除鉆污沉銅流程操作手冊

原理簡介除鉆污/沉銅生產(chǎn)線包括除鉆污工序和鍍通孔（孔金屬化）（PTH）工序。除鉆污工序是孔壁化學(xué)金屬化前去除鉆孔時所產(chǎn)生之樹脂鉆污。由于鉆孔時造成的高溫樹脂超過Tg值，而形成融熔狀，終致產(chǎn)生膠渣。除鉆污工序包括溶脹、氧化除膠和還原步驟。溶脹機(jī)理溶脹劑首先將環(huán)氧樹脂表面溶脹，軟化樹脂，降低聚合物的鍵合能，使得高錳酸鉀更容易咬蝕而去除環(huán)氧樹脂鉆污。除膠原理：環(huán)氧樹脂在堿性高錳酸鉀溶液中被氧化分解。高錳酸鉀在反應(yīng)中被還原為錳酸鉀，再轉(zhuǎn)化成不溶于水的棕色的二氧化錳。為使錳酸鉀轉(zhuǎn)回高錳酸鉀及防止二氧化錳形成，因此在工序中需使用再生器（OxamatP）以保持濃度。中和目的：中和劑是除鉆污工序中最后的一個步驟，目的是中和孔壁內(nèi)殘留的高錳酸鉀，去除孔內(nèi)附著二氧化錳，促進(jìn)孔內(nèi)的活化作用。調(diào)整目的：調(diào)整劑是鍍通孔工序的第一個步驟，能清潔及調(diào)整板面和孔壁，使孔壁呈正電性，以利活化缸負(fù)電離子團(tuán)吸附。微蝕作用：銅面的微蝕能活化及除去銅層表面的氧化膜，增加銅基層或內(nèi)層銅環(huán)與鍍層之間的結(jié)合力。預(yù)浸目的：線路板在進(jìn)入活化劑之前，為避免微蝕形成的銅離子帶入活化槽，必須先浸入預(yù)浸劑以確保去除雜質(zhì)及保護(hù)活化劑，有利于孔壁表面接受鈀催化劑。（線路板由預(yù)浸劑進(jìn)入活化劑時，中間無需過水?；罨哪康模菏窃诨谋砻嫖揭粚哟呋缘慕饘兮Z粒子，從而使整個基材表面順利進(jìn)行化學(xué)銅反應(yīng)。速化處理目的：鈀膠體吸附后必須去除錫，使膠體鈀曝露出來，如此才能在未來無電解銅中產(chǎn)生催化作用形成化學(xué)銅?；瘜W(xué)銅機(jī)理:利用孔內(nèi)沉積的鈀催化無電解銅與甲醛作用，使得孔壁及板面會形成一層金屬化的銅層，有利于基礎(chǔ)銅的電鍍。

2.工藝流程缸號藥槽類別操作時間(min)滴水時間(秒)缸號藥槽類別操作時間(min)滴水時間(秒)1膨脹槽5-715-2516微蝕1.5-2.510-202水洗3-4517水洗1-253水洗2-41018水洗1-2104除膠渣槽10-1510-2019預(yù)浸槽1-215-255水洗1-21020活化槽5-720-306中和洗11021水洗1-257水洗2-4522水洗1-2108水洗2-41023速化槽2-310-209中和槽4-610-2024水洗1-2510水洗2-3525水洗1-21011水洗2-3526化學(xué)沉銅槽16-2510-2012清潔/整孔6-810-2027水洗2-4513熱水洗2-4528水洗2-41014水洗2-4515水洗1-353. 藥液生產(chǎn)操作條件藥液生產(chǎn)配槽及更換藥液生產(chǎn)配槽及更換(除鉆污)名稱配槽成份用量溫度(C)更換頻率膨脹膨脹劑1101氫氧化鈉20%30g/L70-74(72)800ft2/L除鉆污高錳酸鉀氫氧化鈉55g/35g/L76-80(78)300ft2/L中和洗H2O2(35%)H2SO4(98%)2%3%室溫每周一次中和中和劑1102H2SO4(98%)10%8%40-45(43)125ft2/L或Cu2+^1500ppm備注：膨脹缸建議使用250g/l的氫氧化鈉水溶液或先溶解好再添加.

