常用半導(dǎo)體廠特氣種類及輸送管材對(duì)應(yīng)表全

常用半導(dǎo)體廠特氣種類及輸送管材對(duì)應(yīng)表序號(hào)特氣種類管路系統(tǒng)使用材質(zhì)（建議）1N2OSS316LEP2CO2SS316LEP3Kr/NeSS316LEP4H2/N2SS316LEP5O2/HeSS316LEP6CHF3SS316LEP7CF4SS316LEP8C4F8SS316LEP9C2F6SS316LEP10SF6SS316LEP1110%CH4/ArSS316LEP12He/N2SS316LEP13CH2F2SS316LEP14C4F6SS316LEP15CH3FSS316LEP16C3F8SS316LEP17NF3SS316LEP18PH2SS316LEP19O3SS316LEP20NOSS316LEP21NH3SS316LEP＋加熱帶22Cl2SS316LEP+SS304AP（雙套管）23HClSS316LEP+SS304AP（雙套管）24HBrSS316LEP+SS304AP（雙套管）25F2/Kr/NeSS316LEP26SiF4SS316LEP27TEOSSS316LEP28TMBSS316LEP29TMPSS316LEP30SiH4SS316LEP+SS304AP（雙套管）311%PH3SS316LEP+SS304AP（雙套管）3250ppmPH3/H2SS316LEP+SS304AP（雙套管）33100ppmB2H6/H2SS316LEP+SS304AP（雙套管）34COSS316LEP35ClF3SS316LEP＋加熱帶36DCSSS316LEP＋加熱帶37BCl3SS316LEP＋加熱帶38WF6SS316LEP＋加熱帶39C5F8SS316LEP＋加熱帶知識(shí)擴(kuò)展：AP(AcidPickling)酸洗處理不銹鋼的耐蝕性主要來自于其所含的鉻與氧發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，在其表面形成一層致密的氧化膜。酸洗工藝的作用就是讓這種反應(yīng)提前發(fā)生，以提高不銹鋼管的耐腐蝕性能。在酸洗過程中，不銹鋼管表面附著的油污和生產(chǎn)過程中沾染的一些物質(zhì)將被徹底去除。管道內(nèi)外表面比較粗糙，容易附著懸浮物和雜質(zhì)。BA（BrightAnnealing）光亮退火拋光輪或拋光帶利用拋光劑中的磨料對(duì)不銹鋼管表面進(jìn)行研磨拋光，從而促使不銹鋼管表面達(dá)到平整光滑的拋光效果。它的亮度取決于加工技術(shù)的類型。此外，機(jī)械拋光雖然更美觀，但也會(huì)降低耐蝕性。因此，在腐蝕環(huán)境下使用時(shí)，需要進(jìn)行鈍化處理，不銹鋼管表面常有拋光材料殘留。EP(ElectroPolishing)電解拋光電解拋光是一種陽極處理方法。根據(jù)電化學(xué)原理，適當(dāng)調(diào)整電壓、電流、酸液成分和拋光時(shí)間，不僅可以使