
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
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文檔簡介
12023/7/20主要內(nèi)容概述旋轉(zhuǎn)變壓器感應(yīng)同步器直線光柵光電脈沖編碼器22023/7/205.1概述☆分辨率☆閉環(huán)控制☆傳感器組成:位置測量裝置是由檢測元件(傳感器)和信號處理裝置組成的。作用:實時測量執(zhí)行部件的位移和速度信號,并變換成位置控制單元所要求的信號形式,將運動部件現(xiàn)實位置反饋到位置控制單元,以實施閉環(huán)控制。它是閉環(huán)、半閉環(huán)進給伺服系統(tǒng)的重要組成部分。閉環(huán)數(shù)控機床的加工精度在很大程度上是由位置檢測裝置的精度決定的,在設(shè)計數(shù)控機床進給伺服系統(tǒng),尤其是高精度進給伺服系統(tǒng)時,必須精心選擇位置檢測裝置。32023/7/205.1.1檢測裝置的分類數(shù)控系統(tǒng)中的檢測裝置分為位移、速度和電流三種類型。
☆安裝的位置及耦合方式—直接測量和間接測量;
☆測量方法—
增量型和絕對型;
☆檢測信號的類型—
模擬式和數(shù)字式;
☆運動型式—
回轉(zhuǎn)型和直線型;
☆信號轉(zhuǎn)換的原理—
光電效應(yīng)、光柵效應(yīng)、電磁感應(yīng)原理、壓電效應(yīng)、壓阻效應(yīng)和磁阻效應(yīng)等。
42023/7/20直接測量和間接測量1.直接測量
直接測量是將直線型檢測裝置安裝在移動部件上,用來直接測量工作臺的直線位移,作為全閉環(huán)伺服系統(tǒng)的位置反饋信號,而構(gòu)成位置閉環(huán)控制。其優(yōu)點是準確性高、可靠性好,缺點是測量裝置要和工作臺行程等長,所以在大型數(shù)控機床上受到一定限制。2.間接測量
它是將旋轉(zhuǎn)型檢測裝置安裝在驅(qū)動電機軸或滾珠絲杠上,通過檢測轉(zhuǎn)動件的角位移來間接測量機床工作臺的直線位移,作為半閉環(huán)伺服系統(tǒng)的位置反饋用。優(yōu)點是測量方便、無長度限制。缺點是測量信號中增加了由回轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)變?yōu)橹本€運動的傳動鏈誤差,從而影響了測量精度。52023/7/20數(shù)字式測量和模擬式測量1.數(shù)字式測量
它是將被測的量以數(shù)字形式來表示,測量信號一般為脈沖,可以直接把它送到數(shù)控裝置進行比較、處理。信號抗干擾能力強、處理簡單。2.模擬量測量
它是將被測的量用連續(xù)變量來表示,如電壓變化、相位變化等。它對信號處理的方法相對來說比較復(fù)雜。62023/7/20增量式測量和絕對式測量
增量式測量
在輪廓控制數(shù)控機床上多采用這種測量方式,增量式測量只測相對位移量,如測量單位為0.001mm,則每移動0.001mm就發(fā)出一個脈沖信號,其優(yōu)點是測量裝置較簡單,任何一個對中點都可以作為測量的起點,而移距是由測量信號計數(shù)累加所得,但一旦計數(shù)有誤,以后測量所得結(jié)果完全錯誤。
2.絕對式測量
絕對式測量裝置對于被測量的任意一點位置均由固定的零點標起,每一個被測點都有一個相應(yīng)的測量值。測量裝置的結(jié)構(gòu)較增量式復(fù)雜,如編碼盤中,對應(yīng)于碼盤的每一個角度位置便有一組二進制位數(shù)。顯然,分辨精度要求愈高,量程愈大,則所要求的二進制位數(shù)也愈多,結(jié)構(gòu)就愈復(fù)雜。72023/7/20分
類
增
量
式
絕
對
式
位移傳感器
回轉(zhuǎn)型——脈沖編碼器、自整角機、旋轉(zhuǎn)變壓器、圓感應(yīng)同步器、光柵角度傳感器、圓光柵、圓磁柵