3.1.2.藥液生產(chǎn)配槽及更換（沉銅線）名稱配槽成份用量溫度（°C）更換頻率整孔調(diào)整劑1203A調(diào)整劑1203B60g/L5%50-60(55)200ft2/L微蝕過硫酸鈉硫酸（98%）80g/L2%23-28(25)每天一次預(yù)浸預(yù)浸劑1204或預(yù)浸鹽1204純水75%200g/L余量28-32(30)130ft2/L或Cu2+N300ppm活化預(yù)浸劑1204或預(yù)浸鹽1204活化劑1205A75%200g/L2%30-35(32)Cu2+N1000ppm,鐵含量N100ppm，或一年加速加速劑1206A加速劑1206B10g/L2%48-52(50)100ft2/L或Cu2+N150ppm沉銅化銅劑1207B化銅劑1207A化銅劑1207D化銅劑1207E37%甲醛5%6%2.5%0.2%0.5%27-32(30)當(dāng)槽液比重N1.12g/cm3，排掉20%的槽液同時補(bǔ)卜充新液，維持槽液壽命1、 每次換缸請做好記錄。2、 鈀缸棉芯必須每班更換.每兩周翻槽清洗時，槽液須抽至鈀缸后的兩個水洗槽中（先洗靜）,再清洗鈀缸中淤泥。3.2.藥液生產(chǎn)操作條件3.2.1.藥液生產(chǎn)操作條件（除鉆污）名稱控制成份控制范圍最佳值分析頻率面積添加（千尺耗量）膨脹膨脹劑1101氫氧化鈉17-23%23-38g/L20%30g/L班班每每膨脹劑11012.0Lit氫氧化鈉0.3Kg除鉆污高錳酸鉀氫氧化鈉錳酸鉀45-60g/30-40g/L〈20g/L55g/35g/每班一次每班一次每班一次高錳酸鉀 0.6Kg氫氧化鈉 0.35Kg中和洗雙氧水硫酸3%4%2%3%班班每每雙氧水 2.0Lit硫酸 0.8Lit中和中和劑1102硫酸8-12%6-10%10%8%每班一次每班一次中和劑11021.0Lit硫酸 0.8Lit1.建議除膠渣速率控制2080mg/dm2,（除膠渣速率會因應(yīng)不同板料而變化，故要根據(jù)實際環(huán)境而定?由不同Tg板料，根據(jù)實驗確定過一次或二次Desmear）.2.上述補(bǔ)充量是參考經(jīng)驗數(shù)據(jù)而定的，必須再根據(jù)實際消耗量而調(diào)整。3.2.2.藥液生產(chǎn)操作條件（沉銅線）名稱控制成份控制范圍最佳值分析頻率面積添加（千尺耗量）整孔調(diào)整1203A45-60g/L55g/L每班一次調(diào)整1203A調(diào)整1203B0.5Kg0.5Lit微蝕過硫酸鈉硫酸（98%）微蝕速率60-100g/L1.5-2.5%30-70”，80g/L2%50p,,每班一次每班一次每班一次過硫酸鈉硫酸8.0kg1.5Lit預(yù)浸Cl-2.75-3.25N3.0N每班一次分析添加（見5.6.1）活化活化1205ACl-氯化亞錫1.6-2.4%2.85-3.35N>3.8g/L2.03.1N班天天每<?-活化1205A0.2Lit分析添加（見5.6.1）分析補(bǔ)加1205B（見5.7.2）加速加速劑1206BpH1.8-2.2%8.25-9.252%8.6每班一次每班一次加速劑1206A加速劑1206B0.1Kg0.1Lit沉銅銅離子氫氧化鈉甲醛穩(wěn)定劑沉積速率比重2.8-3.2g/L7-9g/L4-6g/L0.064-0.072M10-26p,,<1.12g/L3.0g/L8.0g/L5g/L0.068M8小時/次8小時/次8小時/次8小時/次8小時/次每天一次化學(xué)銅1207A15Lit化學(xué)銅1207B3.0Lit化學(xué)銅1207C10Lit化學(xué)銅1207E80mlCu2+、NaOH、HCHO濃度結(jié)合分析添加（見5.9）備注：1、上述補(bǔ)充量是參考經(jīng)驗數(shù)據(jù)而定的，還須再根據(jù)實際消耗量而調(diào)整。2、 沉積速率會因應(yīng)不同板料而變化，故要根據(jù)實際環(huán)境而定。3、 建議生產(chǎn)時按每一千尺補(bǔ)加一次，每班分析后按分析添加到最佳值。.新藥槽的清潔處理及藥液配制步驟4.1新藥槽及有關(guān)設(shè)備的清潔處理方法新藥槽清潔處理方法1） 清理槽里的雜物；用碎布擦洗槽壁的灰塵，用清水沖洗干凈。2） 用2%氫氧化鈉浸槽4-8小時，期間開啟循環(huán)及過濾泵；排去，用清水沖洗。3） 將鍍槽注滿清水，開啟循環(huán)及過濾泵半小時排去，用清水洗。4） 用2%硫酸溶液浸槽4-8小時，期間開啟循環(huán)及過濾泵；排去，用清水沖洗干凈。5） 將鍍槽注滿清水，開啟循環(huán)及過濾泵半小時排去，用清水沖洗。6） 將鍍槽注滿清水備用。過濾芯及過濾袋的清潔方法1） 用2%氫氧化鈉浸泡4-8小時，然后用清水沖洗。2） 再用2%硫酸溶液浸泡4小時，然后用清水沖洗。4.2.新藥液配制方法4.2.1.膨脹1）注入1/3缸去離子水。2） 加入所需膨脹劑1101，攪拌均勻。3） 再加入所需的氫氧化鈉（預(yù)先溶解），并攪拌均勻。4） 注入去離子水至工作水位。