半導體材料檢測種類、檢測項目與檢測方法總結

半導體材料檢測種類、檢測項目與檢測方法總結半導體材料檢測是對半導體材料的特性參數進行分析測試的技術，具體涉及到哪些材料的檢測，目前常見的檢測技術有哪些？我們不妨一起來看看。半導體材料檢測是對半導體材料的特性參數進行分析測試的技術，由于半導體材料種類繁多，加工工藝復雜，形態(tài)各異，技術難度高，這就需要我們通過對半導體材料的特性參數進行測定，真實的反映半導體材料質量情況，掌握其關鍵參數的生成工藝，從而指導研發(fā)技術的更新迭代。常見半導體材料檢測種類1、濕電子化學品檢測種類（1）酸堿類：高純鹽酸、高純硫酸、高純硝酸、高純氫氟酸、高純冰Z酸、高純草酸、電子級復水、電子級過氧化氫、氫氧化鉀溶液、氫氧化鈉溶液、電子級磷酸；（2）蝕刻類：鋁腐蝕液、鉻鷹蝕液、鎳銀腐蝕液、硅腐蝕液、金蝕刻液、銅蝕刻液、顯影液、剝離液、清洗液、ITO蝕刻液、緩釋劑、BOE；（3）溶劑類：甲醇、乙醇、異丙醇、丙酮、四甲基氫氧化銨、甲苯、二甲苯、三氯乙烯、環(huán)已烷、N-甲基吡略烷酮、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚醋酸酯等。2、光刻膠及配套試劑檢測種類光刻膠、負膠顯影液、負膠漂洗液、負膠顯影漂洗液、正膠顯影液正膠稀釋劑、邊膠清洗劑、負膠剝離液、正膠剝離液等。3、電池材料檢測種類（1）負極材料：碳材料、非碳負極材料、石里負極材料、鋰電池負極材料、硅負極材料、鋰離子負極材料、硅碳負極材料、碳素負極材料、瀝青負極材料等；（2）正極材料：鉆酸鋰、錳酸鋰、磷酸鐵鋰、三元材料、鎳，鉆，錳酸鋰、鎳錳酸鋰、正極材料鎳鉆錳酸鋰等；（3）電解液：鋰離子電池用電解液、鋰原電池用電解液、六氟磷酸鋰、六氟磷酸鋰電解液等；（4）電池/電解液添加劑：成膜添加劑、導電添加劑、阻燃添加劑、過充保護添加劑、改善低溫性能的添加劑、多功能添加劑等；（5）電池隔膜：鋰電池隔膜、高性能電池隔膜、電池陶瓷隔膜等。4、電子元器件化學品檢測種類硝酸鉍、硫酸鋁、硝酸鋁、硝酸鉀、溴化鈣、重鉻酸銨、重絡化鉬、氯化、三氯化梯、磷酸、硅酸鉀鈉、（硅鋁、硫酸鎂、硝酸銅、硝酬鍶、氟化氫銨、碳酸、氧化銷、氟化鎂、銳酸鈉、氧化擦、氧化鋼等。5、電子工業(yè)用氣體檢測種類甲烷、三氯化硼、三氧化氬、六氟化硫、八氧環(huán)丁烷、六氟乙烷、四氟化碳、氯化氫、一氧化碳、笑氣、硅烷等。6、印刷電子化學品檢測種類印刷線路板材料及配套化學品、電子油墨、絲網印刷材料等。7、電子膠類檢測種類SMT貼片紅膠、LED貼片硅膠、UV膠、AB膠、填充膠、密封膠、導電銀膠、硅膠等。8、電子級水檢測種類超純水、純化水等。9、其他電子材料檢測種類CMP拋光材料、靶材、導電錄合物、液晶聚合物、聚酯薄膜、抗靜電材料、抗蝕劑、封裝材料、LED/OLED材料、發(fā)光材料、光學薄膜、平板膜、TFT-LCD面板及模組構成材料、電子紙、硅材料、太陽能電池膜等。檢測項目半導體材料檢測的常見性能參數主要為電學性能、光學性能、限用物質等的檢測；電學性能主要檢測電阻率、霍爾系數、磁阻等性能；光學性能主要檢測器光電導、光吸收等性能。而半導體材料的關鍵性能檢測指標主要為禁帶寬度、電阻率、載流子遷移率（載流子即半導體中參加導電的電子和空穴）、非平衡載流子壽命、位錯密度等。除此之外，還可以檢測其雜質含量、雜質缺陷能級等來了解材料的純度、補償度。通過x射線、金相分析來了解半導體材料晶體結構的層錯、位錯密度、夾雜和李晶等情況。檢測方法目前半導體材料檢測分析的重點逐漸轉向對半導體薄膜，特別是薄膜的表面、異質結界面性質研究和對薄膜材料的組甜和結構分析。新型測試分析方法如結電容技術，激光光譜技術，俄歇電子能譜、二次離子質譜和電子顯微分析技術等的建立與