荷之拖間距洽離也京增大款，就忍是說如，陶瓶瓷片產(chǎn)沿極鍋化方芝向產(chǎn)蟻生伸射長形屠變（狐圖中匯虛線晨）。敗同理皂，如摘果外膠加電絹場的成方向比與極失化方待向相悶反，衛(wèi)則陶罷瓷片樣沿極招化方相向產(chǎn)席生縮緞短形戲變。抬這種季由于蒼電效另應而校轉(zhuǎn)變到為機忌械效愛應或幻玉者由綁電能桿轉(zhuǎn)變諷為機制械能性的現(xiàn)震象，物就是購逆壓搬電效視應。－悔－辦－焦－琴－奶－＋幸＋靠＋分＋瓶＋料＋＋蔥＋循＋街＋業(yè)＋蹲＋－旬－盆－找－捧－娃－極化文方向電場晝方向Ｅ第二序節(jié)敢壓犬電傳給感器之的等簽效電價路及毫測量愈電路一、卡壓電隙晶片笛的連違接方瘦式由于膜外力繩作用交而在樸壓電卡材料白上產(chǎn)傾生的軌電荷街只有呀在無瘋泄漏慈的情釘況下答才能驕保存叨，即稠需要名測量微回路混具有辛無限巨大的島輸入即阻抗里，這筑實際嶼上是受不可仇能的跨，椅因此古壓電訂式傳坑感器鄰不能耕用于糧靜態(tài)您測量涼。壓絲式電材攏料在步交變肅力的繡作用迎下，帖電荷膊可以設(shè)不斷吊補充槽，以鞋供給歸測量療回路取一定銷的電源流，缸故適置用于動態(tài)測抬量。單片猾壓電烘元件舊產(chǎn)生閉的電傷荷量港甚微下，為宅了提田高壓死電傳柿感器磚的輸血出靈單敏度床，殃在實嚴際應夏用中柳常采享用兩縫片（院或兩碑片以伐上）餅同型潤號的離壓電忽元件通粘結(jié)誓在一球起。跳由轎于壓的電材宏料的薯電荷蘭是有粘極性么的，復因此嗎接法泡也有余兩種續(xù)。1、并伍聯(lián)連偷接+++------++++-并聯(lián)市接法迫輸出紙電荷產(chǎn)大，充本身巧電容勞大，雄時壁間常部數(shù)大攪，適咐宜用俊在測復量慢秒變信詞號并眠且以擺電荷岡作為牢輸出仁量的山場合碗。2、串斯聯(lián)連剩接+++------+++-+串聯(lián)鐵接法應輸出糞電壓鍛大，鋤本身兄電容來小，蠅適宜截用于扔以電逼壓作破輸出魄信號里，并楚且測級量電凈路輸紐奉入阻愿抗很財高的總場合撞。壓電辯式傳用感器悅中的鍬壓電著元件墨，按塊其受烈力和抽變形谷方式割不同毯，阿大致夫有厚協(xié)度變晶形、餅長度濁變形餡、體到積變懂形和做厚度庸剪切滾變形豈等幾運種形倒式，忌如柿圖所年示。裁目前建最常篇使用婦的是辱厚度瞇變形惠的壓縮式屠和剪蓮切變究形的帆剪切聲式兩滿種。(a祖)厚度韻變形(b妥)長度辨變形(c劑)體積決變形(d想)面切變毅形(e什)剪切清變形二、礙壓電知傳感夸器的概等效伴電路當壓勵電傳溪感器妙中的韻壓電帽晶體還承受留被測漁機械匆應力紡的作市用時月，在荷它的件兩個脈極面校上出橫現(xiàn)極門性相爭反但條電量兼相等闖的電鐮荷。梳可把桑壓電氏傳感繼器看錄成一笨個靜電原發(fā)生膚器，如掉圖(a)。也古可把視它視枯為兩軌極板芒上聚互集異榴性電洋荷，桌中間旺為絕數(shù)緣體邊的電容產(chǎn)器，如啦圖(b)。其標電容召量為＋＋承＋＋――絹――qq電極壓電擱晶體Ce(b)(a)當兩驗極板轉(zhuǎn)聚集等異性巷電荷版時，伴則兩芳極板曬呈現(xiàn)銷一定蘋的電姑壓，壘其大岡小為因此肝，壓葛電傳使感器駛可等積效為襲電壓宿源Ua和一嶺個電熟容器Ce的串聯(lián)電路秧，如往圖(a)；也個可等揉效為漆一個皂電荷左源q和一處個電正容器Ce的并聯(lián)電路老，如針圖(b)。（a）電壓博等效質(zhì)電路CeU＝q/Ceq＝UCeCe（b）電永荷等靠效電叢路壓電葉傳感祖器在絲式實際回使用瞧時總?cè)枰c駁測量貢儀器毅或測哈量電梳路相永連接隔，因脫此還投需考非慮連序接電差纜的耗等效污電容Cc，放大愧器的獅輸入世電阻Ri,輸入喂電容Ci以及咱壓電獨傳感去器的劈燕泄漏童電阻Rd。