5） 開啟循環(huán)過濾泵，待攪拌均勻并加熱至溫度控制范圍即可使用。除膠渣1） 注入2/3缸去離子水，并開啟攪拌器。2） 加入所需的氫氧化鈉，攪拌均勻。3） 加入所需的高錳酸鉀，攪拌均勻。4） 注入去離子水至工作水位。5） 攪拌均勻并加熱至溫度控制范圍即可使用。備注：每次配槽前，用3%硫酸及2%過氧化氫（30%體積比）清洗槽壁及再生器上的二氧化錳（MnO2）沉積物。中和洗1） 注入半缸去離子水。2） 加入所需3%硫酸，攪拌均勻。3） 再加入2%的雙氧水，加滿水至液位。中和1） 注入半缸去離子水。2） 加入所需硫酸，攪拌均勻。3） 加入所需還原調(diào)節(jié)劑1102，攪拌均勻。4） 注入去離子水至工作水位。5） 開啟循環(huán)過濾泵，攪拌均勻并待溫度達(dá)到要求范圍即可使用。整孔1） 注入半缸去離子水。2） 加入所需的調(diào)整劑1203A和1203B，攪拌均勻。3） 注入去離子水至工作水位。4） 開啟循環(huán)過濾泵，攪拌均勻并待溫度達(dá)到要求范圍即可使用。微蝕1） 注入半缸去離子水。2） 加入所需的硫酸，攪拌均勻。3） 再加入所需的過硫酸鈉，攪拌均勻。4） 注入去離子水至工作水位。5） 開啟循環(huán)過濾泵及打氣，攪拌均勻并待溫度達(dá)到要求范圍即可使用。4.2.7.預(yù)浸1） 注入1/5缸去離子水。2） 慢慢加入所需的預(yù)浸劑1204。3） 開啟循環(huán)過濾泵，攪拌均勻。4） 待預(yù)浸劑全部溶解完后，注入去離子水至工作水位。5） 待攪拌均勻即可使用?；罨?） 注入1/5缸去離子水。2） 慢慢加入所需的預(yù)浸劑1204。3） 開啟循環(huán)過濾泵，攪拌均勻。4） 再加入活化劑1205A。5） 注入去離子水至工作水位。6） 待攪拌均勻即可使用。速化1） 注入3/4缸去離子水。2） 加入所需的加速劑1206A，開啟循環(huán)過濾泵，攪拌均勻。3） 待加速劑1206A全部溶解完后再加入所需的加速劑1206B，攪拌均勻。4） 注入去離子水至工作水位。5） 攪拌均勻并待溫度達(dá)到要求范圍即可使用?；瘜W(xué)沉銅1） 注入1/2缸去離子水，然后打開循環(huán)泵和加熱器。2） 當(dāng)溫度達(dá)到操作溫度時，關(guān)掉循環(huán)泵和加熱器，放掉一部分水。3） 打開空氣循環(huán)（包含副槽），4） 加入所需的化銅劑1207B和化銅劑1207A，開啟輕微打氣，充分?jǐn)嚢杈鶆颉?） 加去離子水到刻度，打開循環(huán)泵和加熱器。6） 當(dāng)化銅前30分鐘，再慢慢加入所需的化銅劑1207D、化銅劑1207E和所需的甲醛（1207D添加的過程打氣常開以保證充分?jǐn)嚢杈鶆颍?） 開啟循環(huán)過濾泵，待攪拌均勻15分鐘以后，把空氣攪拌調(diào)節(jié)到均勻細(xì)碎狀態(tài)，使槽液均勻一致。8） 分析槽液濃度和溫度，做必要的調(diào)整和補(bǔ)充添加。9） 為了提高新配槽液的活性，需要做4掛dummy板處理。.化學(xué)分析方法及維護(hù)5.1.膨脹膨脹劑1101A、 試劑1）氫氧化鈉，CP級B、 步驟1） 冷卻藥水樣品到室溫。2） 放置50.0ml樣品入100ml的有塞量筒。3） 加入10.0g氫氧化鈉并劇烈搖擺至完全溶解。靜置量筒15分鐘讓液體分層。C、計篡膨脹劑1101(%)=上層液體體積(ml)x3.08D、濃度維護(hù)：膨脹劑1101補(bǔ)充量(L)=[20%-分析結(jié)果(%)]X缸體積(L)增加1%的膨脹劑1101，補(bǔ)加10ml/L膨脹劑11015.1.2.氫氧化鈉A、 試劑酚酞指示劑鹽酸(HCl)滴定溶液,0.50NB、 步驟從缸里面取出藥水到室溫。吸取10.0ml樣品放入250ml圓錐瓶。加入50ml去離子水。加入2-3滴酚酞指示劑。用0.50N鹽酸滴定至無色終點。C、 計算氫氧化鈉(g/l)=N鹽酸xV(ml)x40/取樣體積D、 濃度維護(hù)：氫氧化鈉補(bǔ)充量(Kg) =[30-分析結(jié)果(g/L)]X缸體積4-1000增加1g/L,補(bǔ)加1g/L的氫氧化鈉5.2.除鉆污5.2.1.氫氧化鈉(配合pH計)A、 試劑氯化鋇(BaCl2)溶液，1.0M鹽酸(HCl)滴定溶液,0.10NB、 步驟吸取2.0ml樣品放入200ml燒杯。加入90ml去離子水。加入5.0ml1.0M氯化鋇溶液。靜置溶液5分鐘。放入pH計電極，用0.10N鹽酸滴定至pH8?2。C、 計算氫氧化鈉(g/l)=0.10N鹽酸用量(ml)x2D、 濃度維護(hù)：氫氧化鈉補(bǔ)充量(kg)=[35-分析結(jié)果(g/L)]X缸體積41000增加1g/L,補(bǔ)加1g/L的氫氧化鈉高錳酸鉀（KMnO）&錳酸鉀（KMnO）4 2 4A、試劑1） 氫氧化鋇（Ba（OH）2）飽和溶液（80克Ba（OH）2溶解1升水15min）2） 氫氧化鋇（Ba（OH）j溶液，pH12.93） 用pH10緩沖液校正pH計4） 用去離子水加入Ba（OH）2飽和溶液中調(diào)至pH=12.95） 跳化鉀（KI）溶液,10%重量比6） 硝酸（HNO3）溶液,20%容積比7） 淀粉指示劑8） 硫代硫酸鈉（Na2S2O3）滴定溶液,0.10N1） 吸取2.0ml樣品放入50ml燒杯。