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超高真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與組裝1.1超高真空靶室及管道的設(shè)計(jì)也為了清洗簡(jiǎn)單在設(shè)計(jì)焊接結(jié)構(gòu)的時(shí)候也要注意避免處于真空中的焊縫中有積了隔離空穴它就會(huì)成為一個(gè)緩慢放氣的源泉。個(gè)法蘭連接的密封可靠。而對(duì)于某些必須要處于較高溫度工作的真空橡膠密封下壁厚已經(jīng)有了標(biāo)準(zhǔn)盡寸,當(dāng)然也可以計(jì)算出來(lái)。進(jìn)出水管位置要一下一上,而且設(shè)置流水隔層,讓水沿著一定路線流動(dòng)。而在設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)測(cè)量真空規(guī)管座的位置時(shí)應(yīng)該注意到由于每個(gè)密封面都道CF100管道法蘭接后級(jí)管道道的連接一維移動(dòng)探測(cè)器接泵相連接。最后一個(gè)接口與大靶室相連接。如圖10所示。與大靶室相連接然所設(shè)計(jì)的系統(tǒng)的形狀以及尺寸涉及到了制造所需要的工藝,也是與成本有關(guān)1.2后期超高真空系統(tǒng)的組裝組裝過(guò)程主要包括清潔處理,真空封接以及后續(xù)輔助設(shè)備安裝。為了對(duì)管道實(shí)現(xiàn)冷卻,我們計(jì)劃在設(shè)計(jì)管道上方以及左側(cè)纏繞固定水冷卻金屬管。
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