三、壓電顧傳感季器的摟測量尖電路1、電坊壓放粉大器作用赴為：沸一鉤是把鞠它的析高輸詞出阻賽抗變刮換為冠低輸欠出阻特抗；踢二是窗放大媽傳感炭器輸稱出的旅微弱志信號蓮。圖（b）中，竟等效虧電阻R為壓電五元件包所受己作用總力C=Cc+Ci等效膽電容腸為而由此的可得茄放大扎器輸算入端魯電壓Ui，其復腸數(shù)形潤式為Ui的幅適值Uim為輸入汽電壓好和作燥用力滔之間療相位梁差為在理炊想情鎮(zhèn)況下已，傳急感器澤的Rd電阻畜值與泉前置贏放大炎器輸計入電慮阻Ri都為稱無限存大，速即ω(Ce+Cc+Ci)R>>1，那么比由Uim式可知，欠理想石情況酷下輸悅?cè)腚娧蛪悍酥礥am為p11荒7頁圖6-笨10所示坦，當?shù)咀饔么笥趬簞﹄娫尿_力為闊靜態(tài)汗力（ω=0）時，某前嚼置放車大器索的輸后出電法壓等圾于零漢，速因為漠電荷既會通調(diào)過放霞大器先輸入趟電阻瞞和傳葵感器削本身宮漏電殖阻漏晨掉，醉所井以壓些電傳疑感器宣不能析用于陶靜態(tài)樂力的斜測量打。時，趟前置康放大祖器的膚輸出除電壓選隨頻幫率變挪化不描大。即說悼明壓筒電傳栽感器灑的高掃頻響膏應比象較好植，所愉以用柳于高楚頻交體變力寸的測宮量。2、電煙荷放于大器電荷泄放大污器常艦作為后壓電衰傳感納器的達輸入弓電路赤，由惰一個春反饋登電容Cf和高好增益去運算陣放大奏器構(gòu)份成。政由于即運算薪放大飯器輸丸入阻廁抗極反高，蓮放茫大器迅輸入可端幾患乎沒怒有分盈流，趟故可勞略去Rd和Ri并聯(lián)生電阻魄。由運傭算放括大器扁基本肺特性境，腰可求袋出電塵荷放云大器早的輸再出電瀉壓通常A=1棚04~1棟08，因此,當滿剃足(1光+A)Cf>>Ca+Cc+Ci時，福上式詢可表塌示為由上備式可妨見，察電荷期放大灰器的戀輸出筋電壓uo只取晌決于劑輸入晴電荷電與反賺饋電撥容Cf，與電訂纜電倦容Cc無關(guān)眉，且盒與q成正救比，岡這是偶電荷漿放大勉器的絕最大巷特點柄。裙為了林得到悲必要漆的測膠量精父度，葡要求錢反饋潮電容Cf的溫辮度和回時間礎(chǔ)穩(wěn)定亂性都糖很好幸，在席實際引電路生中，慶考慮兩到不冰同的溉量程舒等因掀素，Cf的容歇量做成痛可選躺擇的啄，范肺圍一棵般為10展0~齊104pF。第三乳節(jié)華壓坐電傳量感器灰的應孩用一、壓電春力學扯傳感歌器+籌+研+照+獸+壯+窩+-冰-軋-迅-畫-勉-鄙-力Fx壓電秋式單幕向測陜力傳壺感器溜的結(jié)銷構(gòu)圖紙，主域要由安石英枕晶片適、傍絕緣上套、凝電極爹、上杜蓋及臺基座揮等組傅成。傳感雀器上期蓋為幫傳力攝元件幸，它勢的外凡緣壁威厚為0.何1~握0.征5m辣m，當外足力作書用時膏，它票將產(chǎn)扁生彈法性變鳥形，亂將力拜傳遞叼到石織英晶向片上顆。石距英晶當片采喜用xy切型配，保利用顛其縱內(nèi)向壓佩電效病應，厘通省過d11實現(xiàn)另力—電轉(zhuǎn)窯換。爽石英絞晶片膚的尺娘寸為φ8淘×1寧mm。該傳濾感器愉的測錢力范拳圍為0~北50宜N，最小嘴分辨茂率為0.鈴01N，固有嬸頻率父為50底~6之0太kH隊z，整個頁傳感瘡器重諸為10丸g。壓電昨式金嬌屬加專工切丑削力往測量汗圖是士利用拿壓電廢陶瓷訊傳感所器測睛量刀表具切注削力償?shù)氖静煲鈭D攝。戴由于豬壓電丈陶瓷萌元件灑的自垂振頻戰(zhàn)率高猴，特士別適抖合測蒜量變蹲化劇論烈的蓄載荷棗。圖墨中壓寇電傳絹感器蜜位于激車刀樓前部亮的下貨方，冒當進管行切般削加增工時籍，玩切削區(qū)力通訓過刀等具傳剖給壓荷電傳忠感器舌，壓撿電傳虎感器獎將切看削力角轉(zhuǎn)換該為電企信號筋輸出當，記狼錄下電吹信號穿的變刑化便晴可測她得切鴉削力鈔的變移化。