2） 加入10ml氫氧化鋇飽和溶液及搖勻。3） 用玻璃濾紙將溶液過濾到250ml圓錐瓶。4） 用pH12.9的氫氧化鋇溶液清洗燒杯，一并加入過濾。5） 用pH12.9的氫氧化鋇溶液清洗濾紙直至呈灰色。6） 將濾紙連同沉淀物放入另一個250ml圓錐瓶。7） 將步驟'5'和'6'的溶液分別記作'A'和'B'。8） 各加入20ml20%硝酸溶液及搖勻。9） 各加入20ml10%碘化鉀溶液搖勻，樣品'B'內(nèi)的沉淀物會溶解。10） 各加入1.0ml淀粉溶液。11） 用0.1N硫代硫酸鈉滴定溶液滴定樣品'A'由紫色至無色，記下用量為aml。12） 用0.1N硫代硫酸鈉滴定溶液滴定樣品'B'至無色終點，記下用量為bml。C、 計算KMnO4（g/l）=amlx硫代硫酸鈉濃度（N）x15.7K2MnO4（g/l）=bmlx硫代硫酸鈉濃度（N）x24.6D、 濃度維護(hù)：高錳酸鉀補(bǔ)加量（Kg）=[55-分析結(jié)果（g/l）]X缸體積-4-1000增加1g/L,補(bǔ)加1g/L的高錳酸鉀5.3.中和洗與中和5.3.1.H2O2的分析試劑1） 0.1N的硫酸鈰溶液2） 25%的硫酸3） Ferroinindicator指示劑（1,10-鄰二氮雜菲硫酸亞鐵鹽）方法1） 取1ml槽液于250ml錐形瓶中，加入25mlDI.水于瓶中。2） 加入20%的硫酸10ml。3）滴加5滴Ferroinindicator,用0.1N的硫酸鈰溶液滴定，滴定至藍(lán)綠色為終點，記錄終點。C?計算35%H2O2（%）=（ml硫酸鈰）X（N硫酸鈰）X4.1/取樣體積D、濃度維護(hù)：35%H2O2補(bǔ)加量（L）=[3%-分析結(jié)果（%）]X缸體積（L）每增加1%的35%H2O2，補(bǔ)加10ml/L的35%H2O2。5.3.2中和劑1102A、 試劑1） 硫酸（H2SO4）溶液,20%容積比2） 硫酸鐵氨（NH4Fe（SO4）212H2O）3） 高錳酸鉀（KMnO）滴定溶液：0.10N（3.1607g/l）44） 濃磷酸（H3PO4）B、 步驟1）吸取5.0ml樣品放入250ml圓錐瓶，加入25ml純水。2） 加入6-7g硫酸鐵氨溶液。3） 加入10ml20%硫酸。4） 加熱至沸點并保持5分鐘，冷卻后，加入5ml濃磷酸。5） 用0.1N高錳酸鉀溶液滴定由黃色至粉紫色。C、 計算中和劑1102（%） =NgnO4）XVgnO/4刷D、濃度維護(hù)：中和劑1102補(bǔ)充量（L）=[10%-分析結(jié)果（%）]X缸體積（L）每增加1%，補(bǔ)加10ml/L中和劑11025.3.3.硫酸（中和洗和中和缸）A、 試劑1） 甲基橙指示劑2） 0.10N氫氧化鈉B、 步驟1） 吸取1.0ml樣品放入250ml圓錐瓶。2） 加入100ml去離子水。3） 加入2-3滴甲基橙指示劑。4） 用0.1N氫氧化鈉滴定溶液滴定由紅色至黃色。C、計算硫酸（%）=_NNaOH^（NaOH^77取樣體積D、濃度維護(hù):中和洗：硫酸(98%)補(bǔ)充量(L)=[3%-分析結(jié)果(%)]X缸體積(L)還原缸：硫酸(98%)補(bǔ)充量(L)=[8%-分析結(jié)果(%)]X缸體積(L)每增加1%，補(bǔ)加10ml/L硫酸5.4.整孔調(diào)整劑1203AA、 試劑0.10N鹽酸漠甲酚綠(Bromocresolgreen)指示劑B、 步驟吸取5.0ml樣品放入250ml圓錐瓶。加入100ml去離子水。加入2-3滴漠甲酚綠指示劑。用0.10N鹽酸滴定由綠色至黃色。C、 計算調(diào)整劑1203A(g/L)=N鹽酸xV鹽酸x165/取樣體積D、濃度維護(hù)：調(diào)整劑1203A(Kg)補(bǔ)加量=[55-分析結(jié)果(g/L)]X缸體積(L)：1000每補(bǔ)加1g/L調(diào)整劑1203A，同時補(bǔ)加1ml/L調(diào)整劑1203B。5.5.微蝕5.5.1過硫酸鈉A、 試劑硫酸(H2SO4)溶液,20%容積比Ferroin指示劑硫酸亞鐵氨((NH4)2?Fe(SO4)2?6H2O)溶液,0.20N硫酸鈰(Ce(SO4)2?6H2O)滴定溶液,0.10N高錳酸鉀(KMnO》滴定溶液，0.10N(3.1607g/l)B、 步驟A吸取1.0ml樣品放入250ml圓錐瓶。加入50ml去離子水。加入10ml20%硫酸。用移液管加入10.0ml0.2N硫酸亞鐵氨滴定溶液，放置5分鐘。加入2-3滴Ferroin指示劑。用0.1N硫酸鈰滴定由橙色至淺綠色?(用量Va)。用去離子水代替樣品,重復(fù)以上步驟?(用量Vb)。步驟B吸取1.0ml樣品放入250ml圓錐瓶。加入50ml去離子水。加入10ml20%硫酸。用移液管加入10.0ml0.2N硫酸亞鐵氨滴定溶液，放置5分鐘。5） 用0.1N高錳酸鉀滴定溶液滴定至粉紅色?（用量Va）。6） 用去離子水代替樣品,重復(fù)以上步驟?