多極旋轉(zhuǎn)變壓器、絕對脈沖編碼器
絕對值式光柵、三速圓感應(yīng)同步器、磁阻式多極旋轉(zhuǎn)變壓器
直線型——直線應(yīng)同步器、光柵尺、磁柵尺、激光干涉儀
霍耳位置傳感器
三速感應(yīng)同步器、絕對值磁尺、光電編碼尺、磁性編碼器
速度傳感器
交、直流測速發(fā)電機、數(shù)字脈編碼式速度傳感器、霍耳速度傳感器
速度—角度傳感器、數(shù)字電磁、磁敏式速度傳感器
電流傳感器
霍耳電流傳感器
數(shù)控機床檢測裝置分類82023/7/205.1.2數(shù)控測量裝置的性能指標及要求傳感器的性能指標包括靜態(tài)特性和動態(tài)特性,主要如下:
1.精度
符合輸出量與輸入量之間特定函數(shù)關(guān)系的準確程度稱作精度。高精度和高速實時測量。
2.分辨率
分辯率應(yīng)適應(yīng)機床精度和伺服系統(tǒng)的要求。
3.靈敏度靈敏度高、一致。
4.遲滯對某一輸入量,傳感器正行程的輸出量與反行程的輸出量不一致,稱為遲滯。數(shù)控伺服系統(tǒng)傳感器要求遲滯小。
5.測量范圍和量程6.零漂與溫漂傳感器的漂移量其它:可靠,抗干擾性強、使用維護方便、成本低等。
92023/7/205.2旋轉(zhuǎn)變壓器5.2.1旋轉(zhuǎn)變壓器的結(jié)構(gòu)和工作原理旋轉(zhuǎn)變壓器是一種角位移測量裝置。旋轉(zhuǎn)變壓器簡稱旋變,又稱作解算器或分解器。分類:有電刷集電環(huán)結(jié)構(gòu)和無刷結(jié)構(gòu)單對極元件、多對極元件(或稱多極元件)工作原理:電磁感應(yīng)定子轉(zhuǎn)子S1R1S2S3S4R2R3R4102023/7/2018762345
旋轉(zhuǎn)變壓器結(jié)構(gòu)示意圖
1-轉(zhuǎn)軸2-軸承3-機殼4-轉(zhuǎn)子鐵心5-定子鐵心
6-端蓋7-電刷8-集電環(huán)
結(jié)構(gòu)112023/7/20V1=Vmsinωt
V1
V1
E
2=0(α=90°)
E
2=KVmsinωtcosα
E
2=
KVmsinωt(α=0°)
α=90°E
2=0α=0°E
2=KV
msinωt式中:E2—轉(zhuǎn)子繞組感應(yīng)電勢;
V1—定子繞組勵磁電壓
V1=Vmsinωt;
Vm—電壓信號幅值;α—定、轉(zhuǎn)子繞組軸線間夾角;K—變壓比(即繞組匝數(shù)比)122023/7/20
5.2.2旋轉(zhuǎn)變壓器的應(yīng)用
數(shù)控系統(tǒng)中旋轉(zhuǎn)變壓器作為位置檢測和反饋元件,工作在位置控制的相位、幅值工作方式。1.鑒相方式:定子的兩相繞組分別加上幅值相等、頻率相同,而相位相差90度的正弦交變電壓。
Vs=Vmsinωt
Vc=Vmcosωt
E2=KV
m
cosα-KV
msinα=KV
m
(sinωtcosα-cosωtsinα)=KV
m
sin(ωt-α)132023/7/20VcE2定子兩相繞組勵磁
Vsa轉(zhuǎn)子輸出信號的相位角(ωt-α)與轉(zhuǎn)子的偏轉(zhuǎn)角之間有著嚴格的對應(yīng)關(guān)系。若測出轉(zhuǎn)子工作繞組輸出電壓的相位角,即可得到轉(zhuǎn)子相對于定子的空間轉(zhuǎn)角位置。E2=KVm
cosα-KVm
csinα=KVm
(sinωtcosα-cosωtsinα)=KVm
sin(ωt-α)142023/7/202.鑒幅方式:定子的兩相繞組加的是相位相同、頻率相同,而幅值分別按正弦、余弦變化的交變電壓。Vs=Vmsinα電sinωt
Vc=Vmcosα電sinωt
E2=KV
m
cosα機-KV
csinα機
=KV
msinωt(sinα電cosα機-cos電sinα機
=KV
