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文檔簡介
電鍍電鑄電泳濺鍍陽極處理的區(qū)別電鑄大致可分為三類,即裝飾性電鍍(以鍍銀鉻、金、銀為代表)、防護性電鑄(以鍍鋅為代表)和功能電鍍以鍍硬鉻為代表電鑄是利用電鍍法來制造產(chǎn)品的功能電鍍之一。電鑄據(jù)稱電鑄始于年。當時,蘇聯(lián)的 在石膏母型上涂敷石臘,通過石墨使其表面具有導(dǎo)電性,然后表面鍍銅,鍍后脫模,以此制成銅的復(fù)制品。日本昭和初年,京都市工業(yè)研究所和大板造幣司等單位就已積極開展了在石膏母型上鑄銅,在絕緣體上電鍍等方面的研究,并制作了許多精美的金屬工藝品。但是,以石膏或臘等作為母型模進行電鑄時,不僅制造技藝要求高、操作麻煩,而且母型易破損,難以制出精致的復(fù)制品,所以電鑄的使用范圍十分有限。后來,由于塑料母型材料的問世以及電鍍水平的提高,電鑄技術(shù)也得到很大發(fā)展,并廣泛使用于制造那些采用其它方法不能制造的或加工有困難的急需產(chǎn)品。特別是最近幾年,由于電鑄用于制造宇航或原子能的某些零件,它已作為一種尖端加工技術(shù)而為人們所矚目。(此外通過電鍍使金屬和金屬相結(jié)合的所謂“電結(jié)合技術(shù)”也進行了研究。這種電結(jié)合的金屬不會因熱而改變金屬材質(zhì)的機械性能和物理性。利用金屬的電解沉積原理來精確復(fù)制某些復(fù)雜或特殊形狀工件的特種加工方法。它是電鍍的特殊使用。電鑄是俄國學者BC雅可比于 年發(fā)明的。最初主要用于復(fù)制金屬藝術(shù)品和印刷版,世紀末開始用于制造唱片壓模,以后使用范圍逐步擴大。圖為電鑄的基本原理。把預(yù)先按所需形狀制成的原模作為陰極,用電鑄材料作為陽極,一同放入和陽極材料相同的金屬鹽溶液中,通以直流電。在電解作用下,原模表面逐漸沉積出金屬電鑄層,達到所需的厚度后從溶液中取出,將電鑄層和原模分離,便獲得和原模形狀相對應(yīng)的金屬復(fù)制件。電鑄的金屬通常有銅、鎳和鐵種有時也用金、銀、鉑鎳鉆、鉆鎢等合金,但以鎳的電鑄使用最廣。電鑄層厚度一般為?毫米也有厚達毫米的。電鑄件和原模的尺寸誤差僅幾微米。電鑄的主要用途是精確復(fù)制微細、復(fù)雜和某些難于用其他方法加工的特殊形狀模具及工件等,例如制作紙幣和郵票的印刷版、唱片壓模、鉛字字模、玩具滾塑模、模型模具、金屬藝術(shù)品復(fù)制件、反射鏡、表面粗糙度樣塊、微孔濾網(wǎng)、表盤、電火花成型加工用電極、高精度金剛石磨輪基體等。原模的材料有石膏、蠟、塑料、低熔點合金、不銹鋼和鋁等。原模一般采用澆注、切削或雕刻等方法制作,對于精密細小的網(wǎng)孔或復(fù)雜圖案,
可采用照相制版技術(shù)。非金屬材料的原模須經(jīng)導(dǎo)電化處理,方法有涂敷導(dǎo)電粉、化學鍍膜和真空鍍膜等。對于金屬材料的原模,先在表面上形成氧化膜或涂以石墨粉,以便于剝離電鑄層。電鑄設(shè)備由電鑄槽、直流電源一般是伏幾百至幾千安以及電鑄溶液的恒溫、攪拌、循環(huán)和過濾等裝置組成。電鑄溶液采用含有電鑄金屬離子的硫酸鹽、氨基磺酸鹽、氟硼酸鹽和氯化物等的水溶液。電鑄的主要缺點是效率低,一般每小時電鑄金屬層的厚度為 ?毫米。