（用量Vb）。C、 計算過硫酸鈉（g/L）=（Vb-Va）xNx119D、 濃度維護(hù)：過硫酸鈉補(bǔ)加量（kg）=[80-分析結(jié)果（g/L）]X缸體積（L）F000每增加1g/L,補(bǔ)加過硫酸鈉1g/L5.5.2硫酸分析方法同5.3.2.預(yù)浸氯離子A、 試劑1） 酚酞指示劑2） 0.1NNaOH3） 鉻酸鈉指示劑4） 0.1NAgNO3B、 步驟1） 從預(yù)浸缸中取10ml溶液于100ml容量瓶中，加純水至刻度，搖勻。2） 從容量瓶中取5ml樣品于250ml錐形瓶中。3） 加入10ml純水和3滴酚猷指示劑于錐形瓶中。4） 用0.1NNaOH溶液滴定，顏色從無色至粉紅色。5） 再加入3滴鉻酸鈉指示劑于錐形瓶中，攪勻。6） 用0.1NAgNO3滴定至顏色紅褐色為終點。C、 計算Cl濃度（N）=N（AgNO3）XV（AgNO3）X2D、 濃度維護(hù)：預(yù)浸劑1204（L）=[3.1-分析結(jié)果（N）]X缸體積（L）X0.25或預(yù)浸鹽1204（Kg）=[3.1-分析結(jié)果（N）]X缸體積（L）X0.067每增加0?1N,補(bǔ)加25ml/L預(yù)浸劑1204或6.7g/L預(yù)浸鹽?；罨Z離子（比色法和紫外線光譜儀法）A、 試劑1） 75%的預(yù)浸劑12042） 標(biāo)準(zhǔn)活化劑1205AB、 標(biāo)準(zhǔn)液配制1）取2.0ml活化劑1205A于100ml容量瓶中。2） 往容量瓶中加入配制好的75%的預(yù)浸劑1204，充滿至刻度，搖勻，記為A液。3） 用上述稀釋好的溶液制作標(biāo)準(zhǔn)液，如下表格：活化劑1205A（%）A液（ml）75%的預(yù)浸劑1204（ml）3.335953.004.595.52.664962.343.596.52.003971.672.597.51.342981.001.598.50.66199C、比色法1） 取3ml工作液于于100ml容量瓶中。2） 往容量瓶中加入配制好的75%的預(yù)浸劑1204，充滿至刻度，搖勻，記為B液。3） 用同樣類型和大小的比色管取B和A液進(jìn)行顏色比較，顏色最相近的為B液對應(yīng)的濃度。D、 紫外光譜法1） 取3ml工作液于于100ml容量瓶中。2） 往容量瓶中加入配制好的75%的預(yù)浸劑1204，充滿至刻度，搖勻，記為B液。3） 將紫外光譜儀工作波長設(shè)定在425nm，按其操作規(guī)定進(jìn)行操作。4） 測定將上述配制標(biāo)準(zhǔn)液（75%的預(yù)浸劑1204作參比），記錄各吸收強(qiáng)度值，繪制標(biāo)準(zhǔn)直線圖。5） 測定樣品的吸收強(qiáng)度。6） 根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)直線圖確定工作的濃度。E、 濃度維護(hù)：活化劑1205A補(bǔ)加量（L）=[2%-分析結(jié)果（%）]X缸體積（L）每增加2ml/L活化劑1205A濃度增加0?2%。5.7.2.氯化亞錫A、試劑1） 0.1N碘標(biāo)準(zhǔn)液2） 淀粉溶液B、步驟1） 從活化缸取10ml溶液于250ml錐形瓶中。2） 加入100ml純水和7ml淀粉溶液。3） 用0.1N碘標(biāo)準(zhǔn)液滴定至藍(lán)色為終點。C、 計算氯化亞錫（g/L）=n（碘）xV（碘）x949D、 濃度維護(hù)：1205B補(bǔ)加量（L）=[5-分析結(jié)果（g/L）]X缸體積（L）：1001） 新鮮的開缸液含氯化亞錫4.0g/L以上（即2%活化劑1205A開缸）。2） 補(bǔ)加5ml/L活化劑1205B相當(dāng)于氯化亞錫增加0.5g/L，每次補(bǔ)加W5ml/L。5.7.3.氯離子分析方法同5.6.1.5.8.速化加速劑1206BA、 試劑1） 10%KI溶液。2） 0.1N硫代硫酸鈉3） 濃鹽酸4） 淀粉溶液B、 步驟1） 吸取5.0ml樣品放入250ml圓錐瓶。2） 加入50ml去離子水。3） 加入20ml10%KI溶液。4） 加入5ml濃鹽酸。5） 用0.1N硫代硫酸鈉滴定至淡棕色。6） 加入5ml淀粉溶液。7） 繼續(xù)用0.1N硫代硫酸鈉滴定至無色為終點。C、 計算加速劑1206B（%）=Ng2S2O3）XV（Na2S2O3）X2.16D、 濃度維護(hù)：1）加速劑1206B補(bǔ)充量（L）=[2%-分析結(jié)果（%）]X缸體積?。?） 每補(bǔ)加2ml/L加速劑1206B,同時補(bǔ)加加速劑1g/L1206A。3） 當(dāng)速化缸pH超過9.25時,通過慢慢補(bǔ)加20%鹽酸0.03%,達(dá)到降低pH的目的。5.9.化學(xué)銅化銅劑1207AA、 試劑1） 硫酸（H2SO4）溶液,20%容積比2） 碘化鉀（KI）溶液,10%重量比3） 淀粉（Starch）溶液指示劑4） 硫酸氧鉀（KCNS）溶液,10%重量比5） 硫代硫酸鈉（Na2S2O3）滴定溶液,0.10NB、 步驟1） 吸取10.0ml樣品放入250ml圓錐瓶。