液晶顯示屏玻璃基板

液晶顯示屏玻璃基板第一頁，共十三頁，編輯于2023年，星期三

一.玻璃基板的結(jié)構(gòu)玻璃基板由CF和TFT兩部分組成,如圖:上偏光板上玻璃顏色區(qū)保護膜ITO共用極ITO顯示電極液晶補價電容下偏光板反射板棱鏡板導(dǎo)光板光擴散板間隙粒子電晶體框膠區(qū)異方性導(dǎo)電膜驅(qū)動ICTAB印刷電路板黑色框罩背光燈管第二頁，共十三頁，編輯于2023年，星期三二,.玻璃基板的制造流程

簡介TFT-LCD的整個制程一般可分為三個階段即TFT陣列基板形成階段,TFT-LCD之形成階段及LCD模組形成階段,如圖,而我們最主要講的是玻璃基板形成之階段

第三頁，共十三頁，編輯于2023年，星期三薄膜制程RGB膜涂布鍍BM膜

T5-7RCF道黃光制程GRGB圖樣黃光制程FT光B制制罩蝕刻制程RGB顯影蝕刻制程程程

TFT測試檢視配向膜涂布及刷磨TFT及CF封準(zhǔn)組合切割裂片液晶注入上下偏光板貼合LCD電測目檢LCD制程FPC壓著封膠機殼及背光源組裝LCM檢測LCM制程第四頁，共十三頁，編輯于2023年，星期三三.玻璃基板的具體流程TFT陣列式基板形成階段

TFTarray之制程主要清洗,成膜,而后黃光制板,后再經(jīng)蝕刻制程形成所要的圖樣,然后依光罩?jǐn)?shù)而作循環(huán)制程,在這循環(huán)制程中要先將洗淨(jìng)的玻璃基板送進濺鍍機臺鍍上一層金屬后,再用黃光及蝕刻制程形成閘極,區(qū)域圖樣,隋后玻璃基板經(jīng)光阻剝離洗淨(jìng),再以薄膜區(qū)電漿輔助化學(xué)相沉積機臺形成用作主動區(qū)域,經(jīng)過一系列的協(xié)作.后以薄膜區(qū)化學(xué)氣相沉積楊臺上形成TFT區(qū)域保護層,挖出接角也洞,再濺鍍上一層氧化錮錫膜(ITO),再用黃光及蝕刻區(qū)制程形成畫素區(qū)域圖樣而在這循環(huán)制程中以后通TFT蝕刻制程為主要步驟.

TFT的結(jié)構(gòu)依閘,源,汲極沉積的先后順序,大致可分為四類,如圖,目前正在產(chǎn)量TFT多是以反轉(zhuǎn)堆疊式結(jié)構(gòu)為主,而因它構(gòu)造簡單及制程容易則廣泛被TFT制造業(yè)者所采用,又由於制程有差異分為:1)后通道蝕刻TFT,2)后通護TFT或再稱為三層結(jié)構(gòu)TFT.TFT的制作流程關(guān)鍵步驟是蝕刻后通道端的N型非晶矽.以形成閘極可控制的通道,這一般是幹蝕刻法,而造成漏電流的原因可能后通道在作幹鹿記得時容易造成物摶殘留.第五頁，共十三頁，編輯于2023年，星期三四種常見的TFT結(jié)構(gòu)示意圖共平面

正常型反轉(zhuǎn)型堆疊型gatesourcedraindrainsourcegatedrainsourcegatedrainsourcegate第六頁，共十三頁，編輯于2023年，星期三

在TFT-LCD玻璃完成所有制程后,再配合上另一擤具有紅,綠,藍(lán)彩色濾光膜的玻璃,先配向膜刷,配向處理,間隔物的涂布及上框膠之后再進行兩片玻璃上下封組,切割裂片磨邊導(dǎo)角,清洗,再進行液晶注入及封口,最后再目檢及電測,其中最重要的步驟如下:1)配向處理目前所采用的配全處理方法是刷磨處理,主要是以捲在金屬滾軸的絨布刷磨燒制后的配向膜,使液晶分子能預(yù)先朝一定方向的方法.2)間隔物的灑布目的是為了獲得均勻的液晶厚度,它分散的密度高的話可以得到較均勻的CELLGAP,若間隔物有漏光時會降低品質(zhì),反之,間隔物分散度越低時便無法得均勻的CELLGAP,也會影響品質(zhì).因此適量均勻的間隔物灑布非常重要,目前以灑式散布法較容易控制密度,要先做好灑上間隔物,固上框膠后才可以進行CF及TFT的封準(zhǔn)組合.

TFT-LCD之形成階段第七頁，共十三頁，編輯于2023年，星期三3)面板切割

以TFT與CF的封準(zhǔn)組合再以超硬質(zhì)鋼刀滾輪切割再壓裂的方式得到每一片面板.

以后隋著外型,大小及模組外型的狹框化,薄型化的發(fā)展,以超硬質(zhì)鋼刀無法潢足要求,以后以雷射切割的方式.

4)液晶注入

I將玻璃在機臺上用外框固定好,用直下式的方法注入液晶注入液晶時,應(yīng)注意避免造成spacerbroken及spacer聚集.)

II先讓CELL內(nèi)部真空化后,將CELL的液晶注放口浸入液晶槽中,再以氮氣作破真空的動作,內(nèi)外壓力差與毛細(xì)現(xiàn)會使液晶注入CELL內(nèi)部

當(dāng)液晶注入時的形狀及排列方式

液晶分子CFTFT第八頁，共十三頁，編輯于2023年，星期三通電時候液晶的排列方式:

液晶分子TFTCF第九頁，共十三頁，編輯于2023年，星期三Spacerbroken:是注入液晶時,液晶顆粒大,兩片玻璃壓合時產(chǎn)生破裂.Spacer聚集:注入液晶時,液晶有大顆的也有小顆,由於液晶太小在中槽中會滾動,幾顆碰到一起就形成了Spacer聚集.5)目檢及電測液晶CELL工程主要的檢查是液晶注入后的配向檢查,初期點燈檢查與最終檢查而這些檢查都是以目視進行.?LCD模組形成階段模組制程包括戲動晶片玻璃基板的連接,可燒式印刷電路,壓著,封膠,機殼與背光源組裝及檢測.第十頁，共十三頁，編輯于2023年，星期三四.制程DEFECT造成不良現(xiàn)的原因大多來自於上游玻璃制程.一般來說基板周邊因制程中央取搬送之需求,刮傷不良通常不計,但如遇有進行性的玻璃裂痕為避免下游制程產(chǎn)生破片之情況通常將此判為不良,而CF制程中由CF取放,抽取之動作及切裂工程通常會造成里面刮傷,擦傷,里面異物及基板端破損或貝殼狀欠陷等不良,如圖:里面刮傷里面異物玻璃破裂碎玻璃突起玻璃斟板第十一頁，共十三頁，編輯于2023年，星期三里面刮傷:CF玻璃pattern有效區(qū)域內(nèi)的刮傷,擦傷,點狀傷及表面裂痕.里面異物:CF玻璃的金屬異物,污染,氣泡,碎玻璃突起及其他異物.玻璃欠陷:基板端部落基板四周邊緣或四角)因切割所產(chǎn)生的破損或貝殼狀欠陷.碎玻璃突起:CF基板制造