采用高濃度電鑄溶液,并適當提高溶液溫度和加強攪拌等措施,可以提高電流密度,縮短電鑄時間,從而可以提高電鑄效率。這種方法在鎳的電鑄中已獲得使用。電鑄工藝電鑄工藝屬現(xiàn)代技術(shù),其原理和電鍍相同。在鑄液中,陰模為鑄件,表面活化處理后有導(dǎo)電層,接通電流,在電場中電泳使金逐漸沉積在陰模的鑄件上,達到一定厚度即可取出。然后打磨焊接,進行表面處理,即成為一件漂亮的電鑄首飾。電鑄的產(chǎn)品適用行業(yè)范圍電鑄過的產(chǎn)品適應(yīng)于很多行業(yè):手機、數(shù)碼、家電、電腦、汽車、五金、玩具、高檔禮品等。電鑄過的產(chǎn)品一般不會退色相當適用于:手機按鍵、數(shù)碼按鍵、攝像頭裝飾、電腦導(dǎo)光板、汽車車燈、道路反光板、、音響、、玩具、模型等。由泳 涂裝 是利用外加電場使懸浮于電泳液中的顏料和樹脂等微粒定向遷移并沉積于電極之一的基底表面的涂裝方法。電泳涂裝的原理發(fā)明于是世紀年代末,但開發(fā)這一技術(shù)并獲得工業(yè)使用是在年以后,電泳涂裝是近年來發(fā)展起來的一種特殊涂膜形成方法,是對水性涂料最具有實際意義的施工工藝。具有水溶性、無毒、易于自動化控制等特點,迅速在汽車、建材、五金、家電等行業(yè)得到廣泛的使用。電泳涂裝是把工件和對應(yīng)的電極放入水溶性涂料中,接上電源后,依靠電場所產(chǎn)生的物理化學作用,使涂料中的樹脂、顏填料在以被涂物為電極的表面上均勻析出沉積形成不溶于水的漆膜的一種涂裝方法。電泳涂裝是一個極為復(fù)雜的電化學反應(yīng)過程,其中至少包括電泳、電沉積、電滲、電解四個過程。電泳涂裝按沉積性能可分為陽極電泳(工件是陽極,涂料是陰離子型)和陰極電泳(工件是陰極,涂料是陽離子型);按電源可分為直流電泳和交流電泳;按工藝方法又有定電壓和定電流法。目前在工業(yè)上較為廣泛采用的是直流電源定電壓法的陽極電泳。經(jīng)表面處理后的工件;電源;-件;噴水沖洗;槽液過濾;沉積槽;循環(huán)泵電泳涂裝和其他涂裝方法相比較,具有下述特點:()采用水溶性涂料,以水為溶解介質(zhì),節(jié)省了大量有機溶劑,大大降低了大氣污染和環(huán)境危害,安全衛(wèi)生,同時避免了火災(zāi)的隱患;()涂裝效率高,涂料損失小,涂料的利用率可達()涂膜厚度均勻,附著力強,涂裝質(zhì)量好,工件各個部位如內(nèi)層、凹陷、焊縫等處都能獲得均勻、平滑的漆膜,解決了其他涂裝方法對復(fù)雜形狀工件的涂裝難題;()生產(chǎn)效率高,施工可實現(xiàn)自動化連續(xù)生產(chǎn),大大提高勞動效率;()設(shè)備復(fù)雜,投資費用高,耗電量大,其烘干固化要求的溫度較高,涂料、涂裝的管理復(fù)雜,施工條件嚴格,并需進行廢水處理;()只能采用水溶性涂料,在涂裝過程中不能改變顏色,涂料貯存過久穩(wěn)定性不易控制。、電泳涂裝的設(shè)備電泳涂裝的設(shè)備是由電泳槽、攪拌裝置、涂料過濾裝置、溫度調(diào)節(jié)裝置、涂料管理裝置、直流電源裝置、電泳涂裝后的水洗裝置、超濾裝置、烘烤裝置、備用罐等組成。電泳槽槽體的大小及形狀需根據(jù)工件大小、形狀和施工工藝確定。在保證一定的極間距離條件下,應(yīng)盡可能設(shè)計小些。