2） 加入25ml20%硫酸，加入25ml10%碘化鉀溶液。3） 搖擺均勻1min,加入40ml純水。4） 加入20ml10%硫酸氧鉀溶液，搖擺均勻。5） 加入5ml淀粉溶液。6）用0.1N硫代硫酸鈉滴定溶液滴定至藍(lán)色消失。C、 計算銅離子（g/L） =N（Na2S2O3）xV（Na2S2O3）x6?35D、 濃度維護(hù)：1207A補(bǔ)加量（L）=[3.0-分析結(jié)果（g/L）]X缸體積（L）：501） 銅離子濃度控制在2.8-3.2g/L2） 每補(bǔ)充2ml/L化銅劑1207A則銅離子升高0.1g/L,同時甲醛濃度升高0.1g/L。5.9.2甲醛與氫氧化鈉（PH計法）A、 試劑1） 無水亞硫酸鈉2） 鹽酸（HCl）滴定溶液,0.50NB、 步驟1） 開啟PH計。2） 用標(biāo)準(zhǔn)液,pH7和10,校正PH計。3） 吸取20.0ml樣品放入150ml燒杯。4） 加入70ml去離子水。5） 用0.5N鹽酸滴定至pH10.5，記錄0.5N鹽酸的用量（Va）。6） 繼續(xù)用0.5N鹽酸滴定至pH10.0（這一步驟的0.5N鹽酸用量不需記錄）。7） 加入約1-2g無水亞硫酸鈉，令pH回升，待pH穩(wěn)定3-5min。8） 再用0.5N鹽酸滴定至pH10.0，記錄0.5N鹽酸的用量（Vb）。C、 計算氫氧化鈉（g/L） =Va（hci）xN（hc0x2甲醛（g/L） =（Vb（hci）xN（hci））x30/20D、 濃度維護(hù)：1207C補(bǔ)加量（L）=[8-分析結(jié)果（g/L）]X缸體積（L）：3001207F（甲醛）補(bǔ)加量（L）=[5-分析結(jié)果（g/L）]X缸體積（L）：4001） 氫氧化鈉濃度控制在7.0-9.0g/L。2） 每補(bǔ)加1.7ml/L化銅劑1207C增加氫氧化鈉0.5g/L。3） 甲醛濃度控制在4.0-5.0g/L。4） 每補(bǔ)加1.25ml/L濃度為37%的甲醛則濃度增加0.5g/L。5） 補(bǔ)加化銅劑1207C和甲醛需慢慢加入缸中，邊加邊攪拌。5.9.3化銅劑1207BA、 試劑1） 骨螺紫指示劑2） 0.01M硫酸銅（2.5g/LCuSO4.5H2O）B、 步驟1） 取10ml樣品于150ml錐形瓶中。2） 加入50ml純水。3） 加入小粒骨螺紫，溶解后溶液顏色為紫色。

4）用0.01M硫酸銅滴定至深綠色為終點?；~劑1207B=N（cuSO化銅劑1207B=N（cuSO4）xV（cuSO4）/10+溶液中銅離子含量Cu2+（g/L）/63.5D、濃度維護(hù)：1207B補(bǔ)加量（L）=[0.068-分析結(jié)果（M）]X缸體積（L）：1?251） 化銅劑1207B濃度控制在0.064-0.072M。2） 每增加0.8ml/L化銅劑1207B則濃度增加0.001M。5.9.4化學(xué)銅各濃度總的維護(hù)

A按工作面積補(bǔ)加1）化銅劑1207A、1207B、1207C按每ft2及不同鍍銅厚度添加。如下:生產(chǎn)面積（1ft生產(chǎn)面積（1ft2）化銅劑1207A25pinch3.5ml15pinch2.3ml化銅劑1207B化銅劑1207C0.6ml2.4ml0.4ml1.6ml2） 化銅劑1207A中含有甲醛，但是，甲醛的量根據(jù)實際情況分析補(bǔ)加。3） 化銅劑1207B和化銅劑1207C的濃度每班次化驗，根據(jù)化驗結(jié)果添加調(diào)整。B沉銅速率的維護(hù)1） 當(dāng)所有的成分在正常的范圍時，沉銅速率為每15min沉積銅20pincho2） 當(dāng)主要成分在控制范圍而沉銅速率較低時，適當(dāng)提高溫度會加快沉銅速率。3） 當(dāng)主要成分在控制范圍而沉銅速率較高時（沉積銅顏色變暗），此時需要需慢慢補(bǔ)充1207E，每次補(bǔ)加量為0.5ml/L，每補(bǔ)加一次后測定沉銅速率一直到正常的積速率為止（此時沉積銅變?yōu)樽仙?）如果停機(jī)48小時，需要關(guān)掉加熱器和減少打氣。.測試科目6.1沉銅速率A試劑1） 雙氧水2） pH10緩沖液（55g氯化氨+350ml濃氨水稀釋至1Lit）3） 甲醇4） PAN指示劑5） EDTA滴定溶液,0.10MB步驟1） 切5cmX5cm試板，進(jìn)行沉銅工序（不經(jīng)過除鉆污工序）。2） 放試板入600ml燒杯，然后加入30mlpH10緩沖液。3） 加入2-3滴雙氧水搖晃直至所有沉銅溶解。4） 加入70ml去離子水。5） 加入30ml甲醇溶液。6） 加入2-3滴PAN指示劑。7） 用0.1MEDTA滴定溶液滴定至蘋果綠色。C計算沈銅厚度（pm）=0.1MEDTA用量（ml）x0.136沉銅厚度（『'）=0.1MEDTA用量（ml）x0.136x39.37D注意事項測試板不能放入除膠渣段，除膠會咬蝕基板。