超純水設備EDI與混床簡介

超純水設備EDI與混床簡介一、EDI

系統(tǒng)概述半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子水質(zhì)技術分為五個行業(yè)標準，分別為1MΩ.cm、5MΩ.cm、10MΩ.cm、16MΩ.cm、18MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。電子行業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下幾種：

1、采用離子交換樹脂制備超純水的其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→保安過濾器→陽床→陰床(復床)→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

二、制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→保安過濾器→高壓泵→反滲透設備→RO水箱→混床泵→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋涸洹谩嘟橘|(zhì)過濾器→精密過濾器→高壓泵→反滲透設備→RO水箱→(EDI)泵→保安過濾器→紫外線→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點EDI(Electro-de-ionization)是一種將離子交換技術、離子交換膜技術和離子電遷移技術(電滲析技術)相結合的純水制造技術。該技術利用離子交換能深度脫鹽來克服電滲析極化而脫鹽不徹底,又利用電滲析極化而發(fā)生水電離產(chǎn)生H和OH離子實現(xiàn)樹脂自再生來克服樹脂失效后通過化學藥劑再生的缺陷,是20世紀80年代以來逐漸興起的新技術。經(jīng)過十幾年的發(fā)展,EDI技術已經(jīng)在北美及歐洲占據(jù)了相當部分的超純水市場。三、EDI工作原理EDI裝置屬于精處理水系統(tǒng),一般多與反滲透(RO)配合使用,組成預處理、反滲透、EDI裝置的超純水處理系統(tǒng),取代了傳統(tǒng)水處理工藝的混合離子交換設備。EDI裝置進水要求為電阻率為0.025-0.5MΩ·cm,反滲透裝置完全可以滿足要求。EDI裝置可生產(chǎn)電阻率高達18MΩ·cm以上的超純水。EDI裝置不需要化學再生,可連續(xù)運行,進而不需要傳統(tǒng)水處理工藝的混合離子交換設備再生所需的酸堿液,以及再生所排放的廢水。其主要特點如下EDI的凈水基本過程

·連續(xù)運行,產(chǎn)品水水質(zhì)穩(wěn)定

·容易實現(xiàn)全自動控制

·無須用酸堿再生

·不會因再生而停機

·節(jié)省了再生用水及再生污水處理設施

·產(chǎn)水率高(可達95%)

·無須酸堿儲備和酸堿稀釋運送設施

·占地面積小

·使用安全可靠,避免工人接觸酸堿·降低運行及維護成本

·設備單元模塊化,可靈活的組合各種流量的凈水設施

·安裝簡單、費用低廉

·設備初投資大四、EDI裝置的特點EDI裝置與混床離子交換設備屬于水處理系統(tǒng)中的精處理設備,下面將兩種設備在產(chǎn)水水質(zhì)、投資量及運行成本方面進行比較,來說明EDI裝置在水處理中應用的優(yōu)越性。(1)產(chǎn)水水質(zhì)比較

EDI裝置是一個連續(xù)凈水過程,因此其產(chǎn)品水水質(zhì)穩(wěn)定,電阻率最高可達18.25MΩ·cm,達到超純水的指標?；齑搽x子交換設施的凈水過程是間斷式的,在剛剛被再生后,其產(chǎn)品水水質(zhì)較高,而在下次再生之前,其產(chǎn)品水水質(zhì)較差。(2)投資量比較

與混床離子交換設施相比EDI裝置投資量要高約20%左右,但從混床需要酸堿儲存、酸堿添加和廢水處理設施及后期維護、樹脂更換來看,兩者費用相差在10%左右。隨著技術的提高與批量生產(chǎn),EDI裝置所需的投資量會大大的降低。另外,EDI裝置設備小巧,所需廠房遠遠小于混床。五、EDI裝置與混床離子交換設備比較

(3)運行成本比較

EDI裝置運行費用包括電耗、水耗、藥劑費及設備折舊等費用,省去了酸堿消耗、再生用水、廢水處理和污水排放等費用。

在電耗方面,EDI裝置約0.5kWh/t水,混床工藝約0.35kWh/t水,電耗的成本在電廠來說是比較經(jīng)濟的,可以用廠用電的價格核算。

在水耗方面,EDI裝置產(chǎn)水率高,不用再生用水,因此在此方面運行費用低于混床。

至于藥劑費和設備折舊費兩者相差不大。ED江I技術嬌在國塵外廣鴿泛的導應用郵有十辣幾年狀的時思間,大多銀用于原制藥憲行業(yè)睜、微愧電子灶行業(yè)鋒、發(fā)話電工驗業(yè)和玻實驗惰室。壟在表位面清拴洗、暑表面義涂裝漠、電昌解工陳業(yè)和謊化工爆工業(yè)捏的應礙用也粒日趨胃廣泛。ED畫I技術陵的應間用1、制申藥行囑業(yè)、死微電嚷子行渾業(yè)、惱發(fā)電腐工業(yè)如和實壘驗室語。2、在漁表面怪清洗網(wǎng)、表瓦面涂嫌裝、城電解揉工業(yè)歐和化行工工樓業(yè)的隔應用困也日密趨廣土泛。3、半替導體兔材料、器竟件、腐印刷忽電路胸板和此集成再電路;4、超逼純材坐料和級超純筒化學盼試劑;5、實豆驗室孟和中姥試車槐間;6、汽戰(zhàn)車、