槽內(nèi)裝有過濾裝置及溫度調(diào)節(jié)裝置,以保證漆液一定的溫度和除去循環(huán)漆液中的雜質(zhì)和氣泡。攪拌裝置可使工作漆液保持均勻一致,多采用循環(huán)泵,漆液的循環(huán)一般每小時?次,當循環(huán)泵開動時,槽內(nèi)漆液液面應(yīng)均勻翻動。涂料管理裝置的作用在于補充調(diào)整涂料成分,控制槽液的值,用隔膜電極除去中和劑和用超濾裝置排除低分子量成分等。電泳電源的選擇,一般采用直流電源。整流設(shè)備可采用硅整流器或可控硅。電流的大小和涂料的性質(zhì)、溫度、工作面積、通電方式等有關(guān),一般為? 。水洗裝置用于電泳涂裝前后工件的沖洗,一般用去離子水,但需加壓設(shè)備,常用的是一種帶螺旋體的淋洗噴嘴。烘烤裝置用來促進電泳涂料的干燥成膜,可采用電阻爐、感應(yīng)電熱爐和紅外線烘烤設(shè)備。烘房設(shè)計要有預(yù)熱、加熱和后熱三段,應(yīng)根據(jù)涂料的品種和工件的情況制訂。二、影響電泳涂裝的主要工藝參數(shù)、電壓
電泳涂裝采用的是定電壓法,設(shè)備相對簡單,易于控制。電壓對漆膜的影響很大;電壓越高,電泳漆膜越厚,對于難以涂裝的部位可相應(yīng)提高涂裝能力,縮短施工時間。但電壓過高,會引起漆膜表面粗糙,烘干后易產(chǎn)生“橘皮”現(xiàn)象。電壓過低,電解反應(yīng)慢,漆膜薄而均勻,泳透力差。電壓的選擇由涂料種類和施工要求等確定。一般情況下,電壓和涂料的固體分及漆溫成反比,和兩極間距成正比。鋼鐵表面為?,鋁和鋁合金表面可采用?,鍍鋅件采用?2電泳時間漆膜厚度隨著電泳時間的延長而增加,但當漆膜達到一定厚度時,繼續(xù)延長時間,也不能增加厚度,反而會加劇副反應(yīng);反之,電泳時間過短,涂層過薄。電泳時間應(yīng)根據(jù)所用的電壓,在保證涂層質(zhì)量的條件下,越短越好。一般工件電泳時間為至分鐘,大型工件為至分鐘。如果被涂物件表面幾何形狀復(fù)雜,可適當提高電壓和延長時間。、涂料溫度涂料溫度高,成膜速率快,但漆膜外觀粗糙,還會引起涂料變質(zhì);溫度低,電沉積量少,成膜慢,涂膜薄而致密。施工過程中,由于電沉積時部分電能轉(zhuǎn)化成熱能,循環(huán)系統(tǒng)內(nèi)機械摩擦產(chǎn)生熱量,將導(dǎo)致涂料溫度上升。一般漆液溫度控制在某些方面~O。、涂料的固體分和顏基比市售的電泳涂料的固體分一般為 左右,施工時,需用蒸餾水將涂料固體分控制在?。固體含量太低,漆膜的遮蓋力不好,顏料易沉淀,涂料的穩(wěn)定性差。固體分過高,粘度提高,會造成漆膜粗糙疏松,附著力差。一般顏基比為比左右,高光澤電泳涂料的顏基比可控制在比。由于實際操作中,涂料的顏料量會逐漸下降,必須隨時添加顏料分高的涂料來調(diào)節(jié)。、涂料的值電泳涂料的值直接影響槽液的穩(wěn)定性。值過高,新沉積的涂膜會再溶解,漆膜變薄,電泳后沖洗會脫膜。值過低,工件表面光澤不一致,漆液的穩(wěn)定性不好,已溶解的樹脂會析出,漆膜表面粗糙,附著力降低。一般要求施工過程中,值控制在?之間。在施工工程中,由于連續(xù)進行電泳,陽離子的銨化合物在涂料中積蓄,導(dǎo)致值的上升??刹捎醚a加低值的原液,更換陰極罩蒸餾水,用離子交換樹脂除去銨離子,采用陽極罩等方法降低值。若值過低時,可加入乙醇銨來調(diào)節(jié)。、涂料電阻