6.2背光測試背光測試介紹背光測試是用來測試化學(xué)銅在孔壁上的覆蓋情況，它是一種破壞性的試驗，將通孔切開，在孔的背面透過一道強(qiáng)光，在放大鏡的正面去觀察孔壁化學(xué)沉銅層的沉積情況，已經(jīng)化上銅的地方不會透光，化銅不好的地方將會有光線透過，我們可以通過看到的亮區(qū)的多少劃分等級來鑒別化學(xué)沉銅的好壞。測試步驟.化學(xué)銅后在板上的切片孔處截取有通孔的切片。.用研磨機(jī)把所切取片磨到一排孔的中心線。.用研磨機(jī)研磨另外一邊（不要用剪）使切片厚度減?。ㄍǔＰ∮?/8英寸），將切片對著光看可以呈現(xiàn)半透明6。.把切片放在放大鏡的光源上面，方便光線從下面透上來。在10-50倍放大鏡下去觀測孔內(nèi)沉積層的覆蓋情況，至少觀察6-7個孔以上，最后到1到10級去區(qū)分沉銅情況。評定標(biāo)準(zhǔn).背光級別在8級或8級以上都是合格。.背光級別低于8級以下，需要立刻分析原因并進(jìn)行調(diào)整。6.3除膠速率A.步驟1.取一塊銅箔基板，將表面的銅完全蝕刻掉。將其裁成10cmX10cm英寸大小。在120°C烘箱中烘烤30分鐘。冷卻后，用分析天平稱重W1克（精確到萬分之一）。.從膨脹缸開始，走完除膠渣流程后取出，立即吹干。6.在120C烘箱中烘烤30分鐘。7.冷卻后，用分析天平稱重W2克（精確到萬分之一）。B?計算蝕膠速率（mg/dm2）=（W1-W2）X1000C.注意事項1.蝕膠速率用的基板最好采用同一廠家同一型號基材。蝕膠速率試片只用一次。如生產(chǎn)特殊的基材，如HTg、無鹵素等，生產(chǎn)條件需作相應(yīng)調(diào)整。與我公司聯(lián)系。因為高錳酸鉀槽蝕膠量一定，如果前制程產(chǎn)生膠渣過多，則造成蝕膠不干凈，為了避免產(chǎn)生此問題，建議每批板走化學(xué)銅前，進(jìn)行首件作業(yè)。有些無鹵素的基材不能走堿性的除膠渣制程，所以每生產(chǎn)新物料時都要試驗后才能進(jìn)行量產(chǎn)以免報廢。6.4微蝕速率A.步驟.取一塊銅箔基板，將其裁成4英寸乂4英寸大小。.表面無需作任何處理，在120°C烘箱中烘烤15分鐘。.冷卻后，用分析天平稱重W1（精確到萬分之一）。.從清潔整孔缸開始，走完微蝕水洗后取出，立即吹干。在120C烘箱中烘烤15分鐘。冷卻后，用分析天平稱重W2（精確到萬分之一）。B-計算微蝕量（微英寸）=（W[-W2）X223.95C,注意事項微蝕量太高會造成反回蝕的問題，因此異常停機(jī)時，要優(yōu)先將微蝕缸的板件提出到水洗槽。.除鉆污再生器操作7.1再生器的作用（陽極反應(yīng)）環(huán)氧樹脂在堿性高錳酸鉀（KMnO4）溶液中會被氧化分解，而高錳酸鉀在反應(yīng)中被還原成錳酸鉀（K2MnO4），再轉(zhuǎn)化成不溶的棕色的二氧化錳（MnO2）。再生器是利用電解原理在陽極將錳酸鉀氧化回高錳酸鉀，降低錳酸鉀的濃度，減少二氧化錳的形成。7.2操作條件1） 外圍的不銹鋼為陽極，而中間的不銹鋼柱為陰極。2） 每個再生器操作時最大電流為150安培，過大的電流會導(dǎo)致電纜熔化。3） 在正常操作時，使用150安培電流，電壓在6-9伏特范圍內(nèi)，另外每個再生器正負(fù)極電流應(yīng)相同，或十分接近。7.3維修保養(yǎng)1） 在操作時，再生器的網(wǎng)壁會有二氧化錳的沉積，而影響再生器的工作效率，因此需要定期保養(yǎng)，清除沉積物（每次配槽時）。2） 關(guān)掉電源，拆去電纜，取出再生器（陽極和陰極），用清水沖洗。3） 將陽極和陰極浸在3%硫酸和2%雙氧水的溶液內(nèi)，直至所有沉積物清除干凈，再用清水沖洗。4） 電纜接觸位及再生器座架，重新安裝，連接電纜。5） 接上電源，檢查電壓及每個再生器兩極的電流。.生產(chǎn)時注意事項1） 檢查控制箱及機(jī)械操作是否正常。2） 檢查機(jī)械搖擺，打氣及震動器操作是否正常。3） 檢查各加熱器、過濾泵是否正常，如果濾蕊失效，流量緩慢，需作清洗或更換。4） 檢查各水洗缸供水量，是否正常。5） 檢查各缸液位是否正常（達(dá)到液位線或要比相鄰水缸正常液位低1-1.5寸）6） 取養(yǎng)分析，根據(jù)化驗結(jié)果，調(diào)整藥液濃度至標(biāo)準(zhǔn)值。7） 補(bǔ)充藥液時，必須核對藥液的名稱和份量，以免出錯。8） 檢查補(bǔ)充桶內(nèi)藥液是否足夠，否則需作補(bǔ)充。9） 每天定時檢查生產(chǎn)線之操作及各設(shè)備的情況。10） 記錄所有故障的發(fā)生時間及其原因。11） 每兩小時做一次背光測試，若背光小于8級，需從PTH清潔開始返工此批板。.換班時注意事項1） 當(dāng)沒有生產(chǎn)板在生產(chǎn)線內(nèi)，開啟化學(xué)沉銅主缸的打氣。2） 檢查自動加藥缸的液位及作出適當(dāng)補(bǔ)充。3） 分析及補(bǔ)充各藥液。4） 檢查各藥液的溫度。5） 生產(chǎn)前，關(guān)掉化學(xué)沉銅主缸的打氣。再生產(chǎn)前注意事項停止生產(chǎn)1） 關(guān)掉各缸的加熱器（高錳酸鉀槽除外），打氣，入水開關(guān)及自動加藥器。