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激光多普勒干涉儀介紹第一頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日美國光動公司
OPTODYNE,INC.2第二頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日美國光動公司總裁王正平教授3第三頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日激光干涉儀測量原理比較激光多普勒干涉儀其它激光于涉儀測量基準激光波長激光波長測量原理多普勒效應分光干涉測量方法測量多普勒頻率偏移(測量相位差)測量干涉條紋數(shù)雙頻(FM)LDDMHP技術發(fā)明年代1985年單頻激光干涉儀1960年雙頻激光干涉儀1975年4第四頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日邁克遜干涉儀1860年MICHELSON干涉儀白光參考鏡反射鏡分光鏡探測器產生干涉測量光束參考光束5第五頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日單頻激光干涉儀1960年單頻激光干涉儀激光角錐反射鏡角錐反射鏡分光鏡探測器測量光束參考光束產生干涉6第六頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日線偏振光線偏振光雙頻激光干涉儀1970年雙頻激光干涉儀激光角錐反射鏡角錐反射鏡偏振分光鏡探測器測量光束參考光束產生干涉7第七頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日激光多普勒干涉儀1985年LDDM電光調制、外差式激光角錐反射鏡探測器光電調制8第八頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日位移測量安裝比較9第九頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日對光方便10第十頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日MCV-500主要技術指標序號技術指標名稱指標1激光穩(wěn)定性0.1ppm(特殊訂貨可小于0.05ppm)2分辨率0.01微米3測量精度(不確定度)1ppm(特殊訂貨可小于0.5ppm)4測量范圍15米(特殊訂貨可加長到100米)5光靶最大移動速度3.6米/秒6電源電壓90~265VAC7電源頻率50~60赫8操作環(huán)境溫度5~38℃9高度0~3000米10相對濕度0~95%11第十一頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日MCV-500選購附件的測量功能振動測量角偏測量滾珠絲杠動態(tài)測量圓形軌跡主軸精度分軸步進對角線位移測量12第十二頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日直線位移測量靶標反射鏡MCV-500反射鏡移動方向13第十三頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日非接觸主軸精度測量MCV-500主軸聚光鏡MCV-500+DI-50014第十四頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日陀羅徑向跳動曲線采樣:2000點/秒15第十五頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日低頻振動測量適用于最高為100Hz的低頻振動測量16第十六頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日中頻振動測量適用于最高為100KHz的中頻振動測量17第十七頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日高頻振動測量適用于極高頻率的振動測量18第十八頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日MCV-5000系列激光干涉儀19第十九頁,共二十一頁,編輯于2023年,星期日
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