被涂物件從前一道工序帶入電泳槽的雜質(zhì)離子等引起涂料電阻值的下降,從而導(dǎo)致漆膜出現(xiàn)粗糙不均和針孔等弊病。在涂裝施工中,需對涂料進行凈化處理。為了得到高質(zhì)量涂膜,可采用陰極罩設(shè)備,以除去銨及鈣、鎂等雜質(zhì)正離子。7工件和陰極間距離距離近,沉積效率高。但距離過近,會使漆膜太厚而產(chǎn)生流掛、橘皮等弊病。一般距離不低于 c對大型而形狀復(fù)雜的工件,當出現(xiàn)外部已沉積很厚涂膜,而內(nèi)部涂膜仍較薄時,應(yīng)在距離陰極較遠的部位,增加輔助陰極。三、電泳涂裝的方法及技巧()一般金屬表面的電泳涂裝,其工藝流程為:預(yù)清理一上線一除油一水洗一除銹一水洗一中和一水洗一磷化一水洗一鈍化一電泳涂裝一槽上清洗一超濾水洗一烘干一下線。()被涂物的底材及前處理對電泳涂膜有極大影響。鑄件一般采用噴砂或噴丸進行除銹,用棉紗清除工件表面的浮塵,用?砂紙清除表面殘留的鋼丸等雜物。鋼鐵表面采用除油和除銹處理,對表面要求過高時,進行磷化和鈍化表面處理。黑色金屬工件在陽極電泳前必須進行磷化處理,否則漆膜的耐腐蝕性能較差。磷化處理時,一般選用鋅鹽磷化膜,厚度約?Mm要求磷化膜結(jié)晶細而均勻。()在過濾系統(tǒng)中,一般采用一級過濾,過濾器為網(wǎng)袋式結(jié)構(gòu),孔徑為 ?M。電泳涂料通過立式泵輸送到過濾器進行過濾。從綜合更換周期和漆膜質(zhì)量等因素考慮,孔徑M的過濾袋最佳,它不但能滿足漆膜的質(zhì)量要求,而且解決了過濾袋的堵塞問題。()電泳涂裝的循環(huán)系統(tǒng)循環(huán)量的大小,直接影響著槽液的穩(wěn)定性和漆膜的質(zhì)量。加大循環(huán)量,槽液的沉淀和氣泡減少;但槽液老化加快,能源消耗增加,槽液的穩(wěn)定性變差。將槽液的循環(huán)次數(shù)控制?次較為理想,不但保證漆膜質(zhì)量,而且確保槽液的穩(wěn)定運行。)隨著生產(chǎn)時間的延長,陽極隔膜的阻抗會增加,有效的工作電壓下降。因此,生產(chǎn)中應(yīng)根據(jù)電壓的損失情況,逐步調(diào)高電源的工作電壓,以補償陽極隔膜的電壓降。()超濾系統(tǒng)控制工件帶入的雜質(zhì)離子的濃度,保證涂裝質(zhì)量。在此系統(tǒng)的運行中應(yīng)注意,系統(tǒng)一經(jīng)運行后應(yīng)連續(xù)運行,嚴禁間斷運行,以防超濾膜干枯。干枯后的樹脂和顏料附著在超濾膜上,無法徹底清洗,將嚴重影響超濾膜的透水率和使用壽命。超濾膜的出水率隨運行時間而呈下降趨勢,連續(xù)工作?天應(yīng)清洗一次,以保證超濾浸洗和沖洗所需的超濾水。
