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常用半導體廠特氣種類及輸送管材對應表序號特氣種類管路系統(tǒng)使用材質（建議）1N2OSS316LEP2CO2SS316LEP3Kr/NeSS316LEP4H2/N2SS316LEP5O2/HeSS316LEP6CHF3SS316LEP7CF4SS316LEP8C4F8SS316LEP9C2F6SS316LEP10SF6SS316LEP1110%CH4/ArSS316LEP12He/N2SS316LEP13CH2F2SS316LEP14C4F6SS316LEP15CH3FSS316LEP16C3F8SS316LEP17NF3SS316LEP18PH2SS316LEP19O3SS316LEP20NOSS316LEP21NH3SS316LEP＋加熱帶22Cl2SS316LEP+SS304AP（雙套管）23HClSS316LEP+SS304AP（雙套管）24HBrSS316LEP+SS304AP（雙套管）25F2/Kr/NeSS316LEP26SiF4SS316LEP27TEOSSS316LEP28TMBSS316LEP29TMPSS316LEP30SiH4SS316LEP+SS304AP（雙套管）311%PH3SS316LEP+SS304AP（雙套管）3250ppmPH3/H2SS316LEP+SS304AP（雙套管）33100ppmB2H6/H2SS316LEP+SS304AP（雙套管）34COSS316LEP35ClF3SS316LEP＋加熱帶36DCSSS316LEP＋加熱帶37BCl3SS316LEP＋加熱帶38WF6SS316LEP＋加熱帶39C5F8SS316LEP＋加熱帶知識擴展：AP(AcidPickling)酸洗處理不銹鋼的耐蝕性主要來自于其所含的鉻與氧發(fā)生化學反應，在其表面形成一層致密的氧化膜。酸洗工藝的作用就是讓這種反應提前發(fā)生，以提高不銹鋼管的耐腐蝕性能。在酸洗過程中，不銹鋼管表面附著的油污和生產過程中沾染的一些物質將被徹底去除。管道內外表面比較粗糙，容易附著懸浮物和雜質。BA（BrightAnnealing）光亮退火拋光輪或拋光帶利用拋光劑中的磨料對不銹鋼管表面進行研磨拋光，從而促使不銹鋼管表面達到平整光滑的拋光效果。它的亮度取決于加工技術的類型。此外，機械拋光雖然更美觀，但也會降低耐蝕性。因此，在腐蝕環(huán)境下使用時，需要進行鈍化處理，不銹鋼管表面常有拋光材料殘留。EP(ElectroPolishing)電解拋光電解拋光是一種陽極處理方法。根據(jù)電化學原理，適當調整電壓、電流、酸液成分和拋光時間，不僅可以使

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