二、壓電雹加速陳度傳鋤感器主要僻由壓仔電元特件、撿質(zhì)量頁塊、預壓草彈簧宴、基隨座及炊外殼呆等組弄成。膊整個初部件辰裝在劈燕外殼溉內(nèi)，念并由復螺栓萌加以姓固定云。三、噴壓電偵式玻罷璃破訴碎報申警器BS歷-D2壓電羞式傳逆感器耕是專戴門用君于檢媽測玻絮璃破圖碎的裂一種攏傳感無器，公它愛利用烏壓電諸元件西對振戴動敏嚴感的醬特性龜來感芳知玻球璃受含撞擊維和破舊碎時病產(chǎn)生艦的振段動波干。傳戶感器鬼把振汗動波賤轉(zhuǎn)換凡成電搭壓輸油出，孫輸出莫電壓飄經(jīng)放漫大、預濾波落、比夸較等嶄處理補后提埋供給備報警境系統(tǒng)嬸。頓BS怕-D2壓電湊式玻激璃破破碎傳腸感器屯的外曲形及寬內(nèi)部夕電路竿如圖眨所示田。傳李感器漸的最小輸同出電飾壓為10爪0者mV，最大胃輸出砌電壓汁為10竭0V，內(nèi)阻熔抗為15涼~2最0爪kΩ欲。使用公時傳嚼感器余用膠麻粘貼立在玻向璃上欣，然呀后通茂過電躁纜和騙報警粒電路警相連責。為腹了提孕高報凝警器枕的靈畫敏度耐，信舊號經(jīng)斑放大覽后，奸需經(jīng)殊帶通代濾波訓器進碰行濾攪波，海要求猛它對譽選定稀的頻蟲譜通滲帶的兇衰減咸要小璃，而蝕頻帶步外衰撞減要閘盡量承大。疼由于些玻璃泊振動應的波亭長在題音頻組和超犧聲波捆的范漁圍內(nèi)竹，詳這就忘使濾總波器扔成為此電路丸中的尺關(guān)鍵狹。只削有當能傳感返器輸撒出信鼻號高嫂于設(shè)班定的屬閾值時，街才會多輸出箏報警遲信號籠，驅(qū)竄動報喉警執(zhí)圣行機余構(gòu)工借作。遠玻璃努破碎肆報警辜器可餃廣泛圍用于限文物脫保管繪、貴顫重商轉(zhuǎn)品保旱管及斯其它男商品御柜臺然保管敞等場柔合。利用蹤蝶超聲向波在這順流迎方向姑和逆綢流方沫向的迷傳播幸速度勻進行碌測量勿。其聰測量婆裝置液是在仁管外揪設(shè)置盾兩個歇相隔圈一定怎距離裂的收竹發(fā)兩變用壓穩(wěn)電超著聲換墻能器竊，每紐奉隔一湯段時戚間(如1/10替0s)，發(fā)精射和它接收壁互換筆一次韻。在押順流釘和逆碑流的盒情況船下，倡發(fā)射貿(mào)和接輝收的帽相位櫻差與倆流速維成正勻比。慘據(jù)這蘆個關(guān)店系，霜可精宴確測港定流湖速。端流速璃與管躬道橫擦截面獸積的憐乘積守等于害流量膠。流量顯示1789輸出信號換能器換能器接收接收發(fā)射發(fā)射此流令量計多可測辱量各賴種液漸體的意流速騰，中垮壓和異低壓屬氣體議的流萄速，瞞不受鹿該流太體的戒導電堵率、貓粘度晉、密個度、凳腐蝕件性以棕及成乓分的速影響測。其推準確陽度可毀達0.撈5%，有蔽的可耗達到0.翼01腎%。根據(jù)醬發(fā)射賞和接虎收的甜相位昂差隨巷海洋醒深度闖深度旦的變銜化，迅測量誓聲速宰隨深勵度的衫分布淚情況四、壓電除式流種量計是一旺種高碧性能是、低芝成本稱動態(tài)貫微壓呈傳感餡器，勺產(chǎn)品賴采用氣壓電釣薄膜舌作為預換能暖材料暑，動匯態(tài)壓蹦力信濫號通魂過薄啊膜變各成電拖荷量蛙，再頑經(jīng)傳疾感器秒內(nèi)部覽放大之電路眠轉(zhuǎn)換抄成電瞎壓輸遠出。響該傳院感器忌具有弦靈敏鏈度高額，抗躍過載泳及沖您擊能突力強愛，抗矮干擾搏性好每，操戀作簡焰便，賴體積逝小、廚重量劍輕、倒成本施低等決，廣唇泛應剝用于驕醫(yī)療默、工賽業(yè)控搜制、第交通沸、安浙全防田衛(wèi)等伍領(lǐng)域展。脈搏筑計照魔片典型閉應用離：·脈搏譜計數(shù)舅探測·按鍵餐鍵盤哪，觸童摸鍵腎盤·振動由、沖專擊、喇碰撞結(jié)報警·振動霜加速神度測掛量·管道尖壓力哲波動·其它概機電街轉(zhuǎn)換衡、動蘆態(tài)力致檢測尿等