()電泳涂裝法適用于大量流水線的生產(chǎn)工藝。電泳槽液的更新周期應(yīng)在個月以內(nèi)。以一個年產(chǎn)萬份鋼圈的電泳生產(chǎn)線為例,對槽液的科學管理極為重要,對槽液的各種參數(shù)定期進行檢測,并根據(jù)檢測結(jié)果對槽液進行調(diào)整和更換。一般按如下頻率測量槽液的參數(shù):電泳液、超濾液及超濾清洗液、陰(陽)極液、循環(huán)洗液、去離子清洗液的值、固體含量和電導(dǎo)率每天一次;顏基比、有機溶劑含量、試驗室小槽試驗每周次。()對漆膜質(zhì)量的管理,應(yīng)經(jīng)常檢查涂膜的均一性和膜厚,外觀不應(yīng)有針孔、流掛、橘皮、皺紋等現(xiàn)象,定期檢查涂膜的附著力、耐腐蝕性能等物理化學指標。檢驗周期按生產(chǎn)廠家的檢驗標準,一般每個批次都需檢測。電鍍的涵義電鍍是使用電解原理在某些金屬表面鍍上一薄層其他金屬或合金的過程。()、電鍍的目的電鍍的目的主要是使金屬增強抗腐蝕能力、增加美觀和表面硬度。()、電鍍的原理電鍍的原理和電解精煉銅的原理是一致的。電鍍時,一般都是用含有鍍層金屬離子的電解質(zhì)配成電鍍液;把待鍍金屬制品浸入電鍍液中和直流電源的負極相連,作為陰極;用鍍層金屬作為陽極,和直流電源正極相連。通入低壓直流電,陽極金屬溶解在溶液中成為陽離子,移向陰極,這些離子在陰極獲得電子被還原成金屬,覆蓋在需要電鍍的金屬制品上。金屬表面容易氧化生銹是世人皆知的現(xiàn)象,特別是近幾年來,酸雨及空氣的污染,更加重了金屬的腐蝕程度。為此,金屬表面處理工藝電鍍鉻技術(shù)使用十分廣泛。在我國,傳統(tǒng)的電鍍鉻金屬表面處理工藝已有多年的歷史。這種工藝通過陽極溶解、陰極吸附的技術(shù)原理,可在各種易氧化生銹的金屬工件表面形成保護層。然而,隨著市場經(jīng)濟的飛速發(fā)展,電鍍鉻技術(shù)使用領(lǐng)域的不斷擴大,傳統(tǒng)電鍍處理工藝的缺點也越來越明顯,其缺點主要表現(xiàn)為以下幾個方面:1設(shè)備投資過大。電鍍槽的制備技術(shù)標準高,要求嚴,令一般投資者望而卻步。2生產(chǎn)過程中需直流電,能源消耗極大。3生產(chǎn)成本高。所使用的鉻酐價格昂貴,且有很大的毒害性,故而限制其使用范圍。4生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的含鉻廢水,排放滲入地下后不能分解,嚴重污染地下水源。還會產(chǎn)生毒害氣體排放,污染環(huán)境和空氣,危害人們的身4健康和生態(tài)環(huán)
境,惡化了廣大城鎮(zhèn)居民的居住質(zhì)量。陽極化處理以鋁或鋁合金制品為陽極置于電解質(zhì)溶液中利用電解作用使其表面形成氧化鋁薄膜的過程稱為鋁及鋁合金的陽極氧化處理。鋁陽極氧化的原理實質(zhì)上就是水電解的原理。當電流通過時將發(fā)生以下的反應(yīng):在陰極上按下列反應(yīng)放出: 一在陽極上- - 析出的氧不僅是分子態(tài)的氧 還包括原子氧以及離子氧 通常在反應(yīng)中以分子氧表示。作為陽極的鋁被其上析出的氧所氧化形成無水的O惠應(yīng)指出生成的氧并不是全部和鋁作用一部分以氣態(tài)的形式析出。陽極氧化的種類陽極氧化早就在工業(yè)上得到廣泛使用。冠以不同名稱的方法繁多歸納起來有以下幾種分類方法:按電流型式分有:直流電陽極氧化;交流電陽極氧化;以及可縮短達到要求厚度的生產(chǎn)時間,膜層既厚又均勻致密且抗蝕性顯著提高的脈沖電流陽極氧化。按電解液分有:硫酸、草酸、鉻酸、混合酸和以磺基有機酸為主溶液的自然著色陽極氧化。