msin(α電-α機)sinωt感應(yīng)電勢(E2)是以ω為角頻率、以Vm
sin(α電
-α機)為幅值的交變電壓信號。若電氣角α電已知,只要測出E2
幅值(利用E2=0),便可間接的求出機械角α機,從而得出被測角位移。
152023/7/20如果將旋轉(zhuǎn)變壓器裝在數(shù)控機床的滾珠絲杠上,當角從0°到360°時,絲杠上的螺母帶動工作臺移動了一個導(dǎo)程,間接測量了執(zhí)行部件的直線位移。測量所走過的行程時,可加一個計數(shù)器,累計所轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)數(shù),折算成位移總長度。162023/7/205.3感應(yīng)同步器
5.3.1感應(yīng)同步器的結(jié)構(gòu)和類型
絕緣粘膠銅箔鋁箔耐切削液涂層基板(鋼、銅)節(jié)距(0.5mm)定尺滑尺172023/7/20旋轉(zhuǎn)式感應(yīng)同步器直線式感應(yīng)同步器182023/7/20
5.3.2感應(yīng)同步器的工作原理
感應(yīng)同步器是利用勵磁繞組與感應(yīng)繞組間發(fā)生相對位移時,由于電磁耦合的變化,感應(yīng)繞組中的感應(yīng)電壓隨位移的變化而變化,借以進行位移量的檢測。感應(yīng)同步器滑尺上的繞組是勵磁繞組,定尺上的繞組是感應(yīng)繞組。工作原理:利用電磁耦合原理,將位移或轉(zhuǎn)角變成電信號(極為普遍)。即使滑尺與定尺相互平行,并保持一定的間距。向滑尺通以交流激磁電壓,則在滑尺中產(chǎn)生激磁電流,繞組周圍產(chǎn)生按正弦規(guī)律變化的磁場,由電磁感應(yīng),在定尺上感出感應(yīng)電壓,當滑尺與定尺間產(chǎn)生相對位移時,由于電磁耦合的變化,使定尺上感應(yīng)電壓隨位移的變化而變化(相同頻率)。感應(yīng)同步器的信號處理原理滑尺與定尺相對位移量x的求?。骸?τ:2π=x:θ1∴x=τθ1/π結(jié)論:相對位移量x與相位角θ1呈線性關(guān)系,只要能測出相位角θ1,就可求得位移量x。192023/7/20
5.3.3感應(yīng)同步器的應(yīng)用
按滑尺上兩相繞組通入的勵磁信號,感應(yīng)同步器分為:
相位工作方式(鑒相型系統(tǒng))
幅值工作方式(鑒幅型系統(tǒng))。
●相位工作方式:前提供給滑尺的激磁信號為頻率、幅值相同,相位角相差90°的交流電壓。
●
幅值工作方式:前提給滑尺繞組通入相位相同、頻率相同,但幅值不同的勵磁電壓。202023/7/205.4光柵光柵的分類:物理光柵和計量光柵光柵的運動方式:長光柵和圓光柵光線的走向:透射光柵和反射光柵
一、結(jié)構(gòu)光柵種類較多。根據(jù)光線在光柵中是透射還是反射分為透射光柵和反射光柵,透射光柵分辨率較反射光柵高,其檢測精度可達1μm以上。從形狀上看,又可分為圓光柵和直線光柵。圓光柵用于測量轉(zhuǎn)角位移,直線光柵用于檢測直線位移。兩者工作原理基本相似,本節(jié)著重介紹一種應(yīng)用比較廣泛的透射式直線光柵。直線光柵通常包括一長和一短兩塊配套使用,其中長的稱為標尺光柵或長光柵,一般固定在機床移動部件上,要求與行程等長。短的為指示光柵或短光柵,裝在機床固定部件上。兩光柵尺是刻有均勻密集線紋的透明玻璃片,線紋密度為25、50、100、250條/mm等。線紋之間距離相等,該間距稱為柵距,測量時它們相互平行放置,并保持0.05~0.1mm的間隙。212023/7/20222023/7/20232023/7/20
二、工作原理
當指示光柵上的線紋與標尺光柵上的線紋成一小角度放置時,兩光柵尺上線紋互相交叉。在光源的照射下,交叉點附近的小區(qū)域內(nèi)黑線重疊,形成黑色條紋,其它部分為明亮條紋,這種明暗相間的條紋稱為莫爾條紋。莫爾條紋具有如下特點:1.光強度分布近似于余弦函數(shù)2.放大作用用B(mm)表示莫爾條紋的寬度,W