2） 降低高錳酸鉀槽溫度50°C，再生機(jī)電流降低到日常工作電流的一半。3） 關(guān)閉加熱冷卻、天車、震動、擺動、鼓風(fēng)機(jī)、過濾泵和開啟沉銅缸備用鼓風(fēng)機(jī)。4） 加入0.4ml/L的1207E到化銅槽主缸和副缸中，并確認(rèn)主缸和副缸打氣正常。5） 關(guān)閉各藥槽的循環(huán)泵（高錳酸鉀槽除外）。6） 放走需要更換的藥液及各水缸的清水，并清洗各缸，更換濾蕊。7） 將沉銅液泵到已清潔的備用缸并開啟打氣。8） 用硫酸及雙氧水清洗沉銅缸。9） 根據(jù)藥液開缸指示，更新到達(dá)換缸周期的藥液。10） 所有水洗缸重新注入清水。?11）停機(jī)超過48小時，所有藥水缸需要密封，以防止落塵和其他污染物。?12）停機(jī)超過一星期以上，補(bǔ)加8-9ml/L濃鹽酸（CP）調(diào)整化銅缸pH值10.5以下。開始生產(chǎn)1） 調(diào)整藥液的濃度，特別留意沉銅藥液。2） 檢查各藥液的溫度及液位。3） 生產(chǎn)前，先行拖缸板，才行生產(chǎn)板，首缸生產(chǎn)板必須背光測試OK方可繼續(xù)生產(chǎn)。生產(chǎn)中每兩小時做一次背光測試。4） 一般短暫停產(chǎn)2-4小時，沉銅主缸開打氣，并保持循環(huán)。停產(chǎn)4-24小時，沉銅主缸開打氣，并保持循環(huán)。沉銅換缸，洗缸及再使用步驟1）放走備用缸的水，并用清水沖洗干凈。2） 關(guān)掉舊缸的溫度控制循環(huán)泵加藥系統(tǒng)。3） 用5-10m過濾泵將沉銅液抽到備用缸，并開啟輕微打氣。4） 清除感應(yīng)器上的積銅，將它和補(bǔ)充喉、洗凈的過濾袋安裝在新的沉銅缸。5） 加入凈化水至適當(dāng)水位，開循環(huán)泵及溫度控制。6） 待藥液均勻后，分析濃度及補(bǔ)充成份。7） 生產(chǎn)前先行三至四缸摸擬電鍍板（拖缸板），拖缸板需是清潔纖維板。生產(chǎn)時關(guān)掉主缸的打氣（副成循環(huán)缸不論在任何情況下，都要維持輕微打氣）。8） 放掉舊缸剩余藥液，注滿清水，加入雙氧水及硫酸，開循環(huán)泵及打氣。9） 清凈缸壁的積銅后關(guān)掉循環(huán)泵及打氣，放掉溶液。如果過濾袋過黑，應(yīng)另浸在5%雙氧水及5%鹽酸液中清洗。10） 用水沖洗缸壁，注滿水，開循環(huán)泵10分鐘后關(guān)掉，放水，再注滿清水。10.4.過濾芯更換頻率藥液名稱濾芯類型清洗頻率更換頻率中和10gm棉芯-每星期二次調(diào)整10gm棉芯-每星期一次活化10gmPolyspun-每班二次速化10gm棉芯-換缸時更換化學(xué)沉銅過濾袋每兩天一次注：所有過濾棉芯須預(yù)先浸在2%氫氧化鈉溶液4-6小時，再用清水沖洗，方可使用。沉銅缸的過濾袋需要用過硫酸鈉/硫酸溶液蝕清沉積在袋上的銅粉，再用清水沖洗干凈；如果濾袋還是黑色，應(yīng)再浸在5%鹽酸和5%雙氧水溶液，然后用清水沖洗。故障時處理措施1） 如果在正常生產(chǎn)當(dāng)中機(jī)械發(fā)生故障而未能實時修妥，需要進(jìn)行長時間維修工作，將經(jīng)過活化劑工序的生產(chǎn)板盡可能用人手控制吊車完成剩下的工序。2） 抽出的板需放入清水缸中浸洗；3） 若需要，可關(guān)掉總?cè)胨福ㄇ逅皟艋┘翱刂葡潆娫础?） 盡可能保持化學(xué)沉銅缸打氣，若總電源關(guān)上則打氣泵會停止操作。5） 若維修超過三小時，需加入0.25ml/l（化銅）穩(wěn)定劑1207E。6） 除了從沉銅缸落的板之外，其它板應(yīng)再做一次沉銅。7） 若發(fā)現(xiàn)已沉銅的板背光測試不合格，則需再做一次沉銅工序。

除鉆污沉銅工藝問題處理簡表問題原因除鉆污濃度不足分析并添加。1.除鉆污不足溫度偏低升高溫度。藥液過期副產(chǎn)品增加（如MnO2）更換槽液，檢查再生器。不同樹脂基材加強(qiáng)前松化反應(yīng)前松化反應(yīng)不足檢查并調(diào)整2.過度蝕膠濃度及溫度過高檢查并調(diào)整膨松反應(yīng)過久檢查作業(yè)時間及溫度不同樹脂基材檢查膨松及蝕膠條件3.氧化殘物未除盡中和劑條件不對注意濃度及浸業(yè)時間槽液失效更換新液溫度低冬天時要留意問題原因沉銅速率低槽液各成分濃度低確認(rèn)各組分濃度并調(diào)整溫度太低測量槽液溫度并調(diào)整沉積速率偏低用dummy板激發(fā)活性沉銅速率高化銅缸溫度高測量槽液溫度并調(diào)整化銅缸濃度高確認(rèn)各組分濃度并調(diào)整沉積速率過高加大穩(wěn)定劑的添加量

問題原因結(jié)合力不良NPS微蝕不足檢查NPS濃度及作業(yè)時間沉銅層與板面銅層水洗流量不夠由水缸混沌程度而定。沉銅后板沒有立即浸在稀酸中嚴(yán)格執(zhí)行浸酸。因故障板在PTH線中放置過長令板面鈍化機(jī)件故障時，視情況而翻4板面有嚴(yán)重的氧化物或其它污物（例如膠渣）沉銅前檢查板面，保證