按膜層性質(zhì)分有:普通膜、硬質(zhì)膜厚膜)瓷質(zhì)膜、光亮修飾層、半導(dǎo)體作用的阻擋層等陽極氧化。直流電硫酸陽極氧化法的使用最為普遍這是因為它具有適用于鋁及大部分鋁合金的陽極氧化處理;膜層較厚、硬而耐磨、封孔后可獲得更好的抗蝕性;膜層無色透明、吸附能力強極易著色;處理電壓較低耗電少;處理過程不必改變電壓周期有利于連續(xù)生產(chǎn)和實踐操作自動化;硫酸對人身的危害較鉻酸小貨源廣價格低等優(yōu)點。近十年來我國的建筑業(yè)逐步使用鋁門窗及其它裝飾鋁材它們的表面處理生產(chǎn)線都是采用這種方法。陽極氧化膜結(jié)構(gòu)、性質(zhì)和使用陽極氧化膜的結(jié)構(gòu)陽極氧化膜由兩層組成多孔的厚的外層是在具有介電性質(zhì)的致密的內(nèi)層上成長起來的后者稱為阻擋層亦稱活性層)阻擋層阻擋層是由無水的 所組成薄而致密具有高的硬度和阻止電流通過的作用。多孔的外層氧化膜多孔的外層主要是由非晶型的 及少量的還含有電解液的陰離子。氧化膜的葩大部分優(yōu)良特性如抗蝕、耐磨、吸附、絕緣等性能都是由多孔外層的厚度及孔隙率所決定的然而這兩者卻和陽極氧化條件密切相關(guān)因此可通過改變陽極化條件來獲得滿足不同使用要求的膜層。膜厚是陽極氧化制品一個很主要的性能指針其值的大小直接影響著膜層耐蝕、耐磨、絕緣及化學著色能力。在常規(guī)的陽極氧化過程中膜層隨著時間的增加而增厚。在連到最大厚度之后則隨著處理時間的延長而逐漸變薄有些合金如- 合金表現(xiàn)得特別明顯。因此氧化的時間一般控制在連最大膜厚時間之內(nèi)。 陽極氧化膜的性質(zhì)和使用陽極氧化膜具有較高的硬度和耐磨性、極強的附著能力、較強的吸附能力、良好的抗蝕性和電絕緣性及高的熱絕緣性。由于這些特異的性能使之在各方面都獲得了廣泛的使用。以鋁或鋁合金制品為陽極置于電解質(zhì)溶液中利用電解作用使其表面形成氧化鋁薄膜的過程稱為鋁及鋁合金的陽極氧化處理。鋁陽極氧化的原理實質(zhì)上就是水電解的原理。當電流通過時將發(fā)生以下的反應(yīng):在陰極上按下列反應(yīng)放出2 —在陽極上 -- 析出的氧不僅是分子態(tài)的氧 還包括原子氧 以及離子氧 通常在反應(yīng)中以分子氧表示。作為陽極的鋁被其上析出的氧所氧化形成無水的膜: 應(yīng)指出生成的氧并不是全部和鋁作用一部分以氣態(tài)的形式析出。 陽極氧化的種類陽極氧化早就在工業(yè)上得到廣泛使用。冠以不同名稱的方法繁多歸納起來有以下幾種分類方法:按電流型式分有:直流電陽極氧化;交流電陽極氧化;以及可縮短達到要求厚度的生產(chǎn)時間,膜層既厚又均勻致密且抗蝕性顯著提高的脈沖電流陽極氧化。按電解液分有:硫酸、草酸、鉻酸、混合酸和以磺基有機酸為主溶液的自然著色陽極氧化。按膜層性質(zhì)分有:普通膜、硬質(zhì)膜厚膜)瓷質(zhì)膜、光亮修飾層、半導(dǎo)體作用的阻擋層等陽極氧化。直流電硫酸陽極氧化法的使用最為普遍這是因為它具有適用于鋁及大部分鋁合金的陽極氧化處理;膜層較厚、硬而耐磨、封孔后可獲得更好的抗蝕性;膜層無色透明、吸附能力強極易著色;處理電壓較低耗電少;處理過程不必改變電壓周期有利于連續(xù)生產(chǎn)和實踐操作自動化;硫酸對人身的危害較鉻酸小貨源廣價格低等優(yōu)點。