(mm)表示柵距,θ(rad)為光柵線紋之間的夾角,如圖所示則有
莫爾條紋寬度B與θ角成反比,θ越小,放大倍數(shù)越大。242023/7/20
3.均化誤差作用莫爾條紋是由光柵的大量刻線共同組成,例如,200條/mm的光柵,10mm寬的光柵就由2000條線紋組成,這樣?xùn)啪嘀g的固有相鄰誤差就被平均化了,消除了柵距之間不均勻造成的誤差。
4.莫爾條紋的移動與柵距的移動成比例當光柵尺移動一個柵距W時,莫爾條紋也剛好移動了一個條紋寬度B。只要通過光電元件測出莫爾條紋的數(shù)目,就可知道光柵移動了多少個柵距,工作臺移動的距離可以計算出來。若光柵移動方向相反,則莫爾條紋移動方向也相反。252023/7/20光柵測量系統(tǒng)如上圖所示,由光源、聚光鏡、光柵尺、光電元件和驅(qū)動線路組成。讀數(shù)頭光源采用普通的燈泡,發(fā)出輻射光線,經(jīng)過聚光鏡后變?yōu)槠叫泄馐?,照射光柵尺。光電元件(常使用硅光電池)接受透過光柵尺光強信號,并將其轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電壓信號。由于此信號比較微弱,在長距離傳遞時,很容易被各種干擾信號淹沒,造成傳遞失真,驅(qū)動線路的作用就是將電壓信號進行電壓和功率放大。除標尺光柵與工作臺一起移動外,光源、聚光鏡、指示光柵、光電元件和驅(qū)動線路均裝在一個殼體內(nèi),作成一個單獨部件固定在機床上,這個部件稱為光柵讀數(shù)頭,又叫光電轉(zhuǎn)換器,其作用把光柵莫爾條紋的光信號變成電信號。262023/7/205.3脈沖編碼器
脈沖編碼器是一種旋轉(zhuǎn)式脈沖發(fā)生器,能把機械轉(zhuǎn)角變成電脈沖,是數(shù)控機床上使用很廣泛的位置檢測裝置。脈沖編碼器可分為增量式與絕對式兩類。
一、絕對式編碼器絕對式編碼器是一種旋轉(zhuǎn)式檢測裝置,可直接把被測轉(zhuǎn)角用數(shù)字代碼表示出來,且每一個角度位置均有其對應(yīng)的測量代碼,它能表示絕對位置,沒有累積誤差,電源切除后,位置信息不丟失,仍能讀出轉(zhuǎn)動角度。絕對式編碼器有光電式、接觸式和電磁式三種。272023/7/20脈沖編碼器282023/7/20二、增量式脈沖編碼器增量式脈沖編碼器分光電式、接觸式和電磁感應(yīng)式三種。就精度和可靠性來講,光電式脈沖編碼器優(yōu)于其它兩種,它的型號是用脈沖數(shù)/轉(zhuǎn)(p/r)來區(qū)分,數(shù)控機床常用2000、2500、3000p/r等,現(xiàn)在已有每轉(zhuǎn)發(fā)10萬個脈沖的脈沖編碼器。脈沖編碼器除用于角度檢測外,還可以用于速度檢測。光電式脈沖編碼器通常與電機做在一起,或者安裝在電機非軸伸端,電動機可直接與滾珠絲杠相連,或通過減速比為i的減速齒輪,然后與滾珠絲杠相連,那么每個脈沖對應(yīng)機床工作臺移動的距離可用下式計算:式中
—脈沖當量(mm/脈沖);S—滾珠絲杠的導(dǎo)程(mm);i—減速齒輪的減速比;M—脈沖編碼器每轉(zhuǎn)的脈沖數(shù)(p/r)。292023/7/20光電脈沖編碼器的結(jié)構(gòu)1-光源
2-圓光柵
3-指示光柵
4-光電池組
5-機械部件
6-護罩
7-印刷電路板
1234567302023/7/20光電式脈沖編碼器,它由光源、聚光鏡、光電盤、圓盤、光電元件和信號處理電路等組成。光電盤是用玻璃材料研磨拋光制成,玻璃表面在真空中鍍上一層不透光的鉻,然后用照相腐蝕法在上面制成向心透光窄縫。透光窄縫在圓周上等分,其數(shù)量從幾百條到幾千條不等。圓盤也用玻璃材料研磨拋光制成,其透光窄縫為兩條,每一條后面安裝有一只光電元件。光電盤與工作軸連在一起,光電盤
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