先進(jìn)制造技術(shù)-3精密與超精密加工技術(shù)教學(xué)課件

先進(jìn)制造技術(shù)之四精密與超精密加工技術(shù)1、超精密加工技術(shù)概述2、超精密加工技術(shù)的發(fā)展歷程3、超精密加工的范疇4、超精密加工的主要研究領(lǐng)域5、超精密加工的主要方法6、超精密加工的發(fā)展趨勢(shì)先進(jìn)制造技術(shù)之四精密與超精密加工技術(shù)1、概述精密與超精密加工技術(shù)是適應(yīng)現(xiàn)代技術(shù)發(fā)展的一種機(jī)械加工新工藝。目前成為衡量現(xiàn)代制造技術(shù)水平的重要指標(biāo)之一,是現(xiàn)代制造技術(shù)中最活躍的因素,已成為一個(gè)國(guó)家制造技術(shù)水平的主體。先進(jìn)制造技術(shù)之四精密與超精密加工技術(shù)精密與超精密加工是指加工精度和表面質(zhì)量達(dá)到極高程度的精密加工工藝。隨著加工技術(shù)的發(fā)展,精密加工的技術(shù)指標(biāo)也在不斷變化。般加工:精度值1-10μm左右,Ra0.1~08m精密加工:精度值0.,1-1μm左右,Ra0.1pm以下超精密加工:精度值0.,1μm以下,Ra0.02μm以下納米加工:精度值低于0.01ym,Ra小于0.005m先進(jìn)制造技術(shù)之四精密與超精密加工技術(shù)3、超精密加工的范疇●超精密切削(車削、銑削)●超精密磨削宏觀加工技術(shù)●超精密研磨、拋光微細(xì)(超微細(xì),納米)加工微觀加工技術(shù)先進(jìn)制造技術(shù)之四精密與超精密加工技術(shù)微細(xì)(超微細(xì))加工是在半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)的基礎(chǔ)上形成并發(fā)展的,是大規(guī)模集成電路和計(jì)算機(jī)技術(shù)的基礎(chǔ),是信息時(shí)代、微電子時(shí)代、光電子時(shí)代的關(guān)鍵制造技術(shù)之超微細(xì)加工以電子束、離子束和激光束三束加工為基礎(chǔ),采用沉積、刻蝕、濺射和蒸鍍等加工手段進(jìn)行各種處理先進(jìn)制造技術(shù)之四精密與超精密加工技術(shù)4、超精密加工的主要研究領(lǐng)域包括:超精密加工技術(shù)是以高精度為目標(biāo)的技術(shù),它必須綜合應(yīng)用各種新技術(shù),在各個(gè)方面精益求精的條件下,才有可能突破常規(guī)技術(shù)達(dá)不到的程度界限,實(shí)現(xiàn)新的高精度指標(biāo)。先進(jìn)制造技術(shù)之四精密與超精密加工技術(shù)(1)超精密切削刀具,刀具材料;(2)超精密加工設(shè)備(3)超精密加工環(huán)境控制(包括恒溫、隔振、潔凈控制等);(4)超精密加工的測(cè)控技術(shù)先進(jìn)制造技術(shù)之四精密與超精密加工技術(shù)(1)超精密加工刀具超精密加工要求刀具能均勻地去除不大于工件加工精度且厚度極薄的金屬層或非金屬層。超精密切削中的加工刀具,一般指天然單晶金剛石刀具。超精密切削中必須保證金剛石刀具的刀面與刃口質(zhì)量。超精密磨削的加工刀具砂輪的磨料品級(jí)與力度均勻性在加工中十分重要。先進(jìn)制造技術(shù)之四精密與超精密加工技術(shù)(2)超精密加工設(shè)備目前的超精密加工機(jī)床一般采用高精度空氣靜壓軸承支撐主軸系統(tǒng);空氣靜壓導(dǎo)軌支撐進(jìn)給系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)模式另外,要實(shí)現(xiàn)超微量的切削,必須配有微量移動(dòng)工作臺(tái)的微進(jìn)給驅(qū)動(dòng)裝置(摩擦驅(qū)動(dòng)方式)和滿足刀具角度微調(diào)的微量進(jìn)給機(jī)構(gòu),并實(shí)現(xiàn)數(shù)字控制。先進(jìn)制造技術(shù)之四精密與超精密加工技術(shù)1)主