近十年來我國的建筑業(yè)逐步使用鋁門窗及其它裝飾鋁材它們的表面處理生產(chǎn)線都是采用這種方法。陽極氧化膜結(jié)構(gòu)、性質(zhì)和使用陽極氧化膜的結(jié)構(gòu)陽極氧化膜由兩層組成多孔的厚的外層是在具有介電性質(zhì)的致密的內(nèi)層上成長起來的后者稱為阻擋層亦稱活性層。阻擋層阻擋層是由無水的1所組成薄而致密具有高的硬度和阻止電流通過的作用。濺鍍八以通常指的是磁控濺鍍屬于高速低溫濺鍍法該工藝要求真空度在X 左右,即X 的真空狀態(tài)充入惰性氣體氬氣 ,并在塑膠基材(陽極)和金屬靶材(陰極)之間加上高壓直流電,由于輝光放電 產(chǎn)生的電子激發(fā)惰性氣體,產(chǎn)生等離子體,等離子體將金屬靶材的原子轟出,沉積在塑膠基材上原理以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子轟擊材料表面,使其濺射出進入氣相,可用來刻蝕和鍍膜。入射一個離子所濺射出的原子個數(shù)稱為濺射產(chǎn)額 產(chǎn)額越高濺射速度越快,以 等最高, 等最低。一般在原子離子。離子可以直流輝光放電 產(chǎn)生,在一真空度,在兩極間加高壓產(chǎn)生放電,正離子會轟擊負電之靶材而濺射也靶材,而鍍至被鍍物上。正常輝光放電 的電流密度和陰極物質(zhì)和形狀、氣體種類壓力等有關(guān)。濺鍍時應(yīng)盡可能維持其穩(wěn)定。任何材料皆可濺射鍍膜,即使高熔點材料也容易濺鍍,但對非導(dǎo)體靶材須以射頻(F或脈沖( )濺射;且因?qū)щ娦暂^差,濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達 非金屬 二極濺鍍射:靶材為陰極,被鍍工件及工件架為陽極,氣體(氬氣)壓力約幾或更高方可得較高鍍率。磁控濺射:在陰極靶表面形成一正交電磁場,在此區(qū)電子密度高,進而提高離子密度,使得濺鍍率提高一個數(shù)量級,濺射速度可達一膜層附著力較蒸鍍佳,是目前最實用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù)濺鍍機設(shè)備和工藝(磁控濺鍍)濺鍍機由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射槍( )磁控濺射槍分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率 ,圓柱型靶材料利用率 濺射電源分為:直流(C、射頻(F、脈沖( ),直流: (0導(dǎo)體用,須可災(zāi)弧。射頻: ,非導(dǎo)體用。脈沖:泛用,最新發(fā)
展出濺鍍時須控制參數(shù)有濺射電流,電壓或功率,以及濺鍍壓力(X一)若各參數(shù)皆穩(wěn)定,膜厚可以鍍膜時間估計出來。靶材的選擇和處理十分重要,純度要佳,質(zhì)地均勻,沒有氣泡、缺陷,表面應(yīng)平整光潔。對于直接冷卻靶,須注意其在濺射后靶材變薄,有可能破裂特別是非金屬靶。一般靶材最薄處不可小于原靶厚之一半或。磁控濺鍍操作方式和一般蒸鍍相似,先將真空抽至X2再通入